EP0465766B1 - Infrarot-Flächenstrahler - Google Patents
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Definitions
- the invention relates to a surface radiator for short-wave infrared radiation with high radiation power per unit area, with a housing and with one or more heating coils with at least two power connections, the heating coils being arranged behind the radiation surface of the housing in its interior largely evenly, the Heating coils are guided and held in receiving bodies by means of spacers, the parts of the receiving bodies being transparent to the radiation surface for the infrared radiation, the heating coils being assigned a reflector on their side opposite the radiation surface and the housing having at least one supply and one discharge connection for a cooling medium that cools the radiator in the flow.
- Such short-wave high-power infrared radiators are generally known. They are characterized by high energy concentration in a narrow space and a large penetration depth of radiation into the heating material and are used in a wide variety of industrial production processes.
- the heating coils are enclosed within a quartz glass envelope tube filled with inert gas.
- the power supply to the heating coil takes place via metallic contact plates, which are led out at the melted quartz glass tube ends. Due to the high currents and the differences in the thermal expansion coefficients of glass and contact wafers, these melts are particularly exposed to changes in temperature and limit the possible uses of the radiator in terms of power, temperature and service life.
- several heating coils, including their quartz glass cladding tubes are positioned in a lamp housing in such a way that the heating material can be irradiated over a large area.
- the entire available radiation energy is to be emitted in one direction only, such radiators are positioned in front of a reflector body. Due to its mechanical and chemical stability as well as its good reflective properties in the infrared, a thin gold layer is used as the reflector surface. However, the relatively poor thermal stability of the gold layer at temperatures above 800 ° C necessitates cooling of the reflector. Therefore, the reflector body or the entire lamp housing is designed so large and massive that an effective water and air cooling of the reflector is possible. Since the temperatures that can be achieved with the high-performance infrared radiators are far above the temperature range at which quartz glass softens, the quartz glass cladding tubes and in particular the sensitive melts at the tube ends must also be cooled.
- the quartz glass cladding tubes are cooled in an air stream which is guided behind a quartz glass screen so that the heating material is not cooled by convection.
- the use of such high-performance infrared emitters under extreme external pressure conditions, for example under vacuum, is not possible or is possible only to a limited extent due to their construction.
- the object of the invention is to increase the economy and operational safety of high-performance infrared radiators, in particular with regard to the heat development and the associated cooling measures, by a simple and compact structure and to expand their range of use with regard to the tolerable temperature and external pressure conditions.
- the object is achieved in that the interior of the housing, which is delimited on one side by the radiating surface, is closed and has the at least one supply connection and the at least one discharge connection in that the cooling medium is an inert gas, which is the interior flows through and around the heating coils and that the at least two power connections are led through at least one bushing in a vacuum-tight manner through the wall delimiting the interior.
- the heating coils in the interior of the housing are flushed with inert gas in the flow, on the one hand they are very well protected against oxidation, on the other hand it is not necessary to arrange the heating coils in separate, gas-tight tubes which are melted at the ends.
- the power connections for several heating coils can be combined and led out through the wall of the housing at a point with low temperature stress.
- the flushing of the heating coils with inert gas is carried out in such a way that at the same time the receptacles for the heating coils, the reflector and the walls of the housing, which are subjected to high temperatures, are cooled, so that additional coolants, for example on the outside of the housing, and the associated connections and devices are not required.
- the space requirement of the radiator and its operating costs are thus reduced, while the operational reliability is increased.
- High radiation powers can be achieved with a configuration of the receiving bodies in the form of tubes which are open at the ends and in which the heating coils run largely protected from the cooling medium.
- several tubes are arranged in parallel.
- the power connection to the heating coils takes place via one or more vacuum-tight electrical feedthroughs through a boundary wall of the interior.
- the arrangement is particularly space-saving if the bushing or bushings are arranged on the same side of the interior as the supply connection and if the supply connection and the discharge connection are arranged on the side of the housing opposite the radiation surface.
- the amount of gas supplied and removed is adapted to the cooling and pressure requirements. It is inexpensive to circulate the cooling medium and to supply the cooling medium discharged from the discharge connection to the supply connection after cooling.
- the receptacle body, the carrier plate and at least the radiation surface delimiting the interior are made of quartz glass.
- the high-performance surface radiator shown has a vacuum-tight housing 1 with a radiation surface 16 made of quartz glass that delimits the interior space 5, the housing 1 having a supply and a discharge connection 2, 3 for a cooling medium, the flow direction of which is represented by flow arrows 10 is, and has power connections 4.
- a support plate 6 made of quartz glass, which is fastened on supports 15 approximately 12 mm long, on which seven quartz glass tubes 7, which are open on both sides, are melted.
- Within the quartz glass tubes 7 are spacers 8 in the form of round, at a uniform distance from each other arranged support rings made of niobium wire, heating coils 9 made of tungsten wire.
- the current connections 4 for the heating coils 9 are made via an electrical vacuum-tight feedthrough 14 through the same housing wall, on which the supply and discharge connections 2, 3 for the cooling medium are also arranged.
- the arrangement of all connections for the cooling medium and for the power supply on the housing wall opposite the radiation surface 16 of the housing enables the use of the radiator as a module 13 of a radiator unit 15.
- a reflector 11 is attached, which ensures that the radiation energy is radiated to the heating material and which protects the electrical connections from excessive temperature.
- the reflector 11 consists of a thin gold layer which is applied to the side of the carrier plate 6 opposite the quartz glass tubes 7.
- An argon gas stream is fed into the interior 5 of the housing 1 via the feed connection 2, led out again via the discharge connection 3, passed via a cooling unit (not shown) and fed back to the feed connection 2.
- the gas flow cools the reflector 11, the receptacles for the heating filaments 9 and the inner walls of the housing 1 in the passage and at the same time rinses the heating filaments 9 and protects them from oxidation.
- the color temperature that can be achieved with these embodiments of a high-performance infrared radiator is 3000 K.
- the radiator unit (15) shown in FIG. 6 is composed of nine radiator modules (13), which are arranged according to a (3 ⁇ 3) matrix.
- the simple inert gas cooling enables a compact construction of the emitter modules 13. Due to this compact design, when assembling several modules 13, only narrow gaps are formed that do not emit any radiation energy, which results in a high radiation output per unit area for the emitter unit (15) results.
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Description
- Gegenstand der Erfindung ist ein Flächenstrahler für kurzwellige Infrarotstrahlung mit hoher Strahlungsleistung pro Flächeneinheit, mit einem Gehäuse und mit einer oder mehreren Heizwendeln mit mindestens zwei Strom-Anschlüssen, wobei die Heizwendeln hinter der Abstrahlfläche des Gehäuses in dessen Innenraum weitgehendst gleichmäßig verteilt angeordnet sind, wobei die Heizwendeln in Aufnahmekörpern mittels Distanzteilen geführt und gehalten sind, wobei die Teile der Aufnahmekörper zur Abstrahlfläche hin für die Infrarotstrahlung transparent sind, wobei den Heizwendeln auf ihrer der Abstrahlfläche gegenüberliegenden Seite ein Reflektor zugeordnet ist und wobei das Gehäuse mindestens einen Zuführungs- und einen Abführungs-Anschluß für ein Kühlmedium aufweist, das im Durchfluß den Strahler kühlt.
- Nach der US-A-3 792 230 ist eine Strahler für Kurwellige Infrarotstrahlung bekannt, der ein inertes Gas als Kühlmedium benutzt.
- Derartige kurzwellige Hochleistungs-Infrarotstrahler sind allgemein bekannt. Sie zeichnen sich durch hohe Energiekonzentration auf engem Raum und großer Eindringtiefe der Strahlung in das Heizgut aus und werden in den verschiedensten industriellen Produktionsprozessen eingesetzt.
- Bei den bekannten Hochleistungs-Infrarotstrahlern sind die Heizwendeln innerhalb eines mit Inertgas gefüllten Quarzglashüllrohres eingeschlossen. Die Stromzufuhr zur Heizwendel erfolgt über metallische Kontaktplättchen, die an den zugeschmolzenen Quarzglashüllrohrenden herausgeführt sind. Aufgrund der hohen Ströme und den Unterschieden in den thermischen Ausdehnungskoeffizienten von Glas- und Kontaktplättchen sind diese Einschmelzungen bei Temperaturänderungen besonders stark belastet, und begrenzen die Einsatzmöglichkeiten des Strahlers hinsichtlich Leistung, Temperatur und Lebensdauer. Bei solchen Hochleistungs-Infrarotstrahlern werden mehrere Heizwendeln inklusive ihrer Quarzglashüllrohre in einem Lampengehäuse so positioniert, daß damit das Heizgut großflächig bestrahlt werden kann. Da hierbei die gesamte zur Verfügung stehende Strahlungsenergie nur in eine Richtung abgegeben werden soll, werden derartige Strahler vor einem Reflektorkörper positioniert. Aufgrund seiner mechanischen und chemischen Stabilität sowie seiner guten Reflektionseigenschaften im Infraroten wird eine dünne Goldschicht als Reflektoroberfläche verwendet. Allerdings macht die relativ schlechte thermische Stabilität der Goldschicht bei Temperaturen von mehr als 800°C eine Kühlung des Reflektors erforderlich. Deshalb ist der Reflektorkörper oder das ganze Lampengehäuse so groß und massiv ausgelegt, daß eine effektive Wasser- und Luftkühlung des Reflektors möglich ist. Da die mit den Hochleistungs-Infrarotstrahlern erreichbaren Temperaturen weit über dem Temperaturbereich liegen, bei dem Quarzglas erweicht, müssen auch die Quarzglashüllrohre und insbesondere die empfindlichen Einschmelzungen an den Rohrenden gekühlt werden. Bei unzureichender Kühlung besteht aufgrund unvermeidlicher Unterschiede zwischen den Gasdrücken von innerhalb und außerhalb der geschlossenen Quarzglashüllrohre die Gefahr der Hüllrohrverformung. Bei den bekannten Hochleistungs-Infrarotstrahlern werden die Quarzglashüllrohre in einem Luftstrom gekühlt, der hinter einem Quarzglasschirm so geführt wird, daß das Heizgut nicht durch Konvektion mitgekühlt wird. Ein Einsatz derartiger Hochleistungs-Infrarotstrahler unter extremen Außendruckbedingungen, beispielsweise unter Vakuum, ist aufgrund ihrer Bauweise nicht oder nur eingeschränkt möglich.
- Die Erfindung hat sich die Aufgabe gestellt, durch einen einfachen und kompakten Aufbau die Wirtschaftlichkeit und Betriebssicherheit von Hochleistungs-Infrarotstrahlern, insbesondere hinsichtlich der auftretenden Wärmentwicklung und den damit verbundenen Kühlmaßnahmen, zu erhöhen und deren Einsatzbereich hinsichtlich der tolerierbaren Temperatur- und Außendruckbedingungen zu erweitern.
- Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Innenraum des Gehäuses, der einseitig von der Abstrahlfäche begrenzt wird, abgeschlossen ist und den mindestens einen Zuführungs-Anschluß und den mindestens einen Abführungs-Anschluß aufweist, daß das Kühlmedium ein inertes Gas ist, das den Innenraum durchströmt und die Heizwendeln umspült und daß die mindestens zwei Strom-Anschlüsse durch mindestens eine Durchführung vakuumdicht durch die den Innenraum begrenzende Wandung hindurchgeführt sind. Dadurch daß die Heizwendeln im Innenraum des Gehäuses im Durchfluß mit Intertgas gespült werden, sind sie einerseits sehr gut vor Oxidation geschützt, andererseits ist eine Anordnung der Heizwendeln in separaten, gasdichten, an den Enden zugeschmolzenen Rohren nicht erforderlich. Dadurch entfällt sowohl die Gefahr des Strahler-Ausfalls durch die Verformung eines geschlossenen Rohres aufgrund der Unterschiede zwischen den Gasdrücken innerhalb und außerhalb des Rohres als auch die Notwendigkeit von bruchempfindlichen, hohen Temperaturbelastungen ausgesetzten Einschmelzungen für die Strom-Anschlüsse an den Rohrenden. Gegebenenfalls können die Strom-Anschlüsse für mehrere Heizwendeln zusammengefaßt und durch die Wandung des Gehäuses an einer Stelle mit geringer Temperaturbelastung herausgeführt werden. Die Spülung der Heizwendeln mit Inertgas wird so ausgeführt, daß gleichzeitig eine Kühlung der Aufnahmekörper für die Heizwendeln, des Reflektors und der stark temperaturbelasteten Wandungen des Gehäuses erfolgt, so daß zusätzliche Kühlmittel, beispielsweise auf der Außenseite des Gehäuses, und die damit verbundenen Anschlüsse und Einrichtungen nicht erforderlich sind. Durch diese Innenkühlung läßt sich das Gehäuse des Strahlers sehr kompakt und dünnwandig gestalten, so daß, abgesehen von den, die Abstrahlfläche seitlich begrenzenden, dünnen Gehäusewänden, die entsprechende Seite des Gehäuses vollständig als Abstrahlfläche zur Verfügung steht. Der Raumbedarf des Strahlers als auch dessen Betriebskosten werden somit vermindert, während die Betriebssicherheit erhöht wird.
- Hohe Strahlungsleistungen sind mit einer Ausgestaltung der Aufnahmekörper in Form von an den Enden offenen Röhren in denen die Heizwendeln vor dem Kühlmedium weitgehendst geschützt verlaufen, zu erreichen.
Je nach Größe der Fläche die bestrahlt werden soll, werden mehrere Röhren parallel zueinander angeordnet. Um eine gleichmäßige Bestrahlung des Heizgutes zu gewährleisten und eine kompakte Bauweise des Strahlers zu erzielen, hat es sich als vorteilhaft erwiesen, die Röhren auf einer gemeinsamen Trägerplatte anzuordnen, die gleichzeitig als Reflektor ausgebildet ist. Dabei hat es sich bewährt die Trägerplatte im Innenraum so anzuordnen, daß sie bezüglich der Röhren der Abstrahlfläche des Gehäuses abgekehrt ist und daß sie mindestens von zwei Seiten gleichzeitig mit dem Kühlmedium umspült wird. Dies hat den Vorteil, daß eine separate Wasserkühlung des Reflektors und eine damit verbundene große und massive Auslegung von Reflektor und Gehäuse vermieden wird. Aufgrund der geringen Temperaturbelastung auf der den Röhren abgekehrten Seite der Trägerplatte, ist es zweckmäßig, die Reflektorschicht dort auszubilden. Der Stromanschluß zu den Heizwendeln erfolgt über eine oder mehrere vakuumdichte elektrische Durchführungen durch eine Begrenzungswand des Innenraums. Besonders raumsparend gestaltet sich die Anordnung, wenn die Durchführung oder die Durchführungen an derselben Seite des Innenraums angeordnet sind wie der Zuführungs-Anschluß und wenn der Zuführungs-Anschluß, und der Abführungs-Anschluß an der der Abstrahlfläche gegenüberliegenden Seite des Gehäuses angeordnet sind.
Die zu- und abgeführte Gasmenge wird den Kühl- und Druckerfordernissen angepaßt. Dabei ist es kostengünstig, das Kühlmedium im Kreislauf zu führen und das vom Abführungs-Anschluß abgeführte Kühlmedium dem Zuführungs-Anschluß abgekühlt wieder zuzuführen. Als Kühlmedium der im normalen Betrieb auftretenden Wärmemengen hat sich Argon bewährt, das gleichzeitig die Heizwendeln vor Oxidation schützt. Aufgrund der hohen Temperaturbelastung bestehen die Aufnahmekörper, die Trägerplatte sowie zumindest die den Innenraum begrenzende Abstrahlfläche aus Quarzglas. - Anhand der Zeichnung wird ein erfindungsgemäßer Flächenstrahler nachfolgend beschrieben. In der Zeichnung zeigt
- Fig. 1 eine perspektivische Darstellung eines Flächenstrahlers, bei dem die Aufnahmekörper für die Heizwendeln als achsenparallele Rohre, in denen die Heizwendeln verlaufen, ausgebildet sind,
- Fig. 2 einen vertikalen Schnitt durch den in Figur 1 dargestellten Flächenstrahler entlang der Schnittlinie II-II, mit Blick in Richtung entlang der Längsachsen der Rohre,
- Fig. 3 einen horizontalen Schnitt durch den in Figur 2 dargestellten Flächenstrahler entlang der Linie III-III,
- Fig. 4 einen horizontalen Schnitt duch eine Strahler-Einheit, wobei Schnitthöhe und Blickrichtung so wie in Fig. 3 für den Modul dargestellt, gelegt sind.
- Der dargestellte Hochleistungs-Flächenstrahler weist ein vakuumdichtes Gehäuse 1 mit einer, den Innenraum 5 begrenzenden Abstrahlfläche 16 aus Quarzglas auf, wobei das Gehäuse 1 einen Zuführungs- und einen Abführungs-Anschluß 2, 3 für ein Kühlmedium, dessen Strömungs-Richtung durch Strömungspfeile 10 dargestellt ist, sowie Strom-Anschlüsse 4 aufweist. Im Innenraum 5 des Gehäuses 1 ist eine auf ca. 15 mm langen Stützen 12 befestigte Trägerplatte 6 aus Quarzglas angeordnet, auf der sieben beidseitig offene Quarzglasrohre 7 angeschmolzen sind. Innerhalb der Quarzglasrohre 7 werden über Distanzteile 8 in Form von runden, in gleichmäßigem Abstand voneinander angeordneten Stützringen aus Niobdraht, Heizwendeln 9 aus Wolframdraht geführt. Die Strom-Anschlüsse 4 für die Heizwendeln 9 erfolgen über eine elektrische vakuumdichte Durchführung 14 durch dieselbe Gehäusewand, an der auch der Zuführungs- und der Abführungs-Anschluß 2, 3 für das Kühlmedium angeordnet sind. Die Anordnung aller Anschlüsse für das Kühlmedium und für die Stromversorgung auf der der Abstrahlfläche 16 des Gehäuses gegenüberliegenden Gehäusewand, ermöglicht den Einsatz des Strahlers als Modul 13 einer Strahler-Einheit 15.
Auf der den Quarzglasrohren 7 abgewandten Seite der Trägerplatte 6 ist ein Reflektor 11 angebracht, der gewährleistet, daß die Strahlungsenergie zum Heizgut hin abgestrahlt wird und der die elektrischen Anschlüsse vor zu hoher Temperatur schützt. Der Reflektor 11 besteht aus einer dünnen Goldschicht, die auf die den Quarzglasrohren 7 gegenüberliegenden Seite der Trägerplatte 6 aufgebracht ist.
Über den Zuführungs-Anschluß 2 wird ein Argon-Gasstrom in den Innenraum 5 des Gehäuses 1 geleitet, über den Abführungs-Anschluß 3 wieder herausgeführt, über ein Kühlaggregat geleitet (nicht dargestellt) und dem Zuführungs-Anschluß 2 wieder zugeführt. Der Gasstrom kühlt im Durchlauf den Reflektor 11, die Aufnahmekörper für die Heizwendeln 9 und die Innenwandungen des Gehäuses 1 und umspült gleichzeitig die Heizwendeln 9 und schützt sie vor Oxidation. Die mit dieser Ausführungsformen eines Hochleistungs-Infrarot-Strahlers erreichbare Farbtemperatur liegt bei 3000 K. - Die in Fig. 6 gezeigte Strahler-Einheit (15) setzt sich aus neun Strahler-Modulen (13) zusammen, die gemäß einer (3 x 3)-Matrix angeordnet sind. Die einfache Inertgas-Kühlung ermöglicht einen kompakten Aufbau der Strahler-Module 13. Augrund dieser kompakten Bauweise bilden sich beim Zusammenfügen mehrere Module 13 nur schmale Zwischenräume, die keine Strahlungsenergie abgeben, woraus sich eine hohe Strahlungsleistung pro Flächeneinheit für die Strahler-Einheit (15) ergibt.
Claims (12)
- Flächenstrahler für kurzwellige Infrarotstrahlung mit hoher Strahlungsleistung pro Flächeneinheit, mit einem Gehäuse und mit einer oder mehreren Heizwendeln mit mindestens zwei Strom-Anschlüssen, wobei die Heizwendeln hinter der Abstrahlfläche des Gehäuses in dessen Innenraum weitgehendst gleichmäßig verteilt angeordnet sind, wobei die Heizwendeln in Aufnahmekörpern mittels Distanzteilen geführt und gehalten sind, wobei die Teile der Aufnahmekörper zur Abstrahlfläche hin für die Infrarotstrahlung transparent sind, wobei den Heizwendeln auf ihrer der Abstrahlfläche gegenüberliegenden Seite ein Reflektor zugeordnet ist und wobei das Gehäuse mindestens einen Zuführungs- und einen Abführungs-Anschluß für ein Kühlmedium aufweist, das im Durchfluß den Strahler kühlt, dadurch gekennzeichnet, daß der Innenraum (5) des Gehäuses (1), der einseitig von der Abstrahlfläche (16) begrenzt wird, abgeschlossen ist und den mindestens einen Zuführungs-Anschluß (2) und den mindestens einen Abführungs-Anschluß (3) aufweist, daß das Kühlmedium ein inertes Gas ist, das den Innenraum (5) durchströmt und die Heizwendeln (9) umspült, und daß die mindestens zwei Strom-Anschlüsse (4) durch mindestens eine Durchführung (14) vakuumdicht durch die den Innenraum (5) begrenzende Wandung hindurchgeführt sind.
- Flächenstrahler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufnahmekörper durch mehrere, parallel zueinander verlaufende, an den Enden offene Röhren (7) gebildet sind, in denen die Heizwendeln (9) verlaufen.
- Flächenstrahler nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Röhren (7) auf einer gemeinsamen Trägerplatte (6) derart angeordnet sind, daß die Trägerplatte (6) bezüglich der Röhren (7) der Abstrahlfläche (16) des Gehäuses (1) abgekehrt ist.
- Flächenstrahler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß an der Trägerplatte (6) ein Reflektor (11) angeordnet ist.
- Flächenstrahler nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerplatte (6) im Innenraum (5) so angeordnet ist, daß sie mindestens von zwei Seiten gleichzeitig mit dem Kühlmedium gekühlt wird.
- Flächenstrahler nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Reflektor (11) auf der den Röhren (7) abgewandten Seite der Trägerplatte (6) angeordnet ist.
- Flächenstrahler nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchführung (14) oder die Durchführungen (14) an der selben Seite des Gehäuses (1) angeordnet sind wie der Zuführungs-Anschluß (2).
- Flächenstrahler nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Zuführungs-Anschluß (2) und der Abführungs-Anschluß (3) an der der Abstrahlfläche (16) gegenüberliegenden Seite des Gehäuses (1) angeordnet sind.
- Flächenstrahler nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das über den Abführungs-Anschluß (3) abgeführte Kühlmedium dem Zuführungs-Anschluß (2) abgekühlt wieder zugeführt wird.
- Flächenstrahler nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Kühlmedium Argon ist.
- Flächenstrahler nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufnahmekörper, die Trägerplatte (6) und wenigstens die Abstrahlfläche (16) des Gehäuses (1) aus Quarzglas bestehen.
- Verwendung eines Flächenstrahlers nach einem der Ansprüche 1 bis 11 als Modul (13) für eine aus mehreren Strahlern bestehende Strahler-Einheit (15).
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GB9214380D0 (en) * | 1992-07-07 | 1992-08-19 | Sev Furnaces Ltd | Radiation transmitting apparatus |
GB2278722A (en) * | 1993-05-21 | 1994-12-07 | Ea Tech Ltd | Improvements relating to infra-red radiation sources |
EP0985768A1 (de) * | 1998-09-07 | 2000-03-15 | Talbot Technology Limited Rothamsted Research Station | Verfahren und Vorrichtung zur Wiederverwendung von Asphalt |
DE10002648B4 (de) * | 2000-01-21 | 2005-10-06 | Heraeus Noblelight Gmbh | Heizelement |
BR0204969A (pt) * | 2002-11-08 | 2004-06-15 | Paulo Gerais De Camargo Rangel | Irradiador de infravermelho modular a gás de combustão e respectivos dispositivos de monitoração do seu desempenho e funcionamento |
DE10257432B4 (de) * | 2002-12-09 | 2006-10-26 | Advanced Photonics Technologies Ag | Luftgekühlte Bestrahlungsanordnung |
DE102004051846B4 (de) * | 2004-08-23 | 2009-11-05 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Bauteil mit einer Reflektorschicht sowie Verfahren für seine Herstellung |
US7563512B2 (en) | 2004-08-23 | 2009-07-21 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Component with a reflector layer and method for producing the same |
DE102005058819B4 (de) * | 2005-10-13 | 2009-04-30 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Beschichtung eines Bauteils aus hochkieselsäurehaltigem Glas, mit einer SiO2-haltigen, glasigen Schicht versehenes Bauteil, sowie Verwendung des Bauteils |
DE102006055397B3 (de) * | 2006-11-22 | 2008-05-15 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung für die Herstellung eines zylinderförmigen Profilelements aus Quarzglas sowie Verwendung desselben |
CN100445678C (zh) * | 2007-02-14 | 2008-12-24 | 哈尔滨工业大学 | 燃气定向辐射器 |
CN101846344A (zh) * | 2009-03-24 | 2010-09-29 | 苏州中龙光电科技有限公司 | 红外线光波灶 |
DE102016111234B4 (de) * | 2016-06-20 | 2018-01-25 | Heraeus Noblelight Gmbh | Vorrichtung für die thermische Behandlung eines Substrats sowie Trägerhorde und Substrat-Trägerelement dafür |
DE102020128337A1 (de) | 2020-10-28 | 2022-04-28 | Heraeus Noblelight Gmbh | Strahlerbauteil mit einer Reflektorschicht sowie Verfahren für seine Herstellung |
DE102020131324A1 (de) * | 2020-11-26 | 2022-06-02 | Heraeus Noblelight Gmbh | Infrarotstrahler und Infrarotstrahlung emittierendes Bauelement |
CN114126101B (zh) * | 2021-11-02 | 2024-01-26 | Tcl华星光电技术有限公司 | 石英红外加热装置及其对基板加热的方法 |
DE102022111985A1 (de) | 2022-05-12 | 2023-11-16 | Heraeus Noblelight Gmbh | Infrarot-Strahler mit einer auf eine Reflektorschicht aus Metall aufgebrachten emissiven Schicht und Verwendung der emissiven Schicht |
CN114885450B (zh) * | 2022-07-11 | 2022-09-20 | 中国飞机强度研究所 | 一种空天飞机测试用的极高温极低温热强度循环试验系统 |
Family Cites Families (7)
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US3792230A (en) * | 1972-03-30 | 1974-02-12 | Industrial Innovations Inc | Gas-cooled torch lamp |
DE2809131C2 (de) * | 1978-03-03 | 1982-05-19 | Ako-Werke Gmbh & Co., 7988 Wangen | Elektrische Kochplatte |
DE3007806C2 (de) * | 1980-02-29 | 1982-09-02 | Elpag AG Chur, 7001 Chur | Elektrische Heizeinrichtung für Herde und Kochplatten |
US4511788A (en) * | 1983-02-09 | 1985-04-16 | Ushio Denki Kabushiki Kaisha | Light-radiant heating furnace |
GB8318457D0 (en) * | 1983-07-07 | 1983-08-10 | Thorn Emi Domestic Appliances | Heating apparatus |
FR2556547B1 (fr) * | 1983-12-12 | 1986-09-05 | Acir | Generateur electrique perfectionne de rayons infrarouges constituant epurateur d'atmosphere |
DE3804704A1 (de) * | 1987-02-17 | 1988-08-25 | Senju Metal Industry Co | Infrarot-heizvorrichtung |
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