DE898052C - Vakuumdichter Verschluss - Google Patents

Vakuumdichter Verschluss

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Publication number
DE898052C
DE898052C DES11127D DES0011127D DE898052C DE 898052 C DE898052 C DE 898052C DE S11127 D DES11127 D DE S11127D DE S0011127 D DES0011127 D DE S0011127D DE 898052 C DE898052 C DE 898052C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
bolt
opening
seal
vacuum
vacuum vessel
Prior art date
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Expired
Application number
DES11127D
Other languages
English (en)
Inventor
Emil Hentschel
Hans Schuchmann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Application granted granted Critical
Publication of DE898052C publication Critical patent/DE898052C/de
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/18Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Gasket Seals (AREA)
  • Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)

Description

  • Bei Vakuumgefäßen müssen .aus den verschiedensten Gründen Öffnungen in der Gefäßwand vorgesehen werden, die für den Betrieb des Gerätes vakuumdicht abgeschlossen werden müssen.- Vakuumdichte Verschlüsse sind beispielsweise erforderlich für,dieDurchführungvonelektrischenLeitungen durch die Vakuumwand oder für Öffnungen, .durch welche Einzelteile in .das Gefäßinnere eingebaut werden sollen. Bei Elektronenmikroskopen besteht beispielsweise die Aufgabe, die zu untersuchenden Objekte von außen her in das Gefäßinnere durch Öffnungen der Gefäßwand einzubringen. Ferner besteht bei diesen Gefäßen die Aufgabe, Einzelteile, beispielsweise den Zwischenbildleuchtschirm, oder sonstige Teile leicht auswechseln zu können. Die Erfindung bezieht sich .auf einen vakuumdichten Verschluß für eine Öffnung, z. B. eine Bohrung, in einem Vakuumgefäß, der sich dadurch auszeichnet, ,daß mit sehr einfachen Mitteln ein Öffnen .und Verschließen des Vakuumgefäßes an der betreffenden Stelle möglich ist. Erfindungsgemäß wird zu diesem Zweck eine mit einer Bohrung versehene Dichtung aus elastischem Material, z. B. Gummi, in die Öffnung eingesetzt und mit Hilfe eines durch ..die Bohrung der Dichtung hindurchgeführten Bolzens und .damit verbundener beiderseitiger Druckstücke in Richtung des Bolzens so zusammengepreßt, ;daß die Dichtung einerseits gegen die Innenfläche der Öffnung des Vakuumgefäßes und andererseits gegen eine am Bolzen vorgesehene Dichtungsfläche gepreßt wird. Das .dem Vakuumgefäßinneren zugewendete Druckstück kann dabei ein starr mit,dem Bolzen verbundener Kopf sein, .dessen Außenabmessungen kleiner als die der zu verschließenden Gefäßöffnung sind: Das der -Außenluft zugewendete Druckstück kann ,beispielsweise aus einer Scheibe bestehen, die durch eine auf das äußere Bolzenende_ aufschraubbare Mutter gegen die Dichtung gepreßt wird. Die äußeren Abmessungen -der Dichtung werden so gewählt, daß man den Verschluß in die zu verschließende Öffnung leicht einführen kann; dabei kann die äußere Druckscheibe so bemessen sein, :daß sie sich mit ihrem dem zu verschließenden Gefäß zugewendeten Rande .gegen -eine- ringförmige Anlagefläche des Gefäßes anlegt.
  • Die Figur zeigt ein Ausführungsbeispiel der Erfindung. Mit i ist idie Wand eines Vakuumgefäßes bezeichnet, in welcher durch eine glatte Bohrung 2 eine Öffnung vorgesehen ist. Zum Verschl.uß dieser Öffnung dient ein aus elastischem Material, beispielsweise Gummi bestehender Dichtungsschlauch 3, in den ein Bolzen q. eingesetzt ist. Dieser Bolzen besitzt auf der dem Gefäßinneren zugewendeten Seite einen starr mit dem Bolzen verbundenen Kopf 5, dessen Außendurchmesser etwas kleiner ist als iderDurchmesser ider,Bo'hrung 2. Als äußeres Druckstück dient eine Scheibe 6, die sich .an einem ringförmigen Rand 7 in der aus der Figur ersichtlichen Weise anlegt. Mit Hilfe einer auf das äußere Ende der Bohrung aufgeschraubten Mutter ß wird das Dichtungsmaterial 3 in der Bolzenrichtung zuslammengepreßt, wobei dieDruckstücke 5 und 6 bewirken, daß das Dichtungsmaterial einerseits fest an,die Innenwand der Bohrung 2 und andererseits fest .an die zur inneren Abdichtung dienenden Flächen 9 des Bolzens gedrückt wird. Durch das Festziehen der Mutter entsteht so ein hochvakuumdichter Abschluß des Gefäßes.
  • Die Form der bei -der Erfindung verwendeten Druckstücke 5 und 6 kann von,der im Ausführungsbeispiel dargestellten abweichen; so kann man z. B. den Kopf 5 .auch mit einer kegelförmigen Abdichtungsfläche versehen. Es 'kommt im wesentlichen nur @darauf an, idaß durch die beiden Druckstücke das elastische Dichtungsmaterial 3 einerseits gegen die Innenfläche der Öffnung 2 und andererseits geigen eine geeignete Dichtungsfläche des Bolzens gepreßt wird. ` Man kann (den Verschluß als Stromdurchführung .benutzen,; in diesem Fall wird man beispielsweise das Druckstück 6,aus nicht leitendem Material herstellen oder die Ausführung so wählen, @daß das Druckstück 6 mit der Gefäßwand i nicht in leitende Berührung kommt.

Claims (3)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. VakuumdichterVerschluß für eine Öffnung, z. B. eine Bohrung, in einem Vakuumgefäß, insbesondere für Elektronenmikroskope, @dadurch gekennzeichnet, daß eine mit einer Bohrung versehene Dichtung aus elastischem Material, z. B. Gummi, in die Öffnung eingesetzt wird und .mit Hilfe eines .durch ,die Bohrung der Dichtung hindurchgeführten Bolzens und damit verbundener beiderseitiger Druckstücke in Richtung ides Bolzens so zusammengepreßt wird, daß die Dichtung einerseits gegen die Innenfläche der Öffnung ,des Vakuumgefäßes und andererseits gegen eine am Bolzen vorgesehene Dichtungsfläche gepreßt wird.
  2. 2. Verschluß nach Anspruch i, daidurch gekennzeichnet"daß,das ,dem Vakuumgefäßinneren zugewendete Druckstück ein starr mit dem Bolzen verbundener Kopf ist, ..dessen Außenabmessungen kleiner als die ,der zu verschließen-.den Gefäßöffnung sind.
  3. 3. Verschluß nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet; idaß das :der Außenluft zugewendete Druckstück aus einer Scheibe besteht, -die durch eine auf .das äußere Bolzenende aufschraubbare Mutter .gegen die Dichtung gepreßt wird.
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