FI109155B - Förfarande och anordning för styrande av ett mikromekaniskt element - Google Patents

Claims (40)

1. Förfarande för styming av atminstone ett mikromekaniskt element, känne-tecknat av att - det mikromekaniska elementet försättes i aktivt tillständ med atminstone en andra 5 styrsignal, och - det mikromekaniska elementet hälles i nämnda aktiva tillständ med atminstone en första styrsignal.

2. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att det aktiva tillständet är ett slutet tillständ. 10

3. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att den andra styrsignalen är en kortvarig spänningspuls.

4. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att den andra styrsignalen är en kortvarig sinusformad signal.

5. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att den andra styrsignalen är 15 en kortvarig pulsräcka.

6. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att den andra styrsignalen är en frekvensstiykt vägform. \v

7. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att den första styrsignalen är v.: en konstantspänningssignal. 20

8. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att det mikromekaniska eJe- ;;; mentet försättes i aktivt tillständ med summan av den första och den andra styrsig- nalen.

9. Förfarande enligt patentkrav 8, kännetecknat av att summan bestär av signaler •: ; som uppvisar olika amplituder. •; ·' 25

10. Förfarande enligt patentkrav 8, kännetecknat av att summan bestär av signaler som uppvisar olika frekvenser. * ·

11. Förfarande enligt patentkrav 8, kännetecknat av att summan bestär av signaler ‘: ‘: som uppvisar olika funktionsperioder. 109155

12. Förfarande enligt patentkrav 8, kännetecknat av att summan bestär av signaler som uppvisar olika pulsdensiteter.

13. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att amplituden för den andra styrsignalen är större än amplituden för den första styrsignalen. 5

14. Förfarande enligt patentkrav 13, kännetecknat av att amplituden för den andra styrsignalen höjes med en resonanskrets.

15. Förfarande enligt patentkrav 14, kännetecknat av att frekvensen för den andra styrsignalen är 0-6 % mindre än resonanskretsens elektriska resonansfrekvens.

16. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att den harmoniska frekven-10 sen för den andra styrsignalen är väsentligen densamma som den mekaniska reso- nansen för det mikromekaniska elementet.

17. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att den harmoniska frekvensen för den andra styrsignalen är väsentligen densamma som den elektriska resonan-sen för det mikromekaniska elementet.

18. Arrangemang för styming av atminstone ett mikromekaniskt element (402), kännetecknat av att arrangemanget uppvisar atminstone - organ för generering av atminstone en första styrsignal och en andra styrsignal, 1 - organ för att höja spänningsnivän för atminstone nämnda andra styrsignal, - organ för matning av nämnda första styrsignal och nämnda andra styrsignal med . V: 20 förhöjd spänningsnivä tili det mikromekaniska elementet.

• · · ;;; 19. Arrangemang enligt patentkrav 18, kännetecknat av att organen för generering ‘;;; ‘ av atminstone den första styrsignalen och den andra styrsignalen omfattar ätminsto- ’ · · · * ne en spänningsomvandlingskrets.

20. Arrangemang enligt patentkrav 19, kännetecknat av att spänningsomvand-.···, 25 lingskretsen omfattar atminstone : ’": - en tili en likspänningskälla kopplad induktor, - ett mikromekaniskt element, som uppvisar en inre kapacitans, 109155 - en diod som förhindrar att nämnda kondensator i nämnda mikromekaniska element urladdas, - ett första kopplingselement för styming av spänningen mellan nämnda induktor och nämnda diod, 5. ett andra kopplingselement (803) för att resetera nämnda laddning i nämnda kapa- citans (402) i nämnda mikromekaniska element.

21. Arrangemang enligt patentkrav 18, kännetecknat av att organen för att höja spänningsnivä för ätminstone nämnda andra styrsignal omfattar ätminstone en reso-nanskrets.

22. Arrangemang enligt patentkrav 21, kännetecknat av att resonanskretsen bestar av en induktor och kapacitansen i det mikromekaniska elementet.

23. Arrangemang enligt patentkrav 22, kännetecknat av att kapacitansen är en inre kapacitans i det mikromekaniska elementet.

24. Arrangemang enligt patentkrav 22, kännetecknat av att kapacitansen är en ytt-15 re kapacitans i det mikromekaniska elementet.

25. Arrangemang enligt patentkrav 22, kännetecknat av att induktom och det mikromekaniska elementet har integrerats pä samma bottenplatta.

. . 26. Arrangemang enligt patentkrav 25, kännetecknat av att bottenplattan är en ki- selskiva. • * .V: 20

27. Arrangemang enligt patentkrav 25, kännetecknat av att bottenplattan har tili - ; ‘ ‘ ‘. verkats av borglas. • · · • I

28. Arrangemang enligt patentkrav 25, kännetecknat av att bottenplattan har till-:... · verkats av kvarts.

....: 29. Arrangemang enligt patentkrav 25, kännetecknat av att bottenplattan har till- . · · ·, 25 verkats av en polymer.

30. Arrangemang enligt patentkrav 22, kännetecknat av att induktom är en tredi-....: mensionell solenoid.

*: ·: 31. Arrangemang enligt patentkrav 22, kännetecknat av att induktom är en tredi- •; · ·: mensionell toroid. 109155

32. Arrangemang enligt patentkrav 22, kännetecknat av att induktoms kama upp-visar hög permittivitet.

33. Arrangemang enligt patentkrav 22, kännetecknat av att induktom är en yttre massakomponent till det mikromekaniska elementet.

34. Arrangemang enligt patentkrav 21, kännetecknat av att resonanskretsen om- fattar ätminstone - en till en likströmskälla kopplad induktor, - ett mikromekaniskt element som uppvisar en inre kapacitans, - ett kopplingselement som styr urladdningen av den nämnda inre kapacitansen i det 10 nämnda mikromekaniska elementet.

35. Arrangemang enligt patentkrav 21, kännetecknat av att resonanskretsen drivs av ett förstärkarsteg.

36. Arrangemang enligt patentkrav 35, kännetecknat av att förstärkarsteget styrs med en aterkopplingssignal frän resonanskretsen.

37. Arrangemang enligt patentkrav 18, kännetecknat av att organen för matning av den första styrsignalen och den andra styrsignalen med förhöjd spänningsnivä till det mikromekaniska elementet omfattar ett summeringselement för summering av nämnda första styrsignal och nämnda andra styrsignal.

38. Arrangemang enligt patentkrav 18, kännetecknat av att organen för matning •, ·'.: 20 av den första styrsignalen och den andra styrsignalen till det mikromekaniska ele-: ': mentet omfattar ätminstone en styrelektrod. a · · • 1

;;; 39. Arrangemang enligt patentkrav 18, kännetecknat av att organen för matning • · · ’ av den första styrsignalen och den andra styrsignalen till det mikromekaniska ele- mentet omfattar ätminstone tvä separata styrelektroder för nämnda första och andra 25 styrsignal. • »·

40. Arrangemang enligt patentkrav 38 eller 39, kännetecknat av att styrelektro-· · ·1 dema har ätminstone delvis täckts med ett dielektriskt skikt som förhindrar en gal- ‘ 1 vanisk kontakt mellan nämnda styrelektroder och det mikromekaniska elementet. t i