EP0168528A2 - Ein-Transistor-Speicherzelle für hochintegrierte dynamische Halbleiterspeicher und Verfahren zu ihrer Herstellung - Google Patents

Ein-Transistor-Speicherzelle für hochintegrierte dynamische Halbleiterspeicher und Verfahren zu ihrer Herstellung Download PDF

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EP0168528A2
EP0168528A2 EP84114899A EP84114899A EP0168528A2 EP 0168528 A2 EP0168528 A2 EP 0168528A2 EP 84114899 A EP84114899 A EP 84114899A EP 84114899 A EP84114899 A EP 84114899A EP 0168528 A2 EP0168528 A2 EP 0168528A2
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EP
European Patent Office
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layer
memory cell
semiconductor
recrystallized
insulation layer
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EP84114899A
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EP0168528A3 (en
EP0168528B1 (de
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Wolfgang Dr. Müller
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Siemens AG
Siemens Corp
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Siemens AG
Siemens Corp
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Publication of EP0168528A3 publication Critical patent/EP0168528A3/de
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    • H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B12/00—Dynamic random access memory [DRAM] devices
    • H10B12/01—Manufacture or treatment
    • H10B12/02—Manufacture or treatment for one transistor one-capacitor [1T-1C] memory cells
    • H10B12/03—Making the capacitor or connections thereto
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B12/00—Dynamic random access memory [DRAM] devices
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    • H10B12/31—DRAM devices comprising one-transistor - one-capacitor [1T-1C] memory cells having a storage electrode stacked over the transistor
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    • H10B12/30—DRAM devices comprising one-transistor - one-capacitor [1T-1C] memory cells
    • H10B12/33—DRAM devices comprising one-transistor - one-capacitor [1T-1C] memory cells the capacitor extending under the transistor
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    • H10D1/00—Resistors, capacitors or inductors
    • H10D1/60—Capacitors
    • H10D1/62—Capacitors having potential barriers
    • H10D1/66—Conductor-insulator-semiconductor capacitors, e.g. MOS capacitors
    • H10D1/665—Trench conductor-insulator-semiconductor capacitors, e.g. trench MOS capacitors

Definitions

  • the invention relates to a one-transistor memory cell for highly integrated dynamic semiconductor memories according to the preamble of claim 1 and to methods for their production.
  • a memory cell of this type is known from IEDM 1982, Techn. Digest, pages 420-423, in particular FIG. 7, and pages 803-805, in particular FIG. 1.
  • the conductive layer consists of a semiconductor layer applied as a polycrystalline semiconductor layer and then recrystallized, both the field-effect transistor which can be controlled via the selection line and the first electrode of the storage capacitor connected to it being formed from two adjacent sections of this layer.
  • the region of the semiconductor body covered by this electrode represents a first counter electrode of the storage capacitor, while a second counter electrode is formed by another conductive layer which lies above the first electrode of the storage capacitor and is separated from it by a thin insulation layer.
  • the field effect transistor lying in the lateral direction next to the storage capacitor the area requirement of this memory cell is relatively large.
  • the invention has for its object to provide a memory cell of the type mentioned, the one has significantly smaller space requirements and thus enables a high packing density of the semiconductor memory. This is achieved according to the invention by designing the memory cell according to the characterizing part of patent claim 1.
  • the advantage that can be achieved with the invention is, in particular, that the arrangement of the recrystallized semiconductor layer above the electrode of the storage capacitor formed by the conductive layer means that the area required for the storage cell is determined only by the dimensions of this capacitor electrode.
  • the area effectiveness of the memory cell which can be defined as the ratio of the semiconductor area required for the storage capacitor to the semiconductor area of the entire memory cell, is considerably greater than in the case of the conventional one-transistor memory cells.
  • Claims 2 to 10 are directed to preferred refinements and developments of the invention, while claims 11 and 12 relate to advantageous methods for producing the memory cell according to the invention.
  • Fig. 1 is a semiconductor body 1 of a given line type p s, z.3. made of p-type silicon with a boron doping concentration of about 10 15 cm -3 , whose interface 1a with a thin isola tion layer 2, for example made of Si0 2 , is provided.
  • the semiconductor layer 5 consists of a polycrystalline silicon layer that has been recrystallized after application, for example by laser radiation.
  • a gate 7 is arranged above the region 53 and is separated from it by a thin insulation layer 6.
  • a conductor track BL1 for example made of aluminum, which contacts the region 52 via a contact window 8a in the layer 8.
  • the regions 51 and 52 represent the source and drain region of an N-channel field-effect transistor, the channel region consisting of 53 of which is covered by the gate 7.
  • the gate 7 is connected to a drive line, for example a word line, or can itself be understood as a section of such a drive line.
  • the conductor track BL1 contacting the area 52 forms the data or bit line of a semiconductor memory, while the conductive layer 3 means the first electrode of a storage capacitor connected to the area 51, the counter electrode of which consists of the areas SPZ of the semiconductor body 1 located below 3.
  • the p-doped semiconductor body 1 has an n + -doped zone 1b, which extends from its interface 1a and extends approximately 0.1 to 0.3 ⁇ m into the semiconductor body.
  • it is doped with arsenic, the doping concentration being approximately 10 19 to 10 20 cm -3 .
  • This high degree of doping means that the electrode of the storage capacitor formed by the surface of the semiconductor region SPZ has a low resistance, so that it can be charged and discharged quickly.
  • the pn junction 11 between 1 and 1b prevents disturbances due to undesired charging of the semiconductor body 1, which can occur, for example, when alpha particles are irradiated.
  • the semiconductor body 1 can also be n-doped, the n + -doped zone 1b again being provided at its interface 1b.
  • FIG. 2 shows the design of the memory cell according to FIG. 1, the lateral boundary of the conductive layer 3 being indicated by a solid line, while the boundary of the semiconductor layer 5, the conductor track BL1 and the gate 7, which in this case one Part of a control line forms, each drawn as dashed, dash-dotted and dotted lines.
  • the contact windows 4a and 8a are indicated by squares, the contact window 8a located above the layer 5 being additionally emphasized by the diagonals of the square.
  • the representation of the memory cell according to FIG. 1 corresponds to a cross section along the dash-dotted line I-I of FIG. 2.
  • the previously described one-transistor memory cell is now supplemented by a plurality of memory cells of the same design, which are likewise integrated on the semiconductor body 1, to form a memory field of a dynamic semiconductor memory.
  • the immediately adjacent memory cells are indicated in FIG. 1 by conductive layers 3 'and 3 ", which correspond to the conductive layer 3 of the described cell.
  • the conductive layers 3, 3' and 3" ' are in this case as close as possible to one another the production of the memory field is technologically possible in order to achieve a high packing density of the memory cells.
  • Mutual insulation is provided by the parts 4 ′ and 4 ′′ of the intermediate insulation layer 4 which extend to the interface 1a.
  • FIG. 2 shows how the memory cells of a memory field located on a folded bit line BL.1, BL2 can each be combined in pairs in order to achieve the greatest possible packing density.
  • the two bit line halves BL1 and BL2 proceed from the two nodes A and B of a reading and regeneration circuit 10 designed as a flip-flop in the same direction, in the case shown to the right.
  • the memory cell 3, 5 already described represents the first cell of such a pair, while a similarly constructed memory cell with the lateral boundaries 3z and 5z forms the second cell.
  • the latter is rotated by 180 ° with respect to the first, its recrystallized semiconductor layer 5z being so far offset in the longitudinal direction of the bit line BL2 with respect to the layer 5 of the first cell that the drive line 7 of the first cell is above the conductive layer 3z but laterally next to the recrystallized semiconductor layer 5z of the second cell.
  • the control line 7z of the second cell is then arranged in such a way that it runs above the conductive layer 3, but laterally next to the recrystallized semiconductor layer 5 of the first cell.
  • the control line 7z of the second cell is shown in cross section.
  • memory cell of the semiconductor body 1 in the region SPZ has a grave shaped recess 12, the insulating layer 2 and the conductive layer 3 in its course the rugged boundary surface 1a l follow the semiconductor body 1.
  • the remaining parts of this structure correspond to the parts with the same reference numerals from FIG. 1 in terms of structure and mode of operation.
  • the capacitance of the storage capacitor is significantly increased by the trench-shaped recess 12 or the area SPZ required for this is correspondingly reduced with the same capacitance.
  • Such a measure is already known in conventional memory cells, for example from IEDM 1982, Techn. Digest, pages 806 to 808.
  • the gate or the control line 7 can consist of polycrystalline silicon, of silicide or of two sub-layers which are made of polycrystalline silicon and silicide. are formed.
  • the formation of a control line from such a double layer is also known per se, e.g. from the IEEE Journ. of Solid State Circuits, SC-17, No. 5, Oct. 1982, pages 857 to 861, in particular Fig. 4.
  • the transistor 51 to 53, 6, 7 is switched to the conductive state by applying a positive voltage to the control line 7, an information voltage which is supplied via the third line BL1 and which is a logic "1" or a logic “O" corresponds to the storage electrode 3, the over accordingly charges a connection of the zone 1b with its counter electrode to the storage capacitor connected to the reference potential. After blocking the transistor by switching off the positive voltage on the control line 7, this information is then stored. When the stored information is read out, the transistor is turned on again via the gate 7, the potential of the bit line BL1 which is thereby released from external potentials, that is to say in the "floating" state, changes as a result of the connection of the information-dependent charged storage capacitor depending on the charge state thereof.
  • the resulting potential on the bit line BL1 is then evaluated, amplified and either read out by the connected reading and regeneration circuit 10 in a manner known per se or either read out or again as a regenerated signal into the addressed memory cell during the conductive state of the transistor 51 to 53, 6, 7 registered.
  • a P-channel version is also of interest, in which the individual semiconductor parts are opposed by such. Conductivity type and the voltages required for operation are replaced by such opposite polarity.
  • a silicon semiconductor body 1 with a boron concentration of 10 15 cm -3 is preferably used as the basic doping.
  • an n + -doped semiconductor zone with a penetration depth of 0.1 to 0.3 ⁇ m is produced, which has an arsenic concentration of 10 19 to 10 20 cm -3 .
  • An insulation layer 2 made of SiO 2 is then grown to a thickness of approximately 10 nm, for example by thermal oxidation.
  • a layer is then made on this deposited polycrystalline silicon, which is provided with an n + doping of approximately 10 20 cm -3 made of phosphorus or arsenic and by means of photolithography and etching steps known per se, in particular according to an ion etching process, into the conductive layer 3, which is the one electrode of the storage capacitor, is structured.
  • An intermediate insulation layer 4 follows, for example in the form of an oxide, which can be deposited from the gas phase (CVD oxide). Through a photolithography and etching step, a contact window 4a is then provided in the intermediate insulation layer 4 above the part 3.
  • a polycrystalline silicon layer 5 is then deposited on the layer 4 and recrystallized in a manner known per se by irradiation with a laser or electron beam.
  • the recrystallized layer 5 is structured into the regions 51 to 53 by means of a photography and etching step.
  • the regions 51 to 53 structured to this extent are then p-doped, for example by implantation of boron ions.
  • an insulation layer for example made of SiO 2 , with a thickness of approximately 25 nm is grown on the areas 51 to 53, on which a layer of polycrystalline silicon or a silicide is then applied and used as a gate or as a control line 7 is structured.
  • this layer can also be formed from two sub-layers, the lower of which consists of polycrystalline silicon and the upper of a silicide.
  • a further gate or a further drive line 7z is provided simultaneously with the gate or the drive line 7 of the memory cell 3, 5, which gate or the control line for the adjacent memory cell 3z, 5z.
  • n + doping of the source or drain regions 51, 52 of the field effect transistor by means of an implantation of arsenic ions, the gate 7 serving as a doping mask. This creates a doping concentration of approximately 10 17 cm -3 in regions 51 and 52.
  • an intermediate insulation layer 8 made of oxide is deposited, in which a contact window 8a is provided by photolithography.
  • a conductor track BL1 in particular made of aluminum, is deposited, which then contacts the area 52 in the region of the contact window 8a.
  • the semiconductor body 1 is provided with a trench-shaped recess 12 before the n + -doped zone 1b is produced, which can preferably be done by an etching step.

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Abstract

Ein-Transistor-Speicherzelle mit einem Halbleiterkörper (1), der auf einer Grenzfläche (1a) eine dünne Isolationsschicht (2) und auf dieser eine leitende Schicht (3) aufweist, die die mit einem Auswahl-Feldeffekttransistor verbundene Elektrode eines Speicherkondensators darstellt, wobei der Auswahl-Feldeffekttransistorin eineralspolykristalline Halbleiterschicht (5) aufgebrachten und sodann rekristallisierten Schicht realisiert ist. Hierbei wird angestrebt, die Speicherzelle auf einer möglichst kleinen Halbleiterfläche zu plazieren. Das wird dadurch erreicht, daß die rekristallisierte Halbleiterschicht (5) oberhalb der leitenden Schicht (3) angeordnet und durch eine Zwischenisolationsschicht (4) von dieser getrennt ist, wobei sie sich in lateraler Richtung höchstens bis zum Rand der leitenden Schicht (3) hin erstreckt. Der Anwendungsbereich umfaßt hochintegrierte dynamische RAM-Halbleiterspeicher.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Ein-Transistor-Speicherzelle für hochintegrierte dynamische Halbleiterspeicher nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 und auf Verfahren zu ihrer Herstellung.
  • Eine Speicherzelle dieser Art ist aus IEDM 1982, Techn. Digest, Seiten 420-423, insbesondere Fig. 7, und Seiten 803-805, insbesondere Fig. 1, bekannt. Bei dieser Zelle besteht die leitende Schicht aus einer als polykristalline Halbleiterschicht aufgebrachten und sodann rekristallisierten Halbleiterschicht, wobei sowohl der über die Auswahlleitung ansteuerbare Feldeffekttransistor als auch die mit diesem verbundene erste Elektrode des Speicherkondensators aus zwei einander benachbarten Teilabschnitten dieser Schicht gebildet sind. Der von dieser Elektrode überdeckte Bereich des Halbleiterkörpers stellt eine erste Gegenelektrode des Speicherkondensators dar, während eine zweite Gegenelektrode durch eine andere leitende Schicht gebildet wird, die oberhalb der ersten Elektrode des Speicherkondensators liegt und durch eine dünne Isolationsschicht von dieser getrennt ist. Wegen des in lateraler Richtung neben dem Speicherkondensator liegenden Feldeffekttransistors ist der Flächenbedarf dieser Speicherzelle jedoch relativ groß.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Speicherzelle der eingangs genannten Art anzugeben, die einen wesentlich kleineren Flächenbedarf hat und somit eine große Packungsdichte des Halbleiterspeichers ermöglicht. Das wird erfindungsgemäß durch eine Ausbildung der Speicherzelle nach dem kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 erreicht.
  • Der mit der Erfindung erzielbare Vorteil liegt insbesondere darin, daß durch die Anordnung der rekristallisierten Halbleiterschicht oberhalb der durch die leitende Schicht gebildeten Elektrode des Speicherkondensators der Flächenbedarf der Speicherzelle nur durch die Abmessungen dieser Kondensatorelektrode bestimmt ist. Damit ist aber die Flächeneffektivität der Speicherzelle, die man als das Verhältnis von der für den Speicherkondensator benötigten Halbleiterfläche zu der Halbleiterfläche der gesamten Speicherzelle definieren kann, wesentlich größer als bei den herkömmlichen Ein-Transistor-Speicherzellen.
  • Die Ansprüche 2 bis 10 sind auf bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung gerichtet, während die Ansprüche 11 und 12 vorteilhafte Verfahren zur Herstellung der erfindungsgemäßen Speicherzelle betreffen.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert. Dabei zeigt:
    • Fig. 1 den Querschnitt einer erfindungsgemäßen Ein-Transistor-Speicherzelle,
    • Fig. 2 den Entwurf der Speicherzelle nach Fig. 1 und
    • Fig. 3 den Querschnitt einer anderen erfindungsgemäßen Ein-Transistor-Speicherzelle.
  • In Fig. 1 ist ein Halbleiterkörper 1 eines vorgegebenen Leitungstyps, z.3. aus p-leitendem Silizium mit einer Bor-Dotierungskonzentration von etwa 1015 cm-3, dargestellt, dessen Grenzfläche 1a mit einer dünnen Isolationsschicht 2, z.B. aus Si02, versehen ist. Auf dieser ist eine leitende Schicht 3 aufgebracht, die vorzugsweise aus polykristallinem Silizium besteht. Auf einer die Schicht 3 bedeckenden Zwischenisolationsschicht 4 ist eine Halbleiterschicht 5 angeordnet, die die leitende Schicht 3 über ein Kontaktfenster 4a in der Zwischenisolationsschicht 4 kontaktiert. Die Halbleiterschicht 5 besteht dabei aus einer polykristallinen Siliziumschicht, die nach dem Aufbringen z.B. durch Laserbestrahlung rekristallisiert worden ist. Sie weist n+-dotierte Gebiete 51 und 52 auf, zwischen denen sich ein p-dotiertes Gebiet 53 befindet. Oberhalb des Gebiets 53 ist ein Gate 7 angeordnet, das durch eine dünne Isolationsschicht 6 von diesem getrennt ist. Auf einer Zwischenisolationsschicht 8, die die Halbleiterschicht 5 und das Gate 7 abdeckt, befindet sich eine Leiterbahn BL1, z.B. aus Aluminium, die das Gebiet 52 über ein Kontaktfenster 8a in der Schicht 8 kontaktiert.
  • Die Gebiete 51 und 52 stellen das Source- und Draingebiet eines N-Kanal-Feldeffekttransistors dar, dessen aus 53 bestehender Kanalbereich von dem Gate 7 überdeckt wird. Das Gate 7 ist dabei mit einer Ansteuerleitung, z.B. Wortleitung, verbunden, oder kann selbst als ein Abschnitt einer solchen Ansteuerleitung aufgefaßt werden. Die das Gebiet 52 kontaktierende Leiterbahn BL1 bildet die Daten- oder Bitleitung eines Halbleiterspeichers, während die leitende Schicht 3 die erste, mit dem Gebiet 51 verbundene Elektrode eines Speicherkondensators bedeutet, dessen Gegenelektrode aus dem unterhalb von 3 befindlichen Bereiche SPZ des Halbleiterkörpers 1 besteht. Da die Halbleiterschicht 5 in lateraler Richtung so bemessen ist, daß sie sich höchstens bis zum Rand der leitenden Schicht 3 hin erstreckt, bestimmt der Bereich SPZ nicht nur den für den Speicherkondensator erforderlichen Flächenanteil auf der Grenzfläche 1a des Halbleiterkörpers 1, sondern zugleich auch den Flächenanteil für die gesamte Ein-Transistor=Speicherzelle, die aus dem Speicherkondensator 3, 2, SPZ und dem Feldeffekttransistor 51 bis 53, 6, 7 besteht.
  • Der p-dotierte Halbleiterkörper 1 weist eine von seiner Grenzfläche 1a ausgehende n+-dotierte Zone 1b auf, die sich etwa 0,1 bis 0,3 um in den Halbleiterkörper hinein erstreckt. Sie ist z.B. mit Arsen dotiert, wobei die Dotierungskonzentration etwa 1019 bis 1020cm-3 beträgt. Dieser hohe Dotierungsgrad führt dazu, daß die durch die Oberfläche des Halbleiterbereichs SPZ gebildete Elektrode des Speicherkondensators niederohmig ist, so daß dieser schnell geladen und entladen werden kann. Der pn-Übergang 11 zwischen 1 und 1b verhindert dabei Störungen durch unerwünschte Aufladungen des Halbleiterkörpers 1, die z.B. bei Einstrahlung von Alpha-Teilchen auftreten können.
  • Abweichend hiervon kann der Halbleiterkörper 1 auch n-dotiert sein, wobei an seiner Grenzfläche 1b wieder die n+-dotierte Zone 1b vorgesehen ist.
  • Der obere Teil der Fig. 2 zeigt den Entwurf der Speicherzelle nach Fig. 1, wobei die laterale Begrenzung der leitenden Schicht 3 mit einer ausgezogenen Linie gekennzeichnet ist, während die Begrenzungen der Halbleiterschicht 5, der Leiterbahn BL1 und des Gates 7, das hierbei einen Teilabschnitt einer Ansteuerleitung bildet, jeweils als gestrichelte, strichpunktierte und punktierte Linien eingezeichnet sind. Die Kontaktfenster 4a und 8a sind durch Quadrate angedeutet, wobei das oberhalb der Schicht 5 befindliche Kontaktfenster 8a zusätzlich durch die Diagonalen des Quadrates hervorgehoben ist. Die Darstellung der Speicherzelle nach Fig. 1 entspricht einem Querschnitt längs der strichpunktierten Linie I-I von Fig. 2.
  • Die bisher beschriebene Ein-Transistor-Speicherzelle, deren laterale Abgrenzung durch den Rand der leitenden Schicht 3 bestimmt ist, wird nun durch eine Mehrzahl gleichartig ausgebildeter Speicherzellen, die ebenfalls auf dem Halbleiterkörper 1 integriert sind, zu einem Speicherfeld eines dynamischen Halbleiterspeichers ergänzt. Die unmittelbar benachbarten Speicherzellen sind in Fig. 1 durch leitende Schichten 3' und 3" angedeutet, die der leitenden Schicht 3 der beschriebenen Zelle entsprechen. Die leitenden Schichten 3, 3' und 3'' sind dabei einander so weit angenähert, wie das bei der Herstellung des Speicherfeldes technologisch möglich ist, um eine große Packungsdichte der Speicherzellen zu erreichen. Eine gegenseitige Isolation ist durch die bis auf die Grenzfläche 1a reichenden Teile 4' und 4" der Zwischenisolationsschicht 4 gegeben.
  • Fig. 2 läßt erkennen, wie die an einer gefalteten Bitleitung BL.1, BL2 liegenden Speicherzellen eines Speicherfeldes jeweils paarweise zusammengefaßt werden können, um eine möglichst große Packungsdichte zu erzielen. Hierbei verlaufen die beiden Bitleitungshälften BL1 und BL2 ausgehend von den beiden Knoten A und B einer als Flipflop ausgebildeten Lese- und Regenerierschaltung 10 in derselben Richtung, im dargestellten Fall nach rechts. Dabei stellt die bereits beschriebene Speicherzelle 3, 5 die erste Zelle eines solchen Paares dar, während eine gleichartig aufgebaute Speicherzelle mit den lateralen Begrenzungen 3z und 5z die zweite Zelle bildet. Letztere ist gegen die erste um 180° gedreht, wobei ihre rekristalliserte Halbleiterschicht 5z gegenüber der Schicht 5 der ersten Zelle soweit in Längsrichtung der Bitleitung BL2 versetzt ist, daß die Ansteuerleitung 7 der ersten Zelle oberhalb der leitenden Schicht 3z, aber lateral neben der rekristallisierten Halbleiterschicht 5z der zweiten Zelle verläuft. In analoger Weise ist dann die Ansteuerleitung 7z der zweiten Zelle so angeordnet, daß sie oberhalb der leitenden Schicht 3, aber lateral neben der rekristallisierten Halbleiterschicht 5 der ersten Zelle verläuft. In Fig. 1 ist die Ansteuerleitung 7z der zweiten Zelle im Querschnitt dargestellt.
  • Bei der in Fig. 3 dargestellten erfindungsgemäßen Speicherzelle weist der Halbleiterkörper 1 im Bereich SPZ eine grabenförmige Ausnehmung 12 auf, wobei die Isolationsschicht 2 und die leitende Schicht 3 in ihrem Verlauf der zerklüfteten Grenzfläche 1al des Halbleiterkörpers 1 folgen. Die übrigen Teile dieser Struktur entsprechen den mit gleichen Bezugszeichen versehenen Teilen von Fig. 1 nach Aufbau und Wirkungsweise. Durch die grabenförmige Ausnehmung 12 wird bei gleichem Halbleiterbereich SPZ die Kapazität des Speicherkondensators wesentlich erhöht oder bei gleicher Kapazität der hierfür benötigte Bereich SPZ entsprechend verkleinert. Eine solche Maßnahme ist bei herkömmlichen Speicherzellen bereits bekannt, z.B. aus IEDM 1982, Techn. Digest, Seiten 806 bis 808.
  • Das Gate bzw. die Ansteuerleitung 7 können nach bevorzugten Ausgestaltungen der Erfindung aus polykristallinem Silizium, aus Silizid oder aus zwei Teilschichten bestehen, die aus polykristallinem Silizium und Silizid. gebildet sind. Die Ausbildung einer Ansteuerleitung aus einer solchen Doppelschicht ist an sich ebenfalls bereits bekannt, z.B. aus dem IEEE Journ. of Solid-State Circuits, SC-17, No. 5, Okt. 1982, Seiten 857 bis 861, insbesondere Fig. 4.
  • Schaltet man nun im Betrieb den Transistor 51 bis 53, 6, 7 durch Anlegen einer positiven Spannung an die Ansteuerleitung 7 in den leitenden Zustand, so wird eine über die 3itleitung BL1 zugeführte Informatiorsspannung, die einer logischen "1" oder einer logischen "O" entspricht, an die Speicherelektrode 3 gelegt, wobei sich der über einen Anschluß der Zone 1b mit seiner Gegenelektrode auf Bezugspotential gelegte Speicherkondensator entsprechend auflädt. Nach dem Sperren des Transistors durch Abschalten der positiven Spannung an der Ansteuerleitung 7 ist diese Information dann gespeichert. Beim Auslesen der gespeicherten Information wird der Transistor über das Gate 7 wieder leitend geschaltet, wobei sich das Potential der hierbei von äußeren Potentialen freigeschalteten, also im "floatenden" Zustand befindlichen Bitleitung BL1 durch die Anschaltung des informationsabhängig aufgeladenen Speicherkondensators je nach dem Ladungszustand desselben ändert. Das resultierende Potential auf der Bitleitung BL1 wird dann von der angeschlossenen Lese- und Regenerierschaltung 10 in an sich bekannter Weise ausgewertet, verstärkt und entweder ausgelesen oder während des leitenden Zustandes des Transistors 51 bis 53, 6, 7 als regeneriertes Signal wieder in die adressierte Speicherzelle eingeschrieben.
  • Neben der bisher beschriebenen N-Kanal-Ausführung der erfindungsgemäßen Ein-Transistor-Speicherzelle ist auch eine P-Kanal-Ausführung von Interesse, bei der die einzelnen Halbleiterteile durch solche entgegengesetzten. Leitfähigkeitstyps und die zum Betrieb erforderlichen Spannungen durch solche entgegengesetzter Polarität ersetzt werden.
  • Bei der Herstellung einer N-Kanal-Speicherzelle 3, 5, 7 nach der Erfindung wird vorzugsweise von einem Silizium-Halbleiterkörper 1 mit einer Bor-Konzentration von 1015cm-3 als Grunddotierung ausgegangen. An dessen Grenzfläche 1a wird eine n+-dotierte Halbleiterzone mit einer Eindringtiefe von 0,1 bis 0,3 µm erzeugt, die eine Arsen-Konzentration von 1019 bis 1020cm-3 auf weist. Anschließend wird eine Isolationsschicht 2 aus Si02 in einer Dicke von etwa 10 nm beispielsweise durch thermische Oxidation aufgewachsen. Auf dieser wird sodann eine Schicht aus polykristallinem Silizium abgeschieden, die mit einer n+-Dotierung von etwa 10 20 cm-3 aus Phosphor oder Arsen versehen und mittels an sich bekannter Fotolithografie-und Ätzschritte insbesondere nach einem Ionenätzverfahren in die leitende Schicht 3, die die eine Elektrode des Speicherkondensators darstellt, strukturiert wird. Es folgt das Aufbringen einer Zwischenisolationsschicht 4, beispielsweise in Form eines Oxids, das aus der Gasphase abgeschieden werden kann (CVD-Oxid). Durch einen Fotolithografie- und Ätzschritt wird dann oberhalb des Teils 3 in der Zwischenisolationsschicht 4 ein Kontaktfenster 4a vorgesehen. Auf der Schicht 4 wird anschließend eine polykristalline Siliziumschicht 5 abgeschieden und in an sich bekannter Weise durch Bestrahlung mit einem Laser- oder Elektronenstrahl rekristallisiert. Ein derartiger Rekristallisierungsvorgang ist z.B. aus IEDM 1982, Techn. Digest, Seiten 420 bis- 423 und Appl. Phys. Lett., Bd. 35, 1979, Seiten 173 bis 175 bekannt. Es folgt eine Strukturierung der rekristallisierten Schicht 5 in die Gebiete 51 bis 53 mittels eines Fotografie- und Ätzschrittes. Die insoweit strukturierten Gebiete 51 bis 53 werden sodann p-dotiert, beispielsweise durch eine Implantation von Bor-Ionen.
  • In einem nächsten Schritt wird auf den Gebieten 51 bis 53 eine Isolationsschicht, z.B. aus SiO2, mit einer Dicke von ca. 25 nm aufgewachsen, auf der dann eine Schicht aus polykristallinem Silizium oder aus einem Silizid aufgebracht und als Gate bzw. als Ansteuerleitung 7 strukturiert wird. Mit Vorteil kann diese Schicht auch aus zwei Teilschichten gebildet sein, von denen die untere aus pclykristallinem Silizium und die obere aus einem Silizid besteht. Bei einer gemäß Figur 2 ausgeführten Speicherstruktur für eine gefaltete Bitleitung wird gleichzeitig mit dem Gate bzw. der Ansteuerleitung 7 der Speicherzelle 3, 5 ein weiteres Gate bzw. eine weitere Ansteuerleitung 7z vorgesehen, die das Gate bzw. die Ansteuerleitung für die benachbarte Speicherzelle 3z, 5z darstellt. Es folgt eine n+-Dotierung der Source- bzw. Draingebiete 51, 52 des Feldeffekttransistors mittels einer Implantation von Arsen-Ionen, wobei das Gate 7 als Dotierungsmaske dient. Hierbei entsteht in den Gebieten 51 und 52 eine Dotierungskon- zentration von etwa 1017cm-3.
  • Weiterhin wird eine Zwischenisolationsschicht 8 aus Oxid abgeschieden, in der auf fotolithografischem Wege ein Kontaktfenster 8a vorgesehen wird. Schließlich wird eine Leiterbahn BL1, insbesondere aus Aluminium, abgeschieden, die dann im Bereich des Kontaktfensters 8a das Gebiet 52 kontaktiert.
  • Für eine erfindungsgemäße Speicherzelle nach Fig. 3 wird der Halbleiterkörper 1 vor dem Erzeugen der n+-dotierten Zone 1b mit einer grabenförmigen Ausnehmung 12 versehen, was vorzugsweise durch einen Ätzschritt geschehen kann.

Claims (12)

1. Ein-Transistor-Speicherzelle für hochintegrierte dynamische Halbleiterspeicher mit einem an einer Bitleitung liegenden Feldeffekttransistor, der ein über eine Auswahlleitung ansteuerbares Gate aufweist, und mit einem Speicherkondensator, bei der ein Halbleiterkörper an einer seiner Grenzflächen mit einer ersten dünnen Isolationsschicht und einer auf dieser aufgebrachten leitenden Schicht versehen ist, wobei letztere eine Elektrode des Speicherkondensators darstellt und mit dem Feldeffekttransistor verbunden ist, während der von der leitenden Schicht überdeckte Bereich des Halbleiterkörpers die andere Elektrode des Speicherkondensators bildet, und bei der der Feldeffekttransistor in einer als polykristalline Halbleiterschicht aufgebrachten und sodann rekristallisierten Halbleiterschicht realisisert ist, dadurch gekennzeichnet , daß die rekristallisierte Halbleiterschicht (5) oberhalb der leitenden Schicht (3) liegt und durch eine erste Zwischenisolationsschicht (4) von dieser getrennt ist, daß sich die rekristallisierte Halbleiterschicht (5) in lateraler Richtung höchstens bis-zum Rand der leitenden Schicht (3) hin erstreckt und daß das Gate (7) des Feldeffekttransistors oberhalb der rekristallisierten Halbleiterschicht (5) liegt und durch eine zweite dünne Isolationsschicht (6) von dieser getrennt ist.
2. Ein-Transistor-Speicherzelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnetdaß der Halbleiterkörper (1) an der Grenzfläche (1a), die mit der ersten dünnen Isolationsschicht (2) versehen ist, eine Zone (1b) aufweist, die einen stärkeren Dotierungsgrad aufweist als seiner Grunddotierung entspricht.
3. Ein-Transistor-SpeicherzelLe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Halbleiterkörper (1) an der Grenzfläche (1a), die mit der ersten dünnen Isolationsschicht (2) versehen ist, eine Zone (1b) aufweist, deren Leitfähigkeit zu der des Halbleiterkörpers entgegengesetzt ist.
4. Ein-Transistor-Speicherzelle nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Bitleitung aus einer Leiterbahn (BL1) besteht, die oberhalb des Gate (7) angeordnet und durch eine zweite Zwischenisolationsschicht (8) von diesem getrennt ist.
5. Ein-Transistor-Speicherzelle nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet , daß die erste leitende Schicht (3) aus polykristallinem Silizium besteht.
6. Ein-Transistor-Speicherzelle nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet , daß das Gate (7) aus polykristallinem Silizium besteht.
7. Ein-Transistor-Speicherzelle nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet , daß das Gate (7) aus Silizid besteht.
8. Ein-Transistor-Speicherzelle nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Gate (7) aus zwei Teilschichten gebildet ist, die aus polykristallinem Silizium und Silizid bestehen.
9. Ein-Transistor-Speicherzelle nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der von der leitenden Schicht (3) überdeckte Bereich (SPZ) des Halbleiterkörpers (1) eine grabenartige Ausnehmung (12) aufweist.
10. Halbleiterspeicher mit einer Mehrzahl von Ein-Tran- sistor=Speicherzellen nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet , daß die Speicherzellen jeweils paarweise nebeneinander angeordnet sind, wobei die rekristallisierten Halbleiterschichten (5, 5z) der beiden Speicherzellen eines solchen Paares in Richtung der zugehörigen, parallel zueinander verlaufenden Bitleitungen (BL1, BL2) gegeneinander versetzt angeordnet sind und daß die Auswahlleitung (7) für die eine Speicherzelle eines solchen Paares jeweils oberhalb der leitenden Schicht (3z) aber lateral neben der rekristallisierten Halbleiterschicht (5z) der jeweils anderen Speicherzelle dieses Paares angeordnet ist.
11. Verfahren zur Herstellung einer Ein-Transistor-Speicherzelle nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet , daß ein Halbleiterkörper (1) aus dotiertem Halbleitermaterial, der an einer Grenzfläche (1a) eine Zone (1b) mit einem gegenüber der Grunddotierung erhöhten Dotierungsgrad aufweist, an dieser Grenzfläche (1a) mit einer ersten dünnen Isolationsschicht (2) versehen wird, daß hierauf eine Schicht aus polykristallinem Silizium abgeschieden, mit einer starken Dotierung versehen und mittels eines Fotolithografie- und Ätzschrittes in eine eine Elektrode des Speicherkondensators darstellende leitende Schicht (3) strukturiert wird, daß auf dieser eine erste Zwischenisolationsschicht (4) aufgebracht wird, in der oberhalb der leitenden Schicht (3) ein Kontaktfenster (4a) vorgesehen wird, daß auf dieser ersten Zwischenisolationsschicht (4) eine polykristalline Schicht (5) abgeschieden, durch Bestrahlung rekristallisiert, mittels eines Fotolithografie- und Ätzschrittes strukturiert und sodann mit einer Grunddotierung versehen wird, daß oberhalb der rekristallisierten Schicht (5) eine zweite dünne IsolationsschichT (6) aufgebracht wird, auf der eine Schicht aus leitendem Material aufgebracht und als Gate (7) des Feldeffekttransistors strukturiert wird, daß danach eine Dotierung der die Source- und Drain-Gebiete des Feldeffekttransistors darstellenden Teile (51, 52) der rekristallisierten Schicht (5) im Wege einer Ionenimplantation erfolgt, daß anschließend eine zweite Zwischenisolationsschicht (8) oberhalb des Gate (7) vorgesehen wird, in der oberhalb der rekristallisierten Schicht (5) ein Kontaktfenster (8a) vorgesehen wird, und daß auf der zweiten Zwischenisolationsschicht (8) eine Leiterbahn (BL1) abgeschieden wird, die die rekristallisierte Schicht (5) im Bereich des zweiten Kontaktfensters (8a) kontaktiert.
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet , daß der Halbleiterkörper (1) vor der Erzeugung der Zone (1b) mit einem gegenüber der Grunddotierung erhöhten Dotierungsgrad insbesondere durch Ätzung mit einer grabenförmigen Ausnehmung (12) versehen wird.
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