EP1580435A2 - Turbomolekularpumpe - Google Patents

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EP1580435A2
EP1580435A2 EP05003720A EP05003720A EP1580435A2 EP 1580435 A2 EP1580435 A2 EP 1580435A2 EP 05003720 A EP05003720 A EP 05003720A EP 05003720 A EP05003720 A EP 05003720A EP 1580435 A2 EP1580435 A2 EP 1580435A2
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EP
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blades
turbomolecular pump
vacuum side
angle
attack
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Peter Fahrenbach
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Pfeiffer Vacuum GmbH
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
    • F05D2250/00—Geometry
    • F05D2250/70—Shape

Definitions

  • the invention relates to a turbomolecular pump having a plurality of alternating axially successively arranged and provided with blades Rotor and stator discs, with the blades towards the High vacuum side have a steeper angle of attack than the blades in Direction vacuum side.
  • the invention relates to a method for producing a Bladed rotor or stator of such a turbomolecular pump.
  • turbomolecular pumps are known, for example by the DE 2 035 063 B3 or DE 27 17 366 B2.
  • the blades shown there have the shape of a parallelogram in cross section. The angle of attack is depending on the axial position of the blades 25 ° to 40 °.
  • DE 101 03 230 A1 discloses a turbomolecular pump in which the blade in cross section deviates strongly from a parallelogram and in has approximately an airfoil shape.
  • the mean angle of attack is about 45 °.
  • a turbomolecular pump is known in which the Blades of a first, suction side arranged group of blades, called suction group A, an angle of attack of 30 ° to 40 ° and the blades a second group, called compression group B, consisting of the remaining blade stages have an angle of 17 ° to 30 °.
  • the second group, compression group can be divided into two subgroups be whose blades have a pitch of 25 ° to 30 ° respectively from 17 ° to 25 °.
  • the pump-active components of a turbomolecular pump consist of the with Blades provided rotor and stator discs, which alternately axially arranged one behind the other. Through the interaction of these discs In a known manner, the pumping effect is generated.
  • the characteristic features of a turbomolecular pump are Compression and absorbency. Both properties are mainly determined by the following parameters: The peripheral speed of the Blade ring of the rotor disks, the number of blades, the angle of attack the blades and the gradation of the different slices of the entire disc package. Within the gradation, the shrink Angle of attack of the blade from the intake opening to the gas outlet opening.
  • the invention is the technical problem underlying, a turbomolecular pump in such a way that heat and power consumption are reduced and a good pre-vacuum compatibility as well as compression are created.
  • This technical problem is due to a substantial reduction of the Angle of attack of the blades in the compression or exhaust stage, and that is the angle of attack of the blades to the vacuum side less than 8 °.
  • the flatter formation of the angle of attack has a number of positive ones Impact: Initially decreases at the same coverage ratio despite small disc height, the number of blades per disc. Furthermore vortex formations are avoided in the high pressure range, which causes it to a reduction in the recording power and heat generation comes.
  • the low disc and blade height leads to a lower burst rate of Molecules and thus to less losses and finally to a low Overall length of the pump.
  • the reduction in the number of teeth leads to a further reduction of the compression power.
  • a further increase of the aforementioned advantages can be achieved if the angle of attack of the blades to the vacuum side is less than 6 °.
  • the benefits are particularly pronounced when in extreme cases the Incident angle of the blades to the vacuum side is even less than 5 °.
  • Incidence angle of the blades to the vacuum side towards 5.9 ° to 4.6 °.
  • the reduction of the disc height means that the axial thickness of the Blades smaller than 5.0 millimeters, in particular equal to or smaller 4.5 millimeters and in extreme cases even reduced to 3.0 to 4.5 millimeters is.
  • the blades in the Have cross-section at least approximately the shape of a parallelogram.
  • the turbomolecular pump (T) comprises a housing (1) on which on the one hand a suction flange (2) formed on the other hand a Exhaust flange (3) is mounted.
  • the housing (1) has a rotor shaft (4) Rolling bearings (5, 6) rotatably mounted.
  • the rotor shaft (4) is connected via a electromotive drive (7) in high-speed rotation. Act here the on the rotor shaft (4) fixed rotor discs (8) with those in the housing (1) inserted stator discs (9) together.
  • the angle of attack is ⁇ drawn in Fig. 2 the clearer representation because of greatly enlarged.
  • the Slice thickness (D) is between 3.0 millimeters and 4.5 millimeters.
  • the blade (10) has a cross-section which is at least approximately a trapezoidal shape having.
  • the blade (10) is removed without pressure.

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Abstract

Eine Turbomolekularpumpe (T) umfasst eine Mehrzahl von abwechselnd axial hintereinander angeordneten, mit Schaufeln (10) versehenen Rotor- und Statorscheiben (8, 9), wobei die Schaufeln (10) zur Hochvakuumseite (2) hin einen steileren Anstellwinkel α aufweisen als die Schaufeln (10) zur Vakuumseite (3) hin. Um insbesondere den Wirkungsgrad zu erhöhen, wird die Turbomolekularpumpe (T) so ausgebildet, dass der Anstellwinkel α der Schaufeln (10) zurVakuumseite (3) hin weniger als 8°, vorzugsweise weniger als 5°, beträgt. Die Herstellung der Schaufeln (10) erfolgt vorzugsweise durch High-Speed-Cutting.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Turbomolekularpumpe mit einer Mehrzahl von abwechselnd axial hintereinander angeordneten und mit Schaufeln versehenen Rotor- und Statorscheiben, wobei die Schaufeln in Richtung zur Hochvakuumseite einen steileren Anstellwinkel aufweisen als die Schaufeln in Richtung Vakuumseite.
Außerdem bezieht sich die Erfindung auf ein Verfahren zur Herstellung einer mit Schaufeln versehenen Rotor- oder Statorscheibe einer solchen Turbomolekularpumpe.
Derartige Turbomolekularpumpen sind bekannt, zum Beispiel durch die DE 2 035 063 B3 oder die DE 27 17 366 B2. Die dort dargestellten Schaufeln weisen im Querschnitt die Form eines Parallelogramms auf. Der Anstellwinkel beträgt je nach axialer Lage der Schaufeln 25° bis 40°.
Durch die DE 101 03 230 A1 ist eine Turbomolekularpumpe bekannt, bei der die Schaufel im Querschnitt von einem Parallelogramm stark abweicht und in etwa eine Tragflächenform aufweist. Der mittlere Anstellwinkel beträgt etwa 45°.
Durch die DE 72 37 362 U1 ist eine Turbomolekularpumpe bekannt, bei der die Schaufeln einer ersten, ansaugseitig angeordneten Gruppe von Schaufeln, genannt Sauggruppe A, einen Anstellwinkel von 30° bis 40° und die Schaufeln einer zweiten Gruppe, genannt Kompressionsgruppe B, bestehend aus den restlichen Schaufelstufen einen Anstellwinkel von 17° bis 30° aufweisen. Die zweite Gruppe, Kompressionsgruppe, kann in zwei Untergruppen aufgeteilt sein, deren Schaufeln einen Anstellwinkel von 25° bis 30° beziehungsweise von 17° bis 25° aufweisen.
Aus der Praxis sind durch das Modell Alcatel ATH 1600M flache Schaufeln mit einem Anstellwinkel größer als 19° und durch das Modell Leybold MAG 2000 Schaufeln mit einem Anstellwinkel größer als 9° bekannt geworden.
Die pumpaktiven Bauteile einer Turbomolekularpumpe bestehen aus den mit Schaufeln versehenen Rotor- und Statorscheiben, die abwechselnd axial hintereinander angeordnet sind. Durch das Zusammenwirken dieser Scheiben wird in bekannter Weise der Pumpeffekt erzeugt.
Die charakteristischen Eigenschaften einer Turbomolekularpumpe sind Kompressions- und Saugvermögen. Beide Eigenschaften werden hauptsächlich durch folgende Parameter bestimmt: Die Umfangsgeschwindigkeit des Schaufelkranzes der Rotorscheiben, die Anzahl der Schaufeln, der Anstellwinkel der Schaufeln und die Abstufung der unterschiedlichen Scheiben des gesamten Scheibenpakets. Innerhalb der Abstufung verkleinern sich die Anstellwinkel der Schaufel von der Ansaugöffnung hin zur Gasaustrittsöffnung.
In den Kompressionsstufen oder Auspuffstufen wird maßgeblich die Wärme erzeugt, die zum unerwünschten Aufheizen des Rotors führt. Außerdem sind diese Stufen für die Vorvakuumverträglichkeit und der Leistungsaufnahme bei hohen Vorvakuumdrücken der Pumpe von großer Bedeutung. So zeigen die bekannten Ausbildungen eine unbefriedigende Vorvakuumverträglichkeit, eine hohe Leistungsaufnahme und eine starke Erwärmung des Rotors.
Aufgrund dieser Gegebenheiten liegt der Erfindung das technische Problem zugrunde, eine Turbomolekularpumpe so auszubilden, dass Wärmeentwicklung und Leistungsaufnahme vermindert sind und eine gute Vorvakuumverträglichkeit sowie Kompression geschaffen sind.
Dieses technische Problem wird durch eine wesentliche Verkleinerung des Anstellwinkels der Schaufeln in der Kompressions- oder Auspuffstufe gelöst, und zwar soll der Anstellwinkel der Schaufeln zur Vakuumseite hin weniger als 8° betragen.
Die flachere Ausbildung des Anstellwinkels hat eine Reihe von positiven Auswirkungen: Zunächst verringert sich bei gleichem Überdeckungsverhältnis trotz kleiner Scheibenhöhe die Anzahl der Schaufeln pro Scheibe. Außerdem werden Wirbelbildungen im hohen Druckbereich vermieden, wodurch es zu einer Verringerung der Aufnahmeleistung und der Wärmeentwicklung kommt. Die geringe Scheiben- und Schaufelhöhe führt zu einer geringeren Stoßrate der Moleküle und damit zu weniger Verlusten und schließlich zu einer geringen Baulänge der Pumpe. Die Verringerung der Anzahl von Zähnen führt zu einer weiteren Reduzierung der Kompressionsleistung. Zudem ist ein insbesondere gegen Staub und korrosive Gase robuster Aufbau der Pumpstufen möglich. Dies hat wiederum Vorteile in Bezug auf die Kompressionskräfte. Je weniger Schaufeln vorhanden sind, desto geringer sind die axial auf die Schaufeln wirkenden Kompressionskräfte und umso weniger Energie wird für den Antrieb der Turbomolekularpumpe benötigt. Insgesamt führt die erfindungsgemäße Ausbildung zu einer kompakten Bauform und zu einer wesentlichen Leistungsverbesserung in den Auspuffstufen und damit der gesamten Turbomolekularpumpe.
Eine weitere Steigerung der vorgenannten Vorteile kann erzielt werden, wenn der Anstellwinkel der Schaufeln zur Vakuumseite hin weniger als 6° beträgt.
Schließlich sind die Vorteile besonders ausgeprägt, wenn im Extremfall der Anstellwinkel der Schaufeln zur Vakuumseite hin sogar weniger als 5° beträgt.
Beispielsweise kann bei einer erfindungsgemäßen Turbomolekularpumpe der Anstellwinkel der Schaufeln zur Vakuumseite hin 5,9° bis 4,6° betragen.
Die Verringerung der Scheibenhöhe bedeutet, dass die axiale Dicke der Schaufeln kleiner als 5,0 Millimeter ist, insbesondere auch gleich oder kleiner 4,5 Millimeter und im Extremfall sogar bis auf 3,0 bis 4,5 Millimeter vermindert ist.
Bisher wurden bei Turbomolekularpumpen beispielsweise 24 Schaufeln bei einem Pumpendurchmesser von 250 Millimetern vorgesehen. Die Schaufeln waren Bestandteil von Scheiben, die wenigstens 5 Millimeter dick waren. Mit der neuen Ausbildung ist es möglich, bei gleichem Pumpendurchmesser mit 16 oder sogar 12 Schaufeln auszukommen, wobei die Scheibenhöhe nur 3,0 bis 4,5 Millimeter beträgt.
Bei der erfindungsgemäßen Turbomolekularpumpe können die Schaufeln im Querschnitt mindestens in etwa die Form eines Parallelogramms haben.
Zur Herstellung solcher flachen Winkel beziehungsweise dünner Scheiben und entsprechend noch dünnerer Wanddicken der Schaufeln wird insbesondere vorgeschlagen, als Fertigungsverfahren das so genannte High-Speed-Cutting anzuwenden, bei dem das Material ohne Druck abgetragen wird.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich anhand der zugehörigen Zeichnung, in der ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung nur beispielhaft dargestellt ist. In der Zeichnung zeigen:
  • Fig. 1 eine Turbomolekularpumpe in schematisierter Darstellung im mittigen Längsschnitt;
  • Fig. 2 einen Schnitt durch eine Schaufel der Turbomolekularpumpe nach Fig. 1.
    • In Fig. 1 umfasst die Turbomolekularpumpe (T) ein Gehäuse (1), an dem endseitig einerseits ein Ansaugflansch (2) angeformt und andererseits ein Ausstoßflansch (3) angebracht ist. Im Gehäuse (1) ist eine Rotorwelle (4) auf Wälzlagern (5, 6) drehbeweglich gelagert. Die Rotorwelle (4) wird über einen elektromotorischen Antrieb (7) in hochtourige Drehung versetzt. Hierbei wirken die an der Rotorwelle (4) befestigten Rotorscheiben (8) mit den in dem Gehäuse (1) eingelegten Statorscheiben (9) zusammen.
    Die Gruppe von Rotorscheiben (8) und Statorscheiben (9), die nahe der Ausstoßseite, dem Ausstoßflansch (3), angeordnet sind, weisen Schaufeln (10) auf, deren Anstellwinkel zwischen 4,6° und 5,9° liegen. Der Anstellwinkel α ist in Fig. 2 der deutlicheren Darstellung wegen stark vergrößert gezeichnet. Die Scheibendicke (D) beträgt dabei zwischen 3,0 Millimeter und 4,5 Millimeter.
    Die Schaufel (10) hat einen Querschnitt, der mindestens in etwa eine Trapezform aufweist. Zu ihrer Herstellung wurde das so genannte High-Speed-Cutting angewendet, bei dem das Material der dünnen Scheiben (8, 9) zur Herstellung der Schaufeln (10) ohne Druck abgetragen wird.
    Bezugszahlen
    1
    Gehäuse
    2
    Ansaugflansch
    3
    Ausstoßflansch
    4
    Rotorwelle
    5
    Wälzlager
    6
    Wälzlager
    7
    Antrieb
    8
    Rotorscheibe
    9
    Statorscheibe
    10
    Schaufel
    T
    Turbomolekularpumpe
    D
    Scheibendicke
    α
    Anstellwinkel der Schaufel

    Claims (9)

    1. Turbomolekularpumpe mit einer Mehrzahl von abwechselnd axial hintereinander angeordneten, mit Schaufeln (10) versehenen Rotor- und Statorscheiben (8, 9), wobei die Schaufeln (10) zur Hochvakuumseite (2) hin einen steileren Anstellwinkel α aufweisen als die Schaufeln (10) zur Vakuumseite (3) hin, dadurch gekennzeichnet, dass der Anstellwinkel α der Schaufeln (10) zur Vakuumseite (3) hin weniger als 8° beträgt.
    2. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Anstellwinkel α der Schaufeln (10) zur Vakuumseite (3) hin weniger als 6° beträgt.
    3. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Anstellwinkel α der Schaufeln (10) zur Vakuumseite (3) hin weniger als 5° beträgt.
    4. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Anstellwinkel α der Schaufeln (10) zur Vakuumseite (3) hin 5,9° bis 4,6° beträgt.
    5. Turbomolekularpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die axiale Dicke (D) der Schaufeln (10) kleiner als 5 Millimeter ist.
    6. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die axiale Dicke (D) der Schaufeln (10) gleich oder kleiner 4,5 Millimeter ist.
    7. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die axiale Dicke (D) der Schaufeln (10) 3,0 bis 4,5 Millimeter ist.
    8. Turbomolekularpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Schaufeln (10) im Querschnitt mindestens in etwa die Form eines Parallelogramms aufweisen.
    9. Verfahren zur Herstellung einer mit Schaufeln (10) versehenen Rotor- oder Statorscheibe (8, 9) einer Turbomolekularpumpe (T) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass als Fertigungsverfahren das so genannte High-Speed-Cutting angewendet wird, bei dem das Material ohne Druck abgetragen wird.
    EP05003720.9A 2004-03-16 2005-02-22 Turbomolekularpumpe Expired - Lifetime EP1580435B2 (de)

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    DE102004012713 2004-03-16
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    Publications (4)

    Publication Number Publication Date
    EP1580435A2 true EP1580435A2 (de) 2005-09-28
    EP1580435A3 EP1580435A3 (de) 2009-12-30
    EP1580435B1 EP1580435B1 (de) 2011-08-31
    EP1580435B2 EP1580435B2 (de) 2020-11-18

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    EP05003720.9A Expired - Lifetime EP1580435B2 (de) 2004-03-16 2005-02-22 Turbomolekularpumpe

    Country Status (5)

    Country Link
    US (1) US8398362B2 (de)
    EP (1) EP1580435B2 (de)
    JP (1) JP2005264932A (de)
    AT (1) ATE522725T1 (de)
    DE (1) DE102004012713A1 (de)

    Cited By (1)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    EP3002459A1 (de) * 2014-10-02 2016-04-06 Pfeiffer Vacuum GmbH Verfahren zur herstellung einer rotor- oder statorscheibe für eine vakuumpumpe sowie rotor- oder statorscheibe für eine vakuumpumpe

    Families Citing this family (3)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    EP2088327B1 (de) * 2008-02-11 2011-08-31 Agilent Technologies Italia S.p.A. Stütze für Wälzlager
    GB2498816A (en) 2012-01-27 2013-07-31 Edwards Ltd Vacuum pump
    GB2612781B (en) * 2021-11-10 2024-04-10 Edwards Ltd Turbomolecular pump bladed disc

    Family Cites Families (22)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    BE757354A (fr) † 1969-10-27 1971-03-16 Sargent Welch Scientific Co Pompe turbomoleculaire a stators et rotors perfectionnes
    DE2035063C3 (de) * 1970-07-15 1974-05-30 Arthur Pfeiffer-Vakuumtechnik Gmbh, 6330 Wetzlar Laufrad für eine Turbomolekularpumpe
    DE7237362U (de) * 1972-10-12 1973-01-11 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Turbomolekularvakuumpumpe
    CH557468A (de) * 1973-04-30 1974-12-31 Bbc Brown Boveri & Cie Turbine axialer bauart.
    US3969039A (en) † 1974-08-01 1976-07-13 American Optical Corporation Vacuum pump
    DE2654055B2 (de) * 1976-11-29 1979-11-08 Kernforschungsanlage Juelich Gmbh, 5170 Juelich Rotor- und Statorscheibe für Turbomolekularpumpe
    JPS5898696A (ja) * 1981-12-09 1983-06-11 Hitachi Ltd 分子ポンプのステ−タ
    DE3402549A1 (de) * 1984-01-26 1985-08-01 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Molekularvakuumpumpe
    JPS6125993A (ja) * 1984-07-13 1986-02-05 Ulvac Corp タ−ボ分子ポンプ
    JPS61123797A (ja) * 1984-11-19 1986-06-11 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 高真空排気装置
    JPH0261387A (ja) * 1988-08-24 1990-03-01 Seiko Seiki Co Ltd ターボ分子ポンプ
    JPH02201100A (ja) * 1989-01-20 1990-08-09 Ntn Corp ターボ分子ポンプ
    JP2865888B2 (ja) * 1991-03-05 1999-03-08 日本原子力研究所 マルチターボ型真空ポンプ
    US5358373A (en) * 1992-04-29 1994-10-25 Varian Associates, Inc. High performance turbomolecular vacuum pumps
    JP3898785B2 (ja) * 1996-09-24 2007-03-28 株式会社日立製作所 高低圧一体型蒸気タービン用動翼と高低圧一体型蒸気タービン及びコンバインド発電システム並びに複合発電プラント
    JP3047292B1 (ja) * 1998-11-24 2000-05-29 セイコー精機株式会社 ターボ分子ポンプ及び真空装置
    JP2001132683A (ja) * 1999-10-29 2001-05-18 Applied Materials Inc ターボ分子ポンプ
    DE10046506A1 (de) * 2000-09-20 2002-03-28 Leybold Vakuum Gmbh Turbomolekularvakuumpumpe mit Rotorschaufelreihen und Statorschaufelreihen
    DE10103230A1 (de) * 2001-01-25 2002-08-01 Leybold Vakuum Gmbh Turbomolekularvakuumpumpe mit Rotor-und Statorschaufeln
    EP1249613B1 (de) * 2001-03-15 2004-01-28 VARIAN S.p.A. Turbinenpumpe mit einer Statorstufe integriert mit einem Distanzring
    JP3978001B2 (ja) * 2001-06-29 2007-09-19 三菱重工業株式会社 ターボ分子ポンプ
    US6760971B2 (en) * 2002-07-15 2004-07-13 Pratt & Whitney Canada Corp. Method of making a gas turbine engine diffuser

    Cited By (1)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    EP3002459A1 (de) * 2014-10-02 2016-04-06 Pfeiffer Vacuum GmbH Verfahren zur herstellung einer rotor- oder statorscheibe für eine vakuumpumpe sowie rotor- oder statorscheibe für eine vakuumpumpe

    Also Published As

    Publication number Publication date
    ATE522725T1 (de) 2011-09-15
    EP1580435A3 (de) 2009-12-30
    JP2005264932A (ja) 2005-09-29
    DE102004012713A1 (de) 2005-10-06
    EP1580435B2 (de) 2020-11-18
    US20050207884A1 (en) 2005-09-22
    US8398362B2 (en) 2013-03-19
    EP1580435B1 (de) 2011-08-31

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