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Inte@rferenzmikroskop Es ist .ein Interferenzmikroskop bekannt, das
zur Beobachtung der im Unendlichen liegenden. Interferenzen dient und zur Umwandlung
der Ringe gleicher Neigung in Streifen mit einer Einrichtung versehen ist, durch
welche das am Referenzspiegel stehende Objektiv parallel zu. sich verschoben werden
kann. Diese Einrichtung setzt eine interferenzgenaue Führung des Objektivs voraus.
Die Erfindung beruht lauf der Erkenntnis, daß die Umwandlung in Streifen gleicher
Neigung erfolgen kann, wenn man das Objektiv zusammen mit dem Referenzspiegel verschwenkt
um einen Punkt, der auf der Achse des den Strahlenteiler durchsetzenden Lichtbündels
liegt. Die hierzu dienende Einrichtung kann mit der erforderlichen Genauigkeit aus
einer Kugelfläche gebildet werden, auf der das Objektiv mit dem an ihm befindlichen
Referenzspiegel verschoben wird. Zweckmäßig -ist es, das Objektiv auf einem Block
zu befestigen, .der mit einer der Kugelfläche entsprechenden sphärischen Fläche
versehen ist und ;z. B. durch Federkraft oder magnetisch an sie angepreßt wird.
Auf der spiegelnden Fläche des Referenzspiegels kann. man eine Pfeilmarke einritzen,
die mit den Interferenzen zusammen scharf erblickt wird. Der Referenz-@spiegel ist
dabei in ,seiner Ebene um die Achse des Objektivs drehbar, @so daß man den Pfeil
beliebig drehen kann. Durch diese Einrichtung ist ermöglicht, d:aß man jederzeit,
z. B. an photographischen Aufna@hm@en, erkennen kann, ob die Verbiegungen der Interferenzstreifen
eine Erhöhung oder eine Vertiefung der zu untersuchenden Oberfläche darstellen.
Es ist bekannt, daß man eineWanderung ,der Interferenzstreifen erhält, wenn man
den Lichtweg zwischen der Oberfläche und derReferenzfläche etwas verkleinert. In
die Richtung dieser Wanderung
stellt man die Pfeilspitze; dann
sind im Fall einer kleinen Erhöhung diie Interferenzs.tnei:fen in Richtung der Pfeilspitze
ausgebogen.
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DieVerschwenkeinrichtung auf einer Kugelfläche nach der Erfindung
hat noch den ;besonderen Vorteil, d@aß man ;in bequemer Weise die Abstände und die
Neigung ider Interferenzstreifen ändern und somit den Eigenschaften der zu untersuchenden
Oberfläche anpassen kann, weil man das Objektiv mit dem <Rieferenzspiegel nach
allen Richtungen verschwenken kann. Die Länge 'des Pfeils, z. B. o,1 mm, ergibt
einen Maßstab zur Bestimmung der Vergrößerung (des erhaltenen Bildes.
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In .der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Einrichtung nach
der Erfindung dargestellt. Es zeigt Fig. i eine 'schematische Darst@11ung @de.s
.Interferen'zmikroskops nach der Erfindung, Fig. 2 einen Teil des Strahlenganges,
Fig. 3 und 4 Befestigungsvorrichtungen, Fig. 5 das Schema eines Interferenzbil-des.
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Die in Fig. i dargestellte bekannte Anordnung eines. Interferenzmikroskops
besteht aus der Lampe i, dem Kollimator 2, dein Strahlenteiler 3, zwei gleichen
Objektiven 4 und 5, dem Referenzspiegel 6 und -dem Fernrohr 7. Mit 8 ist das zu
beohachtende Objekt bezeichnet. Nach der Erfindung Ist (der Referenzs:piegel durch
seine Fassungshülse 9 mit dem -ihm,zugehörigenObjektiv4 verbunden und das Objektiv
4 auf der Kugelfläche 1o eines Haltekörpers verschieblich. Indem dargestellten Beispiel
ist die Fassung des 'Objektivs 4 mit einer Kugelfläche i i versehen, die auf :die
Kugelfläche 1o genau paßt. Die Federn 12, 13 dienen zum Zusammenhalten. des Haltekörpers
und .des Objektivs, wobei sie die Verschwenkung des Objektivs zulassen.
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In Fig. 2 ist gezeigt, daß ein einfallender Strahl 14 nach Reflexion
an dem nicht verschwenkten Referenzspiegel 6 und an. dem Strahlenteiler 3 als 14'
in das Objektiv 7' des Fernrohrs 7 eintritt. Wird .der Referenzspiegel zusammen
mit dem Objektiv 4 yerschwenkt"so entsteht aus ,dem Strahl 14 -der Strahl 1q." (gestrichelt
gezeichnet), .der den Strahlenteiler parallel zu 14' verläßt. Hierdurch entsteht
eine Vergrößerung des optischen Weges um die Größe 15, die Veranlassung zur Änderung
der Interferenzstreifen gibt.
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Fing. 3 zeigt eine Anordnung zur Befestigung des Objektivs 4 auf dem
Haltekörper. Hier ist das Objektiv in einen magnetischen Körper 16. gegeschraubt,
und der Haltekörper mit der Kugelfläche 1o ist ebenfalls ein Magnet. Nach Fig. 4
ist eine Zugfeder 17 vorgesehen, welche ,die beiden Körper zusammenhält. Zur seitlichen
Verschwenkung .dienen Schrauben 18 - mit Gegenfedern 19. Die Fassungshülse 9 des
Referenz--Spiegels ist mit ,dem Rändelring 2o versehen, so daß sie auf der Objektivfassungdrehbar
ist.
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Fig.5 ,zeigt schematisch einigeInterferenzstreifen im Gesichtsfeld
des Fernrohrs, in welchem auch der auf dem Referenzspiegel befindliche Pfeil 21
sichtbar Bist. Man kann z. B. durch leichten Druck auf das Instrument die Entfernung
ides Str2;hdenteilers vom- Objekt 8 etwas verkleinern und erkennt dann an ,der Versch@iebüng
des Interferenzstreifensystems die Richtung, welche einer Vertiefung des Objekts
entspricht. In: diese Richtung kann man die Pfeilspitze durch Drehung am Rändelring
2o einstellen. _ Zugleich kann. die Länge des Pfeils, z. B. o,1 mm, den Vergrößerungsmaßstab,
des abbildenden Systems anzeigen.