WO2004043871A1 - Systeme de couches pour substrats transparents et substrat revêtu - Google Patents

Systeme de couches pour substrats transparents et substrat revêtu Download PDF

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Heinz Schicht
Herbert Schindler
Uwe Schmidt
Lars Ihlo
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Saint-Gobain Glass France
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Definitions

  • the invention relates to a layer system for transparent substrates, in particular for glass panes, having at least one layer of mixed oxides in ZnO, Ti0 2 , produced by reactive sputtering from a metal target alloy. and at least one additional metal oxide.
  • Layer systems for glass panes or other transparent substrates generally have one or more layers of silver as a functional layer, as well as an upper antireflection layer and a lower antireflection layer of metal oxide. Between the anti-reflective layers and the silver layer or the silver layers, one or more additional uholes can be arranged, which favor the construction of the silver layer and / or which prevent the diffusion of annoying elements in the layer. silver.
  • As a layer system it may be a layer system with low emissivity [Low-E or low emissivity] function of thermal insulation and / or systems of this kind, having a sun protection function. Low emissivity systems are neutral color systems with high light transmission and high transmission for radiant heat from the sun, in order to save energy in construction.
  • the layer systems are applied using the sputtering assisted cathode sputtering process.
  • the surface layers are exposed to mechanical stresses, and above all, in countries with a maritime climate, also to aggressive chemical stresses.
  • a layer system with a layer of mixed oxides of the kind mentioned at the beginning is known from document EP-B1-0 304 234.
  • the layer of mixed oxides consists of at least two oxides metallic, one of which is an oxide of Ti, Zr or Hf and the other of which is an oxide of Zn, Sn, In or Bi.
  • the mixed oxide layer can in this case be produced by simultaneous spraying from several different metal targets or from a target alloy containing the two metals. * ⁇ We know, through document EP-A1-0 922 681, with a view to increasing the mechanical and chemical resistance, how to produce the upper antireflection layer from two partial layers, including the layer upper part consists of a mixed oxide based on zinc and aluminum, in particular having a spinel structure of the ZnAl 2 0 4 type .
  • Document DE-C1-198 48 751 describes a layer system having a mixed oxide layer, which contains, relative to the total proportion of metals, from 35 to 70% by weight of Zn, from 29 to 64.5 % by weight of Sn and from 0.5 to 6.5% by weight of one or more of the elements Al, Ga, In, B, Y, La, Ge, Si, As, Sb, Bi, Ce, Ti , Zr, Nb and Ta.
  • the layer system described in document EP-A1-0 593 883 in which the upper anti-reflective layer is produced in the form of a non-metallic triple layer, which consists of two layers zinc oxide and a layer of titanium oxide disposed between them, which have been sprayed one after the other.
  • the triple layer can be covered with an additional top layer of titanium oxide.
  • the paper assume that, during the deposition process of the coating, is formed between the layers of zinc oxide and oxide layer of "titanium, zinc titanate layer is in the field sub nanometric, thanks to which the protective action with regard to environmental influences is reinforced. From an analytical point of view, however, it is not possible to detect intermediate layers of zinc titanate in the case of this layer system. .
  • the fundamental object of the invention is to further improve the layer systems having at least one layer of mixed oxides in ZnO and in Ti0 2 , on the one hand, as regards their hardness and their chemical resistance and, on the other hand, to avoid the difficulties occurring during the sputtering process of Zn-Ti alloys.
  • the functional layer of the layer system according to the invention is preferably a layer of metallic nature, chosen in particular from silver, gold, platinum, advantageously silver.
  • the mixed oxide layer composed according to the invention preferably has a thickness of 2 to 20 nm and can be placed within the layer system in principle at any location. It appropriately forms, however, as a partial layer of the upper anti-reflective layer, the actual finishing layer of the layer system.
  • the lower antireflection layer and the other partial layer of the upper antireflection layer can consist, for example, of Sn0 2 , ZnO, Ti0 2 and / or Bi 2 0 3 .
  • ZnO and Ti0 2 are present in the layer of mixed oxides in molar ratios of the order of 1: 1 to 2: 1, in particular molar ratios of 1: 1 or 2: 1, which means as ZnTi0 3 or as Zn 2 Ti0 4 .
  • the proportion of the oxides Al 2 0 3 , Ga 2 0 3 , and / or Sb 2 0 3 in the layer of mixed oxides is preferably from 0.5 to 8% by weight.
  • the target alloys thanks to which it is possible to manufacture layers of mixed oxides of this kind, have, in a corresponding manner, from 90 to 40% by weight of Zn, from 10 to 60% by weight of Ti and from 0 , 5 to 8% by weight of one or more of the metals Al, Ga and " Sb.
  • the invention also relates to a transparent substrate coated with the layer system as described above.
  • the substrate is advantageously a glazing unit, composed of at least one sheet of glass or of plastic material.
  • a needle loaded with a weight is drawn at a speed defined on the layer.
  • the weight at which the scratches become visible is used as a measure of the hardness at the scratch.
  • the layer is stressed using a friction roller with a defined particle size under a pressure " Defined application and a predetermined number of revolutions.
  • the attacked layer is evaluated microscopically.
  • the portion of undestroyed layer is indicated in %.
  • the proportion of diffracted light which results from the layer modifications is measured using a diffracted light measuring device from the company Gardner.
  • the proportion of diffracted light is indicated in%.
  • the layer of mixed oxides forming the finishing layer was applied by sputtering in accordance with document DE-C1-198 48 751, from a metal target of the composition 68% by weight of Zn, 30% by weight of Sn and 2% by weight of Sb, in an atmosphere of working gas Ar / 0 2 .
  • the same sequence of layers was deposited on 4 mm thick float glass panes, with the only difference that the finish layer of mixed oxides was replaced by a mixed stoichiometric oxide, which was applied by sputtering in accordance with document EP-A1-0 922 681, from a metal target alloy of the composition 55% by weight of Zn and 45% by weight of Al.
  • the sequence of layers was as follows:
  • the layer system had the following structure: Glass - 20 nm of Sn0 2 - 17 nm of ZnO - 11 nm of Ag - 2 nm of CrNi - 38 nm of Sn0 2 - 3 nm of Zn ⁇ / Zn 2 Ti0.
  • This layer system had the following properties. 1. 112 - 193 g
  • the layer according to the invention was applied by sputtering to the same sequence of layers, as a finishing layer, from a target of the composition. 71% by weight of Zn, 27% by weight of Ti and 2% by weight of Al. For a ratio Ar / 0 2 of the working gas of 70:30, it was possible to deposit a layer of Zn 2 Ti0 4, essentially stoichiometric, having a high surface smoothness. The sputtering operation went smoothly.
  • the layering system had the following structure:

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Abstract

Un système de couches pour le revêtement de surface de substrats transparents, en particulier un système de couches à faible pouvoir émissif (Low-E) pour vitres en verre, présente au moins une couche d'oxydes mixtes fabriquée par pulvérisation cathodique réactive à partir d'un alliage-cible métallique. La couche d'oxydes mixtes se compose de ZnO, Ti0>2< et d'au moins l'un des oxydes AL>2<0>3<, GA>2<0>3< ET SB>2<0>3<. Elle peut servir de couche antireflet supérieure et/ou inférieure, de couche partielle d'une couche antireflet et/ou de couche de finition supérieure. Un tel système de couches se caractérise par une dureté élevée et par une très bonne résistance au climat maritime.

Description

Système de couches pour substrats transparents et substrat revêtu
L'invention se rapporte à un système de couches pour substrats transparents, en particulier pour vitres en verre, ayant au moins une couche d'oxydes mixtes en ZnO, Ti02, fabriquée par pulvérisation cathodique réactive à partir d'un alliage-cible métallique et au moins un oxyde métallique supplémentaire.
Les systèmes de couches pour vitres en verre ou autres substrats transparents présentent, en règle générale, en tant que couche fonctionnelle, une ou plusieurs couches d'argent, ainsi qu'une couche antireflet supérieure et une couche antireflet inférieure en oxyde métallique. Entre les couches antireflet et la couche d'argent ou les couches d'argent, peuvent être disposées une ou plusieurs ΞOuches supplémentaires, qui favorisent la construction de la couche d'argent et/ou qui empêchent la diffusion d'éléments gênants dans la couche d'argent. En fait de systèmes de couches, il peut s'agir de systèmes de couche à faible pouvoir émissif [Low-E ou bas émissifs] a fonction d'isolation thermique et/ou de systèmes de ce genre, ayant une fonction de protection solaire. Les systèmes à faible pouvoir émissif sont des systèmes de couleur neutre ayant une transmission lumineuse élevée et une transmission élevée pour la chaleur de rayonnement du soleil, dans l'optique d'une économie d'énergie dans la construction. Lors de la fabrication industrielle, l'on applique les systèmes de couches à l'aide du procédé de pulvérisation cathodique assistée par champ magnétique (sputtering) .
Au cours du transport et du stockage, les couches superficielles sont exposées à des sollicitations mécaniques, et avant tout, dans les pays à climat maritime, également à des sollicitations chimiques agressives. Pour augmenter la capacité de résistance mécanique et chimique du système de couches, l'on sait comment réaliser une ou plusieurs des couches d'oxydes, en particulier la couche antireflet supérieure ou une couche partielle de la couche antireflet supérieure, en particulier la couche de finition la plus supérieure, sous la forme d'une couche d'oxyde mixte, ce qui veut dire en tant que couche composée d'un ou de plusieurs oxydes. C'est ainsi que la dureté et la résistance chimique du système de couches peuvent être améliorées. Un système de couches à une couche d'oxydes mixtes du genre cité au début est connu par l'intermédiaire du document EP-B1-0 304 234. Dans ce cas, la couche d'oxydes mixtes se compose d'au moins deux oxydes métalliques, dont l'un est un oxyde de Ti, Zr ou Hf et dont l'autre est un oxyde de Zn, Sn, In ou Bi . La couche d'oxydes mixtes peut en l'occurrence être fabriquée par une pulvérisation simultanée à partir de plusieurs cibles métalliques différentes ou d'un alliage-cible contenant les deux métaux. *~ L'on sait, par l'intermédiaire du document EP-A1-0 922 681, en vue de l'augmentation de la résistance mécanique et chimique, comment réaliser la couche antireflet supérieure à partir de deux couches partielles, dont la couche partielle supérieure se compose d'un oxyde mixte à base de zinc et d'aluminium, en particulier ayant une structure de spinelle du type ZnAl204.
Le document DE-C1-198 48 751 décrit un système de couches ayant une couche d'oxydes mixtes, qui contient, par rapport à la proportion de métaux totale, de 35 à 70 % en poids de Zn, de 29 à 64,5 % en poids de Sn et de 0,5 à 6,5 % en poids d'un ou de plusieurs des éléments Al, Ga, In, B, Y, La, Ge, Si, As, Sb, Bi, Ce, Ti, Zr, Nb et Ta.
L'on connaît, à partir du document US-A-4, 996, 105, des systèmes de couches à couches d'oxydes mixtes de la composition Snx-xZ xOy. Les couches d'oxydes mixtes sont réalisées par pulvérisation d'un alliage stoechiométrique zinc-étain, pour lequel le rapport Zn:Sn est de 1,1 % atomique. Les documents EP-A1-0 464 789 et EP-A1-0 751 099 décrivent également des systèmes de couches à couches antireflet faites d'oxydes mixtes. Dans ce cas, les couches d'oxydes mixtes à base de ZnO ou de SnO, contiennent une addition de Sn, Al, Cr, Ti , Si, B, Mg ou Ga.
A l'état de la technique appartient également le système de couches décrit dans le document EP-A1-0 593 883, dans lequel la couche antireflet supérieure est réalisée sous la forme d'une couche triple non métallique, qui se compose de deux couches d'oxyde de zinc et d'une couche d'oxyde de titane disposée entre ces dernières, qui ont été pulvérisées l'une après l'autre. La couche triple peut être recouverte d'une couche de finition supplémentaire en oxyde de titane. Les auteurs du document supposent que, pendant la procédure de dépôt du revêtement, il se forme, entre les couches d' oxyde de zinc et la couche d' oxyde de "tïtane, une couche de titanate de zinc se situant dans le domaine sous-nanométrique, grâce à laquelle l'action de protection à l'égard des influences environnementales est renforcée. Du point de vue analytique, il n'est cependant pas possible de déceler des couches intermédiaires en titanate de zinc dans le cas de ce système de couches.
Dans le cas d'installations de revêtement industrielles, la pulvérisation de couches de titanate de zinc à partir d'alliages-cibles Zn-Ti est associée à des difficultés. Tout particulièrement au début du processus de sputtering, il se produit en effet, dans le cas de ce matériau, au niveau de la cible et des pièces de la chambre de sputtering, des dépôts isolants du point de vue électrique, qui ont pour conséquence la formation de produits défectueux et, par conséquent, des rejets de production.
L'objet fondamental de l'invention est d'améliorer encore les systèmes de couches ayant au moins une couche d'oxydes mixtes en ZnO et en Ti02, d'une part, en ce qui concerne leur dureté et leur résistance chimique et, d'autre part, d'éviter les difficultés se produisant lors du processus de sputtering d' alliages Zn-Ti.
Cet objet est résolu selon l'invention grâce aux caractéristiques de la revendication 1.
La couche fonctionnelle du système de couches selon l'invention est de préférence une couche de nature métallique, choisie notamment parmi l'argent, l'or, le platine, avantageusement l'argent. La couche d'oxydes mixtes composée selon l'invention a de préférence une épaisseur de 2 à 20 nm et peut être disposée au sein du système de couches en principe à un endroit quelconque. Elle forme de manière appropriée, toutefois, en tant que couche partielle de la couche antireflet supérieure, la couche de finition proprement dite du système de couches. La couche antireflet inférieure et l'autre couche partielle de la couche antireflet supérieure peuvent se composer par exemple de Sn02, de ZnO, de Ti02 et/ou de Bi203. Dans un mode de réalisation préféré de l'invention, ZnO et Ti02 sont présents dans la couche d'oxydes mixtes dans des rapports molaires de l'ordre de 1:1 à 2:1, notamment des rapports molaires de 1:1 ou 2:1, ce qui veut dire en tant que ZnTi03 ou en tant que Zn2Ti04. La proportion des oxydes Al203, Ga203, et/ou Sb203 dans la couche d'oxydes mixtes est de préférence de 0,5 à 8 % en poids.
Les alliages-cibles, grâce auxquels l'on peut fabriquer des couches d'oxydes mixtes de ce genre, présentent, de manière correspondante, de 90 à 40 % en poids de Zn, de 10 à 60 % en poids de Ti et de 0,5 à 8 % en poids d'un ou de plusieurs des métaux Al, Ga et " Sb.
L'invention a également pour objet un substrat transparent revêtu du système de couches tel que décrit ci-dessus. Le substrat est avantageusement un vitrage, composé d' au moins une feuille de verre ou de matière plastique .
Dans la suite, l'on oppose trois exemples comparatifs de systèmes de couches à couches d'oxydes mixtes fabriqués conformément à l'état de la technique, à un exemple de réalisation selon l'invention. Les systèmes de couches présentent en l'occurrence pour tous les exemples la même séquence de couches et la couche d'oxydes mixtes forme, dans tous les cas, la couche de finition supérieure.
En vue de l'évaluation des propriétés des couches, l'on a effectué, dans le cas de tous les exemples, huit essais différents, à savoir
1. L'essai de dureté au rayage
L'on tire en l'occurrence une aiguille chargée d'un poids à une vitesse définie sur la couche. Le poids pour lequel les rayures deviennent visibles sert de mesure de la dureté au rayage.
2. L'essai Taber
La couche est sollicitée à l'aide d'un rouleau de friction d'une granulométrie définie sous une pression "Supplication définie et un nombre de tours prédéterminé. La couche attaquée est évaluée par voie microscopique. La portion de couche non détruite est indiquée en % .
3. L'essai de lavage Erichsen conformément à la norme ÂSTM 2486 Évaluation visuelle des rayures après 1000 courses de va-et-vient .
4. L'essai de résistance aux eaux de condensation conformément à la norme DIN 50021
Évaluation visuelle des modifications de la couche après 240 heures.
5. Mesure de la lumière diffractee
Après l'essai de résistance aux eaux de condensation, l'on mesure, à l'aide d'un appareil de mesure de la lumière diffractee de la société Gardner, la proportion de lumière diffractee qui résulte des modifications de couche. La proportion de lumière diffractee est indiquée en %.
6. Essai EMK
Cet essai est décrit dans la publication Z. Silikattechnik 32 (1981), page 216. Il permet une estimation relative à la qualité de passivation de la couche de finition au-dessus de la couche en argent ainsi qu'au comportement de corrosion de la couche Ag. La qualité de la couche est d'autant meilleure que la différence de potentiel (en mV) entre le système de couches et l'électrode de référence est plus faible.
7. Essai au brouillard salin conformément à la norme DIN 500021 / Évaluation visuelle des modifications de la couche.
8. Essai de changement du climat conformément à la norme DIN 52344 / Évaluation visuelle des modifications de couche .
L'on fera référence à ces essais dans la suite par leur numérotation.
Exemple comparatif 1:
Dans une installation en défilement à magnétron industrielle, l'on a appliqué, sur des vitres en verre
"flotté de 4 mm d'épaisseur, un système de couches conformément à l'état de la technique, ayant la séquence de couches suivante:
"Verre - 20 nm de Sn02 - 17 nm de ZnO - 11 nm de Ag - 2 nm de CrNi - 38 nm de Sn02 - 2 nm de ZnxSnySbzOn.
La couche d'oxydes mixtes formant la couche de finition a été appliquée par pulvérisation cathodique conformément au document DE-C1-198 48 751, à partir d'une cible métallique de la composition 68 % en poids de Zn, 30 % en poids de Sn et 2 % en poids de Sb, dans une atmosphère de gaz de travail Ar/02. Les essais n° 1 à 8, effectués sur ce système de couches, ont fourni les valeurs suivantes:
1. 30 - 175 g
2. 87%
3. 11 petites rayures 4. taches rouges
5. 0,23 %
6. 111 mV
7. défauts ponctuels après 24 heures
8. emplacements mats après 24 heures Exemple comparatif 2:
Sur la même installation de revêtement, l'on a déposé la même séquence de couches sur des vitres en verre flotté de 4 mm d'épaisseur, à la seule différence de ce que la couche de finition d'oxydes mixtes a été remplacée par un oxyde mixte stoechiométrique, qui a été appliqué par pulvérisation cathodique conformément au document EP-A1-0 922 681, à partir d'un alliage- cible métallique de la composition 55 % en poids de Zn et 45 % en poids de Al. La séquence de couches était comme suit:
Verre - 20 nm de Sn02 - 17 nm de ZnO - 11 nm de Ag - 2 nm de CrNi - 38 nm de Sn02 - 3 nm de ZnAl20 .
Les essais ont fourni l'évaluation de couche suivante:
1. 49 -119 g
2. 83 - 90%
3. aucune rayure
-4-r un défaut ponctuel 5. 0,26% 6. 190 mV
1 . défauts ponctuels après 24 heures 8. points de corrosion après 24 heures Exemple comparatif 3: Pour une construction de couche identique en principe aux exemples précédents, l'on a appliqué une couche de finition d'oxydes mixtes en ZnO et en Ti02, dans le cas de laquelle la couche d'oxydes mixtes contenait 3 % at . de Ti, par rapport à sa teneur en métaux totale. Une couche de finition de ce genre est décrite dans le document EP-A1-0 751 099. Elle a été appliquée à partir d'une cible de la composition 97 % ' at . de Zn et 3 % at . de Ti sur la même installation de pulvérisation cathodique dans une atmosphère réactive de gaz de travail Ar/02 et a conduit à une couche d'oxydes mixtes non stoechiométrique de la composition qualitative Zn0/Zn2Ti04. Le système de couches avait la structure suivante : Verre - 20 nm de Sn02 - 17 nm de ZnO - 11 nm de Ag - 2 nm de CrNi - 38 nm de Sn02 - 3 nm de Znθ/Zn2Ti0 .
Au cours du dépôt des couches en fonctionnement réactif de pulvérisation cathodique, apparurent, après environ un fonctionnement de 2 jours avec ce matériau de cible, des problèmes substantiels dans la chambre de pulvérisation cathodique correspondante, de telle sorte que le processus dut être interrompu.
Ce système de couches présentait les propriétés suivantes . 1. 112 - 193 g
2. 90 - 91 %
3. 2 rayures moyennes et 10 petites rayures
4. taches rouges
5. 0,33 % 6 130 mV
7. défaut ponctuels après 24 heures
8. points de corrosion après 24 heures Exemple de réalisation:
— Tout comme dans le cas des exemples comparatifs, l'on a appliqué par pulvérisation cathodique sur la même séquence de couches, en tant que couche de finition, la couche selon l'invention et ce, à partir d'une cible de la composition 71 % en poids de Zn, 27 % •en poids de Ti et 2 % en poids de Al . Pour un rapport Ar/02 du gaz de travail de 70:30, l'on a pu déposer une couche de Zn2Ti04 pour l'essentiel stoechiométrique ayant un lissé superficiel élevé. L'opération de pulvérisation cathodique s'est déroulée sans problème. Le système de couches avait la structure suivante:
Verre - 20 nm de Sn02 - 17nm de ZnO - 11 nm de Ag - 2 nm de CrNi - 38 nm de Sn02 - 3 nm de Zn2Ti04:Al
Les essais ont fourni les propriétés suivantes de ce système de couches: 1. 136 -241
2. 91 - 92 %
3. 1 rayure moyenne et 3 petites rayures
4. aucun défaut après 360 heures
5. 0,25 % 6 . 60 mV
7. aucun défaut après 48 heures, premiers défauts après 55 heures
8. aucun défaut après 24 heures, premiers défauts après 48 heures.
Le tableau suivant résume encore une fois les résultats d'essais des quatre exemples dans l'optique de fournir une vue d' ensemble :
Figure imgf000011_0001
La comparaison avec les résultats des exemples "conformément à l'état de la technique montre qu'une couche d'oxydes mixtes Zn2Ti0 :Al dans le système de couches conduit aux propriétés remarquables suivantes: fonctionnement de pulvérisation cathodique sans problème dureté élevée de la couche - passivation électrochimique très bonne résistance élevée vis-à-vis de l'humidité et des électrolytes comme par exemple vis-à-vis d'une solution de NaCl, ce qui permet de conclure à une très bonne résistance à un climat marin. La série d'exemples précédents ne doit pas être considérée comme ayant un caractère limitatif et de bons résultats peuvent aussi être observés avec une couche d'oxydes mixtes où l'aluminium est remplacé par du gallium ou de l'antimoine, ou une combinaison de ces éléments, cette couche pouvant être disposée en extrême surface du système de couches ou en couches intérieure ou sous-jacente .

Claims

Revendications :
1. Système de couches pour substrats transparents, en particulier pour vitres en verre, comprenant au moins une couche fonctionnelle et au moins une couche d'oxydes mixtes en ZnO, Ti02 et au moins un oxyde supplémentaire, fabriquée par pulvérisation cathodique réactive à partir d'un alliage-cible métallique caractérisé en ce que cet oxyde supplémentaire est Al203, Ga203 et/ou Sb203.
2. Système de couches selon la revendication 1, caractérisé en ce que ZnO et Ti02 sont présents dans la couche d' oxydes mixtes dans un rapport molaire de l'ordre de 1:1 à 2:1. 3. Système de couches selon la revendication 2, caractérisé en ce que ZnO et Ti02 sont présents dans la couche d'oxydes mixtes pour l'essentiel dans des rapports molaires de 1:1 ou de 2:1.
_4_. Système de couches selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la proportion des oxydes Al203, Ga203, et/ou Sb203 dans la couche d'oxydes mixtes est de 0,5 à 8 % en poids.
5. Système de couches selon l'une quelconque des .revendications précédentes 1 à 4, caractérisé en ce que l'épaisseur de la couche d'oxydes mixtes est de 2 à 20 nm.
6. Système de couches selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que la couche d'oxydes mixtes est la couche antireflet inférieure et/ou supérieure d'un système de couches à faible pouvoir émissif [Low-E] présentant une ou plusieurs couches fonctionnelles en argent.
- 7. Système de couches selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que la couche d'oxydes mixtes est une couche partielle de la couche antireflet supérieure et/ou inférieure d'un système de couches à faible pouvoir émissif présentant une ou plusieurs couches fonctionnelles en argent . 8. Système de couches selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé par une structure de couches : Substrat - Sn02 - ZnO - Ag - CrNi - Sn02 - Zn2Ti04:Al.
9. Système de couches selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que la couche d'oxydes mixtes est fabriquée à partir d'un alliage- cible métallique ayant de 90 à 40 % en poids de Zn, de 10 à 60 % en poids de Ti et de 0,5 à 8 % en poids d'un ou de plusieurs des métaux Al, Ga et Sb. 10. Système de couches selon la revendication 9, caractérisé en ce que l'alliage-cible pour la fabrication de la couche d'oxydes mixtes contient 71 % en poids de Zn, 27 % en poids de Ti et 2 % en poids d'Al. 11. Système de couches selon la revendication 9, caractérisé en ce que l'alliage-cible pour la fabrication de la couche d'oxydes mixtes contient 56 % en poids de Zn, 42 % en poids de Ti et 2 % en poids
-d'Al. 12. Substrat transparent, notamment vitrage, revêtu d'un système de couches selon l'une quelconque des ^revendications précédentes.
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