DE2643852A1 - Vorrichtung zum waschen, aetzen und trocknen von teilen, insbesondere platten fuer gedruckte schaltungen - Google Patents

Vorrichtung zum waschen, aetzen und trocknen von teilen, insbesondere platten fuer gedruckte schaltungen

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DE2643852A1
DE2643852A1 DE19762643852 DE2643852A DE2643852A1 DE 2643852 A1 DE2643852 A1 DE 2643852A1 DE 19762643852 DE19762643852 DE 19762643852 DE 2643852 A DE2643852 A DE 2643852A DE 2643852 A1 DE2643852 A1 DE 2643852A1
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Description

  • -Vorrichtung zum Waschen, Xtzen und trocknen von Teilen,
  • insbesondere Platten für gedruckte Schaltungen Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Waschen, Xtzen und Trocknen, insbesondere von Platten für gedruckte Schaltungen, im kontinuierlichen Durchlaufverfahren mit einer einer Wasch- oder Ätzzone nachgeschalteten Trockenzone und mit das Behandlungsgut durch Spritz- bzw. Luftdüsen aufweisende Durchlaufzonen führenden Transportvorrichtungen wie Transportrollen oder -bänder.
  • Es sind Wascher bzw. Trockner bekannt, bei denen plattenförmiges Behandlungsgut durch Transportwalzenpaare geführt wird, wobei in den zwischen benachbarten Walzenpaaren bestehenden Zwischenräumen auf das Gut Wasch- oder Xtzflüssigkeit aufgesprüht bzw. Trockenluft aufgeblasen wird.
  • Diese Vorrichtungen sind insofern nachteilig, als das Behandlungsgut stets genau ausgerichtet sein muß, der Abstand benachbarter Walzenpaare und die Walzen selbst sich nicht beliebig verkleinern lassen, so daß bekannte Vorrichtungen nur für Platten bis zu einer minimalen Größe von 9x9 cm und insbesondere nur für flächenartige Teile ausgerichtet sind.
  • Aus diesen Gründen hat man z.B. versucht, das zu waschende Gut in Körben durch die Behandlungszonen zu führen. Hierbei können aber leicht Beschädigungen auftreten, insbesondere lassen sich aber nicht alle Teile gleichmäßig besprühen.
  • Auch die Möglichkeit, das Gut über ein Transportband durch die Behandlungszonen zu führen, hat sich nicht als zufriedenstellend erwiesen. Denn hier entstehen-Schwierigkeiten bei der Behandlung von Gegenständen mit insbesondere flächenartiger Ausbildung.
  • Da die Spritz- und Luftdüsen nämlich oberhalb des Transportbandes angeordnet sind, wird die dem Tiänsportband zugewandte, die Auflagefläche bildende ut e Gutseite kaum besprüht bzw. getrocknet. Ein Wenden des Gutes auf dem Transportband ist dabei schwierig und meistens nicht zufriedenstellend, was besonders für Teile gedruckter Schaltungen mit noch nicht verstärkter Kupferschicht, bei denen leicht auf mechanische Weise eine Beschädigung der Schicht eintreten kann, gilt.
  • Die einseitige Behandlung des Gutes ist aber nicht der einzige Nachteil dieser Vorrichtungen. Da nämlich die Wasch- bzw. Atzflüssigkeit direkt in Richtung des die Teile transportierenden Bandes gesprüht wird, sammelt sich auf ihm die verunreinigte Wasch- oder Atzflüssigkeit, bevor sie am Ende der Behandlungszone von ihm abfließt, Es bedarf daher zum Waschen unter anderem besonders großer Flüssigkeitsmengen.
  • Ein weiterer Nachteil der genannten bekannten Vorrichtungen besteht in ihrer durch die langen, hintereinander angeordneten Durchlaufzonen bedingten sperrigen Bauweise.
  • Es besteht somit die Aufgabe eine Voxzichtung in kleiner, kompakter Bauweise zum Waschen bzw. zum ätzen und/oder Trocknen zu schaffen, bei der im kontinuierlichen Durchlaufverfahren plattenförmige wie auch kleinere unregelmäßig geformte Teile gleichmäßig von allen Seiten ohne Beschädigung der Oberfläche gewaschen, geätzt und getrocknet werden können.
  • Die Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß in der Vorrichtung der eingangs genannten Art zumindest eine der Behandlungszonen aus mehreren jeweils etagenweise übereinander angeordneten, entgegengesetzt gerichteten Durchlaufzonen besteht, an deren Enden das Behandlungsgut, beisnielsweise mittels Leitblechen, auf die nächst untere Transportvorrichtung übergeht, und daß jede der übereinander angeordneten Durchlaufzonen bzw. Transmortvorrichtungen eine sich unter ihr erstreckende-Auffangvorrichtung für die ablaufende Wasch- oder Xtzflüssigkeit besitzt.
  • Es läßt sich somit unter Beibehaltung einer größtmöglichen Durchlauf zone , die der Summe der Länge der einzelnen übereinander angeordneten Durchlaufzonen entspricht, der Wasch-,Ätz- und Trockenautomat in einer relativ kleinen und kompakten Bauweise erstellen, wobei ein Weiterfließen verschmutzter Flüssigkeit entlang der Transportvorrichtungen bis zum Ende der Behandlungszone unmöglich ist. Die Flüssigkeit wird nämlich jeweils abschnittsweise von jeder der einzelnen untereinander angeordneten Transportvorrichtungen abgeführt. Gleichzeitig wird erreicht, daß mit einer gewissen Wahrscheinlichkeit beim Ubergang der Teile zur nächst unten liegenden Durchlauf zone die Auflagefläche der Teile wechselt, so daß eine gleichmäßige Behandlung der Teile bei Wahl mehrerer übereinander angeordneter Durchlaufzonen garantiert ist.
  • Eine besonders einfache Übergabe des Behandlungsgutes wird dadurch erreicht, daß Anfang und Ende der Transportvorrichtungen aneinanderqrenzender nrchlauf zonen derart versetzt sind, daß der Anfang der unteren Transportvorrichtung gegenüber dem Ende der oberen nach außen vorsteht. In diesem Fall gleitet das Gut nämlich einfach auf den Anfang der nächst unten liegenden Transportvorrichtung.
  • In vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung wird jeweils am Ende einer jeden etagenweise angeordneten Durchlauf zone eine verstellbare Sprühdüse bzw. eine Luftdüse angeordnet, wobei der Flüssigkeits- oder Luftstrahl auf den am Ende der einzelnen Durchlaufzonen überstehenden Teile des Behandlungsgutes gerichtet ist.
  • Der Strahl bewirkt, daß das Behandlungsgut beim Übergang auf die nächst unten liegende Transportvorrichtung sich soweit dreht, daß es anschließend auf einer anderen Auflagefläche zu liegen kommt. Es erübrigt sich somit die Anordnung einer größeren Anzahl von Durchlaufzonen mit den entsprechenden Transportvorrichtungen.
  • Um einerjbesonders kompakten Wasch- bzw. Xtz- und Trockenautomaten zu erhalten, wird gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform die Trockenzone im gleichen Automaten direkt unterhalb der Wasc#h- bzw. #zone angeordnet. Die beiden Zonen werden dabei durch eine am Ende der Transportvorrichtung der Wasthzone angelegte Auslaufschleuse getrennt. Bei einer solchen gegenseitigen Anordnung der Zonen lassen sich alle Durchlaufzonen übereinander und gegenseitig versetzt anordnen, so daß auch beim Übergang zwischen den einzelnen Zonen das erfindungsgemäße Prinzip des Aufbaus einer jeden einzelnen Zone mit versetzten, übereinander angeordneten Durchlauf zone beibehalten wird.
  • In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist als Transportvorrichtung ein Trahsportband vorgesehen, das aus einem glasfaserverstärkten PVC-Band mit oeffnungen besteht, die klein gegenüber der Stärke und Vorsprüngen des zu behandelnden Gutes sind, so daß sich dies nicht in den oeffnungen verfangen kann.
  • Ein derartiges PVC-Band weist einerseits die notwendige Elastizität auf, die eine Beschädigung des vom oberen zum unteren Band übergehenden Gutes verhindert, und ermöglicht ein sofortiges Abfließen der verschmutzten Wasch-oder Ätzflüssiqkeit.
  • Desweiteren können in diesem Fall unmittelbar im Transportband selbst, d.h. zwischen dessen oberen und unteren Laufband, Sprüh- bzw. Luftdüsen angeordnet werden, die durch das Laufband das Behandlungsgut an seinen Auflageflächen von unten besprühen bzw. trocknen. Es ist somit auch ohne Wenden der Auflageflächen eine recht gute gleichmäßige Behandlung des Gutes zu erzielen.
  • Um dies besser seitlich führen zu können, ist das obere Laufband entlang seiner beiden seitlichen Begrenzungsränder in nach oben überstehenden Führungsschienen angeordnet.
  • Unterhalb der letzten Zone ist zum Auswerfen des fertig behandelten Gutes ein unter den anderen Transportbändern angeordnetes Transportband vorgesehen, das zur Vorder-oder Rückseite läuft und das Gut in einen Sammelwagen bzw. auf ein anderes Noppenband,z.B. zum Transport zu einem parallel aufgestellten, nachgeschalteten Wascher oder Trockner ~bringt.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es insbesondere möglich, Teile für gedruckte Schaltungen die aus in Hochgenauigkeitspressen hergestellten Kupferbasislaminaten gestanzt werden, zu ätzen, zu waschen und anschließend zu trocknen. Es können dabei Platten behandelt werden, deren Größe bedeutend kleiner als C9 cm sind. Die geätzten und z.B. mit entsprechenden Bohrungen für Transistoren versehenen Platten weisen nach der Behandlung im erfindungsgemäßen Wasch-Trockenautomaten eine solch reine Cu-Oberfläche auf, daß sich die dünnen Cu-Schichten von ca. 37 durch Verzinnen, Vergolden oder Aufbringen einer Blei/Zinn-Legierung verstärken lassen.
  • Die Erfindung wird anhand eines Ausführungsbeispiels in den Zeichnungen näher erläutert. Dort zeigen: Fig. 1 Einen Ouerschnitt durch die Behandlungszonen des erfindungssemäRen Wasch- und Trockenautomaten mit übereinander angeordneter Wasch- und Trockenzone.
  • Fig. 2 Eine schematisierte Vorderansicht des Waschtrockenautomats der Fig. 1, wobei rechts die Behandlungs zone mit Aufgabetisch und Auswerfband und links der Antrieb der Transportvorrichtung für das Waschgut, der Flüssigkeitsbehälter und die Gebläsevorrichtung für die Luftdfisen der Trockenzone in Strich-Punktierunq zu erkennen sind.
  • Fig. 3 Eine Draufsicht auf den Wasch-Trockenautomaten der Fig. 1.
  • In Fig. 1 ist eine besonders vorteilhafte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Wasch- Trockenautomaten dargestellt, bei der Wasch- und Trockenzone übereinander angeordnet sind.An seiner Vorderseite ist der Aufgabetisch 1 für für das Waschgut angelegt. Das Waschgut gelangt von dort über ein Einlauftransportband 2a in die im oberen Teil des Automaten angeordnete Waschzone. Dabei wird zunächst am Eingang der Waschzone eine Einlaufschleuse 4 passiert, deren Wandungen gegenüber dem Einlauftransportband 2a durch gegenüber dieses verstellbare Abstreifer 3 abgedichtet werden. Die in die Einlaufschleuse 4 gelangende Außenluft und Dämpfe aus der Waschzone werden über einen Stutzen 26 einer Absaugleitung abgeführt.
  • Die derart gegenüber den Einlauf abgedichtete Waschzone besteht aus zwei übereinander angeordneten, entgegengesetzt laufenden Transportbändern 2a, 2b, deren Enden versetzt zueinander angeordnet sind. Die Obergabe des Waschgutes vom oberen zum unteren Band, erfolgt durch einfaches Abgleiten und Fallen des Waschgutes vom Ende des oberen Bandes auf das untere Band.
  • Das auf die Transportebene des unteren Bandes gefallene Waschgut wird dann weiter von diesem durch die Waschzone entgegengesetzt zur vorhergehenden Transportrichtung geführt. Auf diese Weise wird eine relativ kurze, kompakte Bauweise des Waschautomaten mit langen Durchlaufzonen ereicht.
  • Da, um einen gleichmäßigen Waschprozess zu gewährleisten, gleichzeitig mit der Ubergabe des Waschgutes die dem Transportband zugewandte Seite gewendet werden soll, sind am Ende des oberen Transportbandes 2a verstellbare Sprühdüsenrohre 8 angelegt. Der Strahl der Flüssigkeit ist dabei auf das am Ende des Transportbandes immer weiter hervorragende Waschgut gerichtet, so daß dieses plöt#?ich Übergewicht bekommt und unter Drehung und Vertauschung der Auflagefläche auf das untere Transportband fällt. Sind mehrere gegeneinander versetzte Transportbänder in der Waschzone angeordnet, dann genügt es, daß mit einer gewissen größeren statistischen Wahrscheinlichkeit ein Wenden der Auflage fläche beim Übergang erfolgt. In diesem Fall sind dann zusätzliche Hilfsmittel zum Wenden der Platten entbehrlich.
  • Die Waschflüssigkeit wird durch ober- und unterseitig der Transportbänder (2a,b) angeordnete Sprührohre mit Spritzdüsen (5) aufgebracht. Damit die Flüssigkeit der unterhalb des Transportbandes befindlichenSpri#zdüsen am Transportband nicht abprallt, sondern weitgehend auf Waschgut gelangt, findet ein Spezialtransportband Anwendung. kieses besteht aus einem aus Glasfaser verstärktem PVC-Material mit öffnungen, deren Größe derart bemessen sind, daß das Waschgut mit seinen Vorsprüngen, Kanten und dergleichen sich nicht in diese verfangen kann.
  • Durch das Aufsprühen von Waschflüssigkeit aus unterhalb des Transportbandes angeordnetenspritzdüsen (5) wird je nach Intensität der durch die öffnungen des Transportbandes auf die Unterseite des Waschgutes gelangende#Waschflüssigkeit eine gewisse Reinigung der Unterseite erreicht. Dabei kann sich das Waschgut leicht vom Band abheben und sich somit gegenüber den öffnungen im Band verschieben. Ein weiterer wesentlicher Vorteil der Verwendung tan unterhalb des Bandes angeordneten Spritzdüsen besteht darin, daß das Waschgut nicht am Transportband haftet und verschmutzte Waschflüssigkeit durch das Band in eine unterhalb diesem befindliche Auffangwanne 7 abfließen kann. Es findet somit eine fortlaufende, unmittelbare Reinigung des Transportbandes statt, ohne daß dies zu einer Verschmutzung des unter ihm liegenden nächsten Transportbandes führen würde. Da das Waschgut nicht auf dem Band anhaftet, insbesondere nicht durch Verunreinigung verklebt, löst sich dieses am Ende des Transportbandes sobald es weitgehend überragt und fällt somit auf das nächste Band. Diese Vorteile wirken sich insbesondere günstig aus bei Waschgut mit größeren ebenen Oberflächen, wie z.B. bei Platten für gedruckte Schaltungen, da bei diesen eine Haftung am Band besonders groß wäre.
  • Als Waschflüssigkeit können neben Wasser auch Säuren, Laugen und Lösungsmittel zum Entfetten des Waschgutes verwendet werden. Bei Einsatz von Säuren und Laugen ist der Automat in entsprechend beständigen Materialien, wie V 2 A auszuführen, während sonst vorwiegend Kunststoff Anwendung findet. Die Filterung der von den Auffangwannen (6,9) abgeführten Waschflüssigkeit erfolgt in geeigneter Weise, z.B. über eine Schwerkraft-Filtermatte, wonach die derart aufbereitete Flüssigkeit zurück in den Flüssigkeitsbehälter 21 (s. Fig. 2) und über die Pumpe (22) zu den Spritzdüsen (5) gelangt. Das nun an das Ende der Waschzone gelangte Waschgut wird durch eine gegenüber das Transportband{22 abgedichtete Auslaufschleuse (10) geführt und fällt danach auf das oberste Transportband (2c) der Trockenzone, dessen Anfang gegenüber dem Ende des Bandes (2b) seitlich vorsteht.
  • Um eine möglichst gute Trennung von Wasch- und Trockenzone zu erreichen, ragt von der untersten Auffangwanne (9) eine verstellbare Trennungsschllrze (12) auf das Transportband (2c).
  • Es erfolgt somit die Trennung von Wasch- und Trockenzone durch zwei aufeinanderfolgende Kammern, die den Übergang von Dämpfen und Waschflüssigkeit in die Trockenzone verhindern und eine Wärmeströmung aus der Trockenzone in die Waschzone ausschließen.
  • Auf diese Weise erfolgt ebenfalls die Übergabe des Waschgutes zwischen den beiden Zonen in einfachsterfiWeise durch versetzt te Anordnung der Enden der übereinander liegenden angrenzenden Transportbänder von Wasch- und Trockenzone. In der Trockenzone arbeiten die Transportbänder (2c,d,e) ebenfalls abwechselnd in Gegenrichtung. Sie sind übertinander angeordnet und gegeneinander versetzt, so daß das zu trockende Waschgut zumindest einmal gewendet wird und so eine kompakte kleine Ausführung des Ïrockenautomaten mit langen Durchlaufzonen ermöglicht wird. Die Trocknung des Waschgutes erfolgt durch verstellbare als auch durch ober- und unterhalb des Transportbandes fest gelagerte Luftdüsen.
  • Die verstellbaren Luftdüsen (16) sind auf das vom Ende des oberen Transportbandes auf das vorra@@nde Ende des unteren Transportbandes fallende Trockengut g htet. Durch diese Luftströmung kann gegebenenfalls auch Eine Wendung des Trockengutes am Ende jedes Transportbandes reicht werden. Die unterhalb des Transportbandes gelagerten Luftdüsen 18 sind wie die entsprechenden unteren Spritzdüsen 5 zwischen den Laufbändern eines jeden Transportbandes angeordnet. Die Bänder sind entsprechend den Spezialbändern der Waschzone ausgeführt, so daß die Trockenluft durch die öffnungen des Bandes an das aufliegende Trockengut gelangen kann.
  • Die Trockenluft für' die Düsen (16,17,18) wird durch das Hochdurckgebläse (23) und den Saugventilator (24> erzeugt.
  • (s. Fig. 2). Entlüftet wird die Trockenzone durch#eine an dem Stutzen (25) angeschlossene Absaugleitung. (s. auch Fig. 3) Die getrockneten Teile fallen auf eir fuswerfband (14), wobei die Teile je nach Laufrichtung des BtrzzBs (14) an der Vorder-oder Rückseite des Wasch-Trockenautor en gesammelt werden.
  • Falls die Teile über die Rückseite der Maschine ausgefördert werden, ragt in die dortige öffnung (29) ein Noppenband (28), durch das die Teile wieder nach oben einem folgenden Bearbeitungsvorgang zugeführt werden können. Sind z.B. Wasch- und Trockenzone nicht übereinander. sondern getrennt nebeneinander angeordnet, würde der folgende Bearbeitungsvorgang dann in einem Trockenautomaten stattfinden, der erfindungsgemäß ausgestaltet ist. Werden dagegen die Teile zur Vorderseite transportiert, dann werden diese durch die Ausbildung des Auswerfen bandes (14) als Noppenband und Führung des Bandes um Umlenkrollen (13) nach oben zu einer außerhalb des Automaten liegenden Umlenkrolle in einen unter dieser liegenden Sammelkorb (15) gefördert.
  • In diesem Fall kann Eingabe und Ausgabe von einer einzigen an der Vorderseite des Automaten stehenden Person vorgenommen werden.
  • Zum Antrieb der Transportbänder ist jeweils eine Umlenkwalze eines jeden Bandes mit einem gemeinsamen Vorschubgetriebe (19> verbunden, so daß der Antrieb der Bänder über einen einzigen Drehstrommotor erfolgt. Für die Geschwindigkeitseinstellung der Umlenkwalzen ist ein Handrad (20) vorgesehen. Um die Transportbänder schnell auswechseln zu können, weisen die Umlenkwalzen eine fliegende Lagerung auf. Desweiteren sind die jeweils dem Gehäuserahmen am nächsten befindlichen Walzen exzentrisch gegen Federdruck gelagert, so daß sich automatisch eine konstante Bandspannung einreguliert.
  • Damit an der Trennungsschürze (12) keine Teile zwischen Band und Schürze verklemmt bzw. beschädigt werden können, ist die vor der Trennungsschürze angeordnete Umlenkwalze mit einer Rutschkupplung versehen.
  • Es sei bemerkt, daß statt eines Waschprozesses in der Waschzone auch eine ätzung torgenommen werden kann. Der Automat ist dann allerdings in einer entsprechenden ure- und laugenbeständigen Ausführung zu wählen.

Claims (8)

  1. Patentansprüche Vorrichtung zum Waschen, Ätzen und Trocknen, insbesondere von Platten für gedruckte Schaltungen, im kontinuierlichen Durchlaufverfahren, mit einer einer Wasch- oder Ätzzone nachgeschalteten Trockenzone und mit das Behandlungsgut durch Spritz- bzw. LuftdUsen aufweisende Durchlaufzonen führenden Transportvorrichtungen wie Transportrollen oder Bänder, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß zumindest eine der Behandlungszonen aus mehreren jeweils etagenweise übereinander angeordneten,entgegengesetzt gerichteten Durchlaufzonen besteht, an deren Enden das Behandlungsgut, beispielsweise mittels Leitblechen, auf die nächst untere TransDortvorrichtung (2b -2e) übergeht und daß jede der Ubereinawlder angeordneten Durchlaufzonen bzw. Transportvorrichtungen (2a - 2e) eine sich unter ihr erstreckende Auf fangvorrichtung (6) für die ablaufende Wasch- oder Atzflüssigkeit besitzt.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurc h. g e k e n n z e 4 c hn e t, daß Anfang und Ende der Tran#p#:%rtvorrichtungen (2a - 2e) aneinandergrenzender Durchlaufzonen derart versetzt sind, daß der Anfang der unteren Transportvorrichtung gegenüber dem Ende der oberen nach außen vorsteht.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t, daß jeweils am Ende der etagenweise übereinander angeordneten Durchlaufzonen bzw. Transportvorrichtungen (2a - 2e) eine verstellbare Sprühdüse (8) bzw. Luftdüse<16) angeordnet ist, deren Flüssigkeits-oder Luftstrahl auf den am Ende der Durchlaufzone überstehenden Teil des Behandlungsgutes gerichtet ist.
  4. 4. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1,2 oder 3, dadurch g e k e n n z ei c h n e t, daß die Trockenzone im gleichen Automatengehäuse direkt unterhalb der Wasch-bzw. Ätzzone angeordnet ist und die Zonen voneinander durch eine Auslaufschleuse (10) getrennt sind.
  5. 5. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 - 4, dadurch gek e n n z e i c h n e t, daß als Transportvorrichtung ein Transportband (2a - 2e) vorgesehen ist, das aus einem glasfaserverstärkten PVC-Band mit Oeffnungen besteht, die klein gegenüber vorstehenden Stegen und Abmessungen des zu behandelnden Gutes sind.
  6. 6. Vorrichtung nach dem Anspruch 5, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t, daß unmittelbar im Transportband selbst, d.h. zwischen dem oberen und unteren Laufband Sprüh-bzw. Luftdüsen (5,18) angeordnet sind.
  7. 7. Vorrichtung nach den Ansprüchen 5 oder 6, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß die Laufbänder (2a - 2e) in seitlich nach oben über ihr oberes Laufband ragenden Leitschienen geführt sind.
  8. 8. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 - 7, dadurch g e -k e n n z ei c h n e t, daß unterhalb der letzten Zone zum Auswerfen des behandelten Gutes ein unter den anderen Transportvorrichtungen angeordnetes Transportband (14) vorgesehen ist, das zur Vorder- oder Rückseite läuft und das Gut in einen Sammelwagen (15) bzw. auf ein anderes Noppenband (28), beispielsweise zum Transport zu einem separat aufgestellten, nachgeschalteten Wascher oder Trockner, bringt.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT397329B (de) * 1985-08-14 1994-03-25 Schering Ag Automatische transport- und behandlungseinrichtung für waren, insbesondere leiterplatten
WO2004111307A1 (en) * 2003-06-19 2004-12-23 Resco S.R.L. Method and apparatus for chemical etching on laminar components
CN100419121C (zh) * 2004-05-12 2008-09-17 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 湿蚀刻设备

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