DE876435C - Verfahren zur Bedampfung von Oberflaechen in einer evakuierten Roehre - Google Patents

Description

• Verfahren zur Bedampfung von Oberflächen in einer evakuierten Röhre Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Verbesserungen von Verfahren zum Bedampfen von Oberflächen und betrifft besonders solche Verfahren, bei denen eine Schicht @ein,-er Substanz auf einen Träger in :dem Kolben einer evakuierten Röhre aufgedampft wird.
• Wenn eine Substanz durch Erhitzung m einer evakuierten Röhre aufgedampft werden soll, um eine Schicht auf einer bestimmten Fläche eines Trägers zu erzeugen (wobei der Träger z. B. aus einer Glasfläche oder der Glaswand einer Elektronenentladungsröhreoder einem anderen Teil einer Elektronenentladungsröhre, der nicht zur Wandung gehört, bestehen mag), ist es unmöglich, eine Schicht von einheitlicher Dicke zu erhalten, es sei denn, die Quelle der aufzudämpfenden Substanz ist im Mittelpunkt einer Kugel angebracht, die mit der Oberfläche .des Trägers zusammenfällt. Diese Unterschiedlichkeit in der Dicke ist besonders auffallend, wenn der Träger zylindrisch ist und die Substanz von einer Quelle aus verdampft wird, die an einem Ende des Zylinders angebracht ist; dies ist z. B. bei einer photoelektrischen Zelle der Fall, deren eine photoelektrische Oberfläche ein Teil eines Zylinders ist.
• Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, diesen. Nachteil zu überwinden. Erfindungsgemäß wird ein Verfahren zur Bedampfung von Oberflächen in einem evakuierten Kolben vorgeschlagen, das darin besteht, zur Bildung einer Schicht auf einem .Träger.:eirie Substanz voL-einer Quelle äus durch`,Öffhungeri in einen perforierten Brauteil aufzud=pfen;dabei ist die Anordnung des perforierten Blauteils so, daß iexne- S:chvcht ,erzeugitwird, deren Dicke einheitlicher ist als bei Wegfall -dies ,perforierten Bauteils.
• - Weiterhinnr"d rerfindungsgeWäß reine El:ektronenem.tläclun;gsr'öhre vorgeschlagen, die eine Que-Ueenthält, von der aus eine Substanz verdampft wird, sowie eine photoempfindliche Oberfläche, die ;auf einen Träger aufgebracht ist und schließlich einen perforiertem Bauteil, der so zwischen Quelle und Träger angebracht ist, daß @er die photoempfinidlische Oberfläche :nicht wesentlich- gegen -das einfallende Arbeitslicht abschirmt. Der perforierte Bauteil besteht erfindungsgemäß z. B. :aus einem Gitter aus Draht oder Fasern, oder .ariderem -Material.
• Gemäß einem weiteren Merkmal der Er$ndung wird,das Gitter oder Netz mit-Zwischenräumen ;oder Öffnungen -und/oder einem Drahtdurchmesser von abgestufter Größte versehen.
• Die Erfindung ist - besonders geeignet für die Herstellung von Elektroden im Kolben, von-ph'oto= elektrischen, Zellen oder anderen Elektronen:entladungsröhren; sie findet Faber auch Anwendung bei rder Herstellung von Spiegeln- ,oder bei Elektroden; idie nach der Herstellung des Belages aus einem !evakuierten Kolben rentfernt werden, um darr im Kolben einer Elektronenentladungsröhre verwandt zu werden. _ Die Erfmdun,g wird im folgenden an Hand der ein. Ausführungsbeispiel zeigenden Zeichnung beschrieben.
• Die in der Zeichnung dargestellte Photozelle besteht ;aus ,einem langen zylindrischen Kolben i, bei rdem auf die Innenseite einer Wandung reine MoWlschicht -[aufgedampft wird. Das Metall, paus den, die Schicht besteht, kann. z. B. Silber, Antimon oder Wismut sein. Einre -Pille:2 aus dem zu verdampfenden Metall wird von reiner Wendel3 gehälten, rderen Zuleitungen durch -die Wand des Kolbens nach außen ;geführt sind. D.ie Metallpille wird gegen- -den=-Teil gded-Kolbens i- abgeschirmt, .der [das Zellenfenster bildet, und zwar durch reinen Schirm q., edier eiere geeignete Form haben kann, z. B. die einer halbkugelförmigen oder zylindrischen Kappe. Die Anordnung besteht aus der Pille 2, der Wehdel3 [und dem Schirm q. und ist unsymmetrisch' zum- Kolben i ;angebracht. Wenn mit dieser Anordnung -mittels eines durch die Wendel 3 fließenden elektx;iselen Stroms von der Pille 2 UÜS Metall verdampft wird, so ist das Fenster genügend abgeschirmt; es ändert sich jedoch die Dicke :der die - - photoempfindliche Oberfläche 5 bildenden Schicht in großem Ausmaß; der Belag wird dabei dort . am,- dünnsten, wo er Hanf die rar meisten von der Pille -2 rentfernte -Stelle des Kolbens f -niedergeschlagen wird, und dort am dicksten, wo er auf rdie der--Pille-2 am- nächsten gelegene Stelle .des -Kolbens -n%edergeschlagen wird. Wenn z. B. der--Abstand, der -Pille: von der- nächsten Stelle, auf rdie. -das Metall niedergeschlagen wird,. A Einheiten rund- der Abstand -der Pille von der eiweitesten Stelle, -auf die das Metall niedergeschlagen wird, ioA Einheitern beträgt, dann ist die Dicker der niedergeschlagenen Schicht an der nächsten Stelle i-oomal @so groß wie rdie Dicke an der weitesten Stelle.
• Um diesen Nachteil zu vermeiden, schlägt die vorliegende Erfindung reinen perforierten Bauteil 6 vor, der vor der Pille 2 rauf der Odem Schirm q. gegenüberliegenden Seite der Wendel angebracht- ist. Dieser perforierte Bauteil, der aus Maschen: -oder einem Gitter von Drahtoder Fasern besteht, ist so angebracht, daß bei Verdampfung der Metall.-Pille 2 mittels :eirares durch die Wendel 3 fließenden Stroms in der Richtung, wo der Abstand der Schicht zur Pille .am kleinsten ist, nur ein Bruchteil des verdampften Metalls den Kolben i erreicht, während in der Richtung,, wo der Belag am weitesten von der Pille entfernt ist, die gesamte verdampfte Metallmenge den Kolben i erreicht.
• Es zeigte sich, daßdurch Verwendung eines gleichmäßigen Maschendrahtes, der an der in der Zeichnung,dargestellten Stelle angebracht war, reine einheitliche Schicht .erzielt werden. konnte. Wenn es jedoch erwünscht ist, daß die Dicke der Metallschicht noch einheitlicher wird, so kann die Größe der öifnungen in. den Maschen oder die Zwischenräume :der Gitterdrähte und/oder der Drrahtdurchmesser in; solcher Weise abgestuft werden, daß das Verhältnis von Öffnung zu Drahtdurchmesser oder Zwischenraum zu Drahtdurchmesser dort ,am kleinsten ist; wo rdie Maschen roder das Gitter zur stärkstem, Verringerung rdes Niederschlagsdiener; dies ist rder Teil der Maschen oder des Gitters, der in der direkten Verbindung von der Quelle zu dem ihr am -nächsten befindlichen Teil des Kolbens i; auf deal: rder Belag niedergeschlagen wird, angebracht ist. Das angegebene Verhältnis ruß- dort-am größtem; sein, wo,die Maschlen .oder Idas Gitter däzuverwandt werden, den Niederschlag am wenigsten zu verringern; dies ist der Teil: ,der Maschen oder des Gitters, rdie in der rdirekten Verbindung von der Quelle zudem Teil des Kolbens z angebracht sind, auf den der Belag niedergeschlagen Wird, welcher die Grenze bildet, bis zu der der Nederschlagdurch die Maschen oder Idas Gitter verringert werden ruß. Es ist selbstverständlich; da,ß @erfindungsgemäß verschiedene Substanzen, d. h. Metalle, Nichtmetalle und chemische Verbindungen, verdampft werden können. Beispiele für Nichtmetalle sind die Elemente Jod, Selen, Phosphor und Schwefel, und Beispiele für chemische Verbindungen sind Natriumchlorid; Kryolith und Quarz.

Claims (7)

1. PATENTANSPRÜCHE: z. Verfahren zur Bedampfung von Oberflächen .in einer evakuierten Röhre, dadurch gekennzeichnet, ldaß zur Herstellung eines Belages die Verdampfung reiner Substanz von reiner Quelle laus durch Öffnungen in einem perforierten. Bauteil auf einen Träger erfolgt, wobei der perforierte Bauteil so angebracht ist, daß, er die Bildung einer Schicht .ermöglicht, die von einheitlicherer .Dicke ist, als bei Wegfall des perforierten Bauteils.
2. 2. Elektrone.nentladungsröhre mit photoempfindlicher Oberfläche, die nach dem Verfahren gemäß Anspruch i hergestellt ist, dadurch gekennzeichnet, daß der perforierte Bauteil z`vischen denn Träger -und der Quelle angebracht ist, von der aus die Photoschicht aufgedampft wird, rund zwar in solcher Lage, daß !er die photoempfindliche Schicht nicht wesentlich gegen das einfallende Arbeitslicht abschirmt.
3. 3. Elektronenentladungsröhre nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der perforierte Bauteil ,aus einem Gitter oder aus Maschen von Draht oder Fasern besteht.
4. Elektronenentladungsröhre nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Gitter oder die Maschen mit Zwischenräumen oder Üffnungen undjoder Drähtdurchmess,ern von abgestufter Größe versehen sind.
5. 5. Verfahren nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Quelle unsymmetrisch in bezog ,auf den Träger ,angebracht ist.
6. 6. Elektronenentladungsröhre nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, d@aß die photoempfindliche Oberfläche mindestens teilweise auf einen Teil einer zylindrischen Oberfläche niedergeschlagen ist und die Quelle in der Nähe des einen Endes der zylindrisch ien Oberfläche angebracht ist.
7. 7. Elektronenentladungsröhre nach Anspruch i oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Quelle paus einer Pille der Substanz besteht, die verdampft werden soll und die Kontakt mit einem Heizdraht hat.