DE2923724A1 - Entladungslampe - Google Patents
EntladungslampeInfo
- Publication number
- DE2923724A1 DE2923724A1 DE19792923724 DE2923724A DE2923724A1 DE 2923724 A1 DE2923724 A1 DE 2923724A1 DE 19792923724 DE19792923724 DE 19792923724 DE 2923724 A DE2923724 A DE 2923724A DE 2923724 A1 DE2923724 A1 DE 2923724A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- lamp
- housing
- gas
- tight
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims description 10
- YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N Deuterium Chemical compound [2H] YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052805 deuterium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 6
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002835 noble gases Chemical class 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/52—Cooling arrangements; Heating arrangements; Means for circulating gas or vapour within the discharge space
Landscapes
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Description
2323724
- 3 - Hanau, 08. Juni 1979 ZPL-Zw/RÖ
ORIGINAL HANAU Heraeus GmbH, Hanau/Main
Patent- und Gebrauchsmusterhilfsanmeldung
"Entladungslampe"
Die Erfindung betrifft eine Entladungslampe, insbesondere eine gekühlte Deuteriumlampe, mit in einem gasdicht abgeschlossenen
Lampengehäuse über einer Lochblende angeordneten Anode, einer innerhalb der Lochblende angeordneten Kathode,
mit einer Blendenhalterung und mit durch das Lampengehäuse gasdicht hindurchgeführten Stromzuleitungen.
Bekannt sind kühlbare Entladungslampen, bei denen das Elektrodensystem
von einem metallischen Gehäuse umgeben ist, an dessen Außenumfang federnde Bügel angeordnet sind. Da ein
Kühlmantel das metallische Gehäuse umgibt, kann über die Federn auch Wärme abgeführt werden (siehe DE-PS 11 52 482).
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Entladungslampe hoher Strahldichte zu schaffen, die eine verbesserte Wärmeabfuhr
von der Einschnürungsstelle der Entladung (Blende) aufweist.
Gelöst wird diese Aufgabe bei einer Entladungslampe der eingangs beschriebenen Art durch die im Kennzeichen des
Hauptanspruchs aufgeführten Merkmale. Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen
zu entnehmen.
030051 /0285
Zur Erfindung gehören ausdrücklich auch alle Kombinationen und Unterkombinationen der beanspruchten, dargestellten und
beschriebenen Merkmale, sowohl in Kombination untereinander als auch mit an sich bekannten Merkmalen.
Durch die direkte Kühlung der Blende in ihrer Halterung läßt sich die Wärmeabfuhr erheblich verbessern. Die Entladungslampe
kann dadurch mit einer wesentlich größeren elektrischen Leistung betrieben werden. Da die Strahldichte der
elektrischen Leistung in etwa proportional ist, läßt sie sich bei der Erfindung trotz gleichbleibendem Blendendurchmesser
gegenüber der bekannten Entladungslampe erheblich steigern.
In den beigefügten Zeichnungen sind verschiedene Ausführungsformen der Erfindung rein schematisch dargestellt und anhand
der nachfolgenden Beschreibung erläutert. Die Erfindung ist jedoch nicht auf diese Ausführungsbeispxele beschränkt,
sondern es können ohne weiteres hieran Abänderungen vorgenommen werden, ohne hierdurch den Rahmen der Erfindung zu
verlassen.
Es zeigen:
Fig. 1 : eine Blende mit direkter Kühlung, Fig. 2 : eine andere Ausführungsform der direkt gekühlten
Blende,
Fig. 3 : eine Entladungslampe mit direkt gekühlter Blende
Fig. 3 : eine Entladungslampe mit direkt gekühlter Blende
im Lampenkolben,
Fig. 4 : eine andere Ausführung ähnlich Figur 3·
Fig. 4 : eine andere Ausführung ähnlich Figur 3·
030051 /0285
Die Blende mit in Strahlrichtung kegelförmig sich erweiternder Öffnung, deren kleinster Durchmesser etwa bei 1 mm beginnt,
ist in einem Körper 1 zentral angebracht, z.B. gebohrt, der
einen Ringkanal 3-.aufweist, in den eine Leitung k für die
Kühlmittelzufuhr und eine Leitung 5 für die Kühlmittelabfuhr mündet. Der gesamte Körper 1 weist von oben gesehen Ringform
auf und besteht aus einem Material guter Wärmebeständigkeit wie Molybdän. Der Außendurchmesser des Körpers 1 beträgt
zwischen ca. 50 mni und 80 mm.
Die Konstruktion der Blende richtet sich nach dem jeweiligen gewünschten Einschnürungsgrad des Strahls.
Die Leitungen *t und 5 haben sich bewährt aus korrosionsbeständigem
Metall oder Legierung, wie z.B. Edelstahl, Nickel oder Nickel-Legierung.
Die Ausführungsform der Blende nach Figur 2 unterscheidet sich von derjenigen nach Figur 1 dadurch, daß die Kühlkanäle
3 im Querschnitt gesehen kreisförmig und von oben gesehen spiralförmig ausgebildet sind, jeweils mit Zu- und
Abfuhrleitungen k und 5 versehen.
Wesentlich ist, daß bei allen Ausführungsformen der direkte
Wärmeübergang von der durch die Kühlkanäle strömenden Kühlflüssigkeit, wie Wasser, zur Blende optimal gestaltet ist.
Wegen der beengten räumlichen Verhältnisse bei einer derartigen Entladungslampe sind den Dimensionen des Elektrodensystems
Grenzen gesetzt. Dies gilt auch deshalb, weil für den Strahlenaustritt praktisch nur eine Stirnseite in Frage
kommt und die Stromeinführungen dann im Bereich der gegenüberliegenden Stirnseite des Lampenkolbens anzuordnen sind.
030051 /0285
Diese Anordnung der gasdichten Stromeinführungen 6 und 7, z.B. durch Einschmelzen in den Quarzmantel 8 des Lampenkolbens
an dessen Stirnseite 9 ist aus Figur 3 ersichtlich. Dort ist auch die gasdichte Hindurchführung zum Beispiel
durch Einschmelzen der Kühlmittelzufuhrlextung k und der Kühlmittelabfuhrleitung 5 dargestellt.
Die der Stirnseite 9 gegenüberliegenden Stirnseite 10 ist mit dem Mantel 8 einstückig ebenfalls aus strahlendurchlässigem
Quarzglas bestehend und bildet ein Fenster. Mit ist die Anode und mit 12 die Kathode der Entladungslampe
bezeichnet, zwischen denen die Entladung brennt. Die Kathode Ii
besteht vorzugsweise aus einem Wolfram-Wendel und wird von dem sie durchfließenden elektrischen Strom beheizt. Für die
Anode 11 hat sich bewährt ein Ring oder eine Scheibe aus Wolfram oder Molybdän.
Bei der Ausführung nach Figur 3 ist der Ringkanal 3 im
Querschnitt gegenüber demjenigen nach Figur 1 vergrößert.
Die Ausführung nach Figur k unterscheidet sich von derjenigen
nach Figur 3 vor allem in der Ausführung des Lampenkolbens. Der Kolben nach Figur 3 bildet ein gasdicht abgeschlossenes
einstückiges Lampengehäuse aus Quarzglas. Demgegenüber ist das Lampengehäuse bei Figur h zusammengesetzt aus Metallteilen
bestehend, nämlich dem Doppelmantel 8·, welcher Kühlmittel-durchflossen
ist, wie die Anschlüsse 13 und Ik zeigen,
bevorzugt in einem Kühlmittelkreislaufsystem, wie es auch
für die Kühlung der Blende angewendet wird und einer Stirnseite 9', die den Boden bildet und als Platte mit dem
zylindrischen Doppelmantel 81 des Lampengehäuses verbunden
ist.
030051 /0285
In dem Boden 9' könneiuütrotnzuleitungen und/oder Kühlmittelzufuhr-
und -abfuhrleitungen gasdicht eingesetzt sein. Die andere Stirnseite des Gehäuses wird von einem Fenster 10'
gebildet, das an seinem Umfang gasdicht in den Mantel 8' eingesetzt ist und in dem interessierenden Wellenlängenbereich
gut durchlässig ist. Dieser liegt bei einer Spektrallampe mit Deuterium- oder Wasserstoff-Füllung in einem
Wellenlängenbereich von unterhalb 35Onm. Unter Deuteriumlampe bzw. Wasserstofflampe wird hier eine Entladungslampe mit
einer solchen Füllung verstanden, die entweder vollständig aus diesem Gas besteht oder aber im wesentlichen aus diesem
Gas besteht. Letzteres schließt Zusätze von weiteren Gasen, bevorzugt bekannter Edelgase, ein.
S - 8 -
0 300 51 /0285
Entladungslampe, wassergekühlt, mit Deuterium- oder Wasserstofffüllung des Lampenkolbens, z.B. aus Quarzglas
oder Metall. Gehäuse mit gekühltem Mantel. Im Innern des Lampenkolbens ist eine Blende zwischen Anode und
Kathode in Strahlenaustrittsrichtung (durch ein Fenster hindurch) sich erweiternd angeordnet.
030051/0285
Claims (6)
1./kühlbare Deuteriumlampe,mit in einem gasdicht abgeschlossenen
Lampengehäuse über einer Lochblende angeordneten Anode, einer innerhalb der Lochblende angeordneten Kathode, mit
einer Blendenhalterung und mit durch das Lampengehäuse gasdicht durchgeführten Stromzuleitungen, dadurch gekennzeichnet,
daß die Blendenhalterung (D mit einer Kühlmittelzufuhrleitung (4) und -abfuhrleitung (5) verbunden ist,
die durch das Lampengehäuse gasdicht hindurchgeführt sind.
2. Lampe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (8, 9, 10) aus Quarzglas besteht.
3. Lampe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das
Gehäuse (8, 9, 10) aus Metall besteht.
4. Lampe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Lampengehäuse wenigstens teilweise als Doppelmantelgehäuse
(81) mit Kühlmittelzufuhrleitung ( l4)u,- abfuhrleitung
(15*} ausgebildet ist, wobei das Strahlenaustrittsfenster
(10) gasdicht in das Lampengehäuse eingesetzt ist.
030051/0285
5. Lampe nach Anspruch 3 oder k, dadurch gekennzeichnet,
daß der Boden als Platte (91) gasdicht mit einem zylindrischen
Lampengehäuseteil (81) verbunden ist.
6. Lampe nach Anspruch 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Stromzuleitungen (6,7) und/oder die Kühlmittelzufuhrleitung
(4) und -abfuhrleitung (5)' gasdicht durch die Bodenplatte (91) in das Lampengehäuse geführt sind.
- 3 -
030051/0285
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2923724A DE2923724C2 (de) | 1979-06-12 | 1979-06-12 | Kühlbare Deuteriumlampe |
US06/156,104 US4433265A (en) | 1979-06-12 | 1980-06-03 | Cooled discharge lamp having a fluid cooled diaphragm structure |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2923724A DE2923724C2 (de) | 1979-06-12 | 1979-06-12 | Kühlbare Deuteriumlampe |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2923724A1 true DE2923724A1 (de) | 1980-12-18 |
DE2923724C2 DE2923724C2 (de) | 1983-11-03 |
Family
ID=6073041
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2923724A Expired DE2923724C2 (de) | 1979-06-12 | 1979-06-12 | Kühlbare Deuteriumlampe |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4433265A (de) |
DE (1) | DE2923724C2 (de) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59215654A (ja) * | 1983-05-24 | 1984-12-05 | Hamamatsu Photonics Kk | 改良された複合光源ランプ |
DE19617346A1 (de) * | 1996-04-30 | 1997-11-06 | Pta Planungsbuero Fuer Tech Au | Strahlungsquelle |
US6078132A (en) * | 1998-01-21 | 2000-06-20 | Imaging & Sensing Technology Corporation | Miniature deuterium arc lamp |
US20060175973A1 (en) * | 2005-02-07 | 2006-08-10 | Lisitsyn Igor V | Xenon lamp |
EP2985526B1 (de) * | 2007-04-12 | 2019-07-24 | Nikon Corporation | Entladungslampe, lichtquellenvorrichtung und belichtungsvorrichtung |
US9165738B2 (en) | 2007-04-12 | 2015-10-20 | Nikon Corporation | Discharge lamp, connecting cable, light source apparatus, and exposure apparatus |
CN106525234A (zh) * | 2016-12-08 | 2017-03-22 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种多翅形氘灯紫外光源 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1042115B (de) * | 1955-11-26 | 1958-10-30 | Kern & Sprenger K G Dr | Wassergekuehlte Wasserstofflampe mit Quarzentladungsgefaess |
DE1152482B (de) * | 1961-01-07 | 1963-08-08 | Quarzlampen Gmbh | Wasserstofflampe |
DE1219586B (de) * | 1963-07-19 | 1966-06-23 | Quarzlampen Gmbh | Wassergekuehlte Wasserstofflampe |
DE1273690B (de) * | 1965-07-22 | 1968-07-25 | Original Hanau Quarzlampen | Wassergekuehlte Wasserstofflampe |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL298175A (de) * | 1962-11-20 | |||
US3401292A (en) * | 1966-06-17 | 1968-09-10 | Fivre Valvole Radio Elett Spa | Fluid cooled hollow cathode discharge tube |
FR1555759A (de) * | 1967-11-30 | 1969-01-31 | ||
BE790602A (fr) * | 1971-10-28 | 1973-04-26 | Philips Nv | Dispositif permettant de produire des raies de resonance atomique modulees |
-
1979
- 1979-06-12 DE DE2923724A patent/DE2923724C2/de not_active Expired
-
1980
- 1980-06-03 US US06/156,104 patent/US4433265A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1042115B (de) * | 1955-11-26 | 1958-10-30 | Kern & Sprenger K G Dr | Wassergekuehlte Wasserstofflampe mit Quarzentladungsgefaess |
DE1152482B (de) * | 1961-01-07 | 1963-08-08 | Quarzlampen Gmbh | Wasserstofflampe |
DE1219586B (de) * | 1963-07-19 | 1966-06-23 | Quarzlampen Gmbh | Wassergekuehlte Wasserstofflampe |
DE1273690B (de) * | 1965-07-22 | 1968-07-25 | Original Hanau Quarzlampen | Wassergekuehlte Wasserstofflampe |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2923724C2 (de) | 1983-11-03 |
US4433265A (en) | 1984-02-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0292055B1 (de) | Strahlenquelle zur Erzeugung einer im wesentlichen monochromatischen Röntgenstrahlung | |
EP0465766B1 (de) | Infrarot-Flächenstrahler | |
DE2923724A1 (de) | Entladungslampe | |
DE1133572B (de) | Entladungsroehre mit einer Hohlkathode und einer gekapselten Huelle | |
DE2913464B2 (de) | Gleichstrom-Plasmabrenner | |
WO2009095047A2 (de) | Röntgenstrahlerzeuger sowie dessen verwendung in einem röntgenuntersuchungs- oder röntgenprüfgerät | |
DE1929429A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Anregung eines spektrochemisch zu untersuchenden Materials | |
DE10056623B4 (de) | Röntgenröhre mit einer Seltenerdanode | |
DE526003C (de) | Roentgenroehre | |
DE1042115B (de) | Wassergekuehlte Wasserstofflampe mit Quarzentladungsgefaess | |
DE2223057A1 (de) | Bogenlampe | |
DE3037223C2 (de) | ||
DE1297174B (de) | Thermionischer Energieumwandler zur Gewinnung elektrischer Energie aus der in einem Kernreaktor erzeugten Waermeenergie | |
DE1191484B (de) | Optischer Sender oder Verstaerker mit stimulierter Strahlung in einem gasfoermigen Medium | |
DE1224417B (de) | Thermionischer Energiewandler fuer Kernreaktoren | |
DE552281C (de) | Vorrichtung bei Anlagen mit einer Entladungsroehre, insbesondere zum Erzeugen von Roentgenstrahlen | |
DE2646389C2 (de) | Piezokeramischer elektroakustischer Wandler | |
DE1539829B1 (de) | Kuehlsystem fuer optischen Hochleistungssender | |
DE496041C (de) | Luftdichte Durchfuehrung von Draehten durch eine Glaswand | |
DE342031C (de) | Roentgenroehre mit metallischen, zweckmaessig als Rotationskoerper ausgebildeten Anschlusskappen an den Elektrodenhaelsen | |
AT127131B (de) | Elektrische Glimmentladungsröhre zur Umwandlung elektrischer Stromschwankungen in Lichtschwankungen. | |
DE102004011555B3 (de) | Gasentladungslampe | |
DE869998C (de) | Hochvakuumschmelzofen | |
DE2313913A1 (de) | Entladungslampe, insbesondere fuer fotochemische zwecke | |
DE1540976C3 (de) | Kontaktverbindung für ein drahtförmlges Heizelement |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAP | Request for examination filed | ||
OD | Request for examination | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: W.C. HERAEUS GMBH, 6450 HANAU, DE |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |