EP0381996B1

EP0381996B1 - Ionenerzeugende Einrichtung

Info

Publication number: EP0381996B1
Application number: EP90101387A
Authority: EP
Inventors: Anton Kunz
Original assignee: Balzers AG
Current assignee: OC Oerlikon Balzers AG
Priority date: 1989-02-10
Filing date: 1990-01-24
Publication date: 1994-07-27
Anticipated expiration: 2010-01-24
Also published as: KR900013669A; DE59006537D1; JPH0355772A; EP0381996A2; JP3048057B2; EP0381996A3; US5013268A; CH677163A5

Description

Die Erfindung betrifft eine ionenerzeugende Einrichtung mit besonders gestalteter Verbindung des Heizdrahts zur Erzeugung eines Ionenstroms mit einem Anschlussstromleiter. Wenn beispielsweise in einer Einrichtung zur Vakuumbeschichtung ein Ionenstrom bis 300 Ampere mit dem Heizdraht erzeugt wird, tritt eine Erhitzung auf eine sehr hohe Temperatur von ca. 2500°C auf. Bei derart hohen Temperaturen sind die bisher üblichen Befestigungsarten mittels einer Klemmschraube nicht mehr zuverlässig, wenn die Schraube und die Gewindebohrung in dem hocherhitzten Bereich liegen. Auch andere vorgeschlagene Verbindungsarten wie eine Konusklemmeinrichtung, die sich bei Erhitzung lockert, sind nicht geeignet, um das Unbrauchbarwerden der Verbindung nach einer gewissen Zeit oder Störungen im Stromübergang zu verhindern.
Die Aufgabe der Erfindung bestand daher darin, die zum Festklemmen dienende Schraube von dem hoch erhitzten Bereich etwas weiter weg und an einer Stelle anzuordnen, die besser gekühlt werden kann, und darüber hinaus die mit der Schraube bewirkbare Anspresskraft auf eine kleine Fläche zu konzentrieren.
Aus der FR-A-2 206 031 ist eine Vorrichtung bekannt, bei welcher normale, d.h. nicht besonderen Temperaturbedingungen unterworfene elektrische Leiter mittels einer besonderen mechanischen Verbindung an einen Anschlussstromleiter angeschlossen sind.
Es hat sich nun überraschenderweise gezeigt, dass eine im wesentlichen die Merkmale dieser bekannten elektrischen Verbindung aufweisende Konstruktion die gesuchte Verbindung des Heizdrahtes mit einem Anschlussstromleiter bei einer ionenerzeugenden Einrichtung zu lösen vermag.
Zur Lösung der gestellten Aufgabe weist somit bei der ionenerzeugenden Vorrichtung die Verbindung zwischen Heizdraht und Anschlussstromleiter die Merkmale nach Anspruch 1 auf.
Das vorzugsweise als Kugel ausgebildete Klemmelement ist dabei gegen einen das Ende des Heizdrahtes umschliessenden Schuh angedrückt. Eine einwandfreie Stromübertragung ist gewährleistet.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 ausschnittweise einen Vertikalschnitt durch eine einen Heizdraht zur Erzeugung eines Ionenstroms enthaltende Einrichtung;
Fig. 2 die in Fig. 1 dargestellte Verbindung des Heizdrahts mit einem Anschlussstromleiter in grösserem Massstab.

Die in Fig. 1 dargestellte Einrichtung 1 enthält einen abgetrennten Raum 2, in der eine Ionenquelle 3 in Form einer Wendel angeordnet ist, mittels der ein Ionenstrom bis 300 Ampere erzeugt wird. Der die Ionenquelle bildende Heizdraht 3 weist zwei geradlinige Enden 4 und 5 auf. Diese sind je mit einem Anschlussstromleiter 6 und 7 zu verbinden. Die Verbindung derselben mit je einem Ende des Heizdrahts 3 ist bei beiden Enden gleich ausgebildet und daher in Fig. 1 nur einmal und in Fig. 2 ausschnittweise vergrössert dargestellt.
Das geradlinige Ende 5 des Heizdrahts 3 ist von einem Schuh 8 umschlossen, dessen untere Hälfte einen Längsschlitz 9 aufweist. Der Anschlussstromleiter 7 weist eine aussermittig liegende axiale Bohrung 10 auf, in die sich der Schuh 8 mit dem darin angeordneten geradlinigen Heizdrahtende 5 hineinerstreckt. Parallel zur Bohrung 10 erstreckt sich in den Anschlussstromleiter 7 eine weitere Bohrung 11 hinein, die im Abstand vom oberen Ende in eine Querbohrung 12 mündet und die in geradliniger Fortsetzung der Bohrung 11 unterhalb der Querbohrung 12 als im Durchmesser kleinere Gewindebohrung 13 ausgebildet ist. In der bis zu der den Schuh 8 aufnehmenden Bohrung 10 sich erstreckenden Querbohrung 12 befindet sich ein Klemmelement 14 in Form einer Kugel, die gegen den Schuh 8 anliegt. Eine Schraube 15 weist einen oberen zylindrischen Abschnitt 16 auf, der sich innerhalb der Bohrung 11 befindet sowie einen daran anschliessenden konischen Abschnitt 17 und anschliessend daran einen Gewindeabschnitt 18, mit dem die Schraube 15 in die Gewindebohrung 13 eingeschraubt ist, so dass beim Festziehen der Schraube der konische Abschnitt 17 der Schraube gegen die Kugel 14 angedrückt ist, die ihrerseits gegen den Schuh 8 angedrückt ist. Beim Festziehen der Schraube wird eine grosse Klemmkraft erzeugt, dabei ist die Schraube unterhalb der Kugel in der Gewindebohrung 13 und oberhalb derselben mit den zylindrischen Abschnitt 16 in der Bohrung 11 abgestützt.
Die Schraube 15 befindet sich gemäss Fig. 1 nahe bei einem innerhalb der Einrichtung ausgebildeten Kanal 20 mit einem darin enthaltenen Kühlmedium, so dass auch bei hoher Erhitzung die Klemmwirkung sicher erhalten bleibt.

Claims

Ionenerzeugende Einrichtung, bei welcher die Verbindung des Heizdrahts (3) zur Erzeugung eines Ionenstroms mit einem Anschlussstromleiter (6,7) derart gestaltet ist, dass das geradlinige Ende (4,5) des Heizdrahts (3) sich in eine axiale Bohrung (10) am Ende des Anschlussstromleiters (6,7) hineinerstreckt und in einer dazu parallelen Gewindebohrung (13) im Anschlussstromleiter (6,7) eine Schraube (15) mit einem konischen Abschnitt (17) eingeschraubt ist und dass in einer dazwischen befindlichen Ausnehmung (12) im Anschlussstromleiter ein Klemmelement (14) angeordnet ist, das durch den konischen Abschnitt (17) der Schraube (15) bei deren Festziehen gegen den Endabschnitt des Heizdrahts (3) angedrückt ist.
Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Endabschnitt (4,5) des Heizdrahts (3) von einem im Klemmbereich längsgeschlitzten Schuh (8) umschlossen ist, gegen den das Klemmelement (14) angedrückt ist.
Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Klemmelement (14) als Kugel ausgebildet ist.
Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schraube (15) den konischen Abschnitt (17) zwischen einem unteren Gewindeabschnitt (18) und einem oberen zylindrischen Abschnitt (16) aufweist und unterhalb wie oberhalb des Klemmelements (14) auf der diesem gegenüberliegenden Seite innerhalb des Anschlussstromleiters (6,7) abgestützt ist.