DE2923724A1 - Entladungslampe - Google Patents

Entladungslampe

Info

Publication number
DE2923724A1
DE2923724A1 DE19792923724 DE2923724A DE2923724A1 DE 2923724 A1 DE2923724 A1 DE 2923724A1 DE 19792923724 DE19792923724 DE 19792923724 DE 2923724 A DE2923724 A DE 2923724A DE 2923724 A1 DE2923724 A1 DE 2923724A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
lamp
housing
gas
tight
discharge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19792923724
Other languages
English (en)
Other versions
DE2923724C2 (de
Inventor
Helmut Fischer
Juergen Dipl Phys Schaefer
Guenter Thomas
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
WC Heraus GmbH and Co KG
Original Assignee
Original Hanau Heraeus GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Original Hanau Heraeus GmbH filed Critical Original Hanau Heraeus GmbH
Priority to DE2923724A priority Critical patent/DE2923724C2/de
Priority to US06/156,104 priority patent/US4433265A/en
Publication of DE2923724A1 publication Critical patent/DE2923724A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2923724C2 publication Critical patent/DE2923724C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02Details
    • H01J61/52Cooling arrangements; Heating arrangements; Means for circulating gas or vapour within the discharge space

Landscapes

  • Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)

Description

2323724
- 3 - Hanau, 08. Juni 1979 ZPL-Zw/RÖ
ORIGINAL HANAU Heraeus GmbH, Hanau/Main
Patent- und Gebrauchsmusterhilfsanmeldung
"Entladungslampe"
Die Erfindung betrifft eine Entladungslampe, insbesondere eine gekühlte Deuteriumlampe, mit in einem gasdicht abgeschlossenen Lampengehäuse über einer Lochblende angeordneten Anode, einer innerhalb der Lochblende angeordneten Kathode, mit einer Blendenhalterung und mit durch das Lampengehäuse gasdicht hindurchgeführten Stromzuleitungen.
Bekannt sind kühlbare Entladungslampen, bei denen das Elektrodensystem von einem metallischen Gehäuse umgeben ist, an dessen Außenumfang federnde Bügel angeordnet sind. Da ein Kühlmantel das metallische Gehäuse umgibt, kann über die Federn auch Wärme abgeführt werden (siehe DE-PS 11 52 482).
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Entladungslampe hoher Strahldichte zu schaffen, die eine verbesserte Wärmeabfuhr von der Einschnürungsstelle der Entladung (Blende) aufweist.
Gelöst wird diese Aufgabe bei einer Entladungslampe der eingangs beschriebenen Art durch die im Kennzeichen des Hauptanspruchs aufgeführten Merkmale. Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.
030051 /0285
Zur Erfindung gehören ausdrücklich auch alle Kombinationen und Unterkombinationen der beanspruchten, dargestellten und beschriebenen Merkmale, sowohl in Kombination untereinander als auch mit an sich bekannten Merkmalen.
Durch die direkte Kühlung der Blende in ihrer Halterung läßt sich die Wärmeabfuhr erheblich verbessern. Die Entladungslampe kann dadurch mit einer wesentlich größeren elektrischen Leistung betrieben werden. Da die Strahldichte der elektrischen Leistung in etwa proportional ist, läßt sie sich bei der Erfindung trotz gleichbleibendem Blendendurchmesser gegenüber der bekannten Entladungslampe erheblich steigern.
In den beigefügten Zeichnungen sind verschiedene Ausführungsformen der Erfindung rein schematisch dargestellt und anhand der nachfolgenden Beschreibung erläutert. Die Erfindung ist jedoch nicht auf diese Ausführungsbeispxele beschränkt, sondern es können ohne weiteres hieran Abänderungen vorgenommen werden, ohne hierdurch den Rahmen der Erfindung zu verlassen.
Es zeigen:
Fig. 1 : eine Blende mit direkter Kühlung, Fig. 2 : eine andere Ausführungsform der direkt gekühlten
Blende,
Fig. 3 : eine Entladungslampe mit direkt gekühlter Blende
im Lampenkolben,
Fig. 4 : eine andere Ausführung ähnlich Figur 3·
030051 /0285
Die Blende mit in Strahlrichtung kegelförmig sich erweiternder Öffnung, deren kleinster Durchmesser etwa bei 1 mm beginnt, ist in einem Körper 1 zentral angebracht, z.B. gebohrt, der einen Ringkanal 3-.aufweist, in den eine Leitung k für die Kühlmittelzufuhr und eine Leitung 5 für die Kühlmittelabfuhr mündet. Der gesamte Körper 1 weist von oben gesehen Ringform auf und besteht aus einem Material guter Wärmebeständigkeit wie Molybdän. Der Außendurchmesser des Körpers 1 beträgt zwischen ca. 50 mni und 80 mm.
Die Konstruktion der Blende richtet sich nach dem jeweiligen gewünschten Einschnürungsgrad des Strahls.
Die Leitungen *t und 5 haben sich bewährt aus korrosionsbeständigem Metall oder Legierung, wie z.B. Edelstahl, Nickel oder Nickel-Legierung.
Die Ausführungsform der Blende nach Figur 2 unterscheidet sich von derjenigen nach Figur 1 dadurch, daß die Kühlkanäle 3 im Querschnitt gesehen kreisförmig und von oben gesehen spiralförmig ausgebildet sind, jeweils mit Zu- und Abfuhrleitungen k und 5 versehen.
Wesentlich ist, daß bei allen Ausführungsformen der direkte Wärmeübergang von der durch die Kühlkanäle strömenden Kühlflüssigkeit, wie Wasser, zur Blende optimal gestaltet ist.
Wegen der beengten räumlichen Verhältnisse bei einer derartigen Entladungslampe sind den Dimensionen des Elektrodensystems Grenzen gesetzt. Dies gilt auch deshalb, weil für den Strahlenaustritt praktisch nur eine Stirnseite in Frage kommt und die Stromeinführungen dann im Bereich der gegenüberliegenden Stirnseite des Lampenkolbens anzuordnen sind.
030051 /0285
Diese Anordnung der gasdichten Stromeinführungen 6 und 7, z.B. durch Einschmelzen in den Quarzmantel 8 des Lampenkolbens an dessen Stirnseite 9 ist aus Figur 3 ersichtlich. Dort ist auch die gasdichte Hindurchführung zum Beispiel durch Einschmelzen der Kühlmittelzufuhrlextung k und der Kühlmittelabfuhrleitung 5 dargestellt.
Die der Stirnseite 9 gegenüberliegenden Stirnseite 10 ist mit dem Mantel 8 einstückig ebenfalls aus strahlendurchlässigem Quarzglas bestehend und bildet ein Fenster. Mit ist die Anode und mit 12 die Kathode der Entladungslampe bezeichnet, zwischen denen die Entladung brennt. Die Kathode Ii besteht vorzugsweise aus einem Wolfram-Wendel und wird von dem sie durchfließenden elektrischen Strom beheizt. Für die Anode 11 hat sich bewährt ein Ring oder eine Scheibe aus Wolfram oder Molybdän.
Bei der Ausführung nach Figur 3 ist der Ringkanal 3 im Querschnitt gegenüber demjenigen nach Figur 1 vergrößert.
Die Ausführung nach Figur k unterscheidet sich von derjenigen nach Figur 3 vor allem in der Ausführung des Lampenkolbens. Der Kolben nach Figur 3 bildet ein gasdicht abgeschlossenes einstückiges Lampengehäuse aus Quarzglas. Demgegenüber ist das Lampengehäuse bei Figur h zusammengesetzt aus Metallteilen bestehend, nämlich dem Doppelmantel 8·, welcher Kühlmittel-durchflossen ist, wie die Anschlüsse 13 und Ik zeigen, bevorzugt in einem Kühlmittelkreislaufsystem, wie es auch für die Kühlung der Blende angewendet wird und einer Stirnseite 9', die den Boden bildet und als Platte mit dem zylindrischen Doppelmantel 81 des Lampengehäuses verbunden ist.
030051 /0285
In dem Boden 9' könneiuütrotnzuleitungen und/oder Kühlmittelzufuhr- und -abfuhrleitungen gasdicht eingesetzt sein. Die andere Stirnseite des Gehäuses wird von einem Fenster 10' gebildet, das an seinem Umfang gasdicht in den Mantel 8' eingesetzt ist und in dem interessierenden Wellenlängenbereich gut durchlässig ist. Dieser liegt bei einer Spektrallampe mit Deuterium- oder Wasserstoff-Füllung in einem Wellenlängenbereich von unterhalb 35Onm. Unter Deuteriumlampe bzw. Wasserstofflampe wird hier eine Entladungslampe mit einer solchen Füllung verstanden, die entweder vollständig aus diesem Gas besteht oder aber im wesentlichen aus diesem Gas besteht. Letzteres schließt Zusätze von weiteren Gasen, bevorzugt bekannter Edelgase, ein.
S - 8 -
0 300 51 /0285
Zusamtnenf as sung
Entladungslampe, wassergekühlt, mit Deuterium- oder Wasserstofffüllung des Lampenkolbens, z.B. aus Quarzglas oder Metall. Gehäuse mit gekühltem Mantel. Im Innern des Lampenkolbens ist eine Blende zwischen Anode und Kathode in Strahlenaustrittsrichtung (durch ein Fenster hindurch) sich erweiternd angeordnet.
030051/0285

Claims (6)

Hanau,08. Juni 1979 ZPL-Zw/Rö ORIGINAL HANAU Heraeus GmbH, Hanau/Main Patent- und Gebrauchsmusterhilfsanmeldung "Entladungslampe" Patentansprüche Entladungslampe, insbesondere
1./kühlbare Deuteriumlampe,mit in einem gasdicht abgeschlossenen Lampengehäuse über einer Lochblende angeordneten Anode, einer innerhalb der Lochblende angeordneten Kathode, mit einer Blendenhalterung und mit durch das Lampengehäuse gasdicht durchgeführten Stromzuleitungen, dadurch gekennzeichnet, daß die Blendenhalterung (D mit einer Kühlmittelzufuhrleitung (4) und -abfuhrleitung (5) verbunden ist, die durch das Lampengehäuse gasdicht hindurchgeführt sind.
2. Lampe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (8, 9, 10) aus Quarzglas besteht.
3. Lampe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (8, 9, 10) aus Metall besteht.
4. Lampe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Lampengehäuse wenigstens teilweise als Doppelmantelgehäuse (81) mit Kühlmittelzufuhrleitung ( l4)u,- abfuhrleitung (15*} ausgebildet ist, wobei das Strahlenaustrittsfenster (10) gasdicht in das Lampengehäuse eingesetzt ist.
030051/0285
5. Lampe nach Anspruch 3 oder k, dadurch gekennzeichnet, daß der Boden als Platte (91) gasdicht mit einem zylindrischen Lampengehäuseteil (81) verbunden ist.
6. Lampe nach Anspruch 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Stromzuleitungen (6,7) und/oder die Kühlmittelzufuhrleitung (4) und -abfuhrleitung (5)' gasdicht durch die Bodenplatte (91) in das Lampengehäuse geführt sind.
- 3 -
030051/0285
DE2923724A 1979-06-12 1979-06-12 Kühlbare Deuteriumlampe Expired DE2923724C2 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2923724A DE2923724C2 (de) 1979-06-12 1979-06-12 Kühlbare Deuteriumlampe
US06/156,104 US4433265A (en) 1979-06-12 1980-06-03 Cooled discharge lamp having a fluid cooled diaphragm structure

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2923724A DE2923724C2 (de) 1979-06-12 1979-06-12 Kühlbare Deuteriumlampe

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2923724A1 true DE2923724A1 (de) 1980-12-18
DE2923724C2 DE2923724C2 (de) 1983-11-03

Family

ID=6073041

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2923724A Expired DE2923724C2 (de) 1979-06-12 1979-06-12 Kühlbare Deuteriumlampe

Country Status (2)

Country Link
US (1) US4433265A (de)
DE (1) DE2923724C2 (de)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59215654A (ja) * 1983-05-24 1984-12-05 Hamamatsu Photonics Kk 改良された複合光源ランプ
DE19617346A1 (de) * 1996-04-30 1997-11-06 Pta Planungsbuero Fuer Tech Au Strahlungsquelle
US6078132A (en) * 1998-01-21 2000-06-20 Imaging & Sensing Technology Corporation Miniature deuterium arc lamp
US20060175973A1 (en) * 2005-02-07 2006-08-10 Lisitsyn Igor V Xenon lamp
EP2985526B1 (de) * 2007-04-12 2019-07-24 Nikon Corporation Entladungslampe, lichtquellenvorrichtung und belichtungsvorrichtung
US9165738B2 (en) 2007-04-12 2015-10-20 Nikon Corporation Discharge lamp, connecting cable, light source apparatus, and exposure apparatus
CN106525234A (zh) * 2016-12-08 2017-03-22 中国科学院合肥物质科学研究院 一种多翅形氘灯紫外光源

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1042115B (de) * 1955-11-26 1958-10-30 Kern & Sprenger K G Dr Wassergekuehlte Wasserstofflampe mit Quarzentladungsgefaess
DE1152482B (de) * 1961-01-07 1963-08-08 Quarzlampen Gmbh Wasserstofflampe
DE1219586B (de) * 1963-07-19 1966-06-23 Quarzlampen Gmbh Wassergekuehlte Wasserstofflampe
DE1273690B (de) * 1965-07-22 1968-07-25 Original Hanau Quarzlampen Wassergekuehlte Wasserstofflampe

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL298175A (de) * 1962-11-20
US3401292A (en) * 1966-06-17 1968-09-10 Fivre Valvole Radio Elett Spa Fluid cooled hollow cathode discharge tube
FR1555759A (de) * 1967-11-30 1969-01-31
BE790602A (fr) * 1971-10-28 1973-04-26 Philips Nv Dispositif permettant de produire des raies de resonance atomique modulees

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1042115B (de) * 1955-11-26 1958-10-30 Kern & Sprenger K G Dr Wassergekuehlte Wasserstofflampe mit Quarzentladungsgefaess
DE1152482B (de) * 1961-01-07 1963-08-08 Quarzlampen Gmbh Wasserstofflampe
DE1219586B (de) * 1963-07-19 1966-06-23 Quarzlampen Gmbh Wassergekuehlte Wasserstofflampe
DE1273690B (de) * 1965-07-22 1968-07-25 Original Hanau Quarzlampen Wassergekuehlte Wasserstofflampe

Also Published As

Publication number Publication date
DE2923724C2 (de) 1983-11-03
US4433265A (en) 1984-02-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0292055B1 (de) Strahlenquelle zur Erzeugung einer im wesentlichen monochromatischen Röntgenstrahlung
EP0465766B1 (de) Infrarot-Flächenstrahler
DE2923724A1 (de) Entladungslampe
DE1133572B (de) Entladungsroehre mit einer Hohlkathode und einer gekapselten Huelle
DE2913464B2 (de) Gleichstrom-Plasmabrenner
WO2009095047A2 (de) Röntgenstrahlerzeuger sowie dessen verwendung in einem röntgenuntersuchungs- oder röntgenprüfgerät
DE1929429A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Anregung eines spektrochemisch zu untersuchenden Materials
DE10056623B4 (de) Röntgenröhre mit einer Seltenerdanode
DE526003C (de) Roentgenroehre
DE1042115B (de) Wassergekuehlte Wasserstofflampe mit Quarzentladungsgefaess
DE2223057A1 (de) Bogenlampe
DE3037223C2 (de)
DE1297174B (de) Thermionischer Energieumwandler zur Gewinnung elektrischer Energie aus der in einem Kernreaktor erzeugten Waermeenergie
DE1191484B (de) Optischer Sender oder Verstaerker mit stimulierter Strahlung in einem gasfoermigen Medium
DE1224417B (de) Thermionischer Energiewandler fuer Kernreaktoren
DE552281C (de) Vorrichtung bei Anlagen mit einer Entladungsroehre, insbesondere zum Erzeugen von Roentgenstrahlen
DE2646389C2 (de) Piezokeramischer elektroakustischer Wandler
DE1539829B1 (de) Kuehlsystem fuer optischen Hochleistungssender
DE496041C (de) Luftdichte Durchfuehrung von Draehten durch eine Glaswand
DE342031C (de) Roentgenroehre mit metallischen, zweckmaessig als Rotationskoerper ausgebildeten Anschlusskappen an den Elektrodenhaelsen
AT127131B (de) Elektrische Glimmentladungsröhre zur Umwandlung elektrischer Stromschwankungen in Lichtschwankungen.
DE102004011555B3 (de) Gasentladungslampe
DE869998C (de) Hochvakuumschmelzofen
DE2313913A1 (de) Entladungslampe, insbesondere fuer fotochemische zwecke
DE1540976C3 (de) Kontaktverbindung für ein drahtförmlges Heizelement

Legal Events

Date Code Title Description
OAP Request for examination filed
OD Request for examination
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: W.C. HERAEUS GMBH, 6450 HANAU, DE

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee