DE881553C - Elektrostatisches UEbermikroskop - Google Patents

Description

• -Die elektrostatischen Übermikroskope sind mit Einzellinsen ausgerüstet, welche im allgemeinen aus drei Elektroden bestehen, von denen die mittlere Elektrode an Hochspannung liegt, während die Außenelektroden an Erdpotential gelegt sind. Zur Erhöhung des Auflösungsvermögens bei dicken Objekten .oder im Dunkelfeld ist es bisher üblich gewesen, die dem Objekt abgewandte Außenelektrode der Objektivlinse als Objektivblende zu verwenden, indem diese Linsenelektrode mit einem entsprechend kleinen Blendenloch versehen wird. Dieses erfordert aber eine sehr exakte Herstellung des Blendenloches, da bei einer solchen Linse der gesamte,Strahl einschließlich der Randstrahlen zur Abbildung benutzt wird und derselbe die ganze Blendenbohrung ausfüllt, zumal es- sich um Blendenlöcher mit einem Durchmesser von etwa 1/ioo mm handelt. Eine- ;geringe Abweichung der Form des Blendenloches von der gewünschten Form bedingt eine starke Beeinflussung ,der Abbildungsstrahlen und führt somit zu Ahbildungsfehlern.
• Es ist nun bereits bei magnetischen Objektivlinsen bekannt, als Objektivblende eine an dem dem Objekt abgewandten Polschuh in dem Bereich, in welchem die Feldstärke der Linse 3o bis 11/0 der maximalen Feldstärke beträgt, befestigte Blende zu verwenden, um die notwendige Blendenbohrung nicht allzu klein machen zu können. Diese Maßnahme läßt sich jedoch bei elektrostatischen Objektivlinsen nicht anwenden, da bei elektrostatischen Objektivlinsen die Blenden auf Erdpotential liegen, so daß durch,die Einfügung einer derartigen Blende in den Bereich, in welchem die Feldstärke der Linse 3o bis i °/o der maximalen Feldstärke beträgt, eine Beeinflussung des Potentialfeldes der Linse bewirkt wurde, was natürlich nicht zu einer Bildverbesserung führen kann.
• Die Erfindung bezieht sich auf ein elektrostatisches Übermikroskop, bei dem eine besondere Objektivblende vorgesehen ist, ohne daß Feldstörungen.durch die Blende hervorgerufen werden. Erfindungsgemäß hat die Blendenbohr ung der dem Objekt abgewandten Außenelektrode der Objektivlinse einen Durchmesser von o, i bis i mm, vorzugsweise o,5 mm, und die Brennweite der Objektvlinse 'hat etwa den zehnfachen Wert des Durchmessers der Blendenbohrung der dem Objekt ab: gewandten Elektrode der Objektivlinse, und eine Objektivblende mit einer Bobrun.g von zweckmäßig 1/ioo mm bis zu mehreren Hunderstelmillimetern ist im feldfreien Raum, vorzugsweise in der Brennebene der Objektivlinse, vorgesehen. Auf diese Weise gelingt es, in sehr einfacher Weise auch die für Dunkel.feldaufnahmen notwendigen Blenden mit dem sehr geringen. Durchmesser von etwa 1/ioo bis 2/ioo mm anzubringen, ohne Feldstörungen zu verursachen. Die Blende befindet sich zweckmäßig im feldfreien Raum in der Brennebene, da auf .diese Weise ein großes Gesichtsfeld gegeben ist. Die Anordnung nach der Erfindung hat ferner .den Vorteil, daß eine einfache Justierung der Blende möglich ist, da Mittel vorgesehen werden können, um die Blende von außen zu justieren.
• Der Gegenstand der Erfindung ist im folgenden an Hand der in der Abbildung dargestellten Objektivlinse eines elektrostatischen Übermikroskops näher erläutert. Die Ob jektivli.nse besteht aus einem Gehäuse r, mit dem .die Außenelektroden 2 und leitend verbunden sind. Zwischen den Außenelektroden befindet sich die Mittelelektrode 3, die mit Hilfe einer Überwurfmütter 7 an dem innerhalb des Linsengehäuses angebrachten Isolierkörper 6 gehaltert ist. Zur Befestigung der Außenelektrode an dem Linsengehäuse ist eine Überwurfmutter 8 vorgesehen. Die Außenelektrode 4 ist beispielsweise mit einem Blendenloch 5 von o,5 mm ausgerüstet. Die Größe dieses Blendenloches beträgt im allgemeinen zwischen o,i und i mm, um den Durchgriff von .der Außenelektrode verhältnismäßig gering zu halten. Im feldfreien Raum, und zwar in der Brennebene der Obje'ktivlinse, ist eine Blende io vorgesehen, welche eine Bohrung von 1/ioo bis °/ioo mm hat. Diese Blende befindet sich in der Brennebene, also beispielsweise in einem Abstand von 6,bis 7 mm von der Linsenmitte. Die Objektivb.lende ist an einem zylinderförmigen Körper g gehaltert, welcher wiederum auf einer zweckmäßig als Blattfeder i i ausgebildeten Bodenfläche befestigt ist. Mit Hilfe von nicht dargestellten, durch den ebenen Teil der Außenelektrode 4 geführten Schrauben kann die Zentrierung der Blende i,o bewirkt werden.

Claims (1)

1. PATENTANSPRUCH: Elektrostatisches -Übermikroskop, dadurch gekennzeichnet, daß die Blendenbohrung der dem Objekt abgewandten Außenelektrode der Objektivlinse einen Durchmesser von o,i bis i mm, vorzugsweise 0,5 mm hat, daß die Brennweite der Objektivlinse etwa ,den zehnfachen Wert des Durchmessers der Blendenbohrung der dem Objekt abgewandten Außenelektrode der Objektivlinse ihat und daß eine Objektivblende mit einer Bohrung von zweckmäßig 1/ioo mm bis zu mehreren Hundertstelmillimetern Durchmesser im feldfreien Raum der Objektivlinse, vorzugsweise in der Brennebene, vorgesehen ist.