DE910010C - Vakuumventil - Google Patents

Description

• Vakuumventil Zusatz zum Patent 860 442 In dem Patent 860 442 ist ein Mehrfach-Vakuumventil beschrieben, bei dem mehrere Ventile gemeinsam in einem Metallblock angeordnet sind, in dem alle beweglichen Teile vakuumdicht untergebracht sind. Hierbei sind die Einzelventilanordnungen beispielsweise parallel nebeneinander oder senkrecht zueinander zusammengefügt. Die Gehäuse der einzelnen Ventile bilden massive Metallblöcke, beispielsweise aus Stahl, Gußeisen, Buntmetallen, Aluminium, Silumin oder anderen an sich für die Herstellung von Ventilen vorgeschlagenen Werkstoffen; sie können auch aus einem Stück gezogen oder gedrückt sein. Die Einzelventile sind ohne verbindende Rohrleitungen zu dem Mehrfachventil vereinigt, indem bei der erwähnten Herstellung das Gehäuse gleich in einem Stück hergestellt wird oder gegebenenfalls die beschriebenen Einzelventile ohne Zwischenstücke durch Schweißen oder Löten zu einem kompakten Teil zusammengefügt werden.
• Wie im Patent 860 442 hervorgehoben, bringt diese Bauweise den Fortschritt, daß eine bessere Vakuumdichtigkeit gewährleistet ist als bei der Verwendung von Paßstücken und Leitungen. Daneben wurde schon auf Vorteile bei der konstruktiven Durchführung hingewiesen.
• Es wurde nun weiter gefunden, daß diese neue Bauweise von Ventilen für eine weitere Vereinfachung der Herstellung und für die Erhöhung der Betriebssicherheit günstig ist. Nach dem neuen Gedanken ist in einer einzigen, durch spanabhebende Bearbeitung in den massiven Ventilblock eingearbeiteten, mit Anschlußöffnungen für die Gaszuleitungs- und Gasableitungskanäle versehenen Kammer der Mechanismus für mindestens zwei Ventilteller oder -klappen vereinigt und dieser so ausgebildet, daß er von außen mittels eines einzigen Bedienungsgliedes betätigt wird, das über einen einzigen, vakuumdicht durch die Wandung des Ventilblocks durchgeführten Schaft mit dem innenliegenden Mechanismus in Verbindung steht, so daß gleichzeitig nicht alle Ventile geöffnet werden können. Jede Fehlbedienung ist auf diese Art und `'eise ausgeschlossen. Es wird also so erreicht, daß beispielsweise bei zwei Ventilen immer eines geschlossen sein muß, bevor das andere geöffnet wird. Für die Verriegelung lassen sich die verschiedenen bekannten Mechanismen anwenden; für die vorliegende Erfindung wird als wesentlich angesehen, daß gerade bei dem Mehrfachventil des Patentes 860 442 die an sich bekannten Verriegelungsanordnungen in besonders einfacher und wirkungsvoller Weise anzubringen sind; so wird auf kleinstem Raum eine übersichtliche und vollkommen betriebssichere Ventilanordnung geschaffen. Die neue Anordnung sei am Beispiel einer an sich bekannten Diffusionspumpe noch näher erläutert.
• In der Abb. i ist ein Grundriß und in der Abb. 2 ein Schnitt in der bei S2 S3 versetzten Richtung Sl-S.- S, S, der Abb. i der Diffusionspumpe und des Ventils wiedergegeben; die automatische Kupplung zweier Ventile ist in der Abb. 3 in der Ansicht dargestellt. Dabei sind die innerhalb des Ventilblocks I. befindlichen Teile in Abb. 3 und die Teile des Ventils 0 in Abb. 2 in Ansicht dargestellt.
• Im Innern der Diffusionspumpe, die zylindrische Gestalt (Mantel .4) aufweist, ist auf dem Boden auf den keramischen Trägern B die Heizwicklung !: ausgespannt, die unmittelbar das eingefüllte Pumpenöl heizt. Cber der Heizung werden durch konzentrisch angeordnete Zylinder die einzelnen Stufen für das verdampfende Pumpenöl gebildet (Dl, D", D3), das an den übereinander angeordneten Ringdüsen Er, E, E3 als Dampfstrahl austritt. Die Luft tritt symmetrisch durch den ringförmigen Schlitz G -in den ringförmigen Raum H, unter dem zusätzlich noch eine Dampfstrahldüse E, angeordnet ist, die mit dem am leichtesten fraktionierenden Öldampf aus der Endstufe I)4 gespeist wird. Der Gasstrom aus den Düsen El, E2, F3 gelangt erst auf einen Kühlmantel F, auf dem eine wasserdurchflossene Kupferspirale aufgelegt ist, bevor er in den Raum H gelangt, der zwischen dem Kühlmantel F und dem äußeren Kühlwassermantel I liegt. Bei dieser Anordnung der Diffusionspumpe sind keine Schweißstellen für einen seitlichen Anschlußstutzen mehr erforderlich.
• Diese Diffusionspumpe ist nun mit dem Mehrfachventil der Erfindung ausgestattet, wodurch die Gefahr für das Auftreten von Undichtigkeiten praktisch völlig ausgeschlossen und eine gedrungene, von toten Räumen freie Bauweise erreicht und so die hochwirksame Diffusionspumpe zu einem hohen Grad der Vervollkommnung geführt wird. Die Ventile sind in dem gemeinsamen Metallblock L. angebracht, der über der Pumpe angeflanscht ist. Die Luft tritt aus der Diffusionspumpe durch das Ventil N in die in dem Ventilblock ausgesparte Kammer K. In Aussparungen des Ventilblocks betätigen sich vor allem folgende Ventile: Ventil M zwischen Vakuumpumpe und Rezipient, Ventil l4 zwischen Vorvakuumpumpe und Diffusionspumpe und Ventil 0 zwischen Rezipient und Diffusionspumpe. Die beiden Ventile 117 und N sind nun erfindungsgemäß so gekuppelt, daß sie nur wechselweise bedient werden können, indem immer das eine geschlossen sein muß, bevor das andere geöffnet wird. Die Betätigung des Vorvakuumventils erfolgt durch Drehen des Bedienungshebels P um go° um die Achse (J. Für die Bedienung wird ausdrücklich eine Drehbewegung vorgesehen, weil hochvakuumdichte Drehdurchführungen günstiger arbeiten als Schiebedurchführungen. In dem gezeichneten Beispiel von Abb. 3 wird die Betätigung der beiden Ventile M und =1' durch zwei um go° versetzte Nocken R bewerkstelligt, und zwar so, daß das Ventil N beim ersten Takt des Bedienungsvorganges durch Umlegen von P um go° nach links oben vollständig geschlossen wird, worauf erst in einem zweiten Takt durch Weiterdrehen der Achse n um go° das Ventil M geöffnet wird. Umgekehrt wird zwangsläufig beim Schalten in entgegengesetzter Richtung Ventil M zuerst vollkommen geschlossen, ehe im darauffolgenden Takt Ventil." geöffnet wird. Da die Betätigung dieser beiden Ventile in einem Bedienungshebel vereinigt ist, ist jede versehentliche Fehlbedienung von vornherein ausgeschlossen. Die automatische Kupplung dieser beiden Ventile ist in der Abb. 3 in Ansicht dargestellt.
• Es versteht sich, daß diese besondere Bauweise für eine wechselweise, nicht gleichzeitig mögliche Betätigung der beiden Ventile ?1T und 1' nur als ein erläuterndes Beispiel für den Erfindungsgedanken aufgefaßt werden soll.
• In dem Ventilblock sind dann noch die Bohrungen für die Ventile untergebracht, die beim Fluten des Rezipienten und beim Fluten der Vorpumpenleitung nach Abschalten der Vorpumpe benötigt werden. Schließlich wird mit Vorteil noch ein beispielsweise auf dem Ionisationsprinzip beruhendes Vakuummeter in den Ventilblock eingebaut.
• Durch diese Anordnung aller Ventile in einem gemeinsamen Ventilblock mit gegenseitiger Verriegelung ist das Ganze in einfachster Weise zu einem vollständig betriebssicheren Hochvakuumpumpstand zusammengefaßt.

Claims (2)

1. PATENTANSPRÜCHE: - i. Vakuumventil gemäß Patent 860 442, bei dem die Ventilgehäuse aus einem einzigen massiven Körper bestehen, in den durch spanabhebende Bearbeitung die Anschlußöffnungen, der Innenraum sowie der Spindelkänal nebst Dichtungskammer eingearbeitet sind, dadurch gekennzeichnet, daß in einer einzigen, durch spanabhebende Bearbeitung in den Ventilblock eingearbeiteten Kammer der Mechanismus für mindestens zwei Ventilteller oder -klappen vereinigt und so ausgebildet ist, daß er von außen mittels eines einzigen Bedienungsgliedes betätigt wird, das über einen einzigen, vakuumdicht durch die Wandung des Ventilblocks durchgeführten Schaft mit dem innenliegenden Mechanismus in Verbindung steht, so daß gleichzeitig nicht alle Ventile geöffnet werden können.
2. 2. Vakuumventil nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Ventilblock ein beispielsweise auf dem Ionisationsprinzip beruhendes Vakuummeter angeordnet ist. Angezogene Druckschriften M. von A r d e n n e , Elektronen-Übermikroskopie, 1940, S. 174, Springer-Verlag, Berlin. Durau, ##Über fettlose hochvakuumdichte Metallventilex, Zeitschrift für Phvsik, 1934, Bd. 89, S. 143 bis 147, Springer-Verlag, Berlin.