DE921216C - Elektronenmikroskop - Google Patents

Description

• Elektronenmikroskop Die Erfindung betrifft ein Elektronenmikroskop, bei dem im Strahlengang hinter dem zu vergrößernden Objekt eine oder mehrere sekundär emittierende Elektroden angeordnet sind, die mit Elektronenlinsen derart zusammenwirken, daß sich ein vergrößertes Abbild des Objekts auf der von den emittierten Elektronen getroffenen Auffangvorrichtung (Leuchtschirm) ergibt. Erfindungsgemäß wird eine solche Anordnung dadurch weiter ausgestaltet, daß die Elektronenlinsen so angeordnet werden, daß im Strahlengang hinter dem Objekt eine Verzögerung der Elektronen und im Strahlengang hinter der sekundär emittierenden Elektrode eine Beschleunigung der Elektronen erfolgt.
• Die Erfindung gestattet es, besondere, gerade bei Elektronenmikroskopen auftretende Aufgaben in sehr vorteilhafter Weise zu lösen. Bekanntlich ist bei Elektronenmikroskopen die Objektbelastung von der zur Anwendung kommenden Spannung abhängig. Bei hohen Spannungen ist die Objektbelastung geringer, bei niedrigen Spannungen höher. Da nun die Verwendung hoher Spannungen einen nicht unerheblichen Aufwand erforderlich macht, kann man bei Anwendung der Erfindung die Betriebsspannung des Apparates niedriger halten. An sich müßte man, da die Objektbelastung bei verringerter Spannung stärker wird, die Elektronendichte verringern, um wieder auf gleiche Objektbelastung zu kommen. Eine derartige Verringerung der Elektronendichte müßte jedoch eine Schwächung der Bildhelligkeit zur Folge haben. Durch die bei der Erfindung verwendeten sekundär emittierenden Elektroden gelingt es aber, die Bildhelligkeit heraufzusetzen. Dadurch, daß die Elektronen jeweils im Strahlengang vor den sekundär emittierenden Elektroden verzögert werden, kann man an der Stelle der sekundär emittierenden Elektroden gerade in dem Spannungsbereich arbeiten, in welchem die Sekundäremission am größten ist. Dadurch, daß hinter der sekundär emittierenden Elektrode wieder eine Beschleunigung der Elektronen erfolgt, läßt sich am Leuchtschirm der für diesen günstige höhere Spannungsbereich einstellen.
• Die bei der Erfindung verwendeten Elektronenlinsen können magnetische oder elektrische Linsen sein. Man kann ferner bei dem Elektronenmikroskop als elektronenoptische Mittel je nach der gewünschten Wirkung auch an sich bekannte Blenden an geeigneten Stellen in den Strahlengang einfügen. Eine mehrstufige Anordnung läßt sich dadurch erzielen, daß im Strahlengang beispielsweise zwei Sekundärkathoden hintereinander angeordnet sind. Diese Sekundärkathoden wird man dabei vorzugsweise an steigendes positives Potential legen, und zwar derart, daß die dem Endbildleuchtschirm näherliegende Sekundärkathode das höhere positive Potential hat.
• Die Formen der Sekundärkathode können verschieden gewählt werden. So kann man beispielsweise bei einem zweistufigen Elektronenmikroskop zwei konkave Sekundärkathoden anwenden. Eine andere Ausführungsmöglichkeit besteht darin, daß man eine konkave und eine konvexe Sekundärkathode verwendet. Das Vergrößerungsmaß kann beim Erfindungsgegenstand dadurch kontinuierlich verändert werden, daß eine Sekundärkathode verwendet wird, die so geformt ist, daß sie von der Erzeugenden zur Erzeugenden einen anderen Krümmungsradius besitzt, was beispielsweise durch Verwendung eines elliptischen Querschnitts für die Sekundärkathode erreicht werden kann. Man kann diese Sekundärkathoden beweglich im Elektronenmikroskop anordnen, um bestimmte Teile aus dem Primärstrahl einer Vergrößerung zu unterwerfen. Eine weitere Ausführungsmöglichkeit bei drehsvmmetrischen Sekundärkathoden von konstantem Krümmungsradius besteht darin, daß man die Kathode schnell rotieren läßt. Hierdurch können örtliche Fehler in der Sekundärkathode auf dem Bild aufgehoben werden.

Claims (1)

1. lATENTANSPRUGü: Elektronenmikroskop mit einer oder mehreren im Strahlengang hinter dem Objekt angeordneten sekundär emittierenden Elektroden, die mit Elektronenlinsen derart zusammenarbeiten, daß sich ein vergrößertes Abbild des Objekts auf der von den emittierten Elektronen getroffenen Auffangvorrichtung ergibt, gekennzeichnet durch eine derartige Anordnung der Elektronenlinsen, daß im Strahlengang hinter dem Objekt vor der sekundär emittierenden Elektrode eine Verzögerung der Elektronen und im Strahlengang hinter der sekundär emittierenden Elektrode eine Beschleunigung der Elektronen erfolgt.