DE916839C - Einrichtung zum vergroesserten Abbilden von Gegenstaenden durch Elektronenstrahlen - Google Patents

Description

• Das Patent 916 838 bezieht sich auf eine Ein; richtung zum vergrößerten Abbilden von Gegenständen durch Elektronenstrahlung, wobei die Elektronenquelle im Vakuum angeordnet ist und der von ihr ausgehende Strahlengang ganz oder zum wesentlichen Teil im Vakuum verläuft. Dabei sind mehrere die Elektronenstrahlen beeinflussende Elektronenlinsen zu einer die Vergrößerungen der Abbildung nach Art eines Mikroskops oder Fernrohres steigernden Wirkung zusammengesetzt. Man kann mit Hilfe eines derartigen Elektronenmikroskops Feinheiten sichtbar machen, die weit jenseits des durch die Wellenlänge des Lichtes bedingten optischen Auflösungsvermögens liegen. Das Auflösungsvermögen von Elektronenstrahlen richtet sich im wesentlichen nach der Wellenlänge der Elektronenstrahlen, die der Geschwindigkeit der Elektronen entspricht; und diese ist um viele Größenordnungen geringer als die des kurzwelligsten Lichtes. Wegen der Unvollkommenheiten der Linsenwirkung der magnetischen und elektrischen Felder ist es jedoch schwierig, die Vergrößerung eines solchen Elektronenmikroskops über einen gewissen Betrag zu steigern, der bei niedrigen Zehnerpotenzen liegt. Erfindungsgemäß erfolgt die Vergrößerung in zwei Stufen, indem ein Elektronenmikroskop und ein optisches Mikroskop in Kaskade geschaltet werden.
• In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt. Im Vakuumrohr i geht von der Glühkathode2 ein Elektronenstrahl aus, der mit Hilfe einer Magnetspule 3 oder durch ähnliche Mittel zusammengedrängt oder parallel gerichtet wird. Hinter der Anodenblende q. befindet sich das zu vergrößernde Objekt 5. Der das Objekt durchdringende Kathodenstrahl wird durch Magnetspulen 6 und j so beeinflußt, daß auf dem Leuchtschirm 8 ein vergrößertes, reelles Abbild des Objektes 5 entsteht. Dieses Bild besitzt eine Vergrößerung, wie sie durch Elektronenstrahlen bequem erreichbar ist, etwa eine Vergrößerung, die z. B. in der Größenordnung des zoofachen liegt. Dieses Bild wird durch ein optisches Mikroskop 9 weiter vergrößert und kann vom Auge subjektiv beobachtet oder auf einer photographischen Platte objektiv festgehalten werden.
• Um auf dem Leuchtschirm 8 ein klares Bild zu erzielen, muß das Korn des Leuchtschirmes möglichst fein sein. Vorteilhaft verwendet man eine geschliffene homogene Platte aus Leuchtkristall, die beim Auftreffen des Strahlenbündels dessen Bild verzerrungsfrei darstellt.
• Der elektrische und der optische Teil der Einrichtung kann zu einem einzigen Gerät zusammen gebaut sein. Man kommt auf diese Weise zu Einrichtungen, die bei verhältnismäßig einfacher Bedienung ein vergrößertes Bild liefern, dessen Auflösungsvermögen das der optischen Mikroskope weit übersteigt. Eine derartige Einrichtung ist ferner in Fällen brauchbar, wo ein rein optisches Mikroskop nicht angewendet werden kann. Es eignet sich z. B. zum Untersuchen von Vorgängen in elektrischen Entladungsrohren, z. B. auch zum Untersuchen der Entladungserscheinungen an glühenden Körpern, z. B. Glühkathoden.

Claims (3)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. Einrichtung zum vergrößerten Abbilden von Gegenständen durch Elektronenstrahlen nach Patent 916 838, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergrößerung in zwei .Stufen erfolgt, und zwar außer durch Elektronenstrahlen auch durch ein optisches Mikroskop.
2. 2. Einrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die durch Elektronenstrahlen erzielte lineare Vergrößerung in der Größenordnung des zoofachen liegt und daß die weitere Vergrößerung des durch die Elektronenstrahlen erzeugten reellen Bildes optisch erzielt wird.
3. 3. Einrichtung nach Anspruch i oder 2; dadurch gekennzeichnet, daß der Leuchtschirm, auf dem das optische weiter zu vergrößernde Bild entsteht, aus einer homogenen, geschliffenen Platte aus Leuchtkristall besteht.