DE1929429A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Anregung eines spektrochemisch zu untersuchenden Materials - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Anregung eines spektrochemisch zu untersuchenden Materials

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    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes

Description

Patentanwälte Dipl.-Ing. F. Weickmann, 1929429
Dipping. H. Weickmann, Difl.-Phys. D*. K-Fincke Dipl.-Ing. E A.Weickmann, Dipl.-Chem. B. Huber
$ MÖNCHEN 16, DEN
POSTFACH 160120
HDHLSTR.ASSE 22, RUFNUMMER. 413921/22
APPLIED RESEARCH LABORATORIES, liiC.
Sunjand, California, V. St. v. A.
Verfahren und Vorrichtung zur Anregung eines spektrocheinisch zu untersuchenden Materials
Die Erfindung besieht sich auf ein neues Verfahren und auf eine neue Vorrichtung; zur spektrochemischen Analyse eines Materials, und swar durch optische Emission oder durch atomare Strahlenabsorption oder durch beide Methoden. Die Erfindung betrifft insbesondere ein neues Verfahren und eine neue Vorrichtung zur irzeuiruns eines elektrischen Lichubo ens, in aen ei*: ^u untei'suciiendes Material eingeführt wird und i^.viea" die auftretenden Vor;änL:e beobachtet; v;erden.
Kine äpeictrocheniische Analyse ciurcii Lichüausae—ncun;; unci aui:a atomare Absorption ist; bekannt und im -.veicen uv.fai^. benuczu. ' Bei diesem Verfahren v.ird jener eil ein zu unue -ou -nenues Matex'ial auf eine relativ Iiohe üer.meraüur ovh~~ - ::.-:■, bei der e^ veraai.;pLt, dissoziiert und bei der die Ma"car^a.Ui.^onie angeregt werden. .Bei der optischen Jimiü si one. analyse ',.'i^-a das von dem Material aus-..estrahlte Licht untersucht«. Bei der atomaren Absorptions-
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analyse wird das von einer gesonderten Lichtquelle abgegebene Licht durch das angeregte Material geleitet, und die auftretende Abschwächung wird gemessen.
Es sind bereits viele verschiedene Anordnungen benutzt und vorgeschlagen worden, um zu untersuchende Materialien anzuregen. Allen derartigen Anordnungen haften jedoch verschiedene Nachteile oder Beschränkungen an.
Der Erfindung liegt demgemäß die "Aufgabe zu Grunde, einen besonders günstigen Weg zu zeigen, wie ein Material zur Untersuchung durch optische Emission oder durch atomare Absorotion angeregt v/erden kann. Die in dies ein Zusammenhang neu zu schaffende Anordnung soll viele der den bekannten Anordnungen anhaftenden Beschränkungen und Nachteile vermeiden bzw. überwinden, ferner soll die neu zu schaffende Anordnung einfach au!zubauen, billig herzustellen sowie im Gebrauch einfach und zuverlässig bein und eine lange Betriebslebencuauer besitzen.
Gelöst wird die vorstehend aufgezeigte Aufrabe mir einem Verfahren zur Anregun . eines elektrochemisch zu untersuchenden Materials erfinaungsgeiiVii: dadurch, d.a-; ein ionisierbai-eo Arbeitsras durch ein /tonr geleitet wira, da.- entlang des Rohres im Bereich des Gases ein elektrischer Lichtbogen erzeugt wird und aa/i das zu untersuchende Material in fließfähigem Zustand' in das Gas derart eingeleitet WU1C., c.&.\ es von diesel durch uen Lichtbogen durchgeführt wira. Der Lichtbogen wird dabei vorzugöv.eise innerhalb ties Rohres wand-stabilisiert. Dadurch besitze der Lichtbogen eine sehr hohe Leistungsdichte, und außerdem isc er in seiner Lage und in seiner Form sehr stabil ο
iinulr..iu: ces Lichcbo ena verläuft vorzugsweise eine Beooachtungsrichtung.. Auf aiese .'/eise ist eine opbiuale Signalermittelung sichergestellt, und zwar unabnängi.v von der Stelle-in dem Lichtbogen, an der die Signale'abgegeben werden oder mit voller
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Üirlrke auftreten. Selbst Absorptions effekte sine, hier im Vergleich zu anderen bekannten Anordnungen klein. Die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren arbeitende Vorrichtung ist imstande, über längere Zeitspannen hinweg ununterbrochen ruhif und ohne finanziellen Aufwand zu arbeiten. Ferner ist die erfindungs,.;emäfie Vorrichtung leicht und einfach zu gebrauchen, und außerdem ist sie im Gebrauch robust und lange beständig. Die erfindungsgemäße Vorrichtung bringt darüber hinaus noch weitere, im folgenden noch näher ersichtlich werdende /orteile miU sich.
An liand von Zeichnungen werden Ausführungsbeispiele der Erfindung nachstehend näher erläutert.
i'ig. 1 zeigt in einer Teil schnitt ansicht eine elektrische Lichtbogen-Plaumaouelle reiuäß einer Ausführung ;sform der Erfindung .
I1Ig. 2 zeigt in einer Teil schnitt ansicht; eine elektrische Lichtbogen-Plaamaquelle gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung zur Durchführung einer Untersuchung durch, atomare Absorption.
Bei der in Fig. 1 dargestellten ersten Aus führungs form gemäß der Erfindung ist eine Plasmaquelle vorgesehen und so ausgelegt, daß eine Untersuchung durch optische Ausstrahlung ermöglicht ist. Die Plasmaquelle enthält im wesentlichen einen zylindrischen Behälter 10 mit einer kleinen Öffnung 12 an einem Ende, ein .Fenster 14 an dem der öffnung 12 gegenüberliegenden Ende, eine Gas-Einlaßöffnung 16 in der dem Fenster Λι\- benachbarten Seitenwand des Behälters und eine Kühlanordnung, wie den ringförmigen Durchgang 1S. Diese Kühlanordnung aient dazu, eine Flüssigkeit zirkulieren zu lasten und damit die '.l-xnc, üer öffnung Λ'.Ι abzukühlen. Das die Gf f nun;. 12 umgebende hat er i al ist elektrisch und thermisch leitend. Ss dient für den zu erzeugenden Lichtbot en als Anode.
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>* An dem oberen Ende des Behälters oder Kessels 10 ist über der Anode 12 eine Scheibe oder Platte 20 befestigt. Diese
• r Scheibe 20 besteht aus einem hitzebeständigen, isolierenden Material, wie z.B. aus Bornitrid. In der Scheibe 20 ist ein Durchgang bzw. ein Loch 22 enthalten.Das Loch 22 stellt die Einführungskammer für das zu untersuchende Material dar. Seitlich von der Kammer 22 aus erstreckt sich zur Außenseite der Platte 20 hin ein Zuführrohr 24·.
Auf der vom Behälter 10 abgewandten Seite der Platte 20 ist an dieser ein Kapillarrohr 26 befestigt. Dieses Kapillarrohr W besteht aus einem thermisch leitenden kappenförmigen Körper 28-. Der Körper 28 wird dynamisch gekühlt, indem eine Kühlflüssigkeit durch den ringförmigen Durchgang 27. hindurchgeleitet wird. Das Rohr 26, die Einführkammer 22 und die Anode 12 sind koaxial zueinander ausgerichtet.
Es sei bemerkt, daß der hier benutzt© Ausdruck " Kapilare" nicht als Ausdruck verstanden werden soll, der eine Beschränkung auf Abmessungen in der Größenordnung von Haardicken mit sich bringt; vielmehr sollen bei Verwendung einer derartigen Bezeichnung auch Rohre miterfaßt sein, die Durchmesser besitzen, welche wesentlich größer sind als ca. 3j2 bzw. sogar 6,4 mm. Die Verwendung des jeweiligen Rohrdurchmessers hängt von dem in dem Lichtbogen vorhandenen athmosphärischen Druck ab. Mit dem Ausdruck"Kapillare"soll somit der Umstand bezeichnet werden, daß der Durchmesser des jeweils verwendeten Rohres klein genug ist, damit der Lichtbogen "wand-stabilisiert" werden kann. -Die Wand des Rohres kühlt den Außenbereich des durch das Rohr hindurchströnienden Gases derart ab, daß dieser Außenteil des Gases nicht hinreichend stark erwärmt ist, um elektrisch leitfähig zu sein. Lediglich ein kleiner Teil des Gases um die . Mittelachse des Rohres herum bewirkt die Entladung. Die an der Rohrwand auftretenden Wärmeverluste sind hoch, und daher muß der Lichtbogen, um aufrecht erhalten zu werden, eine sehr hohe Leistungsdichte besitzen. Dadurch sind die Lage und die Form
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des Lichtbogens stabil, und außerdem werden sehr starke Signale erzeugt·
Eine Kathode 30 aus einem Elektronen emittierenden Material, .wie z.B. ein Draht aus einer Legierung, die 99# Wolfram und 1# Thorium enthält, ist mit Hilfe eines Isolierträgers 32 in einer Bohrung 34 angeordnet, die seitlich in das Rohr 26 hineinragt, und zwar an einer Stelle, die dem Ende gegenüber-liegt, an der die Platte 20 vorgesehen ist. Die Spitze der Kathode ist von dem Rohr 26 zurückgesetzt. Eine Auslaßöffnung 36 führt zu dem Loch 34 hin und stellt somit eine Verbindung zwischen dem Rohr 26 und der Außenluft her.
Während des Betriebs wird ein Arbeitsgas, wie Argon9 sowohl durch die öffnung 16 neben dem Fenster 14 als auch durch das Zuführrohr 24 hindurchgeleitet. Das Arbeitsgas besitzt dabei in typischer Weise normalen athmosphärischen Druck. Aus dem Innern der Einrichtung wird dabei Luft schnell herausgeleitet. Die in der Einrichtung vorhandene Athmpsphäre besteht somit nach relativ kurzer Zeit praktisch vollständig aus dem Arbeit3— gas. iiunmehr wird ein Lichtbogen erzeugt» Dies kann dadurch erfolgen, daß ein kurzzeitig auftretender Hochspannungsfunks erzeugt wird. Besteht der Körperteil 26 aus einem elektrisch leitenden Material, so gelangt der Lichtbogen von der Anode zu α em nüchs Inliegenden Punkt des Rohres 2o hin und von der Kathode 30 zu einem Punkt hin, der von dem Körperteil 26 aus am nahesten zu der Kathoue 30 liegt. Der Lichtbogen verbleibt in diesem Zustand für eine kurze Zeitspanne. Wahrend dieser Zeitspanne wird die Spitze der Kathode 30 ei-hitzt. Ist die Spitze der Kathode 30 hinreichend stark erhitzt, so erfolgt ein übergang des Lichtbogens in einen ungehinderten Zustand zwischen der Anode 12 und der Kathode 30. Der Lichtbogen wird dabei ',·.*anastabilisiert. Dies tritt unter den meisten Bedingungen automatisch auf, v/enn das Rohr 26 nicht zu lang ist* Ist diese Bedingung nicht eingehalten, so kann der Übergasig dadurch ar-
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leichtert werden, daß kurz die Strömung des Arbeitsgases verstärkt wird'· Dies kann im übrigen in den meisten Fällen erforderlich sein, in denen da? Bohr 26 langer als etwa 25,4- nun ist.
Sind das kappenformige !Teil 28 und die Innenwand des Rohres 26 elektrisch nicht leitend, so kann der Lichtbogen durch Erzeugung eines Hoeh·pannungsfunkens sich direkt zwischen der Anode und der Kathode ausbilden. Ist der Abstand für eine direkte Zündung durch einen Funken zu groß, so kann der Lichtbogen durch Verwendung einer beweglichen Hilfselektrode (nicht gezeigt) gezogen werden.
Befindet sich der Lichtbogen in seinem wandestabilial©pten Zustand und wird er durch das Arbeitsg-as zwisehsKi der Anode 12 und der Kathode 30 aufrechterhalten, so kann dl© Untersuchung fortgeführt werden. Das an untersuchende Material wird in die Kammer 22 durch das Zuführrelir 24 9iB.gefüiarto Bae zn untersuchende Hatarial wird daöai mit ύ,-sm. Iroeltsgas mitgerissen« Bas au analysierende Licht -:>/ir& durch d&s 'Fsnstev 14 aufgefangen Bas Fenster 14 gestattet da^ei aiaan Blick auf das eine Ende in das Rohr 26 durch di.3 Anods 12« Die Siardebijusg arbeitet bei einem Druck, der nahezu bei athmosphärisslasm Dr-uck liegt; sie erfordert Ig&iglicii relativ geringe Mengen an Arbeitsgas. Ein ϊ/ert lieot bei ca. 6p bis 140 Liter- pro Stunde»
Die tatsächlichen Abmessungen der verschiedenen Teile der Vorrichtung bilden keine die Erfindung- in der praktischen Ausführung beschränkenden !Faktoren; die Abmessungen können vielmehr entsprechend der jeweiligen Ausführungsform innerhalb v;eiter Grenzen variiert werden. Bei einer tatsächlich ausgeführten Ausfuhrungsform, die während vieler Stunden erfolgreich betrieben worden ist, besaß das Eapillarrohr 26 einen Durchmesser von etwa 3,2 mm und eine Lange von etwa 19 es, Die Einführungskammer besaß einen Durchmesser von etv/a 6,4 mm und eine Länge
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von etwa 8 mm. Die Anodenöffnung 12 besaß eine Länge und einen Durchmesser von jeweils etwa 3»2 mm. Das Fenster 14 besaß einen Durchmesser von etwa 28,6 mm; es war von der Anodenöffnung 12 etwa 60,3 mm entfernt. Die Kathode 30 be- . " stand aus einem Wolfram-Thorium-Draht mit einem Durchmesser von nominell 0,76 mm. Der betreffende Draht enthielt 99# Wolfram und 1# Thorium; seine Spitze ist zu einen ziemlich feinen Punkt zugespitzt. Auf diese Weise ist die Lokalisierung des kathodenseitigen Endes des Lichtbogens sichergestellt. Ferner erfolgt dadurch eine Hitzekonzentration, die den Entladepunkt der Kathode heiß genug hält, um eine genügende Elektronenemission aufrechtzuerhalten.
Das Fenster 14 ist von dem Lichtbogen entfernt, um die Ablagerung von Plasmaprodukten auf dem Fenster auf einen minimalen Wert zu halten. Die Strömung des Arbeitsgases unterstützt ferner die Reinhaltung des Fensters. Es wird derzeit jedoch angenommen, daß in nahezu sämtlichen Fällen irgendein Abstand sich als wünschenswert herausteilt, da in dem Plasma. ggfs. vorhandene feine Festkörperpartikelehen dazu neigen, entgegen der Gasströmung zu diffundieren. Der Durchmesser des Fensters 14 ist im Hinblick auf die Lichtzuführung zu dem für die Betrachtung des Lichtbogens benutzten Spektrometer entsprechend gewählt. Der Durchmesser ist vorzugsweise relativ groß, um dai Auf£angwinke1 zu maximieren und damit die Lichtmenge von dem Lichtbogeiis äie ^u dem Spektrometer hin gelangt. Die Kathode 30 ist von dem Sehr 26 vorzugsweise zurückgezogen, Samit. die Einflüsse auf das abgegebene Licht durch die Kathode einen minimalen. ¥@rt fe"©sits©no
Nachstehend sind typische Arbeitsbedingungen bei der gerade be schrieb eilen Ausführungsform der Erfindung angegeben: Durch das Rohr 24 eintretendes G-as O.o°°o Argon mit ca.85 l/h; •durch die Öffnung 16 nahe des Fensters eintretendes Gas......»»» Argon mit ca» 28 l/h|
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Lichtbogenstrom ..., 5 Ampere;
Lichtbogenauslösung durch Hochspannungs-Funkenquelle;
zu analysierendes Material ein Milligramm pro Minute,
Submikron-Partikel in trockenem Aerosol.
IPür eine Analyse durch atomare Absorption besitzt die Quelle, wie Fig. 2 erkennen läßt, zusätzlich einen zylinderförmigen
der
Hilfsbehälter 40, der von/der Anode 12 gegenüberliegenden Seite des Rohres 26' aus sich erweitert. Ein an dem Ende des Hilfsbehälters vorgesehenes Fenster 42 gestattet den Durchtritt von Licht oder anderer Strahlung, die von irgendeiner gewählten Quelle (nicht dargestellt) in das Rohr 26 von dem kathodenseitigen Ende her eingeführt wird. In der Seitenwand des Hilfsbehälters ist eine Öffnung 44 vorgesehen, die zur Zuführung des Arbeitsgases dient.
Bei der vorliegenden Ausführungsform der Erfindung kann der Lichtbogen von jedem Ende aus betrachtet werden. Wird der Lichtbogen von dem kathodenseitigen Ende aus betrachtet, so können bedeutende Strahlungsmengen von der Kathode 30 her festgestellt werden, was zuweilen die Analyse stört. Aus diesem Grund v/erden sämtliche spektrometrischen Messungen derzeit vorzugsweise auf dem anodenseitigen Ende vorgenommen.
Die für die Analyse durch atomare Absorption benutzte Lichtquelle kannj sofern erwünscht, in dem Hilfsbehälter 40 angeordnet sein. Ist die Lichtquelle jedoch außerhalb des Behälters angeordnet, so kann es in einigen Fällen von Vorteil sein, das Fenster 42 als Linse auszubilden, um das Licht auf das KapillariOhr 26' zu konzentrieren.
Das durch die in den ersten Behälter enthaltene öffnung 16 und ferner durch die in dem zweiten Behälter enthaltene
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Öffnung 44 eingeführte Arbeitsgas dient dazu, die Fenster 14 und 42 sauber und frei von dem Plasma zu halten, das sonst in die Behälter 10 und 40 hineingezogen werden könnte, und zwar auf Grund der Druckverminderung in den betreffenden Behältern während des Betriebs.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung überwindet die meisten der den bekannten Anordnungen anhaftenden Nachteile und Beschränkungen mit Erfolg. Störspektren, und zwar entweder durchgehende oder einzelne, werden auf jene beschränkt, die durch in beabsichtigter Weise eingeführte Substanzen hervorgerufen v/erden. Durch vernünftige Wahl des Arbeitsgases kann eine Störung zwischen der durch das Arbeitsgas selbst hervorgerufenen Strahlung und der Strahlung, die zu messen erwünscht ist, vermieden, werden. Der Verbrauch an Schutzgasen (das ist das Arbeitsgas) liegt um eine Größenordnung niedriger als bei vergleichbaren bekannten Plasmaeinrichtungen, die bei athmosphärischem Druck arbeiten. Die Anwendung in dem ferner Ultraviolettbereich ist lediglich durch die Art des benutzten Fenstermaterials und durch die Transparenz des Arbeitsgases beschränkt. Wird für das Fenster 14- z.B. Lithiumfluorid verwendet, so kann eine Strahlung bei Wellenlängen von etwa 1100 Angström festgestellt werden. Die Einrichtung kann ohne weiteres direkt mit einem Vakuum-Spektrometer gekoppelt werden. Die erforderlichen Speisegeräte sind relativ klein und billig, und zwar insbesondere im Vergleich zu der bekannten Art der Erzeugung von Plasmas und im Vergleich zu Einrichtungen mit unterbrochener Entladung. Die Erosion und die damit verbundene wiederholte Wartung der Kathode 30 sind nahezu vollständig eliminiert und im Vergleich zu der Erosion und der erforderlichen Wartung von bekannten Gleichstrom-Plasmastrahlen zu einem großen Teil reduziert.
Das Rohr 26 kann lang genug gemacht werden, um hochempfindliche atomare Absorptionsmessungen durchführen zu können.
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Darüber hinaus können die Betriebsparameter, wie der Lichtbogenstrom und die Arbeitsgasströmung, optimiert werden. Dies kann unabhängig von dem Verfahren oder der Einrichtung erfolgen, durch die das Material analysiert v/ird. Die Optimierung der Betriebsparameter hat dabei keinen Einfluß auf das Verfahren oder die erwähnte Einrichtung. Ferner braucht das zu analysierende Material nicht elektrisch leitend zu sein, wie dies bei herkömmlichen Lichtbogen- und Funkenentladequellen der Fall ist. Jedes Material kann in den Lichtbogen eingeleitet v/erden. Es ist lediglich erforderlich, daß das betreffende Material in Form eines Gases oder in nebeiförmigem Zustand in den Lichtbogen eingeführt werden kann.
Sofern erwünscht, können die öffnungen 12 bzw. 12' teilweise isoliert sein; es kann aber auch eine gesonderte Anode (nicht dargestellt) benutzt werden, um das anodische Ende des Lichtbogens örtlich festzulegen. Auf diese Weise wird die Lagestabilität de« Lichtbogens weiter gesteigert.
Es wird derieit angenowaea, daß die Stroaungsrichtung des Arbeitsgases bei der praktischen Ausführung der Erfindung nicht kritisch ist und daß im wesentlichen entsprechende Analysenergebnisse ersielt werden können, wenn die Gasströmung von der Kathode zur Anode hin gerichtet ist. Dies würde natürlich eine Umordnung der Einführungskammer erfordern, da es wichtig ist, daß das zu analysierende Material eine nennenswerte Länge des Lichtbogens durchquert.
Der im vorstehenden benutzte Ausdruck "Licht" soll nicht nur sichtbares Licht umfassen, sondern auch Strahlung in den benachbarten Bereichen des Spektrums, wie ultraviolette Strahlung und andere Strahlung, die bei der spektrometrischen Analyse des ausgestrahlten Lichtes und bei der atomaren Absorption brauchbar ist.
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Claims (1)

  1. Pat ent an Sprüche
    .} Verfahren zur Anregung eines spektrochemisch zu untersuchenden Materials, dadurch gekennzeichnet, daß ein . ionisierbares Arbeitsgas durch ein Rohr (26) geleitet wird, daß entlang des Rohres (26) im Bereich des Gases ein elektrischer Lichtbogen erzeugt wird und daß das zu untersuchende Material in fließfähigem Zustand in das Gas derart eingeleitet wird, daß es von diesem durch den Lichtbogen durchgeführt wird.
    2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtbogen wand-stabilisiert wird.
    $. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Rohr zur Erzielung der Lichtbogen-Wandstabilisierung, dynamisch gekühlt wird.
    4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5» dadurch gekennzeichnet, daß aas 2U untersuchende Material an einer Stelle nahe eines Endes des Rohres (26) zwischen den Enden des Lichtbogens eingeführt wird.
    5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4-, dadurch gekennzeichnet, daß die in Längsrichtung aus dem Rohr (26) austretende Strahlung spektrochemisch analysiert wird.
    Verfahren nach Anspruch 5? dadurch gekennzeichnet, daß die auf dem anodenseitigen Ende des Rohres (26) auftretende Strahlung spektrametrisch analysiert wird.
    7ο Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das au analysierende Material in gasförmigem Zustand untersucht wird»
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    B." Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch
    ■ gekennzeichnet, daß das zu analysierende Material in nebeiförmigem Zustand untersucht wird.
    9· Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Rohr (26) vorgesehen ist, daß Einrichtungen (16,24-) vorgesehen sind, die ein Gas in Längsrichtung durch das Rohr (26) hindurchleiten, daß Einrichtungen (30,12) vorgesehen sind, die in dem Rohr (26) in dessen Längsrichtung in dem Gas einen elektrischen Lichtbogen aufrecht erhalten, und daß Einrichtungen (24) vorgesehen sind, die ein zu untersuchendes Material in das Rohr (26) derart einführen,daß es in dessen Längsrichtung von dem strömenden Gas mitgenommen wird.
    10. Vorrichtung nach Anspruch 9» dadurch gekennzeichnet, daß das Rohr (26) an zumindest einem Ende (12) offen ist und Licht in Längsrichtung aus diesem Ende (12) austreten läßt.
    11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Rohr (26) aus einem wärmeleitenden Material besteht und daß Einrichtungen (27) zur Kühlung des Rohres (26) vorgesehen sind. -
    12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß eine erste Elektrode (30) neben einem Ende des Rohres (26) vorgesehen ist, daß eine Kammer (22) zwischen dem Rohr (26) und der ersten Elektrode (30) gebildet ist, daß eine zweite Elektrode (12) an dem anderen Ende des Rohres (26) vorgesehen ist, daß eine der beiden Elektroden (30,12) aus einem Elektronen emittierenden
    ■ Material besteht, daß die Kammer (22) eine Öffnung (24) zur Einführung eines Arbeitsgases und eines zu unter-
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    suchenden Materials enthältt und daß eine Ummantelung" (10 bzw. 40) sijph von dem Rohr (26) aus weg erstreckt und ein Fenster (14 bzw· 42) zur Betrachtung der aus dem Rohr (26) in Längsrichtung austretenden Strahlung enthält.
    Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Rohr (26) an beiden. Enden offen ist und an diesen Enden Licht durchläßt.
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    4t
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