DK148977B - Apparat til ultralyd-bevirket fjernelse af materiale fra overfladerne paa en raekke paa hinanden foelgende plader - Google Patents

Description

o i 148977

Opfindelsen vedrører et apparat til ultralyd-bevirket fjernelse af materiale fra over overfladerne på en række på hinanden følgende plader samtidigt.

I litteratur fra fabrikanter af ultralyd-udstyr 5 omtales udstyret som værende indrettet til ultralyd-rensning af overflader, i reglen fjernelse af snavs fra over fladerne. Ultralyd er også blevet anvendt på et bredt område af materialefjernelse. Det er f.eks. blevet omtalt, at ultralyd kan anvendes til at fjerne eller afskrælle en 10 foto-hærdet (eksponeret) resist-maske fra en trykt kreds løbsplade, men der kendes ingen kommerciel anvendelse af ultralyd til dette formål. I stedet for er fjernelsen eller afskrælningen blevet udført kommercielt alene ved behandling med opløsningsmidler, med henblik på at opløse eller 15 opkvælde resist-masken og derved fjerne den fra pladens overflade.

Som omtalt i US-patentskrift nr. 3.751.164, er det også kendt at fremskynde fjernelsen af et u-eksponeret område af en foto-hærdelig belægning til dannelse af en re-20 lief-trykkeplade. I dette patentskrift er også en vis grad af automatisering omtalt, idet et overliggende skinneanlæg anvendes til at fremføre pladen fra én behandlingsstation til den næste, og idet processen omfatter ultralyd-rensning og skylning i særskilte beholdere. Der foreligger i alminde-25 lighed et behov for sammentrængt fremføringsudstyr, navnlig til anvendelse ved materialefjernelse ved hjælp af ultralyd, samtidigt med en forbedret styring af kritiske behandlingstrin, såsom fjernelse eller afskrælning af en resist--maske fra et trykt kredsløb. Ved en sådan afskrælningsope-30 ration bliver det vanskeligt at fjerne hele resist-masken uden samtidigt at fjerne nogle af det trykte kredsløbs meget tynde kredsløbsledninger.

Formålet med opfindelsen er at anvise et apparat., ved hjælp af hvilket fjernelsen af materiale fra overfladerne

OC

af en række på hinanden følgende plader samtidigt kan gennemføres som en rationel proces, i dette øjemed er apparatet 2 o 148977 udstyret med en beholder for væske til befugtning af materialet, og fremgøringsorganer, der er monteret på eller i beholderen og indrettet til at fremføre rækken af på hinanden følgende plader fra den ene ende af beholderen til dens 5 modsatte ende, og apparatet er ifølge opfindelsen ejendommeligt ved, at fremføringsorganerne omfatter organer til successiv modtagelse af pladerne ved den ene ende af beholderen og til sådant indgreb med side- og bundkanterne på hver plade i rækken, at de holder pladerne i indbyrdes afstand med deres 10 store flader vendende imod hinanden, mens pladerne under fremføringen er nedsænket i hovedsagen lodret i væsken, og organer til at bevæge modtage-organerne gennem beholderen, og at apparatet har ultralydenergifrembringelsesorganer, der er anbragt langs beholderens sider og vendende imod -i5 pladernes sidekanter, og som er indrettet til at påvirke pladerne med ultralyd på en sådan måde, at materialet fjernes fra deres overflader, organer til at styre modtage-organernes bevægelse, herunder organer til forud bestemt standsning af bevægelsen, så at hver plade 20 i rækken af på hinanden følgende plader kan indføres i modtage-organerne ved beholderens ene ende, organer til at igangsætte bevægelsen efter hver indføring af plader i modtage-organerne, samt organer til at løfte hver plade i rækken af på hinanden følgende plader ud fra modtage-organerne 25 og ud af beholderen ved dennes modsatte ende under standsningen af modtage-organernes bevægelse.

Apparatet ifølge opfindelsen har således sit eget fremføringsudstyr til at fremføre plader gennem ultralydbehandlingszonen. Fremføringsudstyret holder de enkelte plader 30 løst, men styret, under ultralydbehandlingen, uden at det er nødvendigt at anbringe pladerne i et særskilt stel eller en særskilt ramme. Fremføringsudstyret kan fremføre pladerne i lodret stilling gennem behandlingszonen og holde dem forholdsvis tæt sammen med henblik på samtidig behandling.

35 Apparatet omfatter udstyr til lodret indføring og udtagning af pladerne i henholdsvis fra behandlingszonen, så at o 3 148977 både hele apparatet og selve behandlingszonen kan gøres sammentrængt, hvorved den til behandlingen fornødne energi kan formindskes. Varigheden af det tidsrum, hvorunder ultralydbehandl ingen udføres, kan styres og reproduceres.

5 Ved at pladerne underkastes ultralydbehandling fra kantretningen, bliver det muligt at behandle et forholdsvis stort antal plader på samme tid. Selv om ultralyd-energien tilføres fra pladernes sidekanter, sker den ønskede fjernelse af materiale ved ultralyd-induceret kavitation 10 ensartet over hele overfladen på de enkelte plader, uden at selve pladerne bliver angrebet. Apparatet ifølge opfindelsen er således især velegnet til at fjerne eller afskrælle resist-maskemateriale fra en trykt kredsløbsplade, uden at der er risiko for at ultralydpåvirkningen medfører 15 fjernelse eller beskadigelse af selve det trykte kredsløb.

Til modtagelse og videretransport af de plader, der ved hjælp af løfteorganerne er løftet ud fra modtage-organerne kan apparatet ifølge opfindelsen have yderligere fremføringsorganer, der med vandret fremføringsretning strækker sig fra 20 beholderens nævnte modsatte ende, overføringsorganer til at overføre hver plade, der er løftet op af løfteorganerne, ud på fremføringsorganerne med henblik på at føre pladen bort fra beholderen, og ud for fremgøringsorganerne anbragte organer til at skylle og tørre hver plade under fremføringen.

25 i denne forbindelse er det ifølge opfindelsen hensigtsmæssigt, at overføringsorganerne er indrettet til at svinge pladen fra lodret til vandret stilling og derved aflægge den på fremføringsorganerne, idet der herved skabes gode betingelser for en grundig skylning af pladen.

30 Opfindelsen skal i det følgende forklares nærmere under henvisning til de på tegningen viste udførelseseksempler på et ultralydbehandlingsapparat med fremføringsorganer ifølge opfindelsen, dele deraf samt en genstand af den art, der skal behandles i apparatet, idet 35 o 4 148977 fig. 1 skematisk og i perspektiv viser et eksempel på en plade, der kan behandles med apparatet ifølge opfindelsen, fig. 2 skematisk og i perspektiv viser et udførel-5 seseksempel på apparatet med visse dele bortskåret, fig. 3 skematisk og i perspektiv viser udstyret til indstilling af afstanden mellem transportør-aggregaterne og til drift af disse i det i fig. 2 viste apparat, fig. 4 skematisk og i perspektiv viser udstyret 10 til at fjerne de behandlede plader fra behandlingszonen i det i fig. 2 viste apparat, fig. 5 viser set fra oven en styreindretning til periodisk standsning af apparatets drift, og fig. 6 viser, set fra siden, den i fig. 5 viste 15 styreindretning.

Opfindelsen skal i det følgende forklares under henvisning til behandling af plader ved hjælp af ultralyd.

Det.vil imidlertid kunne indses, at andre genstande kan underkastes andre former for behandling under anvendelse af 20 apparatet ifølge opfindelsen.

De plader, som skal underkastes ultralyd-behandling ved hjælp af apparatet ifølge opfindelsen, er fortrinsvis som helhed stort set plant udformede, så at det er muligt at anbringe pladerne nogenlunde tæt sammen inden i appara- 25 tet, hvorved et antal på mindst fire, fortrinsvis mindst seks, og endda op til tolv, plader kan underkastes ultralyd-behandling på samme tid. Pladerne kan have ophøjede områder og/eller fordybninger eller huller på eller i deres overflader.

30 Det udførelseseksempel på en plade, der er vist i fig. 1, er en trykt kredsløbs-plade 2, der består af en elektrisk isolerende grundplade 4 af glasfiberarmeret epoxyharpiks, en kredsløbsledning 6 af kobber, og en resist--maske 8,der ligger oven på kredsløbsledningen. Det trykte 35 kredsløb, der er dannet af kredsløbsledningen 6, er alene

O

5 148977 for overskuelighedens skyld vist i en meget enkel udformning, men apparatet ifølge opfindelsen kan anvendes til behandling af de mest komplicerede trykte kredsløbs-plader. Kredsløbsledningen 6 er også vist med en overdreven tyk-5 kelse, for at den skal kunne ses. Normalt ville kredsløbsledningen være mindre en 0,05 mm tyk, og resist-masken mindre end 0,08 mm tyk, og selve pladens samlede tykkelse ville være mindre end 6,25 mm, idet pladen ville have en bredde og/ eller længde på mindst 150 mm, i reglen omkring 250 mm.

10 Kredsløbsledningen 6 er dannet af en oprindelig sammen hængende kobberbelægning af ensartet tykkelse, som dækkede hele overfladen på grundpladen 4. Denne kobberbelægning blev så bort-ætset med undtagelse af kredsløbsledningen 6, der lå under resist-masken 8, som beskyttede kredsløbsledningen 15 fra at blive bort-ætset af ætseopløsningen. Et trykt kredsløb af samme eller forskellig udformning kan være anbragt på den modsatte side af grundpladen 4. Alternativt kunne resist-masken være anbragt på grundpladen 4 i alle områder med undtagelse af kredsløbsledningen, som kunne være blevet 20 pletteret med ætsningsmodstandsdygtigt materiale, muligvis til dannelse af en ledning med paddehat-formet tværsnit, som strækker sig noget ud over resist-masken.

Apparatet ifølge opfindelsen kan anvendes til at fjerne resist-masken fra pladen. I tilfældet med den viste 25 plade 2, ville en sådan operation blotlægge kredsløbets kredsløbsledning 6. Ved det alternative udførelseseksempel ville en sådan operation afdække den upletterede kobberbelægning på grundpladen 4, som så kunne bort-ætses, så at kun kredsløbsledningen 6 blev tilbage på grundpladen 4. Appa-30 ratet ifølge opfindelsen er især velegnet til at fjerne den resist-maske, der ligger under pletteringens paddehat-form, hurtigt og uden at beskadige kredsløbsledningen.

35 6 148977 o

Fig. 2 viser et apparat, der består af en ultralydbehandlingsafdeling 10, en transportørafdeling 12, en skylleafdeling 14, samt en tørreafdeling 16, idet det hele er indbygget i en og samme apparatkasse 18.

5 Apparatets ultralydbehandlingsafdeling 10 omfatter en beholder i form af en opadtil åben tank 22 for væske 20, som befugter resist-masken 8. Omkring overkanten har tanken 22 en flange 22. Tankens yderside er dækket af et varmetæppe 24, og tværs over tankens åbne overside strækker der sig et 10 udsugningssamlerør 26 med slidslignende åbninger 28. Tanken 22 kan betragtes som den struktur, der afgrænser ultralydbehandlingszonen i det i fig. 2 viste apparat.

Organerne til at transportere de trykte kredsløbsplader 2 gennem væsken 20 fra tanken 22's nærmeste ende til 15 dennes modsatte (fjerntliggende) ende omfatter et par transportør-aggregater 30 og 32, som er delvis nedsænkede i væsken 20 i tanken, men ikke når helt ned til tankens bund. Hvert aggregat består af en drivaksel 34 med et herpå monteret øvre kædetandhjul 36, samt en løbeaksel (dreven aksel) 38 20 med et herpå monteret øvre kædetandhjul 40, samt en drivkæde 42, der udgør en drivforbindelse mellem de to øvre kædetandhjul. Drivakslen 34 henholdsvis løbeakslen 38 strækker sig ned til transportør-aggregaternes nederste dele, og står i indbyrdes drivforbindelse ved deres nederste ender 25 ved hjælp af kædetandhjul 44 og 46 og en drivkæde 48 - hvoraf kun ét sæt er vist i afbrudt streg - på samme måde som ved akslernes øverste ender.

En række transportør-holdeskinner 50, der udgør modtage-organer for pladerne 2, er fastnittet til fastgørel-30 sesled 52 (fig. 4), der er fordelt langs med drivkæderne 42 og 48, således at hver holdeskinne 50 er fastgjort til en drivkæde ved sin øverste og nederste ende. Som det bedst kan 35

O

148977 7 ses i fig. 4, består hver holdeskinne 50 af en metalplade-strimmel/ der er bukket til et U-formet tværsnit med sidevægge 54 og 56 og en bundvæg 58. Den nederste ende af bundvæggen 58 er bukket ud mellem sidevæggene 54 og 56 til 5 dannelse af en støttehylde 62. Holdeskinnernes 50's åbne kanalformede sider vender bort fra drivkæderne og imod hinanden hen over bevægelsesbanen mellem transportør-aggregaterne 30 og 32 hen til den fjerntliggende side af tanken 22. Holdeskinnerne 50 er også åbne opadtil, således som 10 det er vist med pilen 64. I det viste udførelseseksempel har hvert transportør-aggregat tolv holdeskinner, der er fordelt langs med den nævnte bevægelsesbane, så at tolv plader kan behandles på samme tid.

Fig. 3 viser mellemrumsindstillings- og drivaggre-15 gatet for transportør-aggregaterne 30 og 32. Mellemrumsaggregatet omfatter et par fodplader 66 og 68, som ved hjælp af ikke viste bolte er monteret på tanken 22's flange 23. På fodpladerne er der monteret klodser 70 og 72. En skruespindel 74 er drejeligt lejret i, og strækker sig mellem klod-20 serne 70 og 72. Skruespindlen har et venstregevindstykke 76 i skrueindgreb med en møtrik-klods 78, og et højregevindstykke 80 i skrueindgreb med en møtrik-klods 82. Disse gevindstykker er ved enderne forbundet med hinanden ved hjælp af en kobling 84. Hver møtrik-klods 78 og 82 er mon-25 teret på en .vognplade 86, og hver vognplade 86 er en del af et vogn-aggregat, der består af et par køreskinner 88, som strækker sig fra klodsen 70 til klodsen 72, vognsidevægge 90, der er monteret på vognpladerne 86, aksler 92, der er drejeligt lejret i vognsidevæggene 90, samt med 30 rundtgående spor udformede kørehjul 94, der er monteret på akslerne 94 og ruller på skinnerne 88. En breddeindstillingsknap 96 er monteret på den ene ende af højregevind-stykket 80 og drejeligt lejret i klodsen 72. På vognpladerne 96 er der også monteret et par pladeindføringsstyr 98 35 med styrekanaler, der vender mod hinanden som vist i fig. 3.

Driv-aggregatet omfatter en motor 100, der er monteret i forbindelse med fodpladen 68, men anbragt neden under flangen 23, et kædedrivhjul 102, der er forbundet

O

8 148977 med motorens aksel, et kædeledehjul 104, som er drejeligt lejret på en knægt 105, som på ikke vist måde er fastgjort til tanken 22's nærmest betragteren liggende side, et par kædehjul 106 og 107, der er drejeligt lej-5 ret på vognpladen 86, og et kædestrammehjul 108. Omkring alle disse kædehjul er der lagt en drivkæde 110, og kæ-destrammehjulet 108 er indstilleligt med henblik på at holde kæden spændt. Et tandhjul 112 er forbundet med ledehjulet 104 til at rotere sammen med dette, og dette 10 tandhjul står i indgreb med et tandhjul 114, som er forbundet med et kædedrivhjul 116, der er drejeligt lejret på knægten 105. På samme måde som ovenfor er et par ved hinanden liggende kædehjul 118 og 119 drejeligt lejret på den anden vognplade 86, og et kædeledehjul 120 og et 15 kædestrammehjul 122 er drejeligt lejret på fodpladen 66, idet en drivkæde 124 er ført omkring disse kædehjul. Kædehjulet 107 er monteret på den øverste ende af akslen 34 tilhørende transportør-aggregatet 30, og kædehjulet 119 er monteret på den øverste ende af akslen 34 tilhørende 20 transportør-aggregatet 32.

På knægten 105 er der endvidere monteret en elektromagnet 126, som har en tilbagetrækkelig arm 128, som rager ind i bevægelsesvejen for en trykt kredsløbsplade 2, der indføres gennem styrene 98.

25 Under drift indstilles mellemrummet mellem trans portør-aggregaterne 30 og 32 ved at dreje breddeindstillingsknappen 96. Dette bevirker, at møtrik-klodserne 78 og 82, samt vognpladerne 86, som de er monteret på, bevæger sig i indbyrdes modsatte retninger, afhængigt af hvil-30 ken vej knappen 96 drejes. Ved denne bevægelse af vognpladerne 86 indstilles afstanden mellem pladeindfØringssty-rene 98 og transportør-aggregaternes holdeskinner 50, indtil denne afstand er en sådan, at den trykte kredsløbsplade 2 kan indføres i pladeindføringsstyrene 98. Denne S-formede 35 føring af drivkæden 110 henholdsvis 124 ved hjælp af kæde-hjulparrene 106, 107 henholdsvis 118, 119 gør, at disse kæders banelængde holdes konstant under den nævnte indstil-

O

148977 9 ling af mellemrummet. Styrene 98 har den samme indbyrdes afstand som rækker af holdeskinner 50, som fra transportør-aggregaterne 30 og 32 vender imod hinanden. Akslerne 34 og 38 tilhørende hvert transportør-aggregat 5 strækker sig gennem deres respektive vognplader 86, som på denne måde holder disse aksler i en fast indbyrdes afstand for hvert transportør-aggregat. Tilsvarende, ikke viste plader er anbragt nederst i hvert transportør-aggregat med det samme formål, og pladerne i hvert 10 transportør-aggregat er indbyrdes forbundet ved hjælp af ikke viste lodrette stivere. På denne måde holdes holdeskinnerne 50 indbyrdes parallelle i de to transportør-aggregater 30 og 32 indbyrdes.

Efter at indstillingen til det ønskede mellemrum 15 mellem transportør-aggregaterne er fuldført, kan drivaggregatet sættes i drift. Når drivmotoren 100 roterer, bringer den kæden 110 i bevægelse og drejer kædehjulet 107, hvorved akslen 34 roterer og fremfører holdeskinnerne 50 i transportør-aggregatet 30 i den i figurerne viste retning.

20 Tandhjulene 112 og 114 overfører kæden 110's bevægelse til kæden 123, som i sin tur drejer kædehjulet 119 og dermed akslen 34, hvad der bringer holdeskinnerne 50 i transportør-aggregatet 32 til at bevæge sig fremad i den samme retning som vist i figurerne. Denne fremføring sker ved 25 drejningen af kædehjulene 107 og 119, hvad der bringer drivkæderne 42 til at bevæge holdeskinnerne 50 i de to transportør-aggregater hen gennem tanken. Kædehjulene 36 og 40 bevæger sig som fritløbende hjul, som drejer akslerne 38 i transportør-aggregaterne. Ved rotationen af akslerne 30 34 og 38 roterer også de nederste kædetandhjul 44 og 46, og derved de to transportør-aggregater 30 og 32's kæder 48, så at de øverste og de nederste dele af holdeskinnerne 50, som er stift fastholdt af deres respektive kæder, fremføres med den samme hastighed.

35 · En trykt kredsløbsplade anbringes i pladeindførings styrene 98 og hvilende på den udstrakte arm 128 tilhørende elektromagneten 126. Når en holdeskinne 50 på begge trans- 148977 ίο o portør-aggregater 30 og 32 flugter med pladeindføringsstyrene 98, og transportørernes holdeskinner ikke bevæger sig fremad - dvs., at apparatet befinder sig i en hvilestilling - trækkes elektromagneten 126's arm 128 til-5 bage, så at den trykte kredsløbsplade 22 ved tyngdens hjælp kan glide ned i de flugtende holdeskinner 50, indtil den standes af støttehyldeme 62 i de to holdeskinner. I denne stilling er den trykte kredsløbsplade 2 nedsænket i væsken 20.

10 Efter at armen 128 har frigivet den trykte kreds løbsplade 2, bevæger armen sig tilbage til sin udstrakte stilling med henblik på at forhindre at den næste trykte kredsløbsplade 2, som er indført i pladeindføringsstyrene 98, falder ved tyngdens hjælp, og motoren 100 kan nu igang-15 sættes, så at den bringer holdeskinnerne 50 i transportøraggregaterne 30 og 32 til at bevæge sig fremad således, at den næste holdeskinne 50 på hvert transportør-aggregat fremføres til den stilling, hvor de flugter med pladeindføringsstyrene 98, og standses dér, hvorpå en anden trykt kreds-20 løbsplade 2 indføres i holdeskinnerne 50. Dette operationsforløb fortsættes med indføring af plader 2 i på hinanden følgende holdeskinner, 50, mens disse fremføres rykvis hen imod den fjerntliggende ende af tanken 22, således som det er vist i fig. 2. Ved at holdeskinnerne 50 er anbragt med 25 indbyrdes afstand langs med deres respektive drivkæder 42 og 48, holdes pladerne 2 tæt sammen, f.eks. mellem 15 og 35 mm fra hinanden, men med en tilstrækkelig indbyrdes afstand til at pladerne kan underkastes ultralydbehandlingen.

Under denne fremføring er pladerne 2 anbragt fast og i 30 hovedsagen lodret og indbyrdes parallelle og med ens indbyrdes afstande, med henblik på at ultralydbehandlingen af pladerne skal være i hovedsagen ensartet. Den lille afstand mellem pladerne, sammen med den ovenfor beskrevne tyngde--indføring og den i det følgende beskrevne fjernelse af 35 pladerne ved ophejsning, medfører at apparatets transportør-afdeling ikke kræver megen plads, hvorfor det bliver muligt at udforme behandlingszonen på en sådan måde, at heller ikke dån kræver megen plads.

o 148977 11

Ultralydbehandlingen udføres ved hjælp af ultralyd-omsættere 140, som er monteret på modsatte side af tanken 22 og vender imod kanterne på de kredsløbsplader 2, der er nedsænket i væsken 20 i tanken 22. Omsæt-5 terne 140 er monteret i lodrette lommer 142 i tanken 22's sidevægge, i stedet for at rage ind i tanken fra dennes sider. Dette træk, sammen med den lidet pladskrævende udformning af behandlingszonen, formindsker den væskemængde i tanken, som det kan være nødvendigt at opvarme ved hjælp 10 af varmetæppet 24. Omsætterne 140 holdes kontinuerligt i drift. Omsætterne er tillige beliggende langs med et slut--område,f.eks. omtrent den sidste halvdel, af pladernes bevægelsesvej gennem tanken. Således vil den største mængde ultralyd-energi være til stede langs denne del af bevægel-15 sesvejen. Herved opnås en effektiv udnyttelse af ultralyd--energien, idet mens pladerne bevæger sig gennem den første del af vejen, kan væsken i tanken fugte og gennemtrænge det materiale, der skal fjernes ved ultralydbehandlingen. Indtil dette er sket, vil en ultralydbehandling med henblik på 20 at fjerne materialet ikke være særlig effektiv.

Når de. enkelte trykte kredsløbsplader 2 af den række plader, som på samme tid undergår behandling i tanken, når hen til tankens fjerntliggende ende, fjernes kredsløbspladen automatisk fra sine holdeskinner, og dermed fra tan-25 ken 22. Dette kan opnås ved hjælp af et elevator-aggregat 150, der er vist i fig. 4, og som er anbragt ved enden af fremføringsvejen for holdeskinnerne. Aggregatet 150 omfatter en elevator-kæde 152, som er ført omkring et øvre kædedrivhjul 154 og et nedre kædeløbehjul 156, der er nedsæn-30 ket i væsken i tanken. Kædehjulet 156 er drejeligt lejret i U-formet lejekonsol 158, som er fastgjort til tankvæggen 160. Kædehjulet 154 er drejeligt lejret i en U-formet lejekonsol 162, som også er monteret på væggen 160, og den aksel 164, som kædehjulet 154 er anbragt på, strækker sig 35 ud af tanken gennem et ikke vist hul i tankens sidevæg. På det sted, hvor akslen 164 passerer gennem tankens sidevæg, er den lejret i en ikke vist lejeklods. På den del af akslen

O

148977 12 164,- som rager uden for tanken 22, er der monteret et kædehjul 166. Nederst i apparatet er der monteret en motor 168 med en aksel 170. og et på denne monteret kædehjul 172. En drivkæde 174 er ført omkring kædehjulene 166 og 172. Kæden 5 174 har samme længde som kæden 152. Til kæden 152 er der fastgjort til løftevinkler 176 med ens indbyrdes afstand, og bestående af et rygstykke 178, der er fastgjort til kæ-dén,. og et fodstykke 180 til at indgribe med underkanten 182 på den trykte kredsløbsplade 2.

10 Under driften vil motoren 168's drejning af kæde hjulet 172 bringe kæden 152 til at bevæge sig i urvisernes retning som betragtet i fig. 4, hvorved en løftevinkel 176 indgriber med underkanten på pladen 2 og løfter pladen ud af sine holdeskinner 50. Kæden 152 er anbragt langs tanken 15 22's midterplan, og vil altid befinde sig midtvejs mellem de to transportør-aggregater 30 og 32, uanset afstanden mellem disse. På denne måde er det tilstrækkeligt med en enkelt elevatorkæde til at hejse pladen op fra holdeskinneme.

Motoren 168 aktiveres som reaktion på at apparatet 20 befinder sig i sin hvileperiode, som indtræder når en trykt kredsløbsplade indføres i et par holdeskinner 50 ved den nærmest betragteren liggende ende af tanken 22. Under denne hvileperiode bevæger elevatorkæden 152 sig tilstrækkeligt, til.at pladen fjernes fra sine holdeskinner. Fjernelsen af 25 pladen fra dens holdeskinner sker i sin helhed under transportør-aggregaternes hvileperiode, og disse vil ikke blive sat i gang, før motoren 168 standser.

Styreorganerne til at standse motoren 168's bevægelse, og således også kæden 152's bevægelse, udgøres af 30 et par påvirkningsfingre 190, som er fastgjort langs med kæden 174, og en mikrokontakt 192, der er monteret på apparatkassen 18 og indrettet til at påvirkes af fingeren 190, når kæden 174 bevæger sig forbi kontakten 192. Fingrene 190 er anbragt med sådanne indbyrdes afstande langs med kæden 35 174, at efter fjernelsen af en kredsløbsplade fra holde skinnerne påvirker en finger 190 kontakten 192, som standser motoren 168's drift indtil begyndelsen af apparatets næste hvileperiode.

O

148977 13

Ovenfor de holdeskinner 50, som tømmes for sit indhold af den lige beskrevne mekanisme til fjernelse af kredsløbspladerne, er der anbragt en mekanisme til at modtage de ultralydbehandlede plader og føre dem 5 videre til den næste behandlingsoperation. I det i fig. 2 og 4 viste udførelseseksempel omfatter denne mekanisme et par kanalformede udløbsstyr 194, der er anbragt i flugt med holdeskinnerne, så at løftevinklen 176 løfter pladen fra de nedenfor liggende holdeskinner og direkte op i ud-10 løbsstyrene 194. Odløbsstyrene er svingeligt lejret på en vognplade 86, og har en hvilestilling, hvori de hælder en smule imod apparatets transportør-afdeling 12. Når pladen 2 føres ind i udløbsstyrene, svinger disse til en mere opretstående stilling, og når pladen kommer fri af holdeskin-13 nernes øverste ender, vil udløbsstyrenes tilbøjelighed til at falde tilbage til hvilestillingen bevirke, at udløbsstyrene svinger i retning hen imod transportør-afdelingen 12, og pladen 2's vægt bringer styrene til at svinge hele vejen, så at de aflægger pladen 2 på de vandrette trans-20 portørorganer. Således svinges pladerne 2 automatisk gennem 90° fra den lodrette ultralydbehandlingsstilling til den vandrette stilling med henblik på yderligere behandlinger. De kanalformede udløbsstyr 194 er belastet, f.eks. ved hjælp af en ikke vist modvægt, til at svinge tilbage 25 til deres hvilestilling.

I det i fig. 2 viste udførelseseksempel aflægges den rensede plade på drevne hjul i en hjultransportør 200 ved hjælp af de svingende udløbsstyr 194. Hjultransportøren 200 fører pladen bort fra tanken 22 og ud af udløbsstyrene, 30 194, og derfra'ind mellem et antal øvre og nedre sprøjte fordelingsrør 202, som skyller den rensede plade, normalt ved hjælp af vand. Hjulene 204 i hjultransportøren 200 er fortsat fra den ene række til den næste, for at gøre det muligt at skylle hele pladens underside fuldstændigt. Der-35 næst fører transportøren 200 den skyllede plade mellem et par luftstrålefordelingsrør 206, idet luftstrålerne virker som en "luftkniv" eller et "luftgardin", der er rettet imod

O

148977 14 pladen, for derved at forhindre at skyllevasken passerer ud mellem fordelingsrørene sammen med pladen, hvorved denne tørres. Den tørrede trykte kredsløbsplade er nu klar til den næste operation. Apparatet kan være ud-5 styret med en hætte eller et dæksel, så at pladen vil forblive våd under passagen fra ultralydbehandlingsafdelingen 10 til skylleafdelingen 14, hvorved oxidation af pladens overflade forhindres.

Foretrukne midler til at styre apparatets drift 10 udgøres af en styreindretning til at standse fremføringen af holdeskinnerne 50, når det ønskede par holdeskinner 50 tilhørende transportør-aggregaterne 30 og 32 flugter med pladeindføringsstyrene 98, samt en med halvleder-komponenter udstyret programstyreenhed til at igangsætte 15 operationer under den resulterende hvileperiode og til igen at igangsætte fremføringen af holdeskinnerne 50. Fig. 5 og 6 viser et, udførelseseksempel på en styreindretning, hvori en rotorskive 210 ved hjælp af en skrue 212 er monteret på den øvers te ende af akslen 38, som rager op over transpor-.

20 tør-aggregatet 30's vognplade 86. Et antal opretstående metalstave 214 er monteret med ens indbyrdes afstande omkring periferien af rotorskiven 210. Stillingen af hver stav 214 svarer til en holdeskinne 50 i transportør-aggregatet 30 og dermed en holdeskinne 50 i aggregatet 32. Når akslen 25 38 roterer, og holdeskinnerne 50 derved fremføres gennem tanken 22, roterer rotorskiven 210.

En nærhedsføler 216 er monteret på en knægt 218, der er fastgjort til vognpladen 86 ved hjælp af bolte 220, og udsender en lavfrekvent lydbølge i retning af akslen 38.

30 Når en stav 214 passerer foran føleren 216 som vist i fig. 5 og 6, afbrydes lydbølgen. En inden i føleren 216 anbragt halvlederkontakt (triac) reagerer på denne afbrydelse ved at sende et signal til programstyreenheden, som i sin tur afbryder strømmen til motoren 100 og derved standser frem-35 føringen af holdeskinnerne 50. Stillingen af den stav 214, der bevirker denne standsning af fremføringen, er forud-indstillet til at svare til at en holdeskinne 50 på hvert transportør-aggregat flugter med pladeindføringsstyrene 98.

O

148977 15

Dersom man ønsker at overspringe indføringen af plader i nogle af holdeskinnerne, kan enkelte stave fjernes fra rotorskiven, eller også kan programstyreenheden programmeres til at lade en eller flere af stavene passere før 5 den afbryder strømmen til motoren 100.

Den nævnte med halvlederorganer udstyrede programstyreenhed omfatter et styreur, som er indstillet til at hestemme hvileperioden - typisk mellem 5 og 15 sekunder -og gen-indkobler strømmen til motoren 100 med henblik på 10 fornyet igangsætning af holdeskinnernes fremføring ved hvileperiodens afslutning. Ved påbegyndelsen af denne hvileperiode signalerer styreenheden samtidigt til indtrækning af elektromagneten 126's arm 128, så at den giver pladen 2 i indføringsstyrene 98 lejlighed til at falde ned i de flug-15 tende holdeskinner 50, og forbinder strømforsyningen med motoren 168 for at bringe elevator-aggregatet i virksomhed. Således sker indføringen af pladerne i og fjernelsen af disse fra holdeskinnerne 50 som reaktion på standsningen af holdeskinnernes fremføringsbevægelse.

20 Apparatet kan være udstyret med en føler til at afføle at en plade falder fra armen 128 ned i de pågældende holdeskinner, og til at konstatere at den lejres rigtigt i disse. Denne føler kan være elektrisk forbundet med styrekredsløbet på en sådan måde, at den bringer armen 25 128 til at række ud og derved forhindre at en yderligere plade bliver sluppet ned i de samme holdeskinner, og at den bringer motoren 1Q0 til påny at begynde fremføringen, dersom der ikke foreligger nogen opstuvning eller blokering af plader.

30 Fra den ovenstående beskrivelse af ultralydbehand lingsafdelingen 10 vil det kunne ses, at det tidsrum pladen holdes nedsænket i væsken fastlægges af det tidspunkt pladen automatisk frigives af elektromagnet-armen 128, den hastighed, hvormed holdeskinnerne bevæger sig, og den vej-35 længde, hvorigennem de bevæges gennem væsken, og det tidspunkt pladen automatisk fjernes fra væsken. Pladens opholdstid i væsken kan indstilles, f.eks. ved at indstille hvile-

O

148977 16 periodens varighed og fremføringstiden, som normalt udgør omtrent ét sekund fra denene holdeskinne til den næste, samt udstrækningen af fremføringen mellem hvileperioderne. Temperaturen kan også indstilles med henblik på opnåelse 5 ' af de bedste rensningsresultater, nemlig en fuldstændig fjernelse af resist-masken uden nogen forringende påvirkning af det underliggende kredsløb. Den sammentrængte opbygning af ultralydrenseafdelingen medfører den fordel, at effektforbruget formindskes, idet der forbruges mindre op-10 varmningsenergi ved f.eks. opvarmning til mindst 50°C og tit til mindst 80°C, og et mindre forbrug af ultralyd-energi, på grund af tankens forholdsvis lille volumen. Således behøves der ikke mere end omtrent 4,2 liter væske til at behandle hver 5 dm pladeoverflade (dvs. 84 liter/m ), 2 15 fortrinsvis kun 4,2 liter for hver 10 dm pladeoverflade (dvs. 42 liter/m ). Apparatet udviser også en høj produktionstakt, idet det f.eks. er i stand til at fjerne resist fra mindst 12Q stk. dobbeltsidede kredsløbsplader på 61 cm x 61 cm pr. time, hvad der er mere end dobbelt så højt som 20 produktionstakten ved sædvanlig resist-fjernelse under anvendelse af transportør og under anvendelse af opløsnings- 2 middel alene. Det er således muligt at behandle mindst 50 m 2 pr. time og fortrinsvis mindst 80 m pr. time i behandlingszonen, som kun måler omtrent 46 cm tværs over tanken og har 25 en vejlængde på kun omtrent 30 cm.

Ud over til at fjerne resist fra en kredsløbsplade, er apparatet ifølge opfindelsen anvendeligt til at fjerne .. andre materialer, som f.eks. snavs eller jord, fra plader.

Den væsketemperatur og de omsættere, der skal anvendes, vil 30 afhænge af det materiale, som skal fjernes. Anbringelsen af omsættere i eller på tankens sider medfører den virkning, at det materiale, der er fjernet fra de genstande, som er under behandling, falder ned på tankens bund, hvor et sådant bundfald ikke kan "blinde" omsætternes arbejde. Væskens 35 evne til at befugte det materiale, der skal fjernes, er . ' af væsentlig betydning for hvor hurtigt fjernelsen kan foregå. Med "befugtning" menes i denne sammenhæng at væsken ved den pågældende temperatur har en lille berøringsvinkel med

O

148977 17 materialet, dvs. at væsken er tilbøjelig til at sprede sig på materialet og ikke samle sig i "perler" på materialets overflade. Væskers evne til at befugte et bestemt materiale kan i almindelighed forøges ved at tilsætte et aktivt 5 middel, såsom et overfladeaktivt middel, som sænker væskens overfladespænding.

Claims (1)

1. Apparat til ultralyd-bevirket fjernelse af materiale fra overfladerne på en række på hinanden følgende plader (2) samtidigt, med en beholder (22) for væske (20) 5 til befugtning af materialet, og fremføringsorganer (30, 32), der er monteret på eller i beholderen (22) og indrettet til at fremføre rækken af på hinanden følgende plader (2) fra den ene ende af beholderen (22) til dens modsatte ende, kendetegnet ved, at fremføringsorganerne (30, 32) om-10 fatter a) organer (50) til successiv modtagelse af pladerne (2) ved den ene ende af beholderen (22) og til sådant indgreb med side- og bundkanterne på hver plade i rækken, at de holder pladerne i indbyrdes afstand med deres 15 store flader vendende imod hinanden, mens pladerne under fremføringen er nedsænket i hovedsagen lodret i væsken (20), og organer (34-48) til at bevæge modtage-organerne (50) gennem beholderen (22), og at apparatet har b) ultralydenergifrembringelsesorganer (140), der 2o er anbragt langs beholderens (22) sider og vendende imod pladernes (2) sidekanter, og som er indrettet til at påvirke pladerne (2) med ultralyd på en sådan måde, at materialet fjernes fra deres overflader, c) organer til at styre modtage-organernes (50) 25 bevægelse, herunder organer til forud bestemt standsning af bevægelsen, så at hver plade (2) i rækken af på hinanden følgende plader kan indføres i modtage-organerne (50) ved beholderens (22) ene ende, organer til at igangsætte bevægelsen efter hver indføring af plader (2) i modtage-organer-30 ne (50), samt d) organer (150) til at løfte hver plade (2) i rækken af på hinanden følgende plader ud fra modtage-organerne (50) og ud af beholderen (22) ved dennes modsatte ende under standsningen af modtage-organernes (50) bevægelse.