KR101366725B1 - 멜트갭 제어 시스템 및 이를 포함한 실리콘 단결정 성장 장치 - Google Patents

멜트갭 제어 시스템 및 이를 포함한 실리콘 단결정 성장 장치 Download PDF

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Abstract

실시예에 따른 멜트갭 제어 시스템은 열실드의 하단부에 위치하며, 실리콘 융액의 레벨을 감지하는 센서; 및 상기 센서에서 감지된 실리콘 융액의 레벨에 따라 상기 도가니의 상승 또는 하강을 제어하는 제어부를 포함한다.
실시예에 따른 실리콘 단결정 성장 장치는 챔버; 상기 챔버의 내부에 설치되며 실리콘 융액을 수용하는 도가니; 상기 도가니의 하부에 위치하며, 상기 도가니를 상승 또는 하강시키는 도가니 리프팅 유닛; 상기 실리콘 융액으로부터 성장된 실리콘 단결정을 둘러싸는 열실드; 및 상기 열실드의 하단부와 상기 실리콘 융액의 표면 사이의 멜트갭을 제어하는 멜트갭 제어 시스템을 포함한다.

Description

멜트갭 제어 시스템 및 이를 포함한 실리콘 단결정 성장 장치 {MELTGAP CONTROL SYSTEM AND SILICON SINGLE CRYSTAL GROWTH APPARATUS INCLUDING THE SAME}
실시예는 열실드의 하단부와 실리콘 융액의 표면 사이의 멜트갭을 제어할 수 있는 멜트갭 제어 시스템 및 이를 포함한 실리콘 단결정 성장 장치에 관한 것이다.
반도체 소자의 재료로서 사용되는 실리콘 단결정 웨이퍼는 일반적으로 쵸크랄스키(Czochralski, CZ) 법에 의해 제조된 실리콘 단결정 잉곳을 슬라이싱 공정에 의해 절단하여 제작된다.
쵸크랄스키 법에 의하여 실리콘 단결정 잉곳을 성장시키는 방법은, 석영 도가니에 다결정 실리콘과 도펀트를 적층시키고 석영 도가니의 측벽 주위에 설치된 히터에서 복사되는 열을 이용하여 다결정 실리콘과 도펀트를 용융시켜 실리콘 융액(Silicon Melt, SM)을 형성하고, 실리콘 단결정 잉곳의 성장 소스인 종자 결정(seed crystal)을 실리콘 융액의 표면에 침지시키고, 종자 결정으로부터 가늘고 긴 결정을 성장시키는 넥킹(necking) 공정과, 결정을 직경 방향으로 성장시켜 목표 직경으로 만드는 솔더링(sholdering) 공정을 거쳐, 이후에는 일정한 직경을 갖는 실리콘 단결정 잉곳을 원하는 길이로 성장시키는 바디 그로잉(body growing) 공정을 거치며, 석영 도가니의 회전을 빠르게 하여 실리콘 단결정 잉곳의 직경을 점점 줄여나가 실리콘 융액과 잉곳을 분리하는 테일링(tailing) 공정을 거쳐서 실리콘 단결정 잉곳의 성장이 완료된다.
도 1은 종래의 실리콘 단결정 성장 장치를 간략히 나타낸 도면이다.
실리콘 단결정 성장 장치는 도가니(120)에 수용된 실리콘 융액(SM)의 표면과 히터(130)로부터 복사되는 열이 실리콘 단결정 잉곳으로 전달되지 않도록 하는 열실드(160)를 포함한다.
이러한 열실드(160) 설치시, 실리콘 단결정 잉곳의 품질과 생산성 향상을 위하여, 열실드(160)의 하단부와 실리콘 융액(SM)의 표면 사이의 간격, 즉 멜트갭(d)을 일정하게 유지하여야 한다.
그러나 종래에는 멜트갭을 정확히 제어할 수 있는 장치가 없어 작업자가 관측경(10)을 통해 육안으로 측정하기 때문에 측정값에 오차가 발생하고 장시간에 걸친 멜트갭의 실시간 모니터링이 어려운 문제점이 있었다.
실시예는 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 멜트갭을 실시간으로 정확히 모니터링하여 실리콘 단결정 잉곳의 균일한 품질 재현성을 확보하고자 한다.
실시예에 따른 멜트갭 제어 시스템은 열실드의 하단부에 위치하며, 실리콘 융액의 레벨을 감지하는 센서; 및 상기 센서에서 감지된 실리콘 융액의 레벨에 따라 상기 도가니의 상승 또는 하강을 제어하는 제어부를 포함한다.
상기 센서는 가변 저항 및 상기 가변 저항의 저항값을 결정하는 레벨 측정 튜브를 포함할 수 있다.
상기 레벨 측정 튜브는, 상기 레벨 측정 튜브의 일측에 고정되며 상기 실리콘 융액보다 밀도가 작은 볼을 가질 수 있다.
상기 가변 저항은 실리콘 융액의 레벨이 높아지면 저항값이 작아지고, 실리콘 융액의 레벨이 낮아지면 저항값이 커질 수 있다.
상기 볼은 석영과 바륨을 포함하는 재질로 이루어진 멜트갭 제어 시스템.
상기 센서는, 상기 센서의 외면을 감싸는 CCM(Carbon-carbon Composite Material) 재질의 보호막을 포함할 수 있다.
상기 레벨 측정 튜브는 실리콘 융액의 레벨의 변화에 따라 기울기가 변할 수 있다.
상기 제어부는, 상기 가변 저항의 저항값에 따라 상기 센서에 흐르는 전류를 측정할 수 있다.
상기 제어부는, 측정된 상기 전류의 값이 기준 전류값보다 큰 경우 제1 제어 신호를 발생시킬 수 있다.
상기 제어부는, 측정된 상기 전류의 값이 기준 전류값보다 작은 경우 제2 제어 신호를 발생시킬 수 있다.
실시예에 따른 실리콘 단결정 성장 장치는 챔버; 상기 챔버의 내부에 설치되며 실리콘 융액을 수용하는 도가니; 상기 도가니의 하부에 위치하며, 상기 도가니를 상승 또는 하강시키는 도가니 리프팅 유닛; 상기 실리콘 융액으로부터 성장된 실리콘 단결정을 둘러싸는 열실드; 및 상기 열실드의 하단부와 상기 실리콘 융액의 표면 사이의 멜트갭을 제어하는 멜트갭 제어 시스템을 포함한다.
실시예에 따르면 멜트갭을 실시간으로 정확히 모니터링하여 작업자마다 오차가 발생하지 않고 실리콘 단결정 잉곳의 균일한 품질 재현성을 확보할 수 있다.
또한, 즉각적인 멜트갭의 변경으로 원하는 품질의 실리콘 단결정 잉곳을 제조할 수 있다.
도 1은 종래의 실리콘 단결정 성장 장치를 간략히 나타낸 도면이고,
도 2는 실시예에 따른 실리콘 단결정 성장 장치를 개략적으로 도시한 단면도이고,
도 3 내지 도 5는 실시예에 따른 센서의 동작을 설명하기 위한 도면이고,
도 6은 멜트갭 제어 시스템의 구성을 간략히 도시한 블록도이고,
도 7은 멜트갭 제어 과정을 나타내는 흐름도이다.
이하 상기의 목적을 구체적으로 실현할 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다. 종래와 동일한 구성 요소는 설명의 편의상 동일 명칭 및 동일 부호를 부여하며 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
도 2는 실시예에 따른 실리콘 단결정 성장 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
실시예에 따른 실리콘 단결정 성장 장치(100)는 실리콘 단결정 잉곳의 성장이 이루어지는 공간인 챔버(110), 상기 챔버(110)의 내부에 설치되며 고온으로 용융된 실리콘 융액(SM)이 수용되는 도가니(120), 상기 도가니(120)의 외주면을 감싸며 도가니(120)를 지지하는 도가니 지지대(125), 상기 도가니 지지대(125)의 하단에 위치하여 상기 도가니(120)와 도기나 지지대(125)를 회전시키면서 도가니(120)를 상승 또는 하강시키는 도가니 리프팅 유닛(127), 상기 챔버(110)의 내부에 설치되며 상기 도가니(120)의 측벽 주위에 설치되어 도가니(120)를 가열하는 히터(130), 상기 히터(130)의 외곽에 설치되어 히터(130)로부터 발생하는 열이 외부로 유출되는 것을 방지하는 단열 수단(140), 종자 결정을 이용하여 상기 도가니(120)에 수용된 실리콘 융액(SM)으로부터 실리콘 단결정 잉곳(IG)을 일정 방향으로 회전시키면서 인상하는 인상 수단(150), 실리콘 융액(SM)으로부터 성장되는 실리콘 단결정 잉곳(IG)으로 복사되는 열을 차단하기 위한 열실드(160), 및 상기 열실드(160)의 하단부와 실리콘 융액(SM)의 표면 사이의 멜트갭을 제어하는 멜트갭 제어 장치(300)를 포함한다.
멜트갭 제어 장치(300)는 상기 열실드(160)의 하단부에 위치하여 실리콘 융액(SM)의 레벨을 감지하는 센서(200)와, 상기 센서(200)에서 감지된 실리콘 융액(SM)의 레벨에 따라 상기 도가니(120)의 상승 또는 하강을 제어하는 제어부(260, 도 6 참조)를 포함한다.
상술한 구성 요소들은 쵸크랄스키(CZ) 법을 이용한 실리콘 단결정 성장 장치의 통상적인 구성 요소들이므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하고, 이하에서는 멜트갭 제어 장치(300)와 멜트갭 제어 과정을 중심으로 설명하기로 한다.
여기서, 실리콘 융액(SM)의 레벨이란, 단순히 도가니(120)에 수용된 실리콘 융액(SM)의 양에 의해 결정되는 수위와는 다른 개념으로, 도가니(120)의 하부에 위치하면서 도가니(120)를 상승 또는 하강시키는 도가니 리프팅 유닛(127)에 의해 도가니(120)가 위치하게 되는 높이에서의 실리콘 융액(SM) 표면의 레벨을 의미한다.
도 3 내지 도 5는 실시예에 따른 센서의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
실시예에 따른 센서(200)는 가변 저항(210)과, 상기 가변 저항(210_의 저항값을 결정하는 레벨 측정 튜브(220)를 포함할 수 있다.
상기 레벨 측정 튜브(220)는, 레벨 측정 튜브(220)의 일측에 고정되며 실리콘 융액(SM)보다 밀도가 작은 볼(221)을 가질 수 있다.
상기 레벨 측정 튜브(220)는 실리콘 융액(SM)의 레벨에 따라 변하는 볼(221)의 위치에 의해 상기 가변 저항(210)의 저항값을 결정할 수 있다.
즉, 상기 볼(221)이 실리콘 융액(SM) 위에 떠 있는 상태이므로 실리콘 융액(SM)의 레벨의 변화에 따라 상기 레벨 측정 튜브(220)의 기울기가 변하며, 이에 따라 상기 가변 저항(210)의 저항값이 결정될 수 있다.
상기 가변 저항(210)은 실리콘 융액(SM)의 레벨이 높아지면 저항값이 작아지고 실리콘 융액(SM)의 레벨이 낮아지면 저항값이 커질 수 있다. 이에 대해서는 후술한다.
상기 레벨 측정 튜브(220)의 일측에 구비된 볼(221)은 고온의 실리콘 융액(SM)에 녹지 않는 재질로 이루어질 수 있으며, 일 예로서, 석영과 바륨이 포함된 재질로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 볼(221)은 실리콘 융액(SM)보다 밀도가 작으므로 항상 실리콘 융액(SM)의 위에 떠 있게 된다.
상기 센서(200)의 외면은 내구성과 내열성을 지닌 CCM(Carbon-carbon Composite Material) 재질의 보호막으로 둘러싸여서, 고온의 실리콘 융액(SM)으로부터 보호될 수 있다.
도 3을 참조하면, 센서(200)에 포함된 레벨 측정 튜브(220)가 도가니(120)에 수용된 실리콘 융액(SM)의 표면과 나란히 위치할 때의 실리콘 융액(SM)의 레벨을 기준 레벨(ML0)로 정할 수 있다.
그리고, 이 때의 가변 저항(210)의 값, 즉 상기 볼(221)이 항상 실리콘 융액(SM)의 위에 떠 있기 때문에 실리콘 융액(SM)의 레벨에 따라 변하는 볼(221)의 위치에 의해 결정되는 가변 저항(210)의 값을 기준 저항값(R0)으로 정할 수 있다.
또한, 이 때, 실리콘 융액(SM)의 표면과 열실드(160)의 하단부 사이의 멜트갭(d)을 기준 멜트갭(d0)으로 정할 수 있다.
그러나, 이는 일 예시에 불과하며, 기준 레벨(ML0), 기준 저항값(R0) 및 기준 멜트갭(d0)은 원하는 실리콘 단결정 잉곳(IG)의 품질에 따라 얼마든지 다르게 설정될 수 있다.
도 4를 참조하면, 도 3과 비교할 때, 도가니(120)에 수용된 실리콘 융액(SM)의 레벨이 기준 레벨(ML0)보다 높은 것을 알 수 있다.
이렇게 기준 레벨(ML0)보다 높은 실리콘 융액(SM)의 레벨을 제1 레벨(ML1)로 정할 수 있다.
그리고, 이 때의 가변 저항(210)의 값, 즉 실리콘 융액(SM)의 레벨이 기준 레벨(ML0)보다 높기 때문에 레벨 측정 튜브(220)가 실리콘 융액(SM)의 레벨과 나란히 위치하지 못하고 상기 열실드(160) 방향으로 소정 각도(θ1)만큼 기울어져 있으며 이에 의해 결정되는 가변 저항(210)의 값을 제1 저항값(R1)으로 정할 수 있다.
이 때, 상기 레벨 측정 튜브(220)가 상기 열실드(160) 방향으로 소정 각도(θ1)만큼 기울어져 있기 때문에 상기 제1 저항값(R1)은 기준 저항값(R0)보다 작게 설정된다(R1<R0).
또한, 이 때, 실리콘 융액(SM)의 표면과 열실드(160)의 하단부 사이의 멜트갭(d)을 제1 멜트갭(d1)으로 정할 수 있다.
실리콘 융액(SM)의 제1 레벨(ML1)이 기준 레벨(ML0)보다 높기 때문에, 즉 열실드(160)가 고정된 상태에서 도가니(120)가 도가니 리프팅 유닛(127)에 의해 상승되었기 때문에, 상기 제1 멜트갭(d1)은 상기 기준 멜트갭(d0)보다 작을 수 있다.
도 5를 참조하면, 도 3과 비교할 때, 도가니(120)에 수용된 실리콘 융액(SM)의 레벨이 기준 레벨(ML0)보다 낮은 것을 알 수 있다.
이렇게 기준 레벨(ML0)보다 낮은 실리콘 융액(SM)의 레벨을 제2 레벨(ML2)로 정할 수 있다.
그리고, 이 때의 가변 저항(210)의 값, 즉 실리콘 융액(SM)의 레벨이 기준 레벨(ML0)보다 낮기 때문에 레벨 측정 튜브(220)가 실리콘 융액(SM)의 레벨과 나란히 위치하지 않고 상기 도가니(120)의 바닥면 방향으로 소정 각도(θ2)만큼 기울어져 있으며, 이에 의해 결정되는 가변 저항(210)의 값을 제2 저항값(R2)으로 정할 수 있다.
이 때, 상기 레벨 측정 튜브(220)가 상기 도가니(120)의 바닥면 방향으로 소정 각도(θ2)만큼 기울어져 있기 때문에 상기 제2 저항값(R2)은 기준 저항값(R0)보다 크게 설정된다(R2>R0).
또한, 이 때, 실리콘 융액(SM)의 표면과 열실드(160)의 하단부 사이의 멜트갭(d)을 제2 멜트갭(d2)으로 정할 수 있다.
실리콘 융액(SM)의 제2 레벨(ML1)이 기준 레벨(ML0)보다 낮기 때문에, 즉 열실드(160)가 고정된 상태에서 도가니(120)가 도가니 리프팅 유닛(127)에 의해 하강되었기 때문에, 상기 제2 멜트갭(d2)은 상기 기준 멜트갭(d0)보다 클 수 있다.
도 6은 멜트갭 제어 시스템의 구성을 간략히 도시한 블록도이고, 도 7은 멜트갭 제어 과정을 나타내는 흐름도이다.
이하에서는, 도 3 내지 도 5와 관련해 설명한 실시예에 따른 센서(200)의 동작과, 도 6 및 도 7을 참조하여 멜트갭 제어 장치와 멜트갭 제어 과정을 자세히 설명한다.
실시예에 따른 멜트갭 제어 장치(300)는 챔버(110)의 내부에서 열실드(160)의 하단부에 위치하며 실리콘 융액(SM)의 레벨을 감지하는 센서(200)와, 챔버(110)의 외부에 위치하면서 상기 센서(200)에서 감지된 실리콘 융액(SM)의 레벨에 따라 도가니(120)의 상승 또는 하강을 제어하는 제어부(260)를 포함한다.
도 6을 참조하면, 챔버(110)의 외부에 전원부(170)가 구비되어, 상기 센서(200)의 구동에 필요한 전류를 공급할 수 있다.
전원부(170)에서 전류를 공급받아 열실드(160)의 하단부에 위치한 센서(200)에는 전류가 항시 흐르게 되며, 상기 전류의 값은 실리콘 융액(SM)의 레벨에 따라 변하는 볼(221)의 위치에 의해 결정되는 가변 저항(210)의 값에 따라 달라질 수 있다.
제어부(260)는 상기 센서(200)와 연결되며, 챔버(110)의 외부에 구비될 수 있다.
센서(200)에서 감지한 실리콘 융액(SM)의 레벨에 상응하여 상기 가변 저항(210)의 저항값(R)이 결정되며, 상기 제어부(260)에서, 이에 따라 센서(200)에 흐르는 전류를 측정한다.
도 3을 다시 참조하면, 실리콘 융액(SM)의 레벨이 기준 레벨(ML0)일 때 상기 센서(200)에 흐르는 전류의 값을 기준 전류값(I0)으로 정할 수 있다.
도 4를 다시 참조하면, 실리콘 융액(SM)의 레벨이 기준 레벨(ML0)보다 높은 제1 레벨(ML1)일 때 상기 센서(200)에 흐르는 전류의 값을 제1 전류값(I1)으로 정할 수 있다.
도 4에서는 가변 저항(210)의 값이 기준 저항값(R0)보다 작으므로 상기 제1 전류값(I1)은 상기 기준 전류값(I0)보다 클 수 있다.
도 5를 다시 참조하면, 실리콘 융액(SM)의 레벨이 기준 레벨(ML0)보다 낮은 제2 레벨(ML2)일 때 상기 센서(200)에 흐르는 전류의 값을 제2 전류값(I2)으로 정할 수 있다.
도 5에서는 가변 저항(210)의 값이 기준 저항값(R0)보다 크므로 상기 제2 전류값(I2)은 상기 기준 전류값(I0)보다 작을 수 있다.
이와 같이 측정된 전류값에 따라 제어부(260)가 제어 신호를 발생시켜 도가니 리프팅 유닛(127)에 전송하여, 이에 따라 도가니(120)가 상승 또는 하강될 수 있다.
도 7을 참조하여 멜트갭 제어 과정을 자세히 설명하면, 먼저 센서(200)에서 실리콘 융액(SM)의 레벨을 감지하며, 이때, 실리콘 융액(SM)의 레벨에 상응하는 가변 저항(210)의 저항값이 결정된다(S410).
상술한 바와 같이, 상기 가변 저항(210)의 저항값은 기준 저항값(R0), 상기 기준 저항값(R0)보다 작은 제1 저항값(R1) 및 상기 기준 저항값(R0)보다 큰 제2 저항값(R2)을 가질 수 있다.
실리콘 융액(SM)의 레벨에 상응하는 가변 저항(210)의 저항값이 결정되면, 제어부(260)에서 상기 저항값에 따라 센서(200)에 흐르는 전류를 측정한다(S420).
상술한 바와 같이, 측정된 상기 전류의 값은 기준 전류값(I0), 상기 기준 전류값(I0)보다 큰 제1 전류값(I1) 및 상기 기준 전류값(I0)보다 작은 제2 전류값(I2)을 가질 수 있다.
제어부(260)는, 측정된 상기 전류의 값이 기준 전류값(I0)보다 큰지를 판단하여(S430), 측정된 상기 전류의 값이 기준 전류값(I0)보다 큰 제1 전류값(I1)인 경우 제1 제어 신호를 발생시켜 챔버(110) 내의 도가니 리프팅 유닛(127)에 전송한다(S440).
그리고 이에 따라, 도가니 리프팅 유닛(127)이 도가니(120)를 하강시킨다(S445).
즉, 측정된 상기 전류의 값이 기준 전류값(I0)보다 크다는 것은 도 4에 도시된 바와 같이 열실드(160)의 하단부와 실리콘 융액(SM) 사이의 멜트갭(d1)이 설정된 기준 멜트갭(d0)보다 작다는 의미이므로, 도가니(120)를 하강시켜 멜트갭(d)을 기준 멜트갭(d1)으로 일정하게 유지할 수 있다.
이와 달리, 제어부(260)에서 판단한 결과(S430), 측정된 상기 전류의 값이 기준 전류값(I0)보다 작은 제2 전류값(I2)인 경우 제2 제어 신호를 발생시켜 챔버(110) 내의 도가니 리프팅 유닛(127)에 전송한다(S450)
그리고 이에 따라, 도가니 리프팅 유닛(127)이 도가니(120)를 상승시킨다(S455).
즉, 측정된 상기 전류의 값이 기준 전류값(I0)보다 작다는 것은 도 5에 도시된 바와 같이 열실드(160)의 하단부와 실리콘 융액(SM) 사이의 멜트갭(d2)이 설정된 기준 멜트갭(d0)보다 크다는 의미이므로, 도가니(120)를 상승시켜 멜트갭(d)을 기준 멜트갭(d1)으로 일정하게 유지할 수 있다.
상술한 실시예들에 따르면, 센서(200)에 의해 멜트갭(d)의 변화를 실시간으로 정확하게 파악할 수 있고, 이에 따라 즉각적인 멜트갭(d)의 변경이 가능하므로, 실리콘 단결정 잉곳의 균일한 품질 재현성을 확보할 수 있다.
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 실리콘 단결정 성장 장치 110: 챔버
120: 도가니 127: 도가니 리프팅 유닛
200: 센서 210: 가변 저항
220: 레벨 측정 튜브 260: 제어부
300: 멜트갭 제어 장치

Claims (11)

  1. 실리콘 융액이 수용된 도가니 및 상기 실리콘 융액으로부터 성장된 실리콘 단결정을 둘러싸는 열실드를 포함한 단결정 성장 장치의 멜트갭 제어 장치에 있어서,
    상기 열실드의 하단부에 위치하며, 상기 실리콘 융액의 레벨을 감지하는 센서; 및
    상기 센서에서 감지된 상기 실리콘 융액의 레벨에 따라 상기 도가니의 상승 또는 하강을 제어하는 제어부를 포함하고,
    상기 센서는 가변 저항 및 상기 가변 저항의 저항값을 결정하는 레벨 측정 튜브를 포함하는 멜트갭 제어 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 레벨 측정 튜브는, 상기 레벨 측정 튜브의 일측에 고정되며 상기 실리콘 융액보다 밀도가 작은 볼을 갖는 멜트갭 제어 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 가변 저항은 상기 실리콘 융액의 레벨이 높아지면 저항값이 작아지고, 상기 실리콘 융액의 레벨이 낮아지면 저항값이 커지는 멜트갭 제어 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 볼은 석영과 바륨을 포함하는 재질로 이루어진 멜트갭 제어 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서는, 상기 센서의 외면을 감싸는 CCM(Carbon-carbon Composite Material) 재질의 보호막을 포함하는 멜트갭 제어 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 레벨 측정 튜브는 상기 실리콘 융액의 레벨의 변화에 따라 기울기가 변하는 멜트갭 제어 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 가변 저항의 저항값에 따라 상기 센서에 흐르는 전류를 측정하는 멜트갭 제어 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제어부는, 측정된 상기 전류의 값이 기준 전류값보다 큰 경우 제1 제어 신호를 발생시키는 멜트갭 제어 장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 제어부는, 측정된 상기 전류의 값이 기준 전류값보다 작은 경우 제2 제어 신호를 발생시키는 멜트갭 제어 장치.
  11. 챔버;
    상기 챔버의 내부에 설치되며 실리콘 융액을 수용하는 도가니;
    상기 도가니의 하부에 위치하며, 상기 도가니를 상승 또는 하강시키는 도가니 리프팅 유닛;
    상기 실리콘 융액으로부터 성장된 실리콘 단결정을 둘러싸는 열실드; 및
    상기 열실드의 하단부와 상기 실리콘 융액의 표면 사이의 멜트갭을 제어하는 멜트갭 제어 장치를 포함하고,
    상기 멜트갭 제어 장치는 제 1 항 및 제 3 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항의 멜트갭 제어 장치인 실리콘 단결정 성장 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007309700A (ja) 2006-05-16 2007-11-29 Hitachi Ltd ギャップ裕度の評価装置
KR20090062144A (ko) * 2007-12-12 2009-06-17 주식회사 실트론 단결정 잉곳의 제조장치 및 그에 사용되는 열실드
KR20110088164A (ko) * 2010-01-28 2011-08-03 주식회사 엘지실트론 멜트갭 제어 시스템, 이를 포함하는 단결정 성장장치와 단결정 성장방법

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