EP1162489A1 - Fokussiertrieb für optische Instrumente - Google Patents

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EP1162489A1
EP1162489A1 EP01102534A EP01102534A EP1162489A1 EP 1162489 A1 EP1162489 A1 EP 1162489A1 EP 01102534 A EP01102534 A EP 01102534A EP 01102534 A EP01102534 A EP 01102534A EP 1162489 A1 EP1162489 A1 EP 1162489A1
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focusing drive
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rack
focusing
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Chris Loh
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Leica Microsystems AG
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    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
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    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/24Base structure
    • G02B21/241Devices for focusing
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H55/00Elements with teeth or friction surfaces for conveying motion; Worms, pulleys or sheaves for gearing mechanisms
    • F16H55/02Toothed members; Worms
    • F16H55/26Racks
    • F16H55/28Special devices for taking up backlash

Definitions

  • the invention relates to a focusing drive for optical instruments, especially microscopes. It has a pinion and rack arrangement as well as guide means for moving a device component opposite a stationary additional component. With such adjustment mechanisms The problem often arises that when the pinion and Rack aging or wear and tear occur, causing it to jerky adjustments can come. The racks have to carefully centered and adjusted on the component to be moved. This leads to time-consuming and costly assembly procedures. In connection with the aforementioned susceptibility to wear of such systems therefore, with frequent use, no play or jerk-free guidance over one longer period.
  • Support elements arranged. These can be articulated in an arm shape.
  • the support elements are advantageous in pairs on the rack, so that one left arm and one right arm are, so to speak, an arm "pair" form. It is also possible that the support elements have an "L” shape the rack are articulated.
  • the support elements are resilient. For example, they can be stepped or weakly "S" shaped in the longitudinal cross section his. The support elements lie with their respective ones End areas on the device module to be moved.
  • One piece Training the rack is an advantage.
  • the focusing drive according to the invention also has guide means for the displacement of a device module relative to a fixed one Device tripod on parallel slide rods. These can be loose in "V" grooves be positioned, the grooves on the one hand in the to be moved Device module and on the other hand provided in the fixed device tripod are.
  • the slide rods are under Compressive stress held in their respective position. This will do so realized that the device tripod surrounding the slide rods from the outside in such a way is structurally equipped and dimensioned that a pressure-generating clamp effect on the slide rods. That’s it possible, means for permanent retention or for targeted changes of the pressure.
  • These agents can be spring loaded standing knob.
  • the slide rods are made of an electrically conductive plastic material and are circular in cross section.
  • the special choice of materials succeeds in representing a focusing drive in which the shift is carried out dry sliding along the slide rods. It is also possible to use funds for adjusting or changing the stiffness of the focusing drive to provide.
  • this focusing drive according to the invention use in antistatic optical devices, especially microscopes, intended.
  • Figure 1 is a side view of a vertical part of a fixed tripod 6 shown, which shows a focusing knob 8 with its axis of rotation 1a.
  • An angled holding arm 5, for example for a microscope stage, is slidably mounted along the vertical tripod 6.
  • FIG. 4 shows a horizontal section along the plane BB of FIG. 1.
  • On their common axis 1a is the pinion 1, which meshes with the rack 2.
  • the slide bars are circular in cross section. If you press one Focus button 8 or both focus buttons 8 in the same direction, see above moves the holding arm 5 connected to the rack 2 perpendicular to Drawing level, either up or down.
  • FIGs 5a to 5c is in different views Rack 2 according to the invention shown in sections.
  • Figure 5a you can see a top view of part of the rack 2.
  • the Support elements 3 in pairs - in the form of angled arms - shown.
  • Your end regions 3a form on the "angled arms” so to speak the "hands”.
  • the sliding device module 5 This is in illustrated in Figure 5c. You can see that only that End regions 3a of the support elements 3 on or on the shifting device module 5 on or rest.
  • the rack 2 can - as indicated in Figure 5a - on the wall of the Device module 5 are attached by means of screws 9, some of the End regions 3a for the passage of screws either with a hole 9a or a half-hole 9b or an elongated hole 9c.
  • the Elongated holes 9c compensate for any changes in detail that may occur Dimensioning of the rack 2 or 2a and the support elements 3 or 3a, for example, due to temperature and others Environmental influences.
  • the complete rack 2, 2a, 3, 3a made of a plastic composite material consisting of "DELRIN 577" with 20% glass fiber.
  • each slide rod 4 has a Has anti-twist protection. From Figure 2 it can be seen that this is in the form a transverse pin 4a can be realized. From Figure 2 is can also be seen that the device tripod 6 in cross section such is designed so that it is a bracket-shaped pressing causes two slide rods 4. For this purpose, the device stand 6 has a cross section (see Figure 2) deep incisions 10 on the entire device module give a lasting clinging effect in this area.
  • Adjusting screw 7a which has a rotary knob 7b, which in the area 7c has a spring under pressure (not shown), can the bracket effect already described increased or targeted can be preset. This can be done with simultaneous, but opposite, vigorous rotation of both focusing knobs 8 an increased compressive stress be generated on the device tripod 6, so that the "Stiffness" of the focusing drive can be changed.
  • the slide bars are made of electrically conductive plastic material, for example from a carbon fiber reinforced composite material, manufactured. This creates an electrically conductive connection between the two components to be moved (device module 5 / device tripod 6) given, which advantageously uses this described arrangement in antistatic microscopes.

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Abstract

Es wird ein Fokussiertrieb für optische Instrumente beschrieben, der neben einer Ritzel- (1) und einer Zahnstangenanordnung (1, 2) Gleitstäbe (4) als Führungsmittel zur kontinuierlichen Veränderung der Relativlage von Optik-Baugruppen zueinander aufweist. Die Zahnstange (2) weist eine Vielzahl von Abstützungselementen (3) auf, die beidseits ihrer Längserstreckung - beispielsweise winkelförmig - angeordnet sind. Die Abstützungselemente (3) sind derart konstruiert, dass sie im Querschnitt schwach "S"-förmig ausgebildet sind. Sie sind darüber hinaus derart dimensioniert, dass sie lediglich mit ihren flächigen Endbereichen (3a) die Kontaktierungsfläche des einen Gehäuse-Moduls (5) berühren. Daraus ergibt sich bei der Betätigung des Ritzels (1) eine federnde bzw. walkende Bewegung, wodurch eine spiel- und ruckfreie Verstellung realisiert wird.

Description

Die Erfindung betrifft einen Fokussiertrieb für optische Instrumente, insbesondere Mikroskope. Sie weist eine Ritzel- und Zahnstangenanordnung sowie Führungsmittel zum Verschieben eines Gerätebauteils gegenüber einem ortsfesten weiteren Bauteil auf. Bei derartigen Verstell-Mechanismen ergibt sich oftmals das Problem, dass beim Zusammenwirken von Ritzel und Zahnstange Alterungs- bzw. Verschleißerscheinungen auftreten, wobei es zu ruckartigen Verstellvorgängen kommen kann. Die Zahnstangen müssen sorgfältig zentriert und an dem zu verschiebenden Bauteil justiert werden. Dies führt zu zeit- und kostenintensiven Montage-Prozeduren. In Verbindung mit der bereits erwähnten Verschleißanfälligkeit derartiger Systeme kann daher bei vielfachem Gebrauch keine spiel- bzw. ruckfreie Führung über einen längeren Zeitraum erfolgen.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Nachteile bekannter Fokussiertrieb-Lösungen zu vermeiden und einen spiel- und ruckfreien Führungsmechanismus anzugeben, der darüber hinaus ohne Justierelemente in dem optischen Gerät eingebaut werden kann, woraus sich eine kostengünstige Herstellung ergibt.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Fokussiertrieb der eingangs genannten Art dadurch gelöst, dass er mit einer Kunststoff-Zahnstange ausgestattet ist, die mit einer Vielzahl von Abstützungselementen versehen ist und parallel gehalterte Gleitstäbe als Führungsmittel umfasst. Dabei sind an der Zahnstange beidseits ihrer Längserstreckung spezielle Absützungselemente angeordnet. Diese können armförmig angelenkt sein. Mit Vorteil befinden sich die Abstützungselemente paarweise an der Zahnstange, so dass jeweils ein linker Arm und ein rechter Arm gewissermaßen ein Arm-"Paar" bilden. Auch ist es möglich, dass die Abstützungslemente "L"-förmig an der Zahnstange angelenkt sind. Nach einer besonderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sind die Abstützungselemente federnd ausgebildet. Beispielsweise können sie im Längsquerschnitt stufen- bzw. schwach "S"-förmig sein. Die Abstützungselemente liegen mit ihren jeweiligen Endbereichen an dem zu verschiebenden Geräte-Modul an. Eine einstückige Ausbildung der Zahnstange ist von Vorteil.
Der erfindungsgemäße Fokussiertrieb weist weiterhin als Führungsmittel für die Verschiebung eines Geräte-Moduls relativ zu einem feststehenden Geräte-Stativ parallele Gleitstäbe auf. Diese können in "V"-Nuten lose positioniert werden, wobei die Nuten einerseits in dem zu verschiebenden Geräte-Modul und andererseits in dem ortsfesten Geräte-Stativ vorgesehen sind. In erfindungsgemäßer Weise werden die Gleitstäbe unter Druckspannung in ihrer jeweiligen Position gehalten. Dies wird dadurch realisiert, dass das die Gleitstäbe von außen umfassende Geräte-Stativ derart konstruktiv ausgestattet und dimensioniert ist, dass sich eine druckerzeugende Klammer-Wirkung auf die Gleitstäbe ergibt. Dadurch ist es möglich, Mittel zum dauerhaften Beibehalten bzw. zum gezielten Verändern des Druckes vorzusehen. Diese Mittel können einen unter Federvorspannung stehenden Drehknopf umfassen. Von besonderer Bedeutung ist die Tatsache, dass die Gleitstäbe aus einem elektrisch leitfähigen Kunstoffmaterial bestehen und in ihrem Querschnitt kreisförmig sind. Durch die spezielle Materialauswahl gelingt es, einen Fokussiertrieb darzustellen, bei dem die Verschiebung entlang den Gleitstäben trocken gleitend erfolgt. Auch ist es möglich, Mittel zum Einstellen bzw. Verändern der Schwergängigkeit des Fokussiertriebs vorzusehen. Als erfindungsgemäße Verwendung dieses Fokussiertriebs ist der Einsatz in antistatischen optischen Geräten, insbesondere Mikroskopen, vorgesehen.
Die Erfindung wird nun anhand der vorliegenden Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen in rein schematischer Darstellung:
Figur 1:
in Seitenansicht den Vertikal-Teil eines ortsfesten Geräte-Stativs mit einem angesetzten, verschiebbaren Haltearm;
Figur 2:
eine Aufsicht des in Figur 1 Dargestellten (Blickrichtung: Y) im Detail;
Figur 3:
einen Horizontalschnitt (A - A) des vertikalen Stativ-Teils;
Figur 4:
einen Horizontalschnitt (B - B) des in Figur 1 Dargestellten;
Figur 5a:
eine Draufsicht der erfindungsgemäßen Zahnstange (Ausschnitt);
Figur 5b:
einen Schnitt (A - A) des in Figur 5a Dargestellten;
Figur 5c:
eine Seitenansicht des in Figur 5a Dargestellten mit zusätzlich eingezeichnetem Ritzel.
In Figur 1 ist in Seitenansicht ein Vertikal-Teil eines ortsfesten Stativs 6 dargestellt, welches einen Fokussierknopf 8 mit dessen Drehachse 1a zeigt. Ein abgewinkelter Haltearm 5, beispielsweise für einen Mikroskop-Objekttisch, ist entlang des vertikalen Stativs 6 verschiebbar gelagert.
Die Figur 4 stellt einen Horizontalschnitt längs der Ebene B - B von Fig. 1 dar. Man erkennt die beiden Fokussier-Knöpfe 8. Auf deren gemeinsamer Achse 1a befindet sich dass Ritzel 1, welches mit der Zahnstange 2 kämmt. Zwischen dem ortsfesten Geräte-Stativ 6 einerseits und dem verschieblich gehalterten Geräte-Modul 5 (Haltearm) andererseits befinden sich zwei Gleitstäbe 4, die in entsprechend vorgesehenen "V"-Nuten lose gehaltert sind. Die Gleitstäbe sind im Querschnitt kreisförmig. Betätigt man einen Fokussierknopf 8 bzw. beide Fokussierknöpfe 8 in gleichsinniger Weise, so bewegt sich der mit der Zahnstange 2 verbundene Haltearm 5 senkrecht zur Zeichenebene, und zwar entweder nach oben oder nach unten.
In den Figuren 5a bis 5c ist in unterschiedlichen Ansichten die erfindungsgemäße Zahnstange 2 ausschnittsweise dargestellt. In Figur 5a erkennt man eine Draufsicht auf einen Teil der Zahnstange 2. Man erkannt die mit einer Schrägzähnung 2a versehene eigentliche Zahnstange, die eine Vielzahl von Abstützungselementen 3 aufweist. Im dargestellten Fall sind die Abstützungselemente 3 paarweise - und zwar in Form abgewinkelter Arme - dargestellt. Ihre Endbereiche 3a bilden an den "abgewinkelten Armen" gewissermaßen die "Hände". Mit diesen Endbereichen 3a kontaktiert die Zahnstange 2 vielflächig den verschiebbaren Geräte-Modul 5. Dies ist in anschaulicher Weise in Figur 5c dargestellt. Man erkennt, dass nur die Endbereiche 3a der Abstützungselemente 3 auf bzw. an dem zu verschiebenden Geräte-Modul 5 auf- bzw. anliegen. Es ist deutlich ein gewisser Zwischenraum zwischen der eigentlichen Unterseite der Zahnstange und der Kontaktierungs-Fläche des verschiebbaren Geräte-Moduls 5 zu erkennen. Man erkennt aus Figur 5c ebenfalls, dass die Abstützungselemente 3 in der dargestellten Ansicht schwach "S"-förmig ausgebildet sind, so dass sich eine abfedernde Wirkung ergibt. Wenn sich das Ritzel 1 in Funktion befindet, übt es einen gewissen Druck auf den Bereich der Zähnung 2a der Zahnstange 2 aus, wobei die Zahnstange 2 diesem Druck örtlich "federnd" nachgibt. Man kann diesen Vorgang in anschaulicher Weise dadurch beschreiben, dass das Ritzel 1 gewissermaßen über die Zahnstange 2 "walkt" und diese nur im unmittelbaren jeweiligen Eingriffsbereich des Ritzels 1 elastisch nachgibt. Durch diesen "Abroll"-Vorgang ist in erfindungsgemäßer Weise eine spiel- und ruckfreie Betätigung des Fokussiertriebs dauerhaft gewährleistet. Dabei handelt es sich gewissermaßen um einen Selbst-Justier-Mechanismus. Dies bedeutet, dass die Zahnstange 2 als solche gar nicht in höchster Präzision dimensioniert und positioniert sein muss. Der aus Figur 5c ersichtliche Abstand X zwischen der Kontaktierungsfläche des Geräte-Moduls 5 und der Achse 1a des Ritzels 1 ist so bemessen, dass die erfindungsgemäße Funktion des Fokussiertriebs gewährleistet ist.
Die Zahnstange 2 kann - wie in Figur 5a angedeutet - an der Wand des Geräte-Moduls 5 mittels Schrauben 9 angebracht werden, wobei einige der Endbereiche 3a zur Schrauben-Durchführung entweder mit einem Loch 9a bzw. einem Halbloch 9b bzw. einem Langloch 9c versehen sein können. Die Langlöcher 9c kompensieren eventuell auftretende Detailveränderungen der Dimensionierung der Zahnstange 2 bzw. 2a sowie der Abstützungselemente 3 bzw. 3a beispielsweise infolge von Temperatur- und anderen Umwelteinflüssen. Vorteilhafter Weise wird die komplette Zahnstange 2, 2a, 3, 3a aus einem Kunststoff-Komposit-Material hergestellt, bestehend aus "DELRIN 577" mit 20 % Glasfaser-Anteil.
Aus den Figuren 2 bis 4 erkennt man übereinstimmend, dass die Gleitstäbe 4 in "V"-förmigen Nuten gehaltert sind, wobei die Nuten einerseits in dem ortsfesten Geräte-Stativ 6 und andererseits in dem verschiebbaren Geräte-Modul 5 angeordnet sind. Zweckmäßig ist es, dass jeder Gleitstab 4 eine Verdreh-Sicherung aufweist. Aus Figur 2 ist ersichtlich, dass dies in Form eines querstehenden Stiftes 4a realisiert werden kann. Aus Figur 2 ist weiterhin zu erkennen, dass das Geräte-Stativ 6 im Querschnitt derart konstruktiv ausgestaltet ist, dass es ein klammerförmiges Andrücken der beiden Gleitstäbe 4 bewirkt. Hierzu weist das Geräte-Stativ 6 im Querschnitt (vergleiche Figur 2) tiefe Einschnitte 10 auf, die dem gesamten Geräte-Modul in diesem Bereich eine dauerhafte Klammer-Wirkung verleihen. Durch eine Verstellschraube 7a, die einen Drehknopf 7b aufweist, welcher im Bereich 7c eine unter Druckspannung stehende Feder (nicht mit dargestellt) aufweist, kann die bereits beschriebene Klammer-Wirkung noch erhöht bzw. gezielt voreingestellt werden. Dazu kann beim gleichzeitigen, aber gegensinnigen, kräftigen Verdrehen beider Fokussierknöpfe 8 eine erhöhte Druckspannung an dem Geräte-Stativ 6 erzeugt werden, so dass auf diese Weise die "Schwergängigkeit" des Fokussiertriebs verändert werden kann.
Die Gleitstäbe sind aus elektrisch leitendem Kunststoff-Material, beispielsweise aus einem Kohlenstofffaser verstärktem Komposit-Material, gefertigt. Dadurch ist eine elektrische leitende Verbindung zwischen den beiden zu verschiebenden Bauteilen (Geräte-Modul 5 / Geräte-Stativ 6) gegeben, wodurch sich in vorteilhafter Weise eine Verwendung dieser beschriebenen Anordnung in antistatischen Mikroskopen ergibt.
Mit dem erfindungsgemäßen Fokussiertrieb wird ein kostengünstiger Verstell-Mechanismus zwischen optischen Geräte-Modulen angegeben, wobei eine dauerhaft spiel- und ruckfreie Verstellfunktion realisiert wird. Dabei ist die gesamte Anordnung aufgrund der Konstruktion und der speziellen Materialauswahl weitestgehend verschleißfrei.
Bezugszeichenliste
1
Ritzel
1a
Achse von (1) bzw. (8)
2
Zahnstange
2a
Zähnung; Schräg-Zähnung
3
Abstützungselement(e)
3a
Endbereich(e) von (3)
3b
Kontaktierungs-Bereich(e)
4
Gleitstab; Gleitstäbe
4a
Stift zur Drehsicherung an (4)
5
(verschiebbarer) Geräte-Modul; Haltearm
6
(ortsfestes) Geräte-Stativ; Mikroskop-Stativ
7a
Verstellschraube
7b
Drehknopf von (7a)
7c
Bereich für eine unter Druckspannung stehende Feder
8
Fokussierknopf; Fokussierknöpfe
9
Schraube(n)
9a
Loch
9b
Halb-Loch
9c
Lang-Loch
10
Einschnitt(e) in (6)
X
Abstand zwischen der Kontaktierungsfläche von (5) und der Achse (1a) von (1)

Claims (20)

  1. Fokussiertrieb für optische Instrumente, insbesondere Mikroskope, enthaltend eine Ritzel- (1) und Zahnstangenordnung (1, 2) sowie Führungsmittel zum kontinuierlichen Verändern der Relativlage mindestens zweier Baugruppen zueinander, dadurch gekennzeichnet, dass der Fokussiertrieb zur Realisierung einer spielfreien Führung eine mit einer Vielzahl von Abstützungselementen (3) versehene Kunststoff-Zahnstange (2) sowie parallel gehalterte Gleitstäbe (4) als Führungsmittel umfasst.
  2. Fokussiertrieb nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Zahnstange (2) beidseits ihrer Längserstreckung angeordnete Abstützungselemente (3) aufweist.
  3. Fokussiertrieb nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Abstützungselemente (3) armförmig an der Zahnstange (2) angelenkt sind.
  4. Fokussiertrieb nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abstützungselemente (3) paarweise an der Zahnstange (2) angelenkt sind.
  5. Fokussiertrieb nach mindestens einer der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abstützungselemente (3) federnd ausgebildet sind.
  6. Fokussiertrieb nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abstützungselemente (3) "L"-förmig an der Zahnstange (2) angelenkt sind.
  7. Fokussiertrieb nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abstützungselemente (3) im Längsquerschnitt stufen- bzw. "S"-förmig ausgebildet sind.
  8. Fokussiertrieb nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abstützungselemente (3) mit ihren jeweiligen Endbereichen (3a) an dem zu verschiebenden Geräte-Modul (5) anliegen.
  9. Fokussiertrieb nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die die Abstützungselemente (3) aufweisende Zahnstange (2) einstückig ausgebildet ist.
  10. Fokussiertrieb nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Führungsmittel für die Verschiebung eines Geräte-Moduls (5), beispielsweise eines mit der Zahnstange (2) verbundenen Haltearms (5) für einen Mikroskop-Objekttisch, relativ zu einem feststehenden Geräte-Stativ (6) parallele Gleitstäbe (4) vorgesehen sind.
  11. Fokussiertrieb nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Gleitstäbe (4)in "V"-Nuten lose positioniert sind, die einerseits in dem zu verschiebenden Geräte-Modul (5) und andererseits in dem orstfesten Geräte-Stativ (6) vorgesehen sind.
  12. Fokussiertrieb nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Gleitstäbe (4)unter Druckspannung in ihrer jeweiligen Position gehalten werden.
  13. Fokussiertrieb nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das die Gleitstäbe (4) von außen umfassende Geräte-Stativ (6) derart konstruktiv ausgestattet und dimensioniert ist, dass sich eine druckerzeugende Klammer-Wirkung auf die Gleitstäbe (4) ergibt.
  14. Fokussiertrieb nach Anspruch 12 und/oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel zum dauerhaften Beibehalten bzw. zum gezielten Verändern des Druckes vorgesehen sind.
  15. Fokussiertrieb nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass diese Mittel einen unter Federvorspannung stehenden Drehknopf (7) umfassen.
  16. Fokussiertrieb nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Gleitstäbe (4)aus einem elektrisch leitfähigen Kunststoff-Material bestehen.
  17. Fokussiertrieb nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Gleitstäbe (4) einen kreisförmigen Querschnitt aufweisen.
  18. Fokussiertrieb nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Verschiebung entlang den Gleitstäben (4) trocken gleitend erfolgt.
  19. Fokussiertrieb nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel zum Einstellen bzw. zum Verändern seiner Schwergängigkeit vorgesehen sind.
  20. Verwendung eines Fokussiertriebs nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche in einem antistatischen Mikroskop.
EP01102534A 2000-05-15 2001-02-06 Fokussiertrieb für optische Instrumente Expired - Lifetime EP1162489B1 (de)

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