ES2347494T3 - Electrodo frontal a base de oxido de cinc dopado con itrio para su uso en dispositivo fotovoltaico similares. - Google Patents
Electrodo frontal a base de oxido de cinc dopado con itrio para su uso en dispositivo fotovoltaico similares. Download PDFInfo
- Publication number
- ES2347494T3 ES2347494T3 ES07862852T ES07862852T ES2347494T3 ES 2347494 T3 ES2347494 T3 ES 2347494T3 ES 07862852 T ES07862852 T ES 07862852T ES 07862852 T ES07862852 T ES 07862852T ES 2347494 T3 ES2347494 T3 ES 2347494T3
- Authority
- ES
- Spain
- Prior art keywords
- electrode
- zinc oxide
- yttrium
- layer
- aluminum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 131
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 title claims abstract description 66
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 54
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 53
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 15
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 36
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 29
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 28
- 229910000611 Zinc aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 14
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 11
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 4
- JYMITAMFTJDTAE-UHFFFAOYSA-N aluminum zinc oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Al+3].[Zn+2] JYMITAMFTJDTAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 68
- 239000000463 material Substances 0.000 description 31
- 239000010408 film Substances 0.000 description 26
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 10
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BFMKFCLXZSUVPI-UHFFFAOYSA-N ethyl but-3-enoate Chemical compound CCOC(=O)CC=C BFMKFCLXZSUVPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 4
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910007667 ZnOx Inorganic materials 0.000 description 2
- HMDDXIMCDZRSNE-UHFFFAOYSA-N [C].[Si] Chemical compound [C].[Si] HMDDXIMCDZRSNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 2
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 2
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 2
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 NiCrOx Chemical class 0.000 description 1
- 229920006355 Tefzel Polymers 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- QHSJIZLJUFMIFP-UHFFFAOYSA-N ethene;1,1,2,2-tetrafluoroethene Chemical compound C=C.FC(F)=C(F)F QHSJIZLJUFMIFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000005329 float glass Substances 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002620 polyvinyl fluoride Polymers 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/022425—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
- C01G9/00—Compounds of zinc
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
- C01G9/00—Compounds of zinc
- C01G9/02—Oxides; Hydroxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0816—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022466—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022466—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers
- H01L31/022483—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers composed of zinc oxide [ZnO]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1884—Manufacture of transparent electrodes, e.g. TCO, ITO
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
- C01P2002/50—Solid solutions
- C01P2002/52—Solid solutions containing elements as dopants
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/40—Electric properties
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Sustainable Energy (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Conductive Materials (AREA)
- Electrolytic Production Of Metals (AREA)
- Electrodes For Compound Or Non-Metal Manufacture (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
Abstract
Un dispositivo fotovoltaico que comprende: un sustrato de vidrio frontal; una película semiconductora; un electrodo frontal eléctricamente conductivo y sustancialmente transparente ubicado entre al menos el sustrato de vidrio frontal y la película semiconductora; y en el que el electrodo frontal comprende óxido de cinc y/u óxido de cinc y aluminio dopados con desde aproximadamente el 0,001 al 5,0% de itrio y se caracteriza porque el electrodo frontal está también dopado con aluminio.
Description
Electrodo frontal a base de óxido de cinc dopado
con itrio para su uso en dispositivo fotovoltaico o similares.
Determinados modos de realización de ejemplo de
esta invención se refieren a un electrodo (por ejemplo, un
electrodo frontal) para su uso en un dispositivo fotovoltaico o
similares. En determinados modos de realización de ejemplo, un
electrodo frontal a base de óxido conductivo transparente (TCO) para
su uso en un dispositivo fotovoltaico es de, o incluye, óxido de
cinc u óxido de cinc y aluminio, dopado con itrio (Y). En
determinados modos de realización de ejemplo, la adición del itrio
(Y) al óxido de cinc u óxido de cinc y aluminio conductivo tiene la
ventaja de que la pérdida potencial de conductividad de electrodo
puede reducirse o evitarse, por ejemplo a temperaturas de
procesamiento elevadas. Además, en determinados modos de realización
de ejemplo de esta invención, el electrodo (por ejemplo,
ZnO_{x}:Y o ZnAlO_{x}:Y) puede depositarse por pulverización
catódica en una forma no estequiométrica deficiente en oxígeno.
Los dispositivos fotovoltaicos se conocen en la
técnica (véanse, por ejemplo, las patentes U.S. nº^{s} 6.784.361,
6.288.325, 6.613.603 y 6.123.824, véanse también R. Kour et
al., Journal of Materials Science: Materials in Electronics 16
(2005) 649-655 y Q. Yu et al., Thin Solid
films 515 (2007), 3840-3843. Dispositivos
fotovoltaicos de tipo CdTe y de silicio amorfo
(a-Si), por ejemplo, incluyen cada uno un contacto o
electrodo frontal. Típicamente, el electrodo frontal está fabricado
de un óxido conductivo transparente (TCO) tal como óxido de estaño u
óxido de cinc formado sobre un sustrato, tal como un sustrato de
vidrio. En consecuencia, se apreciará que el óxido de cinc dopado
con Al (ZnAlO_{x}) es un material de TCO conocido para su uso como
electrodo para un dispositivo fotovoltaico. En determinadas
aplicaciones, tales como dispositivos fotovoltaicos de CdTe como
ejemplo, se usan temperaturas de procesamiento altas (por ejemplo,
550-600 grados C) durante la fabricación. El óxido
de cinc se usa también en aplicaciones tales como recubrimientos de
baja E para dar soporte a capas reflectantes de IR que pueden estar
fabricadas de plata o similares.
Desafortunadamente, el ZnAlO_{x} conductivo
tiende a perder una cantidad significativa de su conductividad
eléctrica cuando se calienta por encima de aproximadamente 400
grados C. Esta pérdida de conductividad puede estar provocada por
una migración rápida de oxígeno desde los bordes de grano al
interior de la masa de las cristalitas. A temperaturas incluso
superiores (por ejemplo, 625-650 grados C), comienza
a tener lugar la transformación estructural del óxido de cinc, lo
que es particularmente desventajoso para aplicaciones tales como
recubrimientos de baja E térmicamente tratables, porque compromete
la integridad y la resistencia a la corrosión de películas
reflectantes de IR que se forman, frecuentemente, directamente sobre
y por encima del óxido de cinc; una transformación semejante puede
detectarse por ejemplo por un aumento en la relación de picos XRD
<002>/<103>.
Es aparente, partiendo de lo anterior, que
existe en la técnica la necesidad de un material TCO mejorado. En
determinados modos de realización de ejemplo de esta invención
existe en la técnica la necesidad de un TCO a base de óxido de cinc
u óxido de cinc y aluminio que tenga un potencial reducido de
pérdidas de conductividad significativas a altas temperaturas (por
ejemplo, por encima de aproximadamente 400 grados C, o posiblemente
incluso superiores). En determinados modos de realización de ejemplo
de esta invención, existe en la técnica la necesidad de un TCO a
base de óxido de cinc u óxido de cinc y aluminio que tenga una
probabilidad reducida de transformación estructural a temperaturas
altas. Tales materiales de TCO pueden usarse en varias aplicaciones,
que incluyen, pero no están limitadas a, electrodos (por ejemplo,
electrodos frontales) en dispositivos fotovoltaicos, como capas que
dan soporte a plata en recubrimientos de baja E, y similares.
Se ha encontrado que dopando un TCO a base de
óxido de cinc u óxido de cinc y aluminio con pequeñas cantidades de
itrio, el TCO resultante puede mejorarse en uno o más aspectos. Por
ejemplo, dopando un TCO a base de óxido de cinc u óxido de cinc y
aluminio con una pequeña cantidad de itrio, el TCO resultante puede
lograr una pérdida de conductividad reducida a temperaturas altas.
Como otro ejemplo, dopando una película a base de óxido de cinc u
óxido de cinc y aluminio (que es un TCO en determinados casos
preferentes, pero no necesita serlo en todos los casos) con una
cantidad pequeña de itrio (Y), la película resultante puede lograr
una transformación estructural reducida o nula a temperaturas
elevadas (por ejemplo, de al menos aproximadamente 400 grados C, o
incluso posiblemente de al menos aproximadamente 550, 600 ó 625
grados C).
En determinados modos de realización de ejemplo,
un electrodo frontal a base de óxido conductivo transparente (TCO)
para su uso en un dispositivo fotovoltaico es de, o incluye, óxido
de cinc u óxido de cinc y aluminio, dopado con itrio (Y). En
determinados modos de realización, la adición del itrio (Y) al óxido
de cinc u óxido de cinc y aluminio conductivo tiene la ventaja de
que la pérdida potencial de conductividad del electrodo puede
reducirse o evitarse. Tal como se usa en el presente documento, el
término "itrio" incluye y abarca tanto itrio metálico como
óxido de itrio tal como Y_{2}O_{3} o cualquier otro
estequiométricamente aceptable.
Además, en determinados modos de realización de
ejemplo de esta invención, el electrodo (por ejemplo, ZnO_{x}:Y o
ZnAlO_{x}:Y) puede depositarse por pulverización catódica en una
forma no estequiométrica deficiente en oxígeno, o puede depositarse
de cualquier otro modo adecuado. La pulverización catódica a
aproximadamente temperatura ambiente puede usarse para la
deposición del electrodo en determinados casos de ejemplo, aunque,
en vez de ésta, pueden usarse en determinados casos otras técnicas.
Por ejemplo, el electrodo puede depositarse por pulverización
catódica usando una diana(s) cerámica(s)
fabricada(s) de ZnO_{x} o ZnAlO_{x} dopada(s) con
Y y/o Y_{2}O_{3}. Alternativamente, el electrodo puede
depositarse por pulverización catódica en una atmósfera inclusiva
de gas oxígeno (y posiblemente de gas argón, o en cualquier otro gas
adecuado) usando una diana(s) metálica(s) o
sustancialmente metálica(s) fabricada(s) de Zn o ZnAl
dopada(s) con Y; la composición o mezcla de gas puede
seleccionarse con el fin de hacer el material depositado
inicialmente subestequiométrico en determinados casos de
ejemplo.
En determinados modos de realización de ejemplo,
el electrodo de, o que incluye, ZnO_{x}:Y y/o ZnAlO_{x}:Y puede
usarse como cualquier electrodo adecuado en cualquier dispositivo
electrónico adecuado, tal como un dispositivo fotovoltaico, un
dispositivo de pantalla plana y/o un dispositivo electroóptico.
En determinados modos de realización de ejemplo
de esta invención, el electrodo o película de TCO (por ejemplo,
ZnO_{x}:Y o ZnAlO_{x}:Y) puede tener una resistencia laminar
(R_{s}) de desde aproximadamente 7 a 50 ohmios/cuadrado, más
preferentemente de desde aproximadamente 10 a 25 ohmios/cuadrado y
del modo más preferente de desde aproximadamente 10 a 15
ohmios/cuadrado usando un espesor no limitante de ejemplo de
referencia de desde aproximadamente 1.000 a 2.000 angstroms, aunque
son posibles otros espesores, especialmente pueden usarse otros
espesores más pequeños en aplicaciones de baja E.
La deposición por pulverización catódica de un
TCO (óxido conductivo transparente) a aproximadamente temperatura
ambiente sería deseable para un electrodo frontal en un dispositivo
fotovoltaico, dado que la mayor parte de las plataformas de
fabricación de vidrio flotado no están equipadas con sistemas de
calefacción in-situ. Además, una ventaja
potencial adicional de las películas TCO depositadas por
pulverización catódica es que éstas pueden incluir la integración
de recubrimientos antirreflexión, reducción de resistividad y así
sucesivamente. Por ejemplo, puede proporcionarse un recubrimiento
antirreflexión sencillo o multicapa entre el sustrato de vidrio y
el electrodo frontal TCO en aplicaciones fotovoltaicas. Como otro
ejemplo, una capa reflectante de IR a base de plata puede
depositarse por pulverización catódica sobre el ZnO_{x}:Y o el
ZnAlO_{x}:Y en aplicaciones de recubrimiento de baja E.
En determinados modos de realización de ejemplo
de esta invención, se proporciona un dispositivo fotovoltaico tal
como se enuncia en la reivindicación 1.
En otros modos de realización de ejemplo de esta
invención, se proporciona una estructura de electrodo para su uso
en un dispositivo electrónico, tal como se enuncia en la
reivindicación 7.
En aún otros modos de realización de ejemplo más
de esta invención, se proporciona un artículo recubierto tal como
se enuncia en la reivindicación 11. En las reivindicaciones
dependientes pueden encontrarse más modos de realización
ventajosos.
La Figura 1 es una vista en corte transversal de
un dispositivo fotovoltaico de ejemplo de acuerdo con un modo de
realización de ejemplo de esta invención.
La Figura 2 es una vista en corte transversal de
un dispositivo fotovoltaico de ejemplo de acuerdo con otro modo de
realización de ejemplo de esta invención.
La Figura 3 es una vista en corte transversal de
un dispositivo fotovoltaico de ejemplo de acuerdo con otro modo de
realización de ejemplo de esta invención.
La Figura 4 es una vista en corte transversal de
un artículo recubierto con un recubrimiento de baja E (baja
emisividad) sobre el mismo de acuerdo con un modo de realización de
ejemplo de esta invención.
Con referencia, ahora, más particularmente, a
los dibujos, en los que numerales de referencia similares indican
partes similares en todas las distintas vistas.
Dispositivos fotovoltaicos tales como células
solares convierten la radiación solar y otros tipos de luz en
energía eléctrica aprovechable. La conversión de energía tiene
lugar, típicamente, como resultado del efecto fotovoltaico. La
radiación solar (por ejemplo, la luz solar) que impacta sobre un
dispositivo fotovoltaico y absorbida por una región activa de
material semiconductor (por ejemplo, una película semiconductora que
incluye una o más capas semiconductoras tales como capas
a-Si, o cualquier otro material semiconductor
adecuado) genera pares electrón-hueco en la región
activa. Los electrones y los huecos pueden estar separados por un
campo eléctrico de una unión en el dispositivo fotovoltaico. La
separación de los electrones y huecos por la unión da como
resultado la generación de una corriente y tensión eléctrica. En
determinados modos de realización de ejemplo, los electrones fluyen
hacia la región del material semiconductor que tiene conductividad
de tipo n y los huecos fluyen hacia la región del semiconductor que
tiene conductividad de tipo p. La corriente puede fluir a través de
un circuito externo que conecta la región de tipo n con la región de
tipo p mientras la luz continúa generando pares
electrón-hueco en el dispositivo
fotovoltaico.
fotovoltaico.
En determinados modos de realización de ejemplo,
los dispositivos fotovoltaicos de silicio amorfo
(a-Si) de unión simple incluyen tres capas
semiconductoras que componen una película semiconductora. En
particular, una capa p, una capa n y una capa i que es intrínseca.
La película de silicio amorfo (que puede incluir una o más capas
tales como capas de tipo p, n e i) puede ser de silicio amorfo
hidrogenado en determinados casos, pero también puede ser de, o
incluir, silicio-carbono amorfo hidrogenado o
silicio-germanio amorfo hidrogenado, o similares,
en determinados modos de realización de ejemplo de esta invención.
Por ejemplo y sin limitación, cuando un fotón de luz se absorbe en
la capa i, esto genera una unidad de corriente eléctrica (un par
electrón-hueco). Las capas p y n, que contienen
iones dopantes cargados, establecen un campo eléctrico a través de
la capa i que extrae la carga eléctrica de la capa i y la envía a
un circuito externo opcional donde puede suministrar energía a
componentes eléctricos. Hay que notar que mientras determinados
modos de realización de ejemplo de esta invención se dirigen hacia
dispositivos fotovoltaicos a base de silicio amorfo, esta invención
no está tan limitada y puede usarse en determinados casos en
relación con otros tipos de dispositivos fotovoltaicos, incluidos,
pero no limitados a, dispositivos que incluyen otros tipos de
material semiconductor, células solares tándem de película fina y
similares.
Determinados modos de realización de ejemplo de
esta invención pueden ser también aplicables a dispositivos
fotovoltaicos de tipo CdS/CdTe, especialmente debido a las elevadas
temperaturas de procesamiento que se utilizan frecuentemente en la
fabricación de dispositivos fotovoltaicos de tipo CdTe. Además,
electrodos de acuerdo con diferentes modos de realización de esta
invención pueden usarse también en relación con dispositivos
fotovoltaicos de tipo CIS/CIGS y/o tándem a-Si.
La Fig. 1 es una vista en corte transversal de
un dispositivo fotovoltaico de acuerdo con un modo de realización
de ejemplo de esta invención. El dispositivo fotovoltaico incluye un
sustrato 1 frontal transparente de vidrio, electrodo o contacto 3
frontal que es, o incluye, un TCO tal como ZnO_{x}:Y y/o
ZnAlO_{x}:Y, una película 5 semiconductora activa de una o más
capas semiconductoras, electrodo o contacto 7 posterior que puede
ser un TCO o un metal, un encapsulante 9 o adhesivo opcional de un
material tal como etilvinilacetato (EVA), polivinilbutiral (PVB) o
similares y un sustrato 11 posterior opcional de un material tal
como vidrio. La(s) capa(s) semiconductora(s)
de la película 5 pueden ser de a-Si o de otro
material adecuado. Desde luego, el dispositivo puede estar provisto
de otra(s) capa(s) que no se muestran, como entre el
sustrato 1 frontal de vidrio y el contacto 3 frontal, o entre otras
capas del dispositivo.
Se ha encontrado que dopando un electrodo 3 de
TCO a base de óxido de cinc u óxido de cinc y aluminio con pequeñas
cantidades de itrio (Y), la capa 3 de TCO puede mejorarse en uno o
más aspectos. Por ejemplo, dopando un electrodo 3 a base de óxido
de cinc u óxido de cinc y aluminio con una pequeña cantidad de itrio
(Y), el electrodo 3 resultante puede lograr una pérdida de
conductividad reducida a temperaturas elevadas. Como otro ejemplo,
dopando un electrodo 3 a base de óxido de cinc u óxido de cinc y
aluminio con una pequeña cantidad de itrio (Y), el electrodo
resultante puede lograr una transformación estructural reducida o
nula a temperaturas elevadas (por ejemplo, de al menos
aproximadamente 400 grados C, o incluso posiblemente de al menos
aproximadamente 550, 600 ó 625 grados C). Así, en determinados
modos de realización de ejemplo, la adición del itrio (Y) al
electrodo 3 a base de óxido de cinc u óxido de cinc y aluminio tiene
la ventaja de que la pérdida potencial de conductividad del
electrodo 3 puede reducirse o evitarse si se expone a altas
temperaturas. El electrodo 3 sustancialmente transparente tiene una
transmisión en visible de al menos aproximadamente el 50%, más
preferentemente de al menos aproximadamente el 60%, incluso más
preferentemente de al menos aproximadamente el 70% o el 80%, en
determinados modos de realización de ejemplo de esta invención.
En determinados modos de realización de ejemplo
de esta invención, el electrodo (ZnO_{x}:Y o Zn AlO_{x}:Y) 3
puede depositarse por pulverización catódica en una forma no
estequiométrica deficiente en oxígeno o puede depositarse de
cualquier otro modo adecuado, sobre el sustrato 1 de vidrio o
plástico. Puede usarse la pulverización catódica a aproximadamente
temperatura ambiente para la deposición del electrodo 3 en
determinados casos de ejemplo, aunque en determinados casos pueden
usarse otras técnicas en vez de ésta. Por ejemplo, el electrodo 3
puede depositarse por pulverización catódica usando una
diana(s) cerámica(s) fabricada(s) de ZnO_{x}
o ZnAlO_{x} dopada(s) con Y y/o Y_{2}O_{3}.
Alternativamente, el electrodo 3 puede depositarse por pulverización
catódica en una atmósfera inclusiva de gas oxígeno (y posiblemente
gas argón, o cualquier otro gas adecuado) usando una
diana(s) metálica(s) o sustancialmente
metálica(s) fabricada(s) de Zn o ZnAl dopado con Y; la
composición o mezcla de gas puede elegirse con el fin de hacer
subestequiométrico el material depositado inicialmente en
determinados casos de ejemplo.
En determinados modos de realización de ejemplo
de esta invención, el electrodo o película 3 de TCO (por ejemplo
ZnO_{x}:Y o ZnAlO_{x}:Y) presenta una resistencia laminar
(R_{s}) de desde aproximadamente 7 a 50 ohmios/cuadrado, más
preferentemente de desde aproximadamente 10 a 25 ohmios/cuadrado, y
del modo más preferente de desde aproximadamente 10 a 15
ohmios/cuadrado usando un espesor no limitante de ejemplo de
referencia de desde aproximadamente 1.000 a 2.000 angstroms, aunque
son posibles otros espesores, especialmente espesores más pequeños
en aplicaciones de baja E.
En determinados modos de realización de ejemplo
de esta invención, el electrodo o película 3 de ZnO_{x}:Y y/o
ZnAlO_{x}:Y contiene de desde aproximadamente el 0,001 al 5,0% de
itrio, más preferentemente de desde el 0,005 al 1,0% de itrio,
incluso más preferentemente de desde el 0,01 al 0,10% de itrio, de
modo aún más preferente de desde aproximadamente el 0,01 al 0,02%
de itrio (en% en peso). De un modo similar, la(s)
diana(s) de pulverización catódica de ZnY, ZnAlY,
ZnO_{x}:Y y/o ZnAlO_{x}:Y que se usan para depositar por
pulverización catódica el electrodo o película 3 pueden contener de
desde aproximadamente el 0,001 al 5,0% de itrio, más
preferentemente de desde el 0,005 al 1,0% de itrio, incluso más
preferentemente de desde el 0,01 al 0,50% de itrio, de modo aún más
preferente de desde aproximadamente el 0,05 al 0,20% de itrio (en%
en peso). Se ha encontrado que la presencia de itrio en estas
cantidades es muy eficaz en la reducción de la pérdida de
conductividad y/o la transformación estructural del electrodo 3 en
la exposición a temperaturas elevadas tales como al menos
aproximadamente 400 grados C, posiblemente al menos aproximadamente
550, 600 ó 625 grados C. Se advierte que un contenido en itrio
semejante puede usarse en relación con cada uno de los modos de
realización de Figs. 1 a 4, en conexión con determinados modos de
realización de ejemplo de esta invención.
Además, en determinados modos de realización de
ejemplo de esta invención, el electrodo o película 3 de ZnOx:Y y/o
ZnAlOx:Y contiene desde aproximadamente el 0 al 10% de Al, más
preferentemente desde aproximadamente el 0,5 al 7% de Al y
ocasionalmente desde aproximadamente el 1 al 4% de Al. En
determinados modos de realización de ejemplo de esta invención, el
electrodo o película 3 de ZnO_{x}:Y y/o ZnAlO_{x}:Y contiene
desde aproximadamente el 10 al 75% de Zn, más preferentemente desde
aproximadamente el 30 al 65% de Zn. En determinados modos de
realización de ejemplo, el electrodo o película 3 de ZnO_{x}:Y y/o
ZnAlO_{x}:Y contiene más cinc que itrio, más preferentemente al
menos dos o tres veces más cinc que itrio. Además, en determinados
modos de realización de ejemplo, el electrodo o película 3 de
ZnO_{x}:Y y/o ZnAlO_{x}:Y puede contener más aluminio que
itrio, posiblemente al menos dos o tres veces más aluminio que
itrio.
En determinados modos de realización de ejemplo
de esta invención, el electrodo o contacto 3 frontal de TCO está
sustancialmente exento, o completamente exento, de flúor. Esto puede
ser ventajoso en cuestiones de contaminación. En determinados modos
de realización de ejemplo de esta invención, el electrodo 3 frontal
puede tener una resistencia laminar (R_{s}), antes y/o después
del tratamiento térmico, de desde aproximadamente 7 a 50
ohmios/cuadrado, más preferentemente de desde aproximadamente 10 a
25 ohmios/cuadrado y del modo más preferente de desde
aproximadamente 10 a 15 ohmios/cuadrado usando un espesor no
limitante de ejemplo de referencia de desde aproximadamente 1.000 a
2.000 angstroms, con el fin de asegurar una conductividad
adecuada.
Una ventaja potencial adicional de las películas
de TCO depositadas por pulverización catódica para
electrodos/contactos 3 frontales es que pueden permitir la
integración de un recubrimiento antirreflexión y/o de compresión de
color (no se muestra) entre el electrodo 3 frontal y el sustrato 1
de vidrio. El recubrimiento antirreflexión (no se muestra) puede
incluir una o múltiples capas en diferentes modos de realización de
esta invención. Por ejemplo, el recubrimiento antirreflexión puede
incluir una capa dieléctrica de índice refractivo alto
inmediatamente adyacente al sustrato 1 de vidrio y otra capa de un
dieléctrico de índice refractivo inferior inmediatamente adyacente
al electrodo 3 frontal. De este modo, ya que el electrodo 3 frontal
está sobre el sustrato 1 de vidrio, se apreciará que la palabra
"sobre" tal como se usa en la presente abarca tanto
directamente sobre como indirectamente sobre con otras capas entre
los mismos.
El sustrato de vidrio frontal 1 y/o el sustrato
posterior 11, en determinados modos de realización de ejemplo de
esta invención, pueden estar fabricados de vidrio a base de
sosa-cal-sílice. Aunque los
sustratos 1, 11 pueden ser de vidrio en determinados modos de
realización de esta invención, otros materiales tales como cuarzo o
similares pueden usarse en vez de éste. Como el electrodo 3, el
sustrato 1 puede o no puede estar estampado en diferentes modos de
realización de ejemplo de esta invención. Además, el sustrato
posterior o superestrato 11 es opcional en determinados casos. El
vidrio 1 y/o 11 puede o no puede templarse térmicamente en
diferentes modos de realización de esta invención.
La región o película semiconductora activa 5
puede incluir una o más capas y puede ser de cualquier material
adecuado. Por ejemplo, la película semiconductora activa 5 de un
tipo de dispositivo fotovoltaico de silicio amorfo
(a-Si) de unión única incluye tres capas
semiconductoras, es decir, una capa p, una capa n y una capa i.
Estas capas de película 5 a base de silicio amorfo pueden ser, en
determinados casos, de silicio amorfo hidrogenado, pero también
pueden ser para incluir, silicio-carbono amorfo
hidrogenado o silicio-germanio amorfo hidrogenado u
otro(s) material(es) adecuado(s) en
determinados modos de realización de ejemplo de esta invención. Es
posible que la región activa 5 sea de tipo de unión doble en modos
de realización alternativos de esta invención.
El contacto, reflector y/o electrodo posterior 7
del dispositivo fotovoltaico pueden ser de cualquier material
eléctricamente conductivo adecuado. Por ejemplo y sin limitación, el
contacto o electrodo posterior 7 opcional puede ser de un TCO y/o
un metal en determinados casos. Ejemplos de materiales de TCO para
usar como contacto o electrodo posterior 7 incluyen óxido de indio
y cinc, óxido de indio y estaño (ITO), óxido de estaño y/o óxido de
cinc que están dopados con aluminio (que pueden o no pueden estar
dopados con plata). Es posible que el electrodo posterior 7 esté
fabricado del mismo material de ZnO_{x}:Y y/o ZnAlO_{x}:Y o
similares que se analiza en la presente con respecto al electrodo
3, en determinados modos de realización de ejemplo de esta
invención. El TCO del electrodo posterior 7 puede ser del tipo de
capa única o del tipo de capa múltiple en distintos casos. Además,
el electrodo o contacto posterior 7 puede incluir una parte de TCO y
una parte de metal en determinados casos. Por ejemplo, en un modo
de realización de ejemplo de capa múltiple, la parte de TCO del
contacto posterior 7 puede incluir una capa de un material tal como
óxido de indio y cinc (que puede o no estar dopado con plata o
similares), óxido de indio y estaño (ITO), ZnOx:Y y/o ZnAlOx:Y,
óxido de estaño y/u óxido de cinc dispuesta de la forma más cercana
a la región activa 5 y otra capa conductiva y posiblemente
reflectante de un material tal como plata, molibdeno, platino,
acero, hierro, niobio, titanio, cromo, bismuto, antimonio o
aluminio más alejada de la región 5 y más cercana al sustrato 11. La
parte de metal puede estar más cerca del sustrato 11 que la parte
de TCO del contacto/electrodo posterior 7.
El módulo fotovoltaico puede estar encapsulado o
parcialmente cubierto con un material encapsulante tal como el
encapsulante 9 en determinados modos de realización de ejemplo. Un
encapsulante o adhesivo de ejemplo para la capa 9 es EVA. No
obstante, en vez de éste, pueden usarse para la capa 9, en distintos
casos, otros materiales tales como PVB, plástico tipo Tedlar,
plástico tipo Nuvasil, plástico tipo Tefzel o similares.
La Fig. 2 es una vista en corte transversal de
un dispositivo fotovoltaico de acuerdo con otro modo de realización
de ejemplo de esta invención. El dispositivo de Fig. 2 es similar al
de Fig. 1, excepto en que el electrodo/reflector posterior 7 se
ilustra en la Fig. 2 de forma que incluye una parte de TCO 7a y una
parte de metal 7b. Por ejemplo, en un modo de realización de
ejemplo de capa múltiple, la parte de TCO 7a de un material tal como
óxido de indio y cinc (que puede o no estar dopado con plata o
similares), óxido de indio y estaño (ITO), ZnO_{x}:Y y/o
ZnAlO_{x}:Y, óxido de estaño y/o óxido de cinc dispuesta de la
forma más cercana a la región activa 5 y otra capa conductiva y
posiblemente reflectante 7b de un material tal como plata,
molibdeno, platino, acero, hierro, niobio, titanio, cromo, bismuto,
antimonio o aluminio, más alejada de la región activa 5 y más
cercana al sustrato 11.
La Fig. 3 es una vista en corte transversal de
un dispositivo fotovoltaico de tipo CdTe de acuerdo con otro modo
de realización de ejemplo de esta invención. El dispositivo de Fig.
3, en este ejemplo particular, es similar al de las Figs.
2-3 excepto en que la película semiconductora 5 se
muestra de forma que incluye una capa 5a que incluye, o a base de,
CdS, y un capa 5b que incluye, o a base de, CdTe y se usa plata como
material de ejemplo para el electrodo o reflector posterior 7 en el
presente ejemplo.
La Fig. 4 es un ejemplo de un artículo
recubierto que incluye un recubrimiento de baja emisividad (baja E)
sobre un sustrato 1 de vidrio. El sustrato 1 de vidrio puede
templarse térmicamente en determinados modos de realización de
ejemplo de esta invención. Ejemplos de recubrimientos de baja E se
divulgan en las patentes U.S. nº^{s} 6.686.050, 7.153.579,
7.090.921 y 6.936.347, las divulgaciones de las cuales se incorporan
en su totalidad de este modo en la misma por referencia. Un
recubrimiento de baja E incluye típicamente al menos una capa
reflectante de IR o incluye un material reflector de IR
(infrarrojos) tal como Ag, Au o similares, donde la capa
reflectante de IR está intercalada entre al menos la primera y
segunda capa dieléctrica o similares. En el modo de realización de
Fig. 4, el recubrimiento de baja E incluye sobre el sustrato 1 de
vidrio, al menos: una capa dieléctrica 20 de un material tal como
nitruro de silicio o cualquier otro dieléctrico adecuado, una capa
30 de, o que incluye, ZnO_{x}:Y y/o ZnAlO_{x}:Y, una capa
reflectante de IR 40 de, o que incluye, Ag, Au o similares, una
capa de contacto 50 que está en contacto directo con la capa
reflectante de IR (la capa de contacto puede estar fabricada de un
metal u óxido metálico tal como NiCrOx, óxido de cinc o similares),
y una capa dieléctrica 60 de, o que incluye, un material tal como
nitruro de silicio o similares. Desde luego, pueden usarse otros
materiales para dichas capas 20, 40, 50 y 60, una o más de estas
capas puede eliminarse y/u otras capas pueden añadirse. La capa 30
a base de ZnO_{x}:Y y/o ZnAlO_{x}:Y es la misma que la capa 3
en las Figs. 1-3, excepto que la capa 30 a base de
ZnO_{x}:Y y/o ZnAlO_{x} puede o no ser conductiva, y puede
tener un espesor de desde aproximadamente 50 a 500 angstroms, más
preferentemente de desde aproximadamente 70 a 200 angstroms en
determinadas aplicaciones de recubrimiento de baja E. El artículo
recubierto de Fig. 4 puede, por ejemplo, tener una transmisión en
visible de al menos aproximadamente el 50%, 60% ó 70% y puede tener
una resistencia laminar (R_{s}) de no más de aproximadamente 20
ohmios/cuadrado, más preferentemente de no más de aproximadamente
10, 8 ó 6 ohmios/cuadrado en determinados modos de realización de
ejemplo de esta invención. El artículo recubierto de Fig. 4 puede
usarse como ventana de vehículo, o como ventana o parte de una
ventana de un edificio, bloqueando la capa reflectante de IR
cantidades significativas de radiación IR en la ventana.
Aunque la invención se ha descrito con relación
a lo que se considera actualmente que es el modo de realización más
práctico y preferente, se entiende que la invención no está limitada
al modo de realización divulgado, sino que, por el contrario, se
pretende que abarque varias modificaciones y disposiciones
equivalentes incluidas dentro del ámbito de las reivindicaciones
adjuntas.
Otros ejemplos preferentes de la invención:
- 1.
- Un dispositivo fotovoltaico que comprende:
- un sustrato de vidrio frontal;
- una película semiconductora;
- un electrodo frontal eléctricamente conductivo y sustancialmente transparente ubicado entre al menos el sustrato de vidrio frontal y la película semiconductora; y
- en el que el electrodo frontal comprende óxido de cinc y/u óxido de cinc y aluminio, dopados con desde aproximadamente el 0,001 al 5,0% de itrio, en el que el electrodo frontal está también dopado con aluminio.
- 2.
- El dispositivo fotovoltaico del modo de realización 1, en el que el electrodo frontal contiene desde aproximadamente el 0,005 al 1,0% de itrio.
- 3.
- El dispositivo fotovoltaico del modo de realización 1, en el que el electrodo frontal contiene desde aproximadamente el 0,01 al 0,50% de itrio.
- 4.
- El dispositivo fotovoltaico del modo de realización 1, en el que el electrodo frontal contiene desde aproximadamente el 0,05 al 0,20% de itrio.
- 5.
- El dispositivo fotovoltaico del modo de realización 1, que además comprende un sustrato de vidrio posterior y un electrodo posterior ubicado entre al menos el sustrato de vidrio posterior y la película semiconductora.
- 6.
- El dispositivo fotovoltaico del modo de realización 1, en el que la película semiconductora comprende al menos una capa que comprende silicio amorfo.
- 7.
- El dispositivo fotovoltaico del modo de realización 1, en el que la película semiconductora comprende al menos una capa que comprende CdTe.
- 8.
- El dispositivo fotovoltaico del modo de realización 1, que comprende además una capa que comprende EVA ubicada entre un sustrato de vidrio posterior y un electrodo posterior.
- 9.
- El dispositivo fotovoltaico del modo de realización 1, en el que el electrodo frontal tiene una resistencia laminar (R_{s}) de desde aproximadamente 7-50 ohmios/cuadrado.
- 10.
- El dispositivo fotovoltaico del modo de realización 1, en el que el electrodo frontal tiene una resistencia laminar (R_{s}) de no más de aproximadamente 15 ohmios/cuadrado.
- 11.
- Un estructura de electrodo para usar en un dispositivo electrónico, comprendiendo la estructura de electrodo:
- un sustrato;
- un electrodo eléctricamente conductivo y sustancialmente transparente soportado por al menos el sustrato; y
- en el que el electrodo comprende óxido de cinc y/u óxido de cinc y aluminio, dopado con desde aproximadamente el 0,001 al 5,0% de itrio y en el que el electrodo frontal está también dopado con aluminio.
- 12.
- La estructura de electrodo del modo de realización 11, en la que el electrodo consiste esencialmente en óxido de cinc y/u óxido de cinc y aluminio, dopado con desde aproximadamente el 0,001 al 5,0% de itrio.
- 13.
- La estructura de electrodo del modo de realización 11, en la que el electrodo contiene desde aproximadamente el 0,005 al 1,0% de itrio y en el que el sustrato es de vidrio.
- 14.
- La estructura de electrodo del modo de realización 11, en la que el electrodo contiene desde aproximadamente el 0,01 al 0,50% de itrio.
- 15.
- La estructura de electrodo del modo de realización 11, en la que se proporciona una película semiconductora sobre el electrodo.
- 16.
- La estructura de electrodo del modo de realización 11, en la que el electrodo contiene al menos algo de aluminio y tiene una resistencia laminar (R_{s}) de no más de aproximadamente 50 ohmios/cuadrado.
- 17.
- Un artículo recubierto que comprende:
- un recubrimiento de baja E soportado por un sustrato de vidrio;
- el recubrimiento de baja E comprende al menos una capa reflectante de IR, proporcionándose la capa reflectante de IR sobre una capa que comprende óxido de cinc y/u óxido de cinc y aluminio, la capa que comprende óxido de cinc y/u óxido de cinc y aluminio estando dopada con desde aproximadamente el 0,001 al 5% de itrio y en el que la capa está también dopada con aluminio.
- 18.
- El artículo recubierto del modo de realización 17, en el que la capa que comprende óxido de cinc y/u óxido de cinc y aluminio contiene desde aproximadamente el 0,001 al 5,0% de itrio.
- 19.
- El artículo recubierto del modo de realización 17, en el que la capa reflectante de IR está ubicada sobre y en contacto directo con la capa que comprende óxido de cinc y/u óxido de cinc y aluminio dopada con itrio.
- 20.
- El artículo recubierto del modo de realización 17, en el que la capa que comprende óxido de cinc y/u óxido de cinc y aluminio contiene desde aproximadamente el 0,01 al 0,50% de itrio.
- 21.
- El artículo recubierto del modo de realización 17, en el que la capa reflectante de IR comprende Ag y el artículo recubierto tiene una transmisión en visible de al menos aproximadamente el 50%.
- 22.
- El artículo recubierto del modo de realización 17, en el que el artículo recubierto se usa en una ventana de un edificio o un vehículo.
Claims (14)
1. Un dispositivo fotovoltaico que
comprende:
- un sustrato de vidrio frontal;
- una película semiconductora;
- un electrodo frontal eléctricamente conductivo y sustancialmente transparente ubicado entre al menos el sustrato de vidrio frontal y la película semiconductora; y
- en el que el electrodo frontal comprende óxido de cinc y/u óxido de cinc y aluminio dopados con desde aproximadamente el 0,001 al 5,0% de itrio y se caracteriza porque el electrodo frontal está también dopado con aluminio.
\vskip1.000000\baselineskip
2. El dispositivo fotovoltaico de la
reivindicación 1, en el que el electrodo frontal contiene desde
aproximadamente el 0,005 al 1,0% de itrio, en particular desde
aproximadamente el 0,01 al 0,50% de itrio y en particular desde
aproximadamente el 0,05 al 0,20% de itrio.
3. El dispositivo fotovoltaico de la
reivindicación 1, que además comprende un sustrato de vidrio
posterior y un electrodo posterior ubicado entre al menos el
sustrato de vidrio posterior y la película semiconductora.
4. El dispositivo fotovoltaico de la
reivindicación 1, en el que la película semiconductora comprende al
menos una capa que comprende silicio amorfo.
5. El dispositivo fotovoltaico de la
reivindicación 1, en el que la película semiconductora comprende al
menos una capa que comprende CdTe.
6. El dispositivo fotovoltaico de la
reivindicación 1, en el que el electrodo frontal tiene una
resistencia laminar (R_{s}) de desde aproximadamente 7 a 50
ohmios/cuadrado, en particular de no más de aproximadamente 15
ohmios/cuadrado.
7. Una estructura de electrodo para su uso en un
dispositivo electrónico, comprendiendo la estructura de
electrodo:
- un sustrato;
- un electrodo eléctricamente conductivo y sustancialmente transparente soportado por al menos el sustrato; y
- en la que el electrodo comprende óxido de cinc y/u óxido de cinc y aluminio, dopados con desde aproximadamente el 0,001 al 5,0% de itrio y se caracteriza porque el electrodo está también dopado con aluminio.
\vskip1.000000\baselineskip
8. La estructura de electrodo de la
reivindicación 7, en la que el electrodo consiste esencialmente en
óxido de cinc y/u óxido de cinc y aluminio, dopados con desde
aproximadamente el 0,001 al 5,0% de itrio, en particular desde
aproximadamente el 0,005 al 1,0% de itrio, en particular desde
aproximadamente el 0,01 al 0,50% de itrio y en particular en la que
el sustrato es de vidrio.
9. La estructura de electrodo de la
reivindicación 7, en la que se proporciona una película
semiconductora sobre el electrodo.
10. La estructura de electrodo de la
reivindicación 7, en la que el electrodo contiene al menos algo de
aluminio y presenta una resistencia laminar (R_{s}) de no más de
aproximadamente 50 ohmios/cuadrado.
11. Un artículo recubierto que comprende:
- un recubrimiento de baja E soportado por un sustrato de vidrio;
- el recubrimiento de baja E comprende al menos una capa reflectante de IR, proporcionándose la capa reflectante de IR sobre una capa que comprende óxido de cinc y/u óxido de cinc y aluminio, estando dopada la capa que comprende óxido de cinc y/u óxido de cinc y aluminio con desde aproximadamente el 0,001 al 5% de itrio y se caracteriza porque la capa está también dopada con aluminio.
\vskip1.000000\baselineskip
12. El artículo recubierto de la reivindicación
11, en el que la capa que comprende óxido de cinc y/u óxido de cinc
y aluminio contiene desde aproximadamente el 0,01 al 0,50% de
itrio.
\newpage
13. El artículo recubierto de la reivindicación
11, en el que la capa reflectante de IR está ubicada sobre y en
contacto directo con la capa que comprende óxido de cinc y/u óxido
de cinc y aluminio dopada con itrio.
14. El artículo recubierto de la reivindicación
11, en el que la capa reflectante de IR comprende Ag y el artículo
recubierto presenta una transmisión visible de al menos
aproximadamente el 50%.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/650,564 US8334452B2 (en) | 2007-01-08 | 2007-01-08 | Zinc oxide based front electrode doped with yttrium for use in photovoltaic device or the like |
US650564 | 2007-01-08 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
ES2347494T3 true ES2347494T3 (es) | 2010-10-29 |
Family
ID=39276103
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
ES07862852T Active ES2347494T3 (es) | 2007-01-08 | 2007-12-13 | Electrodo frontal a base de oxido de cinc dopado con itrio para su uso en dispositivo fotovoltaico similares. |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8334452B2 (es) |
EP (1) | EP2100335B1 (es) |
AT (1) | ATE471573T1 (es) |
DE (1) | DE602007007241D1 (es) |
ES (1) | ES2347494T3 (es) |
PL (1) | PL2100335T3 (es) |
WO (1) | WO2008085264A1 (es) |
Families Citing this family (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7964788B2 (en) * | 2006-11-02 | 2011-06-21 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US8076571B2 (en) * | 2006-11-02 | 2011-12-13 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US20080178932A1 (en) * | 2006-11-02 | 2008-07-31 | Guardian Industries Corp. | Front electrode including transparent conductive coating on patterned glass substrate for use in photovoltaic device and method of making same |
US20080105293A1 (en) * | 2006-11-02 | 2008-05-08 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US8012317B2 (en) * | 2006-11-02 | 2011-09-06 | Guardian Industries Corp. | Front electrode including transparent conductive coating on patterned glass substrate for use in photovoltaic device and method of making same |
US8203073B2 (en) * | 2006-11-02 | 2012-06-19 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US20080302414A1 (en) * | 2006-11-02 | 2008-12-11 | Den Boer Willem | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US20080105299A1 (en) * | 2006-11-02 | 2008-05-08 | Guardian Industries Corp. | Front electrode with thin metal film layer and high work-function buffer layer for use in photovoltaic device and method of making same |
US8334452B2 (en) | 2007-01-08 | 2012-12-18 | Guardian Industries Corp. | Zinc oxide based front electrode doped with yttrium for use in photovoltaic device or the like |
US20080169021A1 (en) * | 2007-01-16 | 2008-07-17 | Guardian Industries Corp. | Method of making TCO front electrode for use in photovoltaic device or the like |
US20080223430A1 (en) * | 2007-03-14 | 2008-09-18 | Guardian Industries Corp. | Buffer layer for front electrode structure in photovoltaic device or the like |
US20080308145A1 (en) * | 2007-06-12 | 2008-12-18 | Guardian Industries Corp | Front electrode including transparent conductive coating on etched glass substrate for use in photovoltaic device and method of making same |
US20080308146A1 (en) * | 2007-06-14 | 2008-12-18 | Guardian Industries Corp. | Front electrode including pyrolytic transparent conductive coating on textured glass substrate for use in photovoltaic device and method of making same |
US7888594B2 (en) * | 2007-11-20 | 2011-02-15 | Guardian Industries Corp. | Photovoltaic device including front electrode having titanium oxide inclusive layer with high refractive index |
US20090194155A1 (en) * | 2008-02-01 | 2009-08-06 | Guardian Industries Corp. | Front electrode having etched surface for use in photovoltaic device and method of making same |
US20090194157A1 (en) * | 2008-02-01 | 2009-08-06 | Guardian Industries Corp. | Front electrode having etched surface for use in photovoltaic device and method of making same |
US7915522B2 (en) | 2008-05-30 | 2011-03-29 | Twin Creeks Technologies, Inc. | Asymmetric surface texturing for use in a photovoltaic cell and method of making |
US8501522B2 (en) * | 2008-05-30 | 2013-08-06 | Gtat Corporation | Intermetal stack for use in a photovoltaic cell |
US8212246B2 (en) * | 2008-08-13 | 2012-07-03 | Board Of Regents, The University Of Texas System | N-type doping in metal oxides and metal chalcogenides by electrochemical methods |
US8022291B2 (en) * | 2008-10-15 | 2011-09-20 | Guardian Industries Corp. | Method of making front electrode of photovoltaic device having etched surface and corresponding photovoltaic device |
TW201027779A (en) * | 2008-11-19 | 2010-07-16 | First Solar Inc | Photovoltaic devices including heterojunctions |
BR112012002495A2 (pt) * | 2009-08-03 | 2019-09-24 | 3M Innovative Properties Co | "processo para formação de filmes delgados opticamente transparentes de metal condutivo ou liga metálica e filmes fabricados a partir dos mesmos" |
KR20110014913A (ko) * | 2009-08-06 | 2011-02-14 | 삼성전자주식회사 | 태양 전지 모듈 및 그 제조 방법 |
US20110041917A1 (en) * | 2009-08-24 | 2011-02-24 | First Solar, Inc. | Doped Transparent Conductive Oxide |
US20110132450A1 (en) * | 2009-11-08 | 2011-06-09 | First Solar, Inc. | Back Contact Deposition Using Water-Doped Gas Mixtures |
FR2972446B1 (fr) * | 2011-03-09 | 2017-11-24 | Saint Gobain | Substrat pour cellule photovoltaique |
US20130081688A1 (en) * | 2011-10-03 | 2013-04-04 | Intermolecular, Inc. | Back contacts for thin film solar cells |
US9614108B1 (en) * | 2012-04-20 | 2017-04-04 | Magnolia Solar, Inc. | Optically-thin chalcogenide solar cells |
US11367800B1 (en) | 2012-04-20 | 2022-06-21 | Magnolia Solar, Inc. | Optically-thin III-V solar cells and methods for constructing the same |
KR101920768B1 (ko) | 2012-09-11 | 2018-11-22 | 엘지디스플레이 주식회사 | 광전소자 및 이의 제조 방법 |
US9365450B2 (en) * | 2012-12-27 | 2016-06-14 | Intermolecular, Inc. | Base-layer consisting of two materials layer with extreme high/low index in low-e coating to improve the neutral color and transmittance performance |
JP2017151408A (ja) * | 2016-02-22 | 2017-08-31 | 株式会社タムロン | 赤外線透過膜、光学膜、反射防止膜、光学部品、光学系及び撮像装置 |
US11908965B1 (en) * | 2023-03-16 | 2024-02-20 | Lumenco, Llc | Solar photovoltaic (PV) panels or devices with infrared (IR) reflecting films for enhanced efficiency |
Family Cites Families (137)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL127148C (es) | 1963-12-23 | |||
US4155781A (en) | 1976-09-03 | 1979-05-22 | Siemens Aktiengesellschaft | Method of manufacturing solar cells, utilizing single-crystal whisker growth |
US4162505A (en) | 1978-04-24 | 1979-07-24 | Rca Corporation | Inverted amorphous silicon solar cell utilizing cermet layers |
US4163677A (en) | 1978-04-28 | 1979-08-07 | Rca Corporation | Schottky barrier amorphous silicon solar cell with thin doped region adjacent metal Schottky barrier |
US4213798A (en) | 1979-04-27 | 1980-07-22 | Rca Corporation | Tellurium schottky barrier contact for amorphous silicon solar cells |
US4378460A (en) | 1981-08-31 | 1983-03-29 | Rca Corporation | Metal electrode for amorphous silicon solar cells |
US4554727A (en) | 1982-08-04 | 1985-11-26 | Exxon Research & Engineering Company | Method for making optically enhanced thin film photovoltaic device using lithography defined random surfaces |
JPS59175166A (ja) | 1983-03-23 | 1984-10-03 | Agency Of Ind Science & Technol | アモルファス光電変換素子 |
US4598306A (en) | 1983-07-28 | 1986-07-01 | Energy Conversion Devices, Inc. | Barrier layer for photovoltaic devices |
JPH0680837B2 (ja) | 1983-08-29 | 1994-10-12 | 通商産業省工業技術院長 | 光路を延長した光電変換素子 |
US4689438A (en) | 1984-10-17 | 1987-08-25 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Photovoltaic device |
JPS61108176A (ja) | 1984-11-01 | 1986-05-26 | Fuji Electric Co Ltd | 粗面化方法 |
JPS61141185U (es) | 1985-02-25 | 1986-09-01 | ||
JPH0750793B2 (ja) | 1985-06-04 | 1995-05-31 | 工業技術院長 | 薄膜光電変換素子 |
US4663495A (en) | 1985-06-04 | 1987-05-05 | Atlantic Richfield Company | Transparent photovoltaic module |
GB2188924B (en) | 1986-04-08 | 1990-05-09 | Glaverbel | Matted glass, process of producing matted glass, photo-voltaic cell incorporating a glass sheet, and process of manufacturing such a cell |
JPS62179165U (es) | 1986-04-30 | 1987-11-13 | ||
DE3704880A1 (de) | 1986-07-11 | 1988-01-21 | Nukem Gmbh | Transparentes, leitfaehiges schichtsystem |
AU616736B2 (en) | 1988-03-03 | 1991-11-07 | Asahi Glass Company Limited | Amorphous oxide film and article having such film thereon |
US5091764A (en) | 1988-09-30 | 1992-02-25 | Kanegafuchi Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Semiconductor device having a transparent electrode and amorphous semiconductor layers |
JPH02106978A (ja) | 1988-10-15 | 1990-04-19 | Sanyo Electric Co Ltd | 集積型太陽電池の製造方法 |
US4940495A (en) | 1988-12-07 | 1990-07-10 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Photovoltaic device having light transmitting electrically conductive stacked films |
JP3117446B2 (ja) | 1989-06-15 | 2000-12-11 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 酸化物導電膜の成膜加工方法 |
DE4024308C2 (de) | 1989-07-31 | 1993-12-02 | Central Glass Co Ltd | Wärmeisolierglas mit dielektrischem Vielschichtenüberzug |
EP0436741B1 (en) | 1989-08-01 | 1996-06-26 | Asahi Glass Company Ltd. | DC sputtering method and target for producing films based on silicon dioxide |
WO1992007386A1 (en) | 1990-10-15 | 1992-04-30 | United Solar Systems Corporation | Monolithic solar cell array and method for its manufacture |
DE4126738A1 (de) | 1990-12-11 | 1992-06-17 | Claussen Nils | Zr0(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)-haltiger keramikformkoerper |
US5171411A (en) | 1991-05-21 | 1992-12-15 | The Boc Group, Inc. | Rotating cylindrical magnetron structure with self supporting zinc alloy target |
US5256858A (en) | 1991-08-29 | 1993-10-26 | Tomb Richard H | Modular insulation electrically heated building panel with evacuated chambers |
CA2081935C (en) * | 1991-11-22 | 2004-05-25 | Karl Eicken | Anilide derivatives and their use for combating botrytis |
US5699035A (en) | 1991-12-13 | 1997-12-16 | Symetrix Corporation | ZnO thin-film varistors and method of making the same |
JP2974485B2 (ja) | 1992-02-05 | 1999-11-10 | キヤノン株式会社 | 光起電力素子の製造法 |
SE9301441D0 (sv) * | 1993-04-28 | 1993-04-28 | Mamoun Muhammed | Controlled morphology particles |
EP0681335B1 (en) | 1993-09-30 | 2001-11-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Solar cell module having surface coating material of three-layer structure |
JP3029178B2 (ja) | 1994-04-27 | 2000-04-04 | キヤノン株式会社 | 薄膜半導体太陽電池の製造方法 |
GB9500330D0 (en) | 1995-01-09 | 1995-03-01 | Pilkington Plc | Coatings on glass |
FR2730990B1 (fr) | 1995-02-23 | 1997-04-04 | Saint Gobain Vitrage | Substrat transparent a revetement anti-reflets |
US5667853A (en) | 1995-03-22 | 1997-09-16 | Toppan Printing Co., Ltd. | Multilayered conductive film, and transparent electrode substrate and liquid crystal device using the same |
JP3431776B2 (ja) | 1995-11-13 | 2003-07-28 | シャープ株式会社 | 太陽電池用基板の製造方法および太陽電池用基板加工装置 |
US6433913B1 (en) | 1996-03-15 | 2002-08-13 | Gentex Corporation | Electro-optic device incorporating a discrete photovoltaic device and method and apparatus for making same |
GB9619134D0 (en) | 1996-09-13 | 1996-10-23 | Pilkington Plc | Improvements in or related to coated glass |
US6406639B2 (en) * | 1996-11-26 | 2002-06-18 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Method of partially forming oxide layer on glass substrate |
US6123824A (en) | 1996-12-13 | 2000-09-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing photo-electricity generating device |
DE19713215A1 (de) | 1997-03-27 | 1998-10-08 | Forschungszentrum Juelich Gmbh | Solarzelle mit texturierter TCO-Schicht sowie Verfahren zur Herstellung einer solchen TCO-Schicht für eine solche Solarzelle |
JP3805889B2 (ja) | 1997-06-20 | 2006-08-09 | 株式会社カネカ | 太陽電池モジュールおよびその製造方法 |
JPH1146006A (ja) | 1997-07-25 | 1999-02-16 | Canon Inc | 光起電力素子およびその製造方法 |
US6222117B1 (en) | 1998-01-05 | 2001-04-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Photovoltaic device, manufacturing method of photovoltaic device, photovoltaic device integrated with building material and power-generating apparatus |
EP1063317B1 (en) | 1998-03-05 | 2003-07-30 | Asahi Glass Company Ltd. | Sputtering target, transparent conductive film, and method for producing the same |
JP4010053B2 (ja) | 1998-04-15 | 2007-11-21 | 旭硝子株式会社 | 太陽電池用カバーガラス及びその製造方法並びに太陽電池 |
US6344608B2 (en) | 1998-06-30 | 2002-02-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Photovoltaic element |
FR2781062B1 (fr) | 1998-07-09 | 2002-07-12 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage a proprietes optiques et/ou energetiques electrocommandables |
US6077722A (en) | 1998-07-14 | 2000-06-20 | Bp Solarex | Producing thin film photovoltaic modules with high integrity interconnects and dual layer contacts |
CA2341629A1 (en) | 1998-08-26 | 2000-03-09 | Hodaka Norimatsu | Photovoltaic device |
JP2000091084A (ja) | 1998-09-16 | 2000-03-31 | Trustees Of Princeton Univ | ホ―ル注入性改良電極 |
DE19848751C1 (de) * | 1998-10-22 | 1999-12-16 | Ver Glaswerke Gmbh | Schichtsystem für transparente Substrate |
FR2791147B1 (fr) | 1999-03-19 | 2002-08-30 | Saint Gobain Vitrage | Dispositif electrochimique du type dispositif electrocommandable a proprietes optiques et/ou energetiques variables |
TW463528B (en) | 1999-04-05 | 2001-11-11 | Idemitsu Kosan Co | Organic electroluminescence element and their preparation |
NO314525B1 (no) | 1999-04-22 | 2003-03-31 | Thin Film Electronics Asa | Fremgangsmåte ved fremstillingen av organiske halvledende innretninger i tynnfilm |
US6187824B1 (en) | 1999-08-25 | 2001-02-13 | Nyacol Nano Technologies, Inc. | Zinc oxide sol and method of making |
DE19958878B4 (de) | 1999-12-07 | 2012-01-19 | Saint-Gobain Glass Deutschland Gmbh | Dünnschicht-Solarzelle |
JP4434411B2 (ja) | 2000-02-16 | 2010-03-17 | 出光興産株式会社 | アクティブ駆動型有機el発光装置およびその製造方法 |
US6524647B1 (en) | 2000-03-24 | 2003-02-25 | Pilkington Plc | Method of forming niobium doped tin oxide coatings on glass and coated glass formed thereby |
US6660410B2 (en) | 2000-03-27 | 2003-12-09 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Organic electroluminescence element |
US6576349B2 (en) | 2000-07-10 | 2003-06-10 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable low-E coated articles and methods of making same |
US7267879B2 (en) | 2001-02-28 | 2007-09-11 | Guardian Industries Corp. | Coated article with silicon oxynitride adjacent glass |
US6963168B2 (en) | 2000-08-23 | 2005-11-08 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Organic EL display device having certain relationships among constituent element refractive indices |
US6784361B2 (en) | 2000-09-20 | 2004-08-31 | Bp Corporation North America Inc. | Amorphous silicon photovoltaic devices |
JP2002260448A (ja) | 2000-11-21 | 2002-09-13 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 導電膜、その製造方法、それを備えた基板および光電変換装置 |
JP2002170431A (ja) | 2000-11-29 | 2002-06-14 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 電極基板およびその製造方法 |
JP4225531B2 (ja) | 2001-02-07 | 2009-02-18 | 京セミ株式会社 | 放射線検出器および放射線検出素子 |
KR100768176B1 (ko) | 2001-02-07 | 2007-10-17 | 삼성에스디아이 주식회사 | 광학적 전기적 특성을 지닌 기능성 박막 |
US6774300B2 (en) | 2001-04-27 | 2004-08-10 | Adrena, Inc. | Apparatus and method for photovoltaic energy production based on internal charge emission in a solid-state heterostructure |
WO2002091483A2 (en) | 2001-05-08 | 2002-11-14 | Bp Corporation North America Inc. | Improved photovoltaic device |
US20030118865A1 (en) | 2001-08-27 | 2003-06-26 | Marks Tobin J. | High work function transparent conducting oxides as anodes for organic light-emitting diodes |
US6589657B2 (en) | 2001-08-31 | 2003-07-08 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Anti-reflection coatings and associated methods |
JP4162447B2 (ja) | 2001-09-28 | 2008-10-08 | 三洋電機株式会社 | 光起電力素子及び光起電力装置 |
US6936347B2 (en) | 2001-10-17 | 2005-08-30 | Guardian Industries Corp. | Coated article with high visible transmission and low emissivity |
FR2832706B1 (fr) | 2001-11-28 | 2004-07-23 | Saint Gobain | Substrat transparent muni d'une electrode |
US6830817B2 (en) | 2001-12-21 | 2004-12-14 | Guardian Industries Corp. | Low-e coating with high visible transmission |
KR100835920B1 (ko) | 2001-12-27 | 2008-06-09 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치패널 일체형 액정패널 |
US7169722B2 (en) | 2002-01-28 | 2007-01-30 | Guardian Industries Corp. | Clear glass composition with high visible transmittance |
US7037869B2 (en) | 2002-01-28 | 2006-05-02 | Guardian Industries Corp. | Clear glass composition |
US7144837B2 (en) | 2002-01-28 | 2006-12-05 | Guardian Industries Corp. | Clear glass composition with high visible transmittance |
US6919133B2 (en) | 2002-03-01 | 2005-07-19 | Cardinal Cg Company | Thin film coating having transparent base layer |
TWI254080B (en) | 2002-03-27 | 2006-05-01 | Sumitomo Metal Mining Co | Transparent conductive thin film, process for producing the same, sintered target for producing the same, and transparent, electroconductive substrate for display panel, and organic electroluminescence device |
FR2844136B1 (fr) | 2002-09-03 | 2006-07-28 | Corning Inc | Materiau utilisable dans la fabrication de dispositifs d'affichage lumineux en particulier de diodes electroluminescentes organiques |
FR2844364B1 (fr) | 2002-09-11 | 2004-12-17 | Saint Gobain | Substrat diffusant |
WO2004043871A1 (fr) * | 2002-11-07 | 2004-05-27 | Saint-Gobain Glass France | Systeme de couches pour substrats transparents et substrat revêtu |
US7141863B1 (en) | 2002-11-27 | 2006-11-28 | University Of Toledo | Method of making diode structures |
TW583466B (en) | 2002-12-09 | 2004-04-11 | Hannstar Display Corp | Structure of liquid crystal display |
US6975067B2 (en) | 2002-12-19 | 2005-12-13 | 3M Innovative Properties Company | Organic electroluminescent device and encapsulation method |
TWI232066B (en) | 2002-12-25 | 2005-05-01 | Au Optronics Corp | Manufacturing method of organic light emitting diode for reducing reflection of external light |
JP4241446B2 (ja) | 2003-03-26 | 2009-03-18 | キヤノン株式会社 | 積層型光起電力素子 |
EP1624494A4 (en) | 2003-05-13 | 2007-10-10 | Asahi Glass Co Ltd | TRANSPARENT CONDUCTIVE SUBSTRATE FOR SOLAR BATTERY AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME |
JP3993530B2 (ja) * | 2003-05-16 | 2007-10-17 | 株式会社神戸製鋼所 | Ag−Bi系合金スパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
US20040244829A1 (en) * | 2003-06-04 | 2004-12-09 | Rearick Brian K. | Coatings for encapsulation of photovoltaic cells |
US7087309B2 (en) | 2003-08-22 | 2006-08-08 | Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) | Coated article with tin oxide, silicon nitride and/or zinc oxide under IR reflecting layer and corresponding method |
US7153579B2 (en) | 2003-08-22 | 2006-12-26 | Centre Luxembourgeois de Recherches pour le Verre et la Ceramique S.A, (C.R.V.C.) | Heat treatable coated article with tin oxide inclusive layer between titanium oxide and silicon nitride |
JP4761706B2 (ja) | 2003-12-25 | 2011-08-31 | 京セラ株式会社 | 光電変換装置の製造方法 |
AU2005216954B2 (en) * | 2004-02-25 | 2010-03-18 | Agc Flat Glass North America, Inc. | Heat stabilized sub-stoichiometric dielectrics |
US8524051B2 (en) * | 2004-05-18 | 2013-09-03 | Centre Luxembourg de Recherches pour le Verre et al Ceramique S. A. (C.R.V.C.) | Coated article with oxidation graded layer proximate IR reflecting layer(s) and corresponding method |
US20050257824A1 (en) | 2004-05-24 | 2005-11-24 | Maltby Michael G | Photovoltaic cell including capping layer |
FR2874607B1 (fr) * | 2004-08-31 | 2008-05-02 | Saint Gobain | Vitrage feuillete muni d'un empilement de couches minces reflechissant les infrarouges et/ou le rayonnement solaire et d'un moyen de chauffage. |
US7419725B2 (en) * | 2004-09-01 | 2008-09-02 | Guardian Industries Corp. | Coated article with low-E coating including IR reflecting layer(s) and corresponding method |
US7700869B2 (en) | 2005-02-03 | 2010-04-20 | Guardian Industries Corp. | Solar cell low iron patterned glass and method of making same |
US7531239B2 (en) | 2005-04-06 | 2009-05-12 | Eclipse Energy Systems Inc | Transparent electrode |
US7743630B2 (en) | 2005-05-05 | 2010-06-29 | Guardian Industries Corp. | Method of making float glass with transparent conductive oxide (TCO) film integrally formed on tin bath side of glass and corresponding product |
US7700870B2 (en) | 2005-05-05 | 2010-04-20 | Guardian Industries Corp. | Solar cell using low iron high transmission glass with antimony and corresponding method |
US8093491B2 (en) | 2005-06-03 | 2012-01-10 | Ferro Corporation | Lead free solar cell contacts |
US7597964B2 (en) | 2005-08-02 | 2009-10-06 | Guardian Industries Corp. | Thermally tempered coated article with transparent conductive oxide (TCO) coating |
JP2007067194A (ja) | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Fujifilm Corp | 有機光電変換素子、および積層型光電変換素子 |
US20070184573A1 (en) | 2006-02-08 | 2007-08-09 | Guardian Industries Corp., | Method of making a thermally treated coated article with transparent conductive oxide (TCO) coating for use in a semiconductor device |
US20070193624A1 (en) | 2006-02-23 | 2007-08-23 | Guardian Industries Corp. | Indium zinc oxide based front contact for photovoltaic device and method of making same |
US7557053B2 (en) | 2006-03-13 | 2009-07-07 | Guardian Industries Corp. | Low iron high transmission float glass for solar cell applications and method of making same |
US8648252B2 (en) | 2006-03-13 | 2014-02-11 | Guardian Industries Corp. | Solar cell using low iron high transmission glass and corresponding method |
US20080047602A1 (en) | 2006-08-22 | 2008-02-28 | Guardian Industries Corp. | Front contact with high-function TCO for use in photovoltaic device and method of making same |
US20080047603A1 (en) | 2006-08-24 | 2008-02-28 | Guardian Industries Corp. | Front contact with intermediate layer(s) adjacent thereto for use in photovoltaic device and method of making same |
WO2008036769A2 (en) | 2006-09-19 | 2008-03-27 | Itn Energy Systems, Inc. | Semi-transparent dual layer back contact for bifacial and tandem junction thin-film photovolataic devices |
US20080105293A1 (en) | 2006-11-02 | 2008-05-08 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US20080105298A1 (en) | 2006-11-02 | 2008-05-08 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US20080178932A1 (en) | 2006-11-02 | 2008-07-31 | Guardian Industries Corp. | Front electrode including transparent conductive coating on patterned glass substrate for use in photovoltaic device and method of making same |
US20080302414A1 (en) | 2006-11-02 | 2008-12-11 | Den Boer Willem | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US8076571B2 (en) | 2006-11-02 | 2011-12-13 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US7964788B2 (en) | 2006-11-02 | 2011-06-21 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
WO2008063305A2 (en) | 2006-11-02 | 2008-05-29 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US20080105299A1 (en) | 2006-11-02 | 2008-05-08 | Guardian Industries Corp. | Front electrode with thin metal film layer and high work-function buffer layer for use in photovoltaic device and method of making same |
US8012317B2 (en) | 2006-11-02 | 2011-09-06 | Guardian Industries Corp. | Front electrode including transparent conductive coating on patterned glass substrate for use in photovoltaic device and method of making same |
US8203073B2 (en) | 2006-11-02 | 2012-06-19 | Guardian Industries Corp. | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same |
US8334452B2 (en) | 2007-01-08 | 2012-12-18 | Guardian Industries Corp. | Zinc oxide based front electrode doped with yttrium for use in photovoltaic device or the like |
US20080169021A1 (en) | 2007-01-16 | 2008-07-17 | Guardian Industries Corp. | Method of making TCO front electrode for use in photovoltaic device or the like |
US20080223430A1 (en) | 2007-03-14 | 2008-09-18 | Guardian Industries Corp. | Buffer layer for front electrode structure in photovoltaic device or the like |
US20080223436A1 (en) | 2007-03-15 | 2008-09-18 | Guardian Industries Corp. | Back reflector for use in photovoltaic device |
US20080308145A1 (en) | 2007-06-12 | 2008-12-18 | Guardian Industries Corp | Front electrode including transparent conductive coating on etched glass substrate for use in photovoltaic device and method of making same |
US20080308146A1 (en) | 2007-06-14 | 2008-12-18 | Guardian Industries Corp. | Front electrode including pyrolytic transparent conductive coating on textured glass substrate for use in photovoltaic device and method of making same |
US7888594B2 (en) | 2007-11-20 | 2011-02-15 | Guardian Industries Corp. | Photovoltaic device including front electrode having titanium oxide inclusive layer with high refractive index |
US20090194155A1 (en) | 2008-02-01 | 2009-08-06 | Guardian Industries Corp. | Front electrode having etched surface for use in photovoltaic device and method of making same |
US20090194157A1 (en) | 2008-02-01 | 2009-08-06 | Guardian Industries Corp. | Front electrode having etched surface for use in photovoltaic device and method of making same |
-
2007
- 2007-01-08 US US11/650,564 patent/US8334452B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-12-13 PL PL07862852T patent/PL2100335T3/pl unknown
- 2007-12-13 WO PCT/US2007/025484 patent/WO2008085264A1/en active Application Filing
- 2007-12-13 EP EP07862852A patent/EP2100335B1/en not_active Not-in-force
- 2007-12-13 ES ES07862852T patent/ES2347494T3/es active Active
- 2007-12-13 AT AT07862852T patent/ATE471573T1/de not_active IP Right Cessation
- 2007-12-13 DE DE602007007241T patent/DE602007007241D1/de active Active
-
2012
- 2012-11-16 US US13/678,777 patent/US8936842B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE602007007241D1 (de) | 2010-07-29 |
US8936842B2 (en) | 2015-01-20 |
EP2100335B1 (en) | 2010-06-16 |
ATE471573T1 (de) | 2010-07-15 |
US20130074922A1 (en) | 2013-03-28 |
EP2100335A1 (en) | 2009-09-16 |
PL2100335T3 (pl) | 2010-11-30 |
US20080163929A1 (en) | 2008-07-10 |
US8334452B2 (en) | 2012-12-18 |
WO2008085264A1 (en) | 2008-07-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ES2347494T3 (es) | Electrodo frontal a base de oxido de cinc dopado con itrio para su uso en dispositivo fotovoltaico similares. | |
ES2396570T3 (es) | Electrodo frontal con capa de película delgada de metal y capa de tampón de alta función de trabajo para uso en dispositivo fotovoltaico y procedimiento de fabricar el mismo | |
ES2372131T3 (es) | Perfeccionamientos aportados a elementos capaces de recoger la luz. | |
US7888594B2 (en) | Photovoltaic device including front electrode having titanium oxide inclusive layer with high refractive index | |
US8076571B2 (en) | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same | |
US7964788B2 (en) | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same | |
US20070193624A1 (en) | Indium zinc oxide based front contact for photovoltaic device and method of making same | |
US8133747B2 (en) | Textured rear electrode structure for use in photovoltaic device such as CIGS/CIS solar cell | |
US20080105298A1 (en) | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same | |
JP5330400B2 (ja) | 改良された抵抗率を有する層で被覆したガラス基板 | |
US20080169021A1 (en) | Method of making TCO front electrode for use in photovoltaic device or the like | |
US20080107799A1 (en) | Front electrode including transparent conductive coating on patterned glass substrate for use in photovoltaic device and method of making same | |
US20080178932A1 (en) | Front electrode including transparent conductive coating on patterned glass substrate for use in photovoltaic device and method of making same | |
US20080223430A1 (en) | Buffer layer for front electrode structure in photovoltaic device or the like | |
US20080308145A1 (en) | Front electrode including transparent conductive coating on etched glass substrate for use in photovoltaic device and method of making same | |
US8445373B2 (en) | Method of enhancing the conductive and optical properties of deposited indium tin oxide (ITO) thin films | |
CA2666687A1 (en) | Front electrode for use in photovoltaic device and method of making same | |
US8354586B2 (en) | Transparent conductor film stack with cadmium stannate, corresponding photovoltaic device, and method of making same | |
CN102781867A (zh) | 光伏电池 | |
US20130319523A1 (en) | Conductive transparent glass substrate for photovoltaic cell | |
US20110180130A1 (en) | Highly-conductive and textured front transparent electrode for a-si thin-film solar cells, and/or method of making the same |