EP0216086A2 - Automatische Transport- und Behandlungseinrichtung für Waren, insbesondere Leiterplatten - Google Patents
Automatische Transport- und Behandlungseinrichtung für Waren, insbesondere LeiterplattenInfo
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- H—ELECTRICITY
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- Y10S134/00—Cleaning and liquid contact with solids
- Y10S134/902—Semiconductor wafer
Abstract
Description
Mit Kippeinrichtung (17) wird Platte (16) aus der horizontalen in die vertikale Lage gebracht. Ferner übernimmt Transporteinrichtung (18) Platte (16) auf eine Warenschiene (19) mit Klammern (10). Danach setzt Transporteinrichtung (18) mit Platte (16) senkrecht in Behälter (20) ab. Durch Verschieben aller Warenträger erfolgt der Transport der Platten innerhalb des Behälters, das gesamte Warenpaket wird zusätzlich mittels einer Warenbewegung (8) reversierend bewegt. Im Ausfahrbereich erfolgt die Plattenübergabe durch Transporteinrichtung (18) in ähnlicher Weise wie in der Eingabestation. Transportband (11) transportiert Platte (16) kontinuierlich oder diskontinuierlich weiter. Die Warenschiene mit Klammern wird vorzugsweise durch ein doppeltes Noppenband (21) geführt und wieder dem Einfahrtbereich zugeführt.
Die Vorschubeinrichtung (3), vorzugsweise konstruktiv gelöst durch Getriebemotor (4), Exzenter (5) und Schlitten (6), verschiebt jeweils Warenträger um eine Position.
Am Ende der Warenträgerkette (7) wird der letzte Warenträger durch eine Transporteinrichtung (18) aus der Führungsleiste herausgehoben. Während der Behandlungszeit wird Warenträgerkette (7) durch Waren bewegung (8) reversierend bewegt. Vorschubeinrichtung (3) ist auf Warenbewegungsschiene (9) befestigt, was bewirkt, daß Warenträger kette (7) geschlossen bleibt.
Noppenband (21) transportiert Warenträger zurück zum Einfahrts bereich Position B. Während des Transportes überqueren Klammern (10) den Strippenbehälter (12), Spüle (13) und Trockenzone (14). Noppenband (21) ist so gestaltet, daß der Warenträger (1) sich frei in ihm bewegen und somit die Zwischenwände (15) übergehen kann.
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