DE929822C - Vorrichtung zum Zaehlen von Teilchen - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Zählen von Teilchen, insbesondere auf die Bestimmung des Staubgehalts einer Luftprobe.

Die Bestimmung der Verunreinigung von Luft oder eines anderen Gases durch Staub erfolgte bisher durch Präparierung einer unter kontrollierten Verhältnissen gewählten Probe. Diese Probe besteht z. B. aus einer durchsichtigen Platte, auf welcher die Staubteilchen niedergeschlagen und fixiert worden sind, oder aus der vergrößerten Photographic einer solchen Platte. Die Probe wird dann unter einem Mikroskop betrachtet, und die Teilchen auf einem ausgewählten Teil der Fläche werden visuell gezählt. Dies stellt einen zeitraubenden Vorgang dar, und die von verschiedenen Personen von demselben Muster erhaltenen Ergebnisse können in wesentlichem Maße voneinander abweichen, insbesondere wenn die Teilchen von sehr verschiedener Größe sind.

Es ist daher zweckmäßig, das visuelle Zählen durch eine automatisch durchgeführte Zählung zu ersetzen, die mittels einer elektrischen Zählvorrichtung eine solche Gesamtzählung gestattet.

Hierfür wurden bereits Vorrichtungen vorgeschlagen, die Einrichtungen, wie z. B. eine Elektronenstrahlröhre, zum Abtasten einer Probe der zu zählenden Teilchen, Aufnahmevorrichtungen, wie z. B. eine Photozelle, welche mit den Abtasteinrichtungen zur Erzeugung eines elektrischen Signals zusammenwirkt, welches ein Maß für das Vorhandensein und die Verteilung der Teilchen ist, sowie Einrichtungen zur Vermeidung einer Mehrfachzählung eines mehr als einmal abgetasteten großen Teilchens und auf das abgeleitete

Signal bzw. Signale ansprechende Zählmittel zur Erzielung einer Anzeige der Gesamtzahl der abgetasteten Teilchen enthalten.

Wenn die Probe aus einer durchsichtigen Platte besteht, welche die Teilchen oder eine Photographie derselben in gleichem oder vergrößertem Maßstab trägt, können die Abtasteinrichtungen aus einer Elektronenstrahlröhre bestehen, deren Strahlenbündel durch Anlegen einer entsprechenden ίο Zeitablenkspannung ein Raster rechtwinkliger Form und solcher Größe beschreibt, daß die Platte oder ein zu prüfender Teil derselben abgetastet wird. Durch eine Optik fällt das von der Elektronenstrahlröhre herrührende Licht durch die Probe hindurch auf die Aufnahmevorrichtung, deren Ausgangsspannung dadurch das Vorhandensein oder die Abwesenheit von Teilchen in den Abtastzeilen in Abhängigkeit von der Zeit darstellt. Wenn die Teilchen in einer bestimmten Probe aber von verschiedener Größe sind, so bleibt die Schwierigkeit, sicherzustellen, daß bei Verwendung irgendeiner Abtastweise der Probe ein mehr als einmal abgetastetes großes Teilchen, das zwei oder mehr Abtastzeilen überlappt, nur als einziges Teilchen »gesehen« wird und so eine falsche Zählung vermieden wird.

Diese Schwierigkeiten - werden durch die Vorrichtung gemäß der Erfindung dadurch vermieden, daß die Abtasteinrichtung zwei benachbarte Zeilen abtastende Kathodenstrahlbündel enthält und die Aufnahmevorrichtung und der zugehörige Verstärker bzw. die zugehörigen Verstärker und die Zählmittel derart eingerichtet sind, daß die Zählmittel unwirksam werden, wenn die beiden Bündel gleichzeitig einem Teilchen begegnen, und erst wieder ansprechen, wenn nur eines dieser Bündel einem Teilchen begegnet.

Bei einer solchen Anordnung lassen sich drei Arten der Verwendung der von den Aufnahmeeinrichtungen gelieferten Signale unterscheiden.. Bei der ersten Weise wird das einem Bündel entnommene Signal, z. B. nach Umkehrung, zur Beseitigung des dem anderen Bündel entnommenen Signals verwendet, wenn die beiden Bündel praktisch gleichzeitig einem zwei oder mehr Abtastzeilen überlappenden Teilchen begegnen. Das Zählen eines solchen Teilchens oder eines nur eine Abtastzeile beanspruchenden kleinen Teilchens kann erfolgen: a) durch Verwendung des einem Bündel entnommenen Signals, wenn dieses allein das Teilchen abtastet, so daß die Zählung erfolgt entweder, wenn das Teilchen zuerst von einem Bündel getroffen oder zuletzt vom anderen Bündel getroffen wird; b) durch Verwendung der den beiden Bündeln entnommenen Signale (falls sie praktisch nicht gleichzeitig vorhanden sind), so daß ein Teilchen abgetastet wird, wenn es zuerst von dem einen Bündel und danach vom anderen Bündel getroffen wird, wobei dann die erhaltene Gesamtzählung halbiert wird.

Bei der zweiten Art können die den beiden Bündeln entnommenen elektrischen Signale von gleicher Polarität (z. B. positive Impulse) und gemischt sein, so daß, wenn jedes Bündel nur einem Teilchen begegnet, ein erster Signaltyp erhalten wird, während, wenn die beiden Bündel praktisch gleichzeitig einem Teilchen begegnen, ein anderer Signal typ auftritt. Dieser andere Signaltyp kann zur Verhütung eines Ansprechens des Zählers benutzt werden. In diesem Falle wird jedes Teilchen zweimal gezählt wie bei der zweiten Form der ersten Art, so daß die Gesamtzählung halbiert werden muß.

Bei der dritten Art kann das von dem einen Bündel gelieferte Signal als Zählsignal und das von dem anderen Bündel gelieferte Signal als Steuersignal angesehen werden, wodurch die Übertragung des Zählsignals nach dem Zähler bei Auf treffen auf ein Teilchen verhindert wird, wenn die beiden Signale praktisch gleichzeitig vorhanden sind, jedoch ermöglicht wird, wenn nur das Zählsignal vorhanden ist. In diesem Falle kann die Zählung erfolgen entweder, wenn das Teilchen zuerst oder aber zuletzt getroffen wird, je nachdem, was in einem bestimmten Falle am meisten erwünscht ist.

Da große, zwei oder mehr Abtastzeilen überlappende Teilchen eine Vorderkante aufweisen können, die nicht senkrecht zur Richtung der Zeilenabtastung steht, kann bewirkt werden, daß eines der Bündel, z. B. das führende Bündel in go Richtung der Bildabtastung, welches Bündel als Wachtbündel bezeichnet werden kann, die Vorderseite des Teilchens vor dem anderen Bündel, welches Abtast- oder Zählbündel genannt werden kann, trifft. Hierdurch wird die Ausgangsspannung der Aufnahmevorrichtung infolge des Wachtbündels dahingehend wirksam, daß eine Erregung des Zählers vermieden wird, bevor das Abtastbündel auf die Vorderseite des Teilchens trifft.

Nach einem weiteren Kennzeichen der Erfindung sind daher die Abtasteinrichtungen so angeordnet, daß das Wachtbündel längs einer Zeile neben der vom Abtastbündel bestrichenen Zeile und in Richtung der Zeilenabtastung in einem vorher bestimmten Abstand vor diesem läuft.

Die Erzeugung der beiden Bündel kann auf verschiedene Weise erfolgen. Bei einem Verfahren kann der bekannte Lichtfleckabtaster des Elektronenstrahlröhrentyps in Verbindung mit Einrichtungen zur wiederholten Ablenkung des Abtastpunktes in einer bestimmten Richtung und im gewünschten Maße sowie bei einer bestimmten Wiederholungsfrequenz verwendet werden, so daß zwei Abtastbündel entstehen. Bei einem anderen Verfahren lassen sich zwei lichtfleckerzeugende Bündel mit deutlich verschiedenen optischen Eigenschaften, welche benachbarte Zeilen abtasten, verwenden.

Nach einem weiteren Kennzeichen der Erfindung enthalten die Abtastmittel daher einen Lichtfleckabtaster des Elektronenstrahlröhrentyps und Einrichtungen zur wiederholten Ablenkung des Elektronenbündels mit einer Frequenz, die viele Male größer als die Zeilenfrequenz ist, wodurch das einzige Elektronenstrahlbündel scheinbar zwei Abtastbündel darstellt.

Nach wieder einem anderen Kennzeichen der Erfindung liefern die Abtastmittel der Probe ein abtastendes Lichtbündel, und es sind weiter Bündelverteilungsmittel und Unterscheidungsmittel vorgesehen, die zwei Abtastbündel mit deutlich verschiedenen optischen Eigenschaften ergeben. Außerdem sind Aufnahmevorrichtungen mit zwei photoelektrischen Vorrichtungen vorgesehen, die je auf nur eines der Abtastbündel ansprechen, ίο Das abtastende Lichtbündel kann in bekannter Weise von einem Abtaster des Elektronenstrahlröhrentyps oder von einer Lichtquelle und Spiegeltrommel bzw. -trommeln oder gleichwertigen optischen Elementen geliefert werden. Weiterhin kann das Bündel von einem oder mehreren optischen Elementen derart geteilt werden, daß z. B. die Bündelunterscheidungsmittel Farbfilter oder Polarisierungsmittel enthalten und die photoelektrischen Vorrichtungen entsprechend farbempfindlich oder polarisationsempfindlich sind.

Die Erfindung wird an Hand der Zeichnungen beispielsweise näher erläutert.

Fig. ι stellt einen Teil einer Teilchenprobe dar; Fig. 2 ist ein Blockschema einer ersten Form des Teilchenzählers;

Fig. 3 ist ein Schaltschema der Schalteinheit nach Fig. 2;

Fig. 4 ist ein Blockschema einer zweiten Form des Teilchenzählers;

Fig. 5 ist ein Blockschema einer dritten Form des Teilchenzählers;

Fig. 6 ist ein Schaltschema des Impulsauswählers, des Schalters und der Schalterregel- und Zählimpulsgeneratoreinheiten nach Fig. 5;
Fig. 7 zeigt typische Wellenformen der der Schaltung nach Fig. 6 zugeführten Signale;

Fig. 8 ist ein Blockschema einer vierten Form des Teilchenzählers;

Fig. 9 ist ein Schaltschema der Unterscheidungsstufe, des Impulsauswählers und der Schaltereinheiten nach Fig. 8;

Fig. 10 zeigt typische Wellenformen von Signalen, wie sie der Schaltung nach Fig. 9 zugeführt werden;

Fig. 11 ist eine schematische Darstellung einer Form des optischen Abtastsystems;

Fig. 12 ist eine schematische Darstellung einer zweiten Form des optischen Abtastsystems;

Fig. 13 ist eine schematische Darstellung eines Abtastsystems, bei dem ein in Anpassung an die vorliegende Einrichtung abgeändertes Abtastelektronenmikroskop verwendet wird.

In der nachfolgenden Beschreibung verschiedener praktischer Ausführungsformen der Erfindung bedeutet die Wendung »offen am Steuer- oder Fanggitter«, daß das Potential des Steuer- oder Fanggitters einer Röhre derart bemessen ist, daß der Elektronenstrom passieren kann. Die Wendung »Sperrung des Steuer- oder Fanggitters« bedeutet, daß der Elektronenstrom praktisch stark vermindert oder völlig unterdrückt ist.

Auch muß bemerkt werden, daß die Größe des Abtastflecks am zu prüfenden Muster vorzugsweise nicht größer als das kleinste zu zählende Teilchen sein darf und daß ferner der Abstand zwischen den Mitten der das Raster bildenden Abtastzeilen nicht kleiner als der Durchmesser des Abtastflecks sein darf.

Fig. ι zeigt einen Teil einer Probeplatte mit nur einem kleinen Teilchen 1 oder einem großen Teilchen 2. Die Probe kann aus einer durchsichtigen Platte mit den anhaftenden Teilchen oder aus einer photographischen Wiedergabe in Form eines Diapositivs einer Probe in gleichem oder verschiedenem Maßstab bestehen. Gegebenenfalls kann das Muster z. B. ein photographischer Abdruck sein, von dem Licht in die Aufnahmevorrichtung reflektiert wird. Es kann ferner ein positives oder negatives Bild sein, d. h. die Teilchen können als schwarze Markierungen auf einem weißen Untergrund oder als weiße Markierungen auf einem schwarzen Untergrund erscheinen.

Eine Ausführungsform der Vorrichtung zum Abtasten eines solchen Musters, welche gemäß der obenerwähnten ersten Weise wirkt, ist in Fig. 2 dargestellt. Die Abtasteinheit 3 enthält einen Lichtfleckabtaster des Elektronenstrahlröhrentyps mit den üblichen Zeilen- und Bildablenkmitteln, um das Elektronenbündel ein rechtwinkliges Raster auf dem Schirm erzeugen zu lassen. Zugehörig zur _go Elektronenstrahlröhre ist eine Aufnahmevorrichtung 4, z. B. eine Photozelle. Die Teilchenprobe P ist zwischen dem Schirm der im Abtaster 3 enthaltenen Elektronenstrahlröhre und der Vorrichtung 4 angeordnet, so daß bei Abtastung der Probe die Photozelle ein elektrisches Signal liefert, welches das Vorhandensein oder die Abwesenheit von Teilchen in den Abtastzeilen wiedergibt. Diese Abtastzeilen sind in Fig. 1 durch die waagerechten Zeilen a, b, c und d angedeutet.

Bei Abtastung in einer geraden Linie mittels eines einzigen Flecks und bei Abwesenheit von Einrichtungen zur Größenunterscheidung wird das große Teilchen dreimal abgetastet, wenn das Abtastbündel die Zeilen a, b und c durchläuft, so daß 10g zwei falsche Signale auftreten.

Um dies zu vermeiden und die Größenunterscheidung zu erhalten, kann eine Abänderung der bekannten, beim Fernsehen verwendeten Punkt-Wobbel-Technik benutzt werden, wie dies in Fig. 2 dargestellt ist. Eine Punkt-Wobbel-Potentiale liefernde Einheit 5 ist mit der Abtasteinheit 3 verbunden und derart angeordnet, daß das Elektronenstrahlbündel in Richtung der Bildabtastung über einen einer Zeilenbreite entsprechenden Abstand gewobbelt wird. Außerdem und für einen Zweck, der im nachfolgenden beschrieben wird, wird das Elektronenstrahlbündel auch in Richtung der Zeilenabtastung über einen bestimmten Abstand gewobbelt, der dazu ausreicht, daß das Bündel in seiner abgelenkten Lage zunächst die in Richtung der Zeilenabtastung geneigte Seite eines Teilchens abtastet, wie bei 6 in Fig. 1 angedeutet. Die Frequenz, mit der die Ablenkung des Elektronenstrahlbündels gewobbelt wird, ist vorzugsweise viele Male größer als die Zeilenfrequenz und kann

ζ. B. bei einer Zeilenfrequenz von iooo Hz ι MHz betragen. Das die Ablenkung herbeiführende Wechselpotential ist vorzugsweise von rechteckiger Wellenform.

In der nachfolgenden Beschreibung wird das Elektronenstrahlbündel in seiner normalen nicht abgelenkten Lage mit »Abtastbündel« und in seiner abgelenkten Lage mit »Wachtbündel« bezeichnet, und die Abtastung wird gemäß Fig. ι von links

ίο nach rechts für die Zeilenabtastung und von oben nach unten für die Bildabtastung vorgenommen.

In Fig. 2 ist die Punkt-Wobbel-Einheit 5 mit den zwei Eingangsklemmen einer elektronischen Schaltereinheit 7 verbunden. DieAufnahmevorrichtung4 ist mit einer anderen Eingangsklemme der Schaltereinheit 7 verbunden, und die zwei Ausgangsklemmen der Einheit 7 sind mit zwei Eingängen eines Verstärkers 8 verbunden. Die beiden Eingänge entsprechen den Signalen vom Abtastbündel und vom Wachtbündel, und der Verstärker ist derart ausgebildet, daß, wenn die beiden Signale vorhanden sind, ein Signal das andere Signal unterdrückt und so den Verstärker sperrt. Der Verstärkerausgang ist mit einem Zähler 9 verbunden.

Der Aufbau der Schaltereinheit 7 ist in Fig. 3 dargestellt und enthält zwei Elektronenröhren 10 und 11 mit je zwei Steuerelektroden. Diese Röhren können z. B. Pentoden sein. Der Ausgang der Photozelle 4 ist mit dem Steuergitter 12 der Röhre 10 und mit dem Steuergitter 13 der Röhre 11 verbunden. Das rechteckige Punkt-Wobbel-Potential liegt am Fanggitter 14 der Röhre 10.

Das gleiche, jedoch umgekehrt gepolte rechteckige Potential wird dem Fanggitter 15 der Röhre 11 zugeführt. Der Ausgang der Röhre 10 wird dem Eingang des Verstärkers, und der Ausgang der Röhre 11 den Verstärkersperrmitteln zugeführt.

Vorausgesetzt, daß das Abtastbündel die Zeile a in Fig. ι abtastet, wird im Betrieb das Ausgangspotential der Photozelle z. B. zunehmen, wenn der Abtastfleck das Teilchen überstreicht, aber diese Zunahme wird diskontinuierlich sein wegen der wiederholten Ablenkung des Flecks zu der »Wachte-Lage. Die Röhre 10' wird daher eine Impulsreihe durchlassen, da die Gitter 12 und 14 der Röhre zusammen positiv sind, aber die Röhre 11 wird keine Ausgangsspannung liefern, da es keine Ausgangsspannung von der Photozelle in der Wachtlage gibt, obzwar die dem Gitter 15 dieser Röhre 'zugeführte, umgekehrt gepolte Rechteckwelle die Neigung hat, die Röhre in den geeigneten Momenten zu öffnen. Die Ausgangsspannung der Röhre 10 wird vorzugsweise integriert und dem Eingangskreis des Verstärkers als ein einziger Impuls zugeführt, der nach Verstärkung und Umsetzung in rechteckiger Form dem Zähler zugeführt wird.

Wenn die Abtast- und Wachtbündel sich dem zweiten, großen Teilchen nähern, wird die Photozelle infolge des Wachtbündels eine unterbrochene Ausgangsspannung liefern, da dieses Bündel das Teilchen vor dem Abtastbündel trifft, und diese Photozellenausgangsspannung wird nur im Ausgangskreis der Röhre 11 auftreten, da die Röhre 10 blockiert bleibt. Wenn das Äbtastbündel das Teilchen trifft, wird es auch eine Ausgangsspannung von der Röhre 10 liefern, aber zu diesem Zeitpunkt wird der Ausgang der Röhre 11 einen solchen Wert erreicht haben, daß der Ausgang der Röhre 10 gesperrt wird, so daß der Zähler nicht erregt wird. Der Zähler ist daher nicht wirksam bei der ersten Abtastung des großen Teilchens längs der Zeile α (Fig. 1). Dies trifft auch bei der Abtastung der Zeile b zu, da das Wachtbündel dem Teilchen in der Zeile c begegnet. Auf der nächsten Zeile," Zeile d, aber trifft das Wachtbündel das Teilchen nicht, und wenn das Abtastbündel die Zeile c abtastet, macht der Ausgangswert der Photozelle den Zähler in gleicher Weise wirksam wie bei einem kleinen Teilchen.

Während das große Teilchen von den beiden Bündeln abgetastet wird, z. B. auf den Zeilen a und b, kann wegen der Form oder Lage des Teilchens die Ausgangsspannung der Photozelle schon vor der Sperrung der Zelle durch das Abtastbündel durch Wachtbündel unterdrückt werden. Dies ist unerwünscht, da sich daraus eine falsche Zählung ergeben kann. Diese Schwierigkeit ist jedoch durch Anbringen von Zeitverzögerungsmitteln zu vermeiden. Diese Zeitverzögerungsmittel können z. B. in solcher Weise angeordnet werden, daß der Verstärker während einer vorherbestimmten Zeit nach Ablauf des Steuerpotentials infolge des Wachtbündels blockiert bleibt.

Bei einer weiteren nicht dargestellten Anordnung können die Ausgänge der Röhren 10 und 11 differentiiert oder in bekannter Weise umgeformt werden, so daß die durch das Abtastbündel beim Auftreffen auf Teilchen verursachte Ausgangsspannung als ein einziger Impuls von kurzer Zeitdauer entsprechend der Vorderseite des Teilchens erscheint, welcher Impuls dem Eingang des Verstärkers, wie oben, zugeführt wird. Der durch das Wachtbündel verursachte einzige Impuls kann z. B. zum Auslösen einer Kippschaltung verwendet werden, welche nach einem vorherbestimmten Intervall in ihre stabile Lage zurückkehrt. Die Wirkung der Kippschaltung kann zum Blockieren des Verstärkers benutzt werden, und die Zeitverzögerung kann derart sein, daß der Abtastbündelimpuls inzwischen auftreten kann. In diesem Falle kann die Zeitverzögerung viel kürzer als bei der bereits beschriebenen Anordnung sein.

Bei den obenbeschriebenen Anordnungen tastet das Wachtbündel die Zeile ab, welche der vom Abtastbündel (in Richtung der Bildabtastung) abgetasteten Zeile vorangeht, und im Falle eines großen Teilchens findet die Zählung nur statt, nachdem das Teilchen völlig abgetastet worden ist. Auch eine umgekehrte Anordnung ist verwendbar, bei der das Wachtbündel die Zeile abtastet, welche auf die vom Abtastbündel (in Richtung der Bildabtastung) abgetastete Zeile folgt. Bei dieser Anordnung wird das Teilchen gezählt, wenn es zuerst vom Abtastbündel getroffen wird, und weiteres

Auftreffen im Falle eines großen Teilchens macht den Zähler nicht wirksam.

Eine zweite Ausführungsform der Erfindung, welche nach der zweiten Form der ersten Art wirkt, ist im Blockschema in Fig. 4 dargestellt. Bei dieser Vorrichtung wird das durch das Hauptbündel verursachte Signal dem Schalter S_M das durch das Wachtbündel erzeugte Signal einem ähnlichen Schalter S₀ zugeführt, welche Schalter normalerweise die in der Zeichnung dargestellte Lage einnehmen. Jeder Schalter wird von einem Signal gesteuert, welches der zugehörigen Schaltersteuereinheit, d. h. Sm über H und Sq über /, zugeführt wird. Die Ausgänge der beiden Schalter werden ¹S einem Zähler C zugeführt, der addieren und subtrahieren kann.

Die Anordnung wird nunmehr durch eine Betrachtung ihrer Wirkungsweise näher erläutert. Wird die Abtastung eines großen Teilchens betrachtet und dabei angenommen, daß das Abtastbündel gegenüber dem Wachtbündel in Richtung der Bildabtastung vorläuft, so wird dem Zähler ein Signal über den Schalter S^ zugeführt, wenn das Hauptbündel dem Teilchen begegnet, und der Zähler zählt + 1. Auf gleiche Weise wird das Signal der anderen, dem Schalter S_a bei / zugehörigen Schaltersteuereinheit zugeführt, so daß der Schalter Sq in seine andere Lage geführt wird. Bei der ersten Abtastung wird kein Signal durch das Wachtbündel erzeugt, und wenn das durch das Hauptbündel verursachte Signal aufhört, kehrt der Schalter S₀ in die dargestellte Lage zurück. Auf der nächsten Abtastzeile und, vorausgesetzt, daß das Hauptbündel dem Teilchen zum ersten Male begegnet, wirkt die Vorrichtung wie bei der ersten Begegnung. Es wird nämlich + 1 vom Zähler aufgenommen, was insgesamt + 2 macht, und der Schalter Sq in seine andere Lage geführt. Das durch das Wachtbündel / verursachte Signal tritt sodann auf, bevor das von dem Hauptbündel erzeugte Signal aufhört, und das Wachtbündelsignal wird vom Schalter S_a dem Subtraktionseingang des Zählers zugeführt, der — 1 zählt und damit insgesamt + ι anzeigt. Dieser Vorgang wiederholt sich, solange die beiden Bündel praktisch gleichzeitig dem großen Teilchen begegnen, bis die Abtastzeile erreicht ist, wobei nur das Wachtbündel ein Signal liefert. Dieses Signal wird der dem Schalter Sm zugehörigen Schaltersteuereinheit H und auch dem Zähler zugeführt, welcher + 1 zählt und damit auf insgesamt + 2 für das große Teilchen kommt.

Auf gleiche Weise wird ein kleines Teilchen zweimal gezählt, so daß die Gesamtzählung der vollständigen Probe halbiert werden muß, um die Gesamtteilchenzahl zu erhalten.

Es ist zu bemerken, daß es gleichgültig ist, ob das durch das Hauptbündel oder das durch das Wachtbündel verursachte Signal zuerst auftritt. In den beiden Fällen wird + 1 der Zählung zugefügt, und der andere Schalter wird umgeschaltet, so daß beim Auftreten des anderen Signals — 1 subtrahiert und die richtige Zählung erhalten wird.

Eine dritte, gemäß der vorerwähnten zweiten Art wirkende Ausführungsform der Erfindung wird an Hand von Fig. 5 beschrieben, in der die Abtastbündelverteilmittel und -aufnahmeeinrichtungen als Einheit 16 dargestellt sind. Sie können denen nach Fig. 2 ähnlich sein oder wie im nachfolgenden beschrieben.

Die Aufnahmeeinrichtungen liefern zwei elektrische Signale, eines infolge der Abtastung eines Teilchens mittels des Abtastbündels und das andere durch das Wachtbündel, wie bei der vorhergehenden Ausführungsform.

Bei dieser Ausführungsform aber hat jedes Signal die gleiche Polarität und wird in bekannter Weise in den Stufen 17 bzw. 18 differentiiert, so daß, wenn z. B. der durch das Abtastbündel bedingte Ausgang der Photozelle, wenn das Abtastbündel ein Teilchen durchläuft, ein positiver Impuls von praktisch rechtwinkliger Form ist, der in einen kurzen positiven von einem negativen gefolgten Impuls übergeführt wird (vgl. Fig. 7 a). Die zwei differentiierten Signale werden zusammengezählt, und die sich ergebenden Mischimpulse werden dem Eingang einer Schaltereinheit 19 mit zwei Ausgängen und einem Impulsselektor 20 zugeführt, dessen Ausgang einem Eingang einer Schaltersteuer- und Zählimpulsgeneratoreinheit 21 go zugeführt wird. Zwei andere Eingänge der Einheit 21 sind mit der Schaltereinheit 19 verbunden, und ein weiterer Ausgang der Einheit 21 führt zu einem Zähler 9.

Die Wirkungsweise dieser Vorrichtung wird näher erläutert an Hand der Betrachtung von praktischen Ausführungsformen der Einheiten 19, 20 und 21, welche nunmehr an Hand von Fig. 6 beschrieben werden. In dieser Figur besitzt die Schaltereinheit 19 zwei Röhren V₁ und V₂, z. B. Pentoden, und das obenerwähnte Mischsignal wird den S teuer gitter η der beiden Röhren zugeführt. Zu Anfang sind die beiden Röhren an ihren Steuergittern gesperrt, die Röhre V₁ ist auch an ihrem Fanggitter gesperrt, und V₂ ist an ihrem Fanggitter offen wegen der Verbindung dieser Fanggitter mit der Schaltersteuer- und Impulsgeneratoreinheit 21.

Diese Einheit besitzt eine Triode V₃ und eine Pentode F₄, welche gemeinsam einen bistabilen Multivibrator bilden, und die Anode jeder Röhre ist in bekannter Weise mit dem Steuergitter der anderen Röhre verbunden. Das Fanggitter der Röhre V₁ ist mit der Anode der Röhre V₃ und das Fanggitter der Röhre V₂ ist mit der Anode der Röhre V₁ verbunden. Die Anode der Röhre V₁ ist mit dem Steuergitter der Röhre V₁ über ein Zeitverzögerungsnetzwerk -K₁C₁ verbunden, und die Anode der Röhre V₂ ist mit dem Steuergitter der Röhre V₃ über ein ähnliches Verzögerungsnetzwerk R₂ C₂ verbunden. Zu Anfang ist die Röhre V₃ stromleitend, und die Röhre V₁ ist an ihrem Steuergitter gesperrt, jedoch an ihrem Fanggitter offen. Wenn ein differentiiertes Signal der in Fig. 7 dargestellten Form a, welche die Abtastung eines kleinen Teilchens mittels eines der Bündel dar-

stellt, an die Steuergitter der Röhren F₁ und F₂ angelegt wird, ist die Röhre F₂ nach ihrer Anode leitend, da sie an ihrem Fanggitter offen ist, während die Röhre V₁ an ihrem Fanggitter gesperrt bleibt. Ein negativer Impuls tritt an der Anode der Röhre V₂ auf und wird dem Steuergitter der Röhre F₃ zugeführt, welche sodann gesperrt wird, wobei die Spannungszunahme an ihrer Anode dem Steuergitter der Röhre F₄ zugeführt wird, so daß ίο diese Röhre leitend wird und der Multivibrator in seine andere stabile Lage »umgeklappt«. Folglich wird die Röhre F₁ am Fanggitter geöffnet infolge der Zunahme der Spannung der Anode von F₃, und die Röhre F₂ wird sodann am Fanggitter wie auch am Steuergitter gesperrt. Wenn der negative Impuls, welcher die Hinterseite des Teilchens darstellt, an den Steuergittern der Röhren F₁ und F₂ auftritt, bleibt jede Wirkung aus, da die beiden Röhren gesperrt sind.

Dieser Impuls wird aber über den die Diode F₅ enthaltenden Impulsselektor 20 dem Fanggitter der Röhre F₄ zugeführt, wodurch diese Röhre an ihrem Fanggitter gesperrt wird. Ein größerer Teil des Emissionsstroms dieser Röhre fließt dann zum Schirmgitter und erzeugt einen negativen Impuls, welcher zwecks Aufzeichnung des Vorhandenseins des Teilchens dem Zähler zugeführt wird.

Infolge dieser Wirkung des Fanggitters beim Blockieren des Anodenstroms der Röhre F₄ wird der Multivibrator F₃, F₄ in seine andere stabile Lage umgeklappt, in der F₃ stromleitend und F₄ an ihrem Steuergitter gesperrt, jedoch an ihrem Fanggitter offen ist. Infolgedessen kehren die Röhren F₁ und F₂ in ihre Anfangslage zurück. Es ist zu bemerken, daß die Diode F₅ derart angeschlossen ist, daß positive Impulse das Fanggitter der Röhre F₄ nicht erreichen können und nur negative Impulse auf diese Elektrode wirken.

Wenn sowohl das Abtastbündel wie¹ das Wachtbündel einem großen Teilchen begegnen, tritt eine Wellenform der in Fig. jb dargestellten Art auf, und die Wirkung der Einheiten 19, 20 und 21 bei einem solchen Signal soll im folgenden beschrieben werden.

Wenn der erste positive Impuls, welcher, von einem der Bündel aus gesehen, die Vorderseite des Teilchens darstellt, an den Steuergittern der Röhren F₁ und F₂ erscheint, nehmen die Kreise die neue, bereits obenerwähnte stabile Lage ein, in der der Multivibrator F₃, F₄ umgeklappt ist, und die Röhren F₁ und F₂ sind beide blockiert. Wenn der zweite positive Impuls, welcher die Vorderseite des Teilchens, vom anderen Bündel aus gesehen, darstellt, an den Steuergittern der Röhren F₁ und F₂ auftritt, ist die Röhre F₁ stromleitend, da sie an ihrem Fanggitter offen ist, jedoch die Röhre F₂ bleibt an ihrem Fanggitter gesperrt.

Die Abnahme des Potentials an der Anode der Röhre F₁ bewirkt, daß die Röhre F₄ an ihrem Steuergitter gesperrt wird, so daß der Multivibrator reagiert und in seine ursprüngliche stabile Lage umklappt, in der F₃ stromleitend ist. Wenn der Multivibrator auf diese Weise wirksam gemacht wird, erscheint am Schirmgitter der Röhre F₄ kein negativer Impuls. Infolge der Reaktion des Multivibrators wird F₁ an ihrem Fanggitter gesperrt und F₂ an ihrem Fanggitter geöffnet, wobei die beiden Röhren an ihren Steuergittern blockiert bleiben.

Wenn der erste negative Impuls auftritt, wirkt er nicht auf die Röhren F₁ und F₂, aber wird von der Einheit 20 nach dem Fanggitter der Röhre F₄ durchgelassen. Da diese Röhre an ihrem Steuergitter gesperrt ist, gibt es keine gleichzeitige Abnahme des Schirmgitterpotentials, wie beim kleinen Teilchen, so daß dem Zähler kein Impuls zugeführt wird.

Beim Empfang des zweiten negativen Impulses gibt es wieder keine Wirkung, und die beiden Einheiten 19 und 21 sind in ihrer ursprünglichen stabilen Lage. Eine Zählung findet daher nur statt, wenn auf einen positiven Impuls ein negativer Impuls folgt, der entweder vom Abtastbündel oder vom Wachtbündel erzeugt wird. Jedes Teilchen wird daher zweimal gezählt, und die Gesamtzählung muß halbiert werden, um die wirklich abgetastete Teilchenzahl zu erhalten. Wenn ein zwei benachbarte positive Impulse enthaltendes Mischsignal empfangen wird, tritt keine Zählung auf, und die Schalter- und Schaltersteuereinheiten bleiben in ihrer ursprünglichen Betriebslage.

Zur Durchführung der obenerwähnten dritten Wirkungsweise läßt sich die in Fig. 8 im Blockschema dargestellte Vorrichtung verwenden. Bei dieser Vorrichtung sind die das Abtastsignal und das Doppelsignal erzeugenden Mittel mit 16 bezeichnet, und das durch das Abtastbündel verursachte Signal wird, wie in der vorhergehenden Ausführungsform, differentiiert, und nur Impulse einer Polarität können nach dem Eingang eines Koinzidenzschalters 22 passieren. Die Differentiierungs- und Impulswählmittel sind in Fig. 8 mit 23 bezeichnet. Das durch das Wachtbündel verursachte Signal, das von praktisch rechtwinkliger Form sein kann, wird gleichfalls dem Koinzidenzschalter zugeführt. Die Vorrichtung ist derart, daß, wenn das Abtastbündelsignal allein vorhanden ist, der Zähler 9 von einem vom Koinzidenzschalter gelieferten Impuls erregt wird. Wenn die beiden Signale praktisch gleichzeitig vorhanden sind, kann der Schalter nicht wirksam werden, so daß dem Zähler kein Signal zugeführt wird.

Eine derartig wirkende praktische Schaltung ist in Fig. 9 dargestellt. Das von dem Hauptbündel erzeugte Signal wird nach erfolgter Differentüerung an die Anode der Diode F₆ gelegt, deren Kathode mit dem Steuergitter der Triode F₇ verbunden ist, welche als Impulsumkehrvorrichtung wirkt. Positive Impulse des differentiierten Signals werden an das Steuergitter der Röhre F₇ angelegt, aber negative Impulse können an diesem Gitter nicht auftreten. Die positiven Impulse ergeben an der Anode von F₇ negative Impulse, welche einem bistabilen Multivibrator der gleichen Art wie in Fig. 6 zugeführt werden. Der Multivibrator entlält eine Triode F₈ und eine Pentode F₉, deren

Anode mit dem Steuergitter der anderen Röhre auf die übliche Weise verbunden ist. Das differentiierte Eingangssignal wird ebenfalls dem Fanggitter der Röhre F₉ zugeführt, deren Steuergitter mit einer negativen Vorspannungsquelle —HT₁ über einen Widerstand R' verbunden ist, zu dem die Triode F₁₀ parallel gelegt ist. Die Anode von F₁₀ ist daher mit dem Steuergitter von F₉ und die Kathode F₁₀ mit der negativen Vorspannungsquelle —HT₁ ίο verbunden. Das von dem Wachtbündel erzeugte Signal wird dem Steuergitter von F₁₀ zugeführt. Die Wirkungsweise dieser Ausführungsform ist wie folgt. Ursprünglich ist die Röhre F₈ stromleitend, die Röhre F₉ ist an ihrem Steuergitter gesperrt, und die Röhre F₁₀ ist blockiert infolge der Verbindung ihres Steuergitters mit der mit — HT₂ in Fig. 9 bezeichneten negativen Vorspannungsleitung.

Es sei zunächst die Wirkung bei einem kleinen Teilchen betrachtet, wobei der die Vorderseite des Teilchens darstellende positive Impuls die Röhre F₆ durchläuft und die Röhre F₇ stromleitend macht, so daß ein negativer Impuls von der Anode dieser Röhre nach dem Steuergitter der Röhre F₈ passiert.

Die Röhre F₈ wird dadurch gesperrt, und der Multivibrator klappt in die andere stabile Lage um, in der F₉ stromleitend ist, da sie sowohl an ihrem Steuergitter als auch an ihrem Fanggitter offen ist. Der die Rückseite des Teilchens darstellende negative Impuls kann infolge des Gleichrichters F₆ nicht auf das Steuergitter von F₇ wirken, aber er erscheint am Fanggitter der den Strom zur Anode begrenzenden Röhre F₉, wodurch der Multivibrator in seine ursprüngliche stabile Lage umklappt. Praktisch der ganze Emissionsstrom der Röhre geht momentan zum Schirmgitter, dessen Potential einen negativen, zum Zähler gehenden Impuls abgibt.

Wenn die beiden Bündel ein großes Teilchen treffen und wenn das Wachtbündel dem Teilchen früher als das Abtastbündel begegnet, so wird bei Annahme eines positiven Impulses das Steuergitter der Röhre F₁₀ positiv, so daß F₁₀ völlig stromleitend ist und das Potential des Steuergitters von F₁₀ reduziert. Wenn der positive Impuls des differentiierten Abtastbündelsignals an die Röhre F₇ und der entsprechende negative Impuls an die Röhre F₈ angelegt wird, kann der Multivibrator nicht umklappen, da das Steuergitter der Röhre F₈ auf einem sehr niedrigen Potential gehalten wird. Wenn der negative Impuls des Abtastbündelsignals daher dem Fanggitter der Röhre F₉ zugeführt wird, tritt am Schirmgitter kein Signal auf, und es wird keine Zählung aufgezeichnet.

In Fig. 10 sind paarweise die Wellenformen der Abtastbündel- bzw. Wachtbündelsignale für verschiedene Teilchentypen dargestellt. Die Abtastung und Zählung eines kleinen Teilchens erfolgt, wenn die dargestellten Wellenformen α dem Koinzidenzschalter zugeführt werden. Die Wellenformen b werden erhalten, wenn ein langes Teilchen mit praktisch parallelen Seiten und in Richtung der Zeilenabtastung geneigt von den beiden Bündeln abgetastet wird, und c, wenn ein solches Teilchen in entgegengesetzter Richtung geneigt ist. Bei d und e sind die Wellenformen dargestellt, welche auftreten, wenn ein Teilchen mit in Spitzen auslaufenden Seiten von den beiden Bündeln abgetastet wird. Im ersteren Falle konvergieren die Seiten in Richtung der Bildabtastung und im zweiten Falle divergieren sie in derselben Richtung.

Bei / erzeugt das Wachtbündel allein ein Signal, und in jedem Falle b bis / erreicht kein Signal den Zähler, da das Wachtbündel entweder eine Einstellung des Multivibrators verhindert oder ihn in die Lage zurückbewegt hat, in der der Multivibrator nicht auf das vom negativen Impuls des differentiierten Signals infolge des Abtastbündels dargestellte Zählsignal anspricht.

In der vorhergehenden Beschreibung wurde nur von Lichtfleckabtastmitteln des Elektronenstrahlröhrentyps mit Punkt-Wobbelungs-Mitteln zur Erhaltung und Unterscheidung der durch beide Bündel erzeugten Signale gesprochen. Es wird einleuchten, daß das gleiche Ergebnis erhalten werden kann durch Verwendung eines Lichtbündels, welches von einem Abtaster des Elektronenstrahlröhrentyps oder von einer Lichtquelle und einer oder mehrerer Spiegeltrommeln oder gleichwertigen optischen Elementen erzeugt wird, wobei das Bündel von einem oder mehreren optischen Elementen verteilt wird. Die beiden so erhaltenen Bündel können deutlich verschiedene optische Eigenschaften, z. B. durch verschiedene Polarisierung oder verschiedene Farbe haben. Es werden dann zwei Photozellen verwendet, die je auf nur eines der Bündel ansprechen.

Ein Beispiel einer solchen Vorrichtung ist schematisch in Fig. 11 dargestellt, in der eine Lichtquelle 25 in Verbindung mit einer Kondensorlinse oder einem Linsensystem 26 eine Blende 27 mit einer Doppelöffnung beleuchtet. Farbfilter 28 und 29 von roter bzw. blauer Farbe sind oberhalb jeder öffnung angeordnet, und eine Objektivlinse bzw. ein Linsensystem 30 projiziert die Bilder der beiden Farblichtflecken in eine mechanische Abtasteinheit 31, welche z.B. eine an sich bekannte Spiegeltrommel sein kann. Die austretenden, das Raster erzeugenden Bündel tasten die Probe 32 ab, wobei das durchgelassene oder reflektierte Licht von einer oder der anderen der Photozellen 33 bzw. 34 aufgefangen wird. Jede Zelle kann auf nur eine der Farben ansprechen, und/oder Farbfilter 28", 29" können verwendet werden, um zu erreichen, daß nur eine Zeile nur das rote Bündel und die andere Zeile nur das blaue Bündel »sieht«. Wenn die Teilchen solche Farben aufweisen, daß normale Farbfilter sich nicht mit Erfolg verwenden lassen, so können zur Unterscheidung der beiden Bündel Interferenzfilter verwendet werden.

Bei einer anderen Ausführungsform können aber die anfänglich erzeugten, das Raster erzeugenden Lichtbündel auch durch verschiedene Polarisierung unterschieden werden, d. h. sie können linear unter einem bestimmten Winkel oder kreisförmig polari-

siert werden, wobei die Photozellen je für nur eines der Bündel empfindlich gemacht sind. Solche Mittel sind bekannt und bedürfen keiner näheren Beschreibung.

In Fig. 12 ist schematisch eine weitere Vorrichtung dargestellt, welche einen Abtaster 35 des Elektronenstrahlröhrentyps besitzt, der ein Raster ergibt, welches auf normale Weise von einem einzigen Elektronenbündel erzeugt ist.

Die doppelten Abtastbündel zum Abtasten der Probe werden von einem geteilten Linsensystem 36 erzeugt, bei dem eine oder auch beide Hälften des Systems einstellbar sind, um die Trennung der genau zu bestimmenden Bündel zu ermöglichen.

Wie bereits erwähnt, lassen sich die Bündel durch verschiedene Farbe oder verschiedene Polarisierung unterscheiden, wobei Farbfilter oder Polarisierelemente, welche gewöhnlich bei 37 und 38 in der Bündelstrecke zwischen dem Linsensystem 36 und der Probe angeordnet sind, und entsprechende " Filter oder Polarisierelemente 39**, 38" vor jeder Photozellenaufnahmevorrichtung 39, 40 angebracht sind. Die beiden getrennten elektrischen Signale können dann, wie im vorhergehenden beschrieben, zur Erhaltung einer Gesamtzählung der Teilchenzahl in der Probe benutzt werden.

Bei einer weiteren Ausführungsform, welche schematisch in Fig. 13 dargestellt ist, wird die präparierte Probe direkt von einem Elektronenbündel abgetastet. Die Zeichnung zeigt schematisch ein abtastendes Elektronenmikroskop der bekannten Art mit einer Kathode 41 und einer mit einer Öffnung 43 versehenen Anode 42. Die Anode kann daher als die Quelle eines Elektronenbündels betrachtet werden, welches von einer Elektronenlinse bzw. einem Linsensystem 45 auf die Bildfläche 44 fokussiert wird. Das Elektronenbündel wird von einem Anlenksystem 46 abgelenkt, dem die Punkt-Wobbelungs-Potentiale zugeführt werden zwecks Erhaltung eines Doppelbündelrasters an der Bildfläche 44. Eine Elektronenfeldlinse 47 an dieser Fläche konzentriert die aus der Fläche austretenden Elektronen auf die Öffnung einer elektronenreduzierenden Linse 48. Ein reduziertes Bild des Rasters an der Bildfläche 44 wird daher an der Probenfläche 49 gebildet. Die Probe 50 ist als eine dünne Schicht von Kollodion od. dgl. präpariert, welche für die Elektronen durchdringlich ist und welche an den Teilchen entsprechenden Stellen für Elektronen undurchdringlich ist. Wenn das Muster von den Elektronenbündeln abgetastet wird, wird sich das Potential der Auffanganode 51 in Abhängigkeit von dem Vorhandensein bzw. der Abwesenheit des Elektronenbündels ändern, und dieses wechselnde Potential kann mit Hilfe eines Koppelwiderstandes R, wie im vorhergehenden beschrieben, zur Erhaltung einer Zählung der Gesamtteilchenzahl benutzt werden. Bei einer solchen Vorrichtung ist es möglich, eine Zählung von Teilchen zu erhalten, welche kleiner sind als die, welche von einem optischen Mikroskop aufgelöst werden können, was bedeutende Anwendungen z. B. im biologischen Gebiet haben kann.

Es wird einleuchten, daß die Erfindung Anwendung finden kann zum Zählen von Teilchen jeder Art mit einer willkürlichen Verteilung auf einer Oberfläche, z. B. zum Zählen von Bakterien oder feinverteilten Materialien jeder Art, vorausgesetzt, daß sie für die besondere Abtastweise geeignet präpariert sind.

Claims (13)

PATENTANSPRÜCHE:

1. Teilchenzählvorrichtung, welche Mittel, wie z. B. eine Elektronenstrahlröhre, zum Abtasten einer Probe der zu zählenden Teilchen, · Aufnahmemittel, wie z. B. eine mit den Abtastmitteln zusammenwirkende Photozelle, zur Erzeugung eines elektrischen Signals, das ein Maß des Vorhandenseins und der Verteilung der Teilchen ist, Mittel zur Vermeidung einer Mehrfachzählung eines mehr als einmalig abgetasteten großen Teilchens und auf das abgeleitete Signal bzw. Signale ansprechende Einrichtungen, wie Verstärker und Zählvorrichtungen, zur Schaffung einer Anzeige der Gesamtzahl der abgetasteten Teilchen enthält, dadurch gekennzeichnet, daß die Probenabtastmittel zwei benachbarte Zeilen abtastende Strahlenbündel, und zwar ein Wacht- und ein Abtastbündel enthalten und die Aufnahmevorrichtungen und der zugehörige Verstärker bzw. die zugehörigen Verstärker sowie die Zählmittel derart angeordnet sind, daß, wenn beide Strahlenbündel praktisch gleichzeitig auf ein Teilchen treffen, die Zählmittel unwirksam werden und erst wieder zur Wirkung gelangen, wenn nur eines der Strahlenbündel einem Teilchen begegnet.

2. Teilchenzähl vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die von dem Probenabtastmittel gelieferten beiden Bündel derart angeordnet sind, daß das Wachtbündel längs einer der vom Abtastbündel abgetasteten Zeile benachbarten Zeile und über einen vorherbestimmten Abstand vor dieser in Richtung der Zeilenabtastung abtastet.

3. Teilchenzählvorrichtung nach Anspruch 1 no und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Probenabtastmittel einen Lichtfleckabtaster des Elektronenstrahlröhrentyps enthalten und daß ferner Punkt-Wobbelungs-Mittel zur periodischen Verschiebung des Elektronenbündels mit einer Wiederholungsfrequenz, die viele Male größer als die Zeilenfrequenz ist, zur Aufteilung nur eines Elektronenstrahlbündels in die erforderlichen zwei Bündel vorgesehen sind.

4. Teilchenzählvorrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Probenabtastmittel ein Lichtbündel liefern und Mittel zum Verteilen und Unterscheiden der Bündel zur Erhaltung von zwei Abtastbündeln mit deutlich verschiedenen optischen Eigenschäften vorgesehen sind und die zwei Photo-

zellen enthaltenden Aufnahmevorrichtungen je auf nur eines dieser Abtastbündel ansprechen.

5. Teilchenzähl vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Probenabtastmittel von einem Lichtfleckabtaster des Elektronenstrahlröhrentyps gebildet werden.

6. Teilchenzählvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Probenabtastmittel eine Lichtquelle und eine Spiegeltrommel bzw. -trommeln oder gleichwertige optische Elemente enthalten.

7. Teilchenzählvorrichtung nach Anspruch 4 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Bündel-Verteilungsmittel eine Blende mit doppelter Öffnung und ein zugehöriges Linsensystem bzw. -systeme enthalten.

8. Teilchenzählvorrichtung nach Anspruch 4, 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Bündelverteilungsmittel ein geteiltes Linsensystem enthalten.

9. Teilchenzählvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Bündelunterscheidungsmittel Farbfilter oder Polarisationsmittel enthalten und daß die photoelektrischen Vorrichtungen entsprechend farb- oder polarisationsempfindlich sind.

10. Teilchenzählvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Punkt-Wobbelungs-Mittel einen ein Wechselpotential von praktisch rechteckiger Wellenform erzeugenden Oszillator enthalten, dessen Wechselpotential auch Schaltmitteln zugeführt wird, denen die Ausgangswerte der Aufnahmevorrichtungen derart zugeleitet werden, daß ein von den Aufnahmevorrichtungen erzeugtes Abtastbündelsignal einem Eingang eines Verstärkers und das Wachtbündelsignal einem anderen Eingang des Verstärkers zugeführt wird, so daß, wenn die beiden Signale praktisch gleichzeitig vorhanden sind, ein Signal das andere Signal neutralisiert und damit kein Ausgangswert vom Verstärker nach den Zählmitteln auftritt.

11. Teilchenzählvorrichtung nach Anspruch 3 oder einem der folgenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastbündel- und Wachtbündelsignale elektrisch differentuert und gemischt sind und daß die Mischsignale einer Schaltereinheit und über Impulsselektormittel einer Schaltersteuereinheit und Zählimpulsgeneratormitteln zugeführt werden, mit denen die Schaltereinheit verbunden ist, und daß ferner der Ausgang dieser Zählimpulsgeneratormittel den Zählmitteln zugeführt wird.

12. Teilchenzählvorrichtung nach Anspruch 3 oder einem der folgenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Abtastbündelsignal elektrisch differentuert und einem Eingang einer Koinzidenzschaltereinheit zugeführt wird und daß das Wachtbündelsignal als Impuls von praktisch rechtwinkliger Form einem anderen Eingang des Schalters zugeführt wird, dessen Ausgang mit den Zählmitteln verbunden ist.

13. Teilchenzählvorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Probenabtastmittel aus einem Abtastelektronenmikroskop bestehen und die Probe derart präpariert ist, daß sie nur an den Teilchen entsprechenden Stellen für Elektronen undurchdringlich ist, und daß die Aufnahmevorrichtungen aus einer Auffanganode bestehen, die an der zur Kathode des Mikroskops entgegengesetzten Seite des Musters angeordnet ist.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

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