EP0216349B1 - Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung einer Schwarzmatrixschicht - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung einer Schwarzmatrixschicht Download PDF

Info

Publication number
EP0216349B1
EP0216349B1 EP86113054A EP86113054A EP0216349B1 EP 0216349 B1 EP0216349 B1 EP 0216349B1 EP 86113054 A EP86113054 A EP 86113054A EP 86113054 A EP86113054 A EP 86113054A EP 0216349 B1 EP0216349 B1 EP 0216349B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
layer
trough
black matrix
resist layer
clamping device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP86113054A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0216349A2 (de
EP0216349A3 (en
Inventor
Volker Gerstle
Gerhard Maunz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nokia Deutschland GmbH
Original Assignee
Nokia Unterhaltungselektronik Deutschland GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nokia Unterhaltungselektronik Deutschland GmbH filed Critical Nokia Unterhaltungselektronik Deutschland GmbH
Publication of EP0216349A2 publication Critical patent/EP0216349A2/de
Publication of EP0216349A3 publication Critical patent/EP0216349A3/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0216349B1 publication Critical patent/EP0216349B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
    • H01J9/22—Applying luminescent coatings
    • H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
    • H01J9/2278—Application of light absorbing material, e.g. between the luminescent areas

Definitions

  • the invention relates to a method for producing a black matrix layer according to the preamble of claim 1 and to an apparatus for performing the method.
  • the invention has for its object to provide a method for producing a black matrix layer, with which a uniform reaction is achieved when developing the lacquer layer.
  • a device for performing the method is to be specified.
  • the first-mentioned object is achieved with the method steps specified in claim 1.
  • An advantageous embodiment of the invention is in dependent claim 2 specified.
  • the second object is achieved with the means specified in claim 3.
  • An advantageous embodiment of the device is specified in subclaim 4.
  • the inside of the tub is coated with a photosensitive lacquer (photoresist) which consists of a water-soluble polymeric substance (polyvinyl alcohol) and a portion sensitized with sodium dichromate.
  • photosensitive lacquer photoresist
  • the coating is usually carried out by rotating the tub in order to obtain a uniform layer of lacquer on the surface of the tub.
  • This coating is e.g. dried with infrared radiation.
  • the varnish layer is exposed and cured by means of a perforated mask in those areas to which phosphor for the luminous surfaces will later be applied.
  • the photosensitive lacquer layer is developed by exposing it to a climate with extremely high humidity of 80 to 100% relative humidity and a temperature of 30 to 50 ° C.
  • the relative air humidity is preferably 90% and the temperature is 40 ° C.
  • the exposure time of this climate lasts, for example, 20 s.
  • the black matrix layer consisting of a graphite suspension.
  • the device has a clamping plate 1, on which the tub 3 is mounted via a holder 2.
  • the inside 4 of the tub 3 points towards the inside of the housing 5.
  • the nozzles 7 are with connected to a water connection 8 for tempered water.
  • a baffle plate 9 is placed between the tub 3 and the nozzle board 6 such that it is struck by the water jets from the nozzles 7.
  • the water supply is shut off and the housing 5 is moved (arrow 10) so that the clamping plate 1 with the tub 3 can be removed.
  • the housing is closed again (arrow 11) and a climate with a relatively high humidity is generated again.
  • the housing can also be constructed to be stationary and then have a movable closure in the area in contact with the clamping plate.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Erzeu­gung einer Schwarzmatrixschicht gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und auf eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
  • Aus der DE-A- 31 42 261 ist ein derartiges Verfahren be­kannt. Bei diesem bekannten Verfahren wird zum Entwickeln der photoempfindlichen Lackschicht mit Hilfe einer Viel­zahl von Düsen Wasser auf die Wanneninnenfläche gesprüht. Es hat sich gezeigt, daß bei einer derartigen Entwicklung der Lackschicht ungleichmäßige Reaktionen erfolgen. Diese ungleichmäßigen Reaktionen sind auf ein nicht zeit­gleiches Auftreffen der Wassertröpfchen auf die Lack­schicht zurückzuführen.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Erzeugung einer Schwarzmatrixschicht anzugeben, mit dem eine gleichmäßige Reaktion beim Entwickeln der Lack­schicht erreicht wird. Darüberhinaus soll eine Vorrich­tung zur Durchführung des Verfahrens angegeben werden.
  • Die Lösung der erstgenannten Aufgabe erfolgt mit den im Anspruch 1 angegebenen Verfahrensschritten. Eine vorteil­hafte Ausgestaltung der Erfindung ist im Unteranspruch 2 angegeben. Die Lösung der zweitgenannten Aufgabe erfolgt mit den im Anspruch 3 angegebenen Mitteln. Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Vorrichtung ist im Unter­anspruch 4 angegeben.
  • Die Erfindung wird nun anhand von einem in der Figur ge­zeigten Ausführungsbeispiel näher erläutert. In der Figur ist schematisch ein Schnitt durch die Vorrichtung zum Erzeugen einer Schwarzmatrixschicht dargestellt.
  • Nach der üblichen Reinigung der Wanne der Farbbildröhre mit Flußsäure wird die Innenseite der Wanne mit einem photoempfindlichen Lack (Photoresist) beschichtet, der aus einer wasserlöslichen polymeren Substanz (Polyvinyl­alkohol) und einem mit Natriumdichromat sensibilisierten Anteil besteht. Die Beschichtung erfolgt üblicherweise unter Drehung der Wanne, um eine gleichmäßige Lackschicht auf der Oberfläche der Wanne zu erhalten. Diese Beschich­tung wird z.B. mit Infrarotstrahlung getrocknet. Durch eine Lochmaske wird die Lackschicht an denjenigen Be­reichen belichtet und dadurch ausgehärtet, an denen später Leuchtstoff für die Leuchtflächen aufgebracht wird.
  • Nach der Belichtung erfolgt die Entwicklung der photoemp­findlichen Lackschicht dadurch, daß sie einem Klima mit extrem hoher Feuchtigkeit von 80 bis 100% relative Luft­feuchtigkeit und einer Temperatur von 30 bis 50°C aus­gesetzt wird. Vorzugsweise beträgt die relative Luft­feuchtigkeit 90% und die Temperatur 40°C. Die Einwirk­zeit dieses Klimas dauert z.B. 20 s.
  • Danach werden alle nicht belichteten Bereiche der Lack­schicht herausgespült und die gesamte Wanneninnenfläche mit der aus einer Graphitsuspension bestehenden Schwarzmatrixschicht versehen. Nach dem Trocknen der Schwärzeschicht und Entfernen der Reste des photo­empfindlichen Lackes zusammen mit der darüberliegenden Schwärzeschicht werden in die frei gewordenen Bereiche auf übliche Weise nacheinander die Leuchtstoffe für die drei Farben eingebracht.
  • Durch das beschriebene Verfahren ergibt sich eine gleich­mäßige Entwicklung aller belichteten Bereiche der Lack­schicht. Dies resultiert aus der gleichzeitigen Anwesen­heit der hohen Feuchtigkeit an allen Stellen der Lack­schicht. Es ergibt sich somit eine gleichmäßige Reaktion, die zu einer gleich großen Entwicklung der belichteten Bereiche führt. Auch wird mit diesem Verfahren bei einer laufenden Fertigung ein gleich bleibendes Ergebnis der Entwicklung der Lackschicht in jeder Wanne erreicht.
  • Von der gesamten Fertigungsstraße zur Erzeugung einer Schwarzmatrixschicht ist nur die Vorrichtung zum Ent­wickeln der Lackschicht in der Figur dargestellt, die davor und danach liegenden Stationen sind nicht gezeigt. Die Vorrichtung weist einen Spannteller 1 auf, auf dem über eine Halterung 2 die Wanne 3 montiert ist. Die In­nenseite 4 der Wanne 3 zeigt zum Innern des Gehäuses 5. Im Gehäuse 5 ist ein Düsenbrett 6 vorhanden, in dem eine Vielzahl von Düsen 7 vorhanden ist. Die Düsen 7 sind mit einem Wasseranschluß 8 für temperiertes Wasser verbunden. Zwischen der Wanne 3 und dem Düsenbrett 6 ist eine Prall­platte 9 derart aufgestellt, daß sie von den Wasserstrah­len der Düsen 7 getroffen wird. Hierdurch wird das Wasser zerstäubt und es bildet sich ein Klima 12 mit einer rela­tiv hohen Luftfeuchtigkeit von 80 bis 100%, vorzugsweise 90% relative Luftfeuchtigkeit, und einer Temparatur von etwa 30 bis 50°C, vorzugsweise 40°C. Nach dem Ein­wirken dieses Klimas mit der relativ hohen Luftfeuchtig­keit auf die in der Wanne 3 vorhandene Lackschicht für etwa 20s wird der Wasserzulauf abgestellt und das Gehäuse 5 so verfahren (Pfeil 10), daß der Spannteller 1 mit der Wanne 3 entfernt werden kann. Nach dem Einsetzen eines neuen Spanntellers mit einer neuen Wanne wird das Gehäuse wieder geschlossen (Pfeil 11) und es wird erneut ein Klima mit einer relativ hohen Luftfeuchtigkeit erzeugt.
  • Das Gehäuse kann auch feststehend aufgebaut sein und dann am mit dem Spannteller in Berührung stehenden Bereich einen beweglichen Verschluß aufweisen.

Claims (4)

1. Verfahren zur Erzeugung einer Schwarzmatrixschicht zwischen den Leuchtflächen auf der Innenseite der Wanne einer Farbbildröhre, bei dem die Wanneninnenfläche mit einer photoempfindlichen Lackschicht versehen, diese Lackschicht an bestimmten Bereichen belichtet, entwickelt wird und dann die nicht belichteten Bereiche der Lackschicht entfernt werden und danach die gesamte Wanneninnenfläche mit der aus einer Graphit­suspension gebildeten Schwarzmatrixschicht versehen wird, aus der die Bereiche entfernt werden, wo die Leucht­flächen erzeugt werden sollen, dadurch gekennzeichnet, daß die Lackschicht zum Entwickeln einem Klima von 80 bis 100% relative Luft­feuchtigkeit und einer Temperatur von 30 bis 50°C aus­gesetzt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die relative Luftfeuchtigkeit 90% und die Temperatur 40°C beträgt.
3. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach An­spruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß in einem Gehäuse (5) zwischen einem Spannteller (1) zum Halten der Wanne (3) und einem mit einem Wasseranschluß (8) versehenen Düsenbrett (6) mit einer Vielzahl von Düsen (7) zur bildung von Wasserstrahlen eine Prallplatte (9) so angeordnet ist, daß sie von den Wasserstrahlen der Düsen getraffen wird und das Wasser zerstäubt wird, wobei sich das in den Ansprüchen 1 oder 2 beschriebene Klima einstellt.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die mit dem Spannteller (1) in Berührung stehenden Teile des Gehäuses (5) zum Auswechseln des Spanntellers (1) verfahrbar sind.
EP86113054A 1985-09-27 1986-09-23 Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung einer Schwarzmatrixschicht Expired - Lifetime EP0216349B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19853534414 DE3534414A1 (de) 1985-09-27 1985-09-27 Verfahren und vorrichtung zur erzeugung einer schwarzmatrixschicht
DE3534414 1985-09-27

Publications (3)

Publication Number Publication Date
EP0216349A2 EP0216349A2 (de) 1987-04-01
EP0216349A3 EP0216349A3 (en) 1988-07-06
EP0216349B1 true EP0216349B1 (de) 1991-01-30

Family

ID=6282061

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP86113054A Expired - Lifetime EP0216349B1 (de) 1985-09-27 1986-09-23 Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung einer Schwarzmatrixschicht

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4889781A (de)
EP (1) EP0216349B1 (de)
JP (1) JPH0642078B2 (de)
CA (1) CA1258012A (de)
DE (2) DE3534414A1 (de)

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56783B2 (de) * 1973-03-05 1981-01-09
JPS50161238A (de) * 1974-06-17 1975-12-27
JPS5258374A (en) * 1975-11-10 1977-05-13 Toshiba Corp Improvement in sensitivity of positive type photo resist
JPS5660431A (en) * 1979-10-24 1981-05-25 Hitachi Ltd Photosensitive composition and pattern forming method
DE3045149A1 (de) * 1980-11-29 1982-07-01 Hoechst Ag, 6000 Frankfurt Verfahren zur herstellung von reliefkopien
JPS57136646A (en) * 1981-02-18 1982-08-23 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Positive type photoresist developing method
JPS57152129A (en) * 1981-03-13 1982-09-20 Sanyo Electric Co Ltd Developing method of resist
JPS5817443A (ja) * 1981-07-24 1983-02-01 Hitachi Ltd フオトレジスト現像方法および装置
JPS5890636A (ja) * 1981-11-24 1983-05-30 Fuji Photo Film Co Ltd 光重合性組成物を用いた感光材料による画像形成方法および現像ユニツト
JPS60230337A (ja) * 1984-04-27 1985-11-15 Nec Kansai Ltd 螢光膜形成方法
JPH05258374A (ja) * 1992-03-16 1993-10-08 Ricoh Co Ltd 情報記録媒体

Also Published As

Publication number Publication date
CA1258012A (en) 1989-08-01
EP0216349A2 (de) 1987-04-01
JPH0642078B2 (ja) 1994-06-01
DE3534414A1 (de) 1987-04-02
DE3677303D1 (de) 1991-03-07
EP0216349A3 (en) 1988-07-06
JPS6275634A (ja) 1987-04-07
US4889781A (en) 1989-12-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3734097C2 (de)
DE2640268B1 (de) Verfahren zum herstellen einer mit einem perforationsmuster versehenen metallfolie
CH620662A5 (de)
EP0036595B1 (de) Verfahren zur Herstellung von Siebdruckschablonen auf galvanischem Wege
DE2942999A1 (de) Verfahren zur herstellung eines leuchtschirms
DE3600918C2 (de)
DE3217983C2 (de) Verfahren zum Herstellen einer Abdeckmaske
DE69518731T2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Bildwiedergabeschirmes
DE2731126C2 (de)
EP0216349A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung einer Schwarzmatrixschicht
DE2400665C3 (de) Verfahren zur Herstellung eines lotabweisenden Schutzes auf Leiterplatten mit durchgehenden Lochern
DE1813445C3 (de) Lichtempfindliches Kopiermaterial für das Herstellen einer Lichtdruckform und Verfahren zum Herstellen der Lichtdruckform
DE3116413C2 (de) Zweischicht-Verfahren zum Herstellen eines Lumineszenzschirms
DE2536723B2 (de) Verfahren zur herstellung eines zifferblattes oder schildes mit hilfe eines laserstrahles
DD144623A5 (de) Verfahren zur nacharbeitung der lichtabsorbierenden matrix und des traegers eines leuchtschirmes
DE518066C (de) Verfahren zur Herstellung mehrfarbiger Raster fuer Farbenphotographie oder -kinematographie
DE3433012C2 (de)
DE2048366B2 (de) Verfahren zum Herstellen eines Leuchtschirmes für eine Farbbildröhre
DE2932030A1 (de) Verfahren zur herstellung eines leuchtschirms einer farbbildroehre
DE2508237C3 (de) Verfahren zur Herstellung des Bildschirms einer Farbbildröhre
DE1646043C3 (de) Verfahren zum Anbringen eines Musters eines pulverförmiger! Werkstoffes auf einem Frontglas einer Farbbildröhre
DD151232A1 (de) Verfahren zur herstellung tonwertverkehrter originalschablonen
DE2240264A1 (de) Verfahren zum herstellen einer lichtabsorbierenden schicht auf der frontschale einer farbbildroehre
AT82487B (de) Verfahren zur Herstellung von Filtern für Farbenphotographie und allgemeine photographische Zwecke.
DE76821C (de) Verfahren zum Dekoriren von Glas

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): DE FR GB IT NL

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): DE FR GB IT NL

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: NOKIA GRAETZ GESELLSCHAFT MIT BESCHRAENKTER HAFTUN

17P Request for examination filed

Effective date: 19881217

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: NOKIA UNTERHALTUNGSELEKTRONIK (DEUTSCHLAND) GMBH

17Q First examination report despatched

Effective date: 19900319

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): DE FR GB IT NL

ITF It: translation for a ep patent filed
GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)
REF Corresponds to:

Ref document number: 3677303

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19910307

ET Fr: translation filed
PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed
ITPR It: changes in ownership of a european patent

Owner name: CAMBIO RAGIONE SOCIALE;NOKIA (DEUTSCHLAND) GMBH

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: CD

NLT1 Nl: modifications of names registered in virtue of documents presented to the patent office pursuant to art. 16 a, paragraph 1

Owner name: NOKIA (DEUTSCHLAND) GMBH TE PFORZHEIM, BONDSREPUBL

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 19930914

Year of fee payment: 8

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Payment date: 19930930

Year of fee payment: 8

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 19931112

Year of fee payment: 8

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Effective date: 19940923

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 19940927

Year of fee payment: 9

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Effective date: 19950401

NLV4 Nl: lapsed or anulled due to non-payment of the annual fee
GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 19940923

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Effective date: 19950601

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Effective date: 19960531

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES;WARNING: LAPSES OF ITALIAN PATENTS WITH EFFECTIVE DATE BEFORE 2007 MAY HAVE OCCURRED AT ANY TIME BEFORE 2007. THE CORRECT EFFECTIVE DATE MAY BE DIFFERENT FROM THE ONE RECORDED.

Effective date: 20050923