DE1802450B1 - Verfahren zur Scharfstellung eines korpuskularstrahloptischen Bildes - Google Patents

Description

Bekanntlich ist es schwierig, das in abbildenden Korpuskularstrahlgeräten, deren wesentliche Vertreter die Elektronenmikroskope sind, gewonnene vergrößerte Bild von Präparaten oder Präparateinzelheiten scharfzustellen. Diese Schwierigkeit hat ihre Ursache in erster Linie darin, daß zwecks Erzielung eines guten Kontrastes und einer hohen Bildauflösung im Gerät während der eigentlichen Untersuchung des Präparates eine kleine Bestrahlungsapertur eingestellt wird und daher eine große Tiefenschärfe vorliegt, die die visuelle Bildscharf stellung erschwert.

Man könnte daran denken, durch Vergrößerung der Bestrahlungsapertur während der Scharfstellung des Bildes, die durch Nachfokussieren der Abbildungslinsen, insbesondere der Objektivlinse, erfolgt, die Tiefenschärfe zu verringern. Nachteilig macht sich dabei jedoch die Verknüpfung der Bestrahlungsintensität mit der Bestrahlungsapertur bemerkbar, so daß bei Anwendung des beschriebenen Verfahrens während der Scharfstellung des Bildes und der Aus-Wertung desselben, beispielsweise durch Fotografieren oder visuell, unterschiedliche Bestrahlungsverhältnisse vorliegen.

Daher sind beispielsweise in der USA.-Patentschrift 2 464 396 bereits Geräte bzw. Verfahren angegeben worden, bei denen eine »scheinbare« Vergrößerung der Bestrahlungsapertur ohne Änderung der Bestrahlungsintensität dadurch vorgenommen wird, daß der auf einen festen Bereich des Präparates auftreffende Strahl durch korpuskularoptische Ablenkmittel periodisch ausgelenkt wird. Das Ergebnis ist also eine periodische Änderung der Richtung des Auftreffens des Strahles auf das Präparat.

Die Erfindung betrifft ein derartiges Verfahren zur Scharfstellung eines mittels korpuskularstrahloptischer Linsen in einem Korpuskularstrahlgerät erzeugten vergrößerten Bildes eines durchstrahlbaren Präparates mit periodischer Änderung der Richtung des Auftreffens des Strahles auf das Präparat, gleichzeitiger Beobachtung des Bildes und Nachfokussieren der Abbildungslinsen. Wie nähere Untersuchungen ergeben haben, ist die Güte der nach diesem Verfahren durch visuelle Beobachtung des Bildes beispielsweise auf einem Endbildleuchtschirm oder auf dem Schirm eines Fernsehwiedergabegerätes erzielten Scharfstellung in beträchtlichem Maße abhängig von der Frequenz der periodischen Richtungsänderung des auftreffenden Strahles. Aus diesem Grunde ist das erfindungsgemäße Verfahren dadurch gekennzeichnet, daß die periodische Änderung der Strahlrichtung mit einer Frequenz von 10 bis 15 Hz erfolgt.

Wie nämlich gefunden wurde, sind mit einer Frequenz von 10 bis 15 Hz, also gerade unter der FiImmergrenze des Auges, erfolgende Bewegungen im Bild für das Auge besonders unangenehm, so daß sie dem Beobachter in besonders starkem Maße auffallen.

Insofern unterscheidet sich das erfindungsgemäße Verfahren von bekannten Verfahren der genannten Art, bei denen — sofern überhaupt — als Wert für die Frequenz der Änderungen der Auftreffrichtung des Strahles 50 Hz angegeben werden.

Es hat sich ferner gezeigt, daß die Frequenz von 10 bis 15 Hz die Möglichkeit gibt, auch bei höheren Vergrößerungen eine Scharfstellung des Bildes vorzunehmen. Dabei soll unter der Scharfstellung auch die Einstellung eines Stigmators auf Astigmatismusminium verstanden werden.

Ein zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens geeignetes Korpuskularstrahlgerät, beispielsweise ein Elektronenmikroskop, weist also in seinem Bestrahlungsteil zwischen der letzten Kondensorlinse und dem Präparat an sich bekannte korpuskularstrahloptische Ablenkspulen oder Ablenkplatten auf, deren Speisespannungen eine Frequenz von 10 bis 15 Hz besitzen. Dabei wird man zwei Ablenkanordnungen untereinander vorsehen, von denen die erste den Strahl aus der Geräteachse herauslenkt und die zweite den Strahl auf den gewünschten Präparatpunkt zurücklenkt.

Claims (2)

Patentansprüche:

1. Verfahren zur Scharfstellung eines mittels korpuskularstrahloptischer Linsen in einem Korpuskularstrahlgerät erzeugten vergrößerten Bildes eines durchstrahlbaren Präparates mit periodischer Änderung der Richtung des Auftreffens des Strahles auf das Präparat, gleichzeitiger Beobachtung des Bildes und Nachfokussieren der Abbildungslinsen, dadurch gekennzeichnet, daß die periodische Änderung der Strahlrichtung mit einer Frequenz von 10 bis 15 Hz erfolgt.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstellung eines Stigmators auf Astigmatismusminimum während der periodischen Richtungsänderung vorgenommen wird.