DE2063578A1

DE2063578A1 - Verfahren zum Herstellen einer Maskenelektrode für eine Farbfernsehbildrohre mit verengten, vorlaufigen Offnungen

Info

Publication number: DE2063578A1
Application number: DE19702063578
Authority: DE
Inventors: Nathan Kendall Park N.J. Feldstein (V.St.A.)
Original assignee: RCA Corp
Current assignee: RCA Corp
Priority date: 1969-12-30
Filing date: 1970-12-23
Publication date: 1971-07-15
Also published as: CA942598A; NL7018948A; JPS502355B1; GB1332000A; US3661581A; FR2074381A5

Description

7119-70/Dr.v,B/Ro.
lRCA 61 j,636
^!US-Ser.No. 889,238
^! Piled: December J>0, I969

RCA Corporation, New York, N.Y. (V.St.A.)

Verfahren zum Herstellen einer Maskenelektrode für eine Farbfernsehbildröhre mit verengten, vorläufigen Öffnungen,

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Maskenelektrode für eine Farbfernsehbildröhre, die ein dünnes Metallblech mit einem Muster aus endgültigen Öffnungen enthält, welche zum Kopieren von Leuchtstoffbereichen eines Leuohtschirmes der Röhre jeweils durch ein opakes Material zu kleineren vorläufigen Öffnungen verengt sind.

Die derzeit gebräuchlichen Farbfernsehbildröhren enthalten einen Leuchtschirm mit einer Vielzahl von Gruppen aus elementaren Leuchtstoffbereichen, die bei Anregung durch einen Elektronenstrahl Licht verschiedener Farbe- emittieren. Zwischen dem Leuchtschirm der Bildröhre und ihrer Elektronenquelle ist eine Farbwahlf Maskenelektrode angeordnet, die fokussierend oder nichtfokussie-. rend sein kann.

Bei einem bekannten kommerziellen Verfahren zum Herstellen des Leuchtschirms einer solchen Färbfernsehbildröhre werden die verschiedenen Leuchtstoffbereiche unter Verwendung der Maskenelektrode mit den endgültigen Öffnungen als Kopiermaske durch photοgraphisches Kopieren hergestellt. Die Maskenelektrode wird dann mit den gleichen unveränderten öffnungen in der fertigen Bildröhre für die Farbwahl verwendet. Öffnungen, die mit unver- j änderter Größe sowohl zum Kopieren des Leuchtschirras als auch ' zur Farbwahl dienen, sollen hier als "bifunktionelle Öffnungen" ^; bezeichnet werden. ,

Bei Röhren, die Masken mit bifunktionellen Öffnungen enthal-j ten, 1st die Größe (z.B. Breite oder Durchmesser) des Leuchtstoff*·

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bereiches, der 25.B. die Form eines Streifens oder eines mehr oder weniger runden Fleckes haben kann, gewöhnlich größer als die des Auftreffbereiches des Elektronenstrahls da der Strahl gewöhnlich durch ein fokussierend wirkendes Feld zwischen der Maske und dem Leuchtschirm zusammengedrückt wird. Auch der Lichtfleck auf dem Leuchtschirm, der beim Kopieren den Leuchtstoffniederschlag erzeugt, ist größer als die Maskenöffnung, durch die das Licht fällt. Die Größe des Leuchtstoffniederschlages nimmt insbesondere mit der Belichtungszeit zu.

! Um die Lichtstärke und den Wirkungsgrad der Farbfernsehbildj röhre zu erhöhen, soll jeder elementare Leuchtstoffbereich ganz j vom Elektronenstrahl getroffen werden. Die Größe des Strahlauftreffbereiches soll also gleich der Größe des zugehörigen elementaren Leuchtstoffbereiches oder größer als dieser sein. Um dies zu erreichen, sollen die öffnungen der Maske während des Kopierens des Leuchtsehirmes kleiner sein als im Betrieb der Röhre.

Der vorliegenden Erfindung liegt dementsprechend die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Herstellen einer Maskenelektrode mit vorläufigen, verengten Öffnungen anzugeben, das mit wenig Ver- _f fahrensschritten auskommt und trotzdem sehr exakte öffnungen liefert.

Gemäß der Erfindung ist ein Verfahren zum Herstellen einer Maskenelektrode für eine Farbfernsehbildröhre, die ein dünnes Metallblech mit einem Muster aus endgültigen öffnungen enthält, welche zum Kopieren von Leuchtstoffbereichen eines Leuchtschirms der Röhre jeweils durch ein opakes Material zu kleineren vorläufigen öffnungen verengt sind, dadurch gekennzeichnet, daß die endgültigen öffnungen des Metallbleches mit einem Material zur _; katalytisehen Einleitung eines stromlosen Metallniederschlages · teilweise verschlossen oder verengt werden und daß auf diesem Katalysator-Material, mit. oder ohne Stromeinwirkung, ein Metall ; niedergeschlagen wird, das die endgültigen öffnungen verengt und die vorläufigen kleineren öffnungen bildet.

Zur Herstellung der endgültigen öffnungen des Metallbleches wird vorzugsweise mindestens eine Oberfläche des Bleches mit einer Ätzsohutzaohioht überzogen und in dieser wird ein Muster von öff- ;

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inungen erzeugt, durch die die Oberfläche des Metallbleches freigelegt wird. Die durch die Öffnungen des Musters freigelegten Teile des Metallbleches werden dann weggeätzt wobei man das Muster aus den endgültigen Öffnungen, die das Metallblech durchsetzen, enthält. Das Ätzen wird solange fortgesetzt, bis das Metall unterhalb der Ätzschutzschicht und angrenzend an den Rand ihrer Öffnungen entfernt ist, so daß die auf diese Weise gebildeten endgültigen Öffnungen jeweils teilweise durch die Ätzschutzschicht geschlossen bzw. verengt werden.

Bei einer Ausführungsform der Erfindung wird die Oberfläche des Metallblechs mit einer Schicht aus dem Katalysator-Material überzogen und die Ätzschutzschicht wird dann auf diese Katalysatorschicht aufgebracht, die dann an der Ätzschutzschicht haftet und freigelegt wird, wenn das Metall unterhalb der Ätzschutzschicht entfernt wird.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert, es zeigen:

Fig. 1 eine teilweise geschnittene Seitenansicht einer Lochmasken-Farbfernsehbildröhre mit einem Leuchtschirm, der unter Verwendung einer naeh dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Maskenelektrode mit vorläufigen Öffnungen gebildet wurde, und mit einer Maskenelektrode, die aus der Maske mit den vorläufigen Öffnungen hergestellt wurde;

Fig. 2 bis 5 schematische Sohnittansichten eines Teiles eines Werkstückes zur Erläuterung verschiedener Verfahrensschritte bei der Herstellung einer vorläufigen Maskenelektrode zum Belichten und Kopieren des LeuchtSchirms der in Fig. 1 dargestellten Bildröhre;

Fig. 6 eine Querschnittsansicht eines Teiles einer Maskenelektrode, die gemäß dem anhand der Fig. 2 bis 5 erläuterten Ausführungsbeispiel des Verfahrens gemäß der Erfindung herge- \

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stellt wurde; . ;

Fig. 7 eine Schnittansicht eines Teiles einer Maskenelektro-; de mit vorläufigen, verengten Öffnungen, die gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel des Verfahrens gemäß der Erfindung hergestellt wurde; und ---- - ^r

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Fig, 8 eine perspektivische Ansicht eines Teiles der Bildschirmanordnung einer Farbfernsehbildröhre mit der vorläufigen Maskenelektrode gemäß Fig. 6.

Die in Fig. 1 dargestellte Farbfernsehbildröhre 10 enthält einen Glaskolben 12 mit einem Trichterteil 14 und einem Vorderteil 16 mit einer transparenten Frontplatte 18. Auf der Innenseite 22 der Frontplatte 18 ist eine Vielzahl von elementaren Leuchtstoffbereichen 20 niedergeschlagen, welche Gruppen von Leuchtstoffen enthalten, die bei Anregung durch einen Elektronenstrahl 21 Licht verschiedener Farbe emittieren. Die Frontplatte 18 und die Leuchtstoffniederschläge 20 werden im folgenden zusammen als Bildschirm 24 bezeichnet. Die Leuchtstoffniederschläge 20 sind zur Verdeutlichung der Darstellung übertrieben groß und beispielsweise kreis- oder fleckförmig dargestellt» Die Erfindung läßt sich jedoch auch auf Leuchtschirme mit Leuchtstof fbereichen anderer Form, z.B. Leuchtschirme mit abwechselnden Streifen aus verschiedenen Leuchtstoffen, die einen Linienrasterschirm bilden, und die entsprechenden Maskenelektroden anwenden. Die Bildröhre 10 enthält ferner eine Anzahl von Strahlerzeugungssystemen und elektrostatische oder magnetische Ablenk- und Konvergenzeinrichtungen, die jedoch nicht dargestellt sind.

In gleichmäßigem Abstand vom Bildschirm 24 ist in der Röhre eine Farbwahlblende oder Maske 50 angeordnet, die in einem Rahmen 32gehaltert ist. Die Maske 30 ist aus einem Blech oder Band aus leitendem Werkstoff hergestellt und weist eine Vielzahl von "endgültigen" öffnungen 34 einer vorgegebenen endgültigen Größe auf.

Die Öffnungen 34 sind in Fig. 1 zylindrisch dargestellt, sie können jedoch auch andere Formen haben. Anstatt einer Lochmaske kann, wie oben bereits erwähnt wurde, auch eine Gittermaske verwendet werden. Die öffnungen 34 sind bezüglich Größe und Lage entsprechenden Leuchtstoffniederschlagen 20 auf dem j Bildschirm 24 so zugeordnet, daß sie einen Elektronenstrahl 21 j durchlassen, dessen Auftreffbereich auf dem Bildschirm 24 mindestens gleich groß oder vorzugsweise größer als der zugehörige Leuchtstoffniederschlag 20 1st.

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! Die Größe des Auftreff-Flecks des Elektronenstrahls soll zwar vorzugsweise gleich oder größer als die Größe des zugehörigen Leuchtstoff niederschlages sein, jedoch nicht so groß, daß , ι andere als der zugehörige Leuchtstoffniederschlag getroffen weriden. Um dies zu erreichen, müssen die öffnungen 34 der Maske 30 im Querschnitt oder der Breite wesentlich größer sein als die jeweils zugehörigen Leuchtstoffniederschlage. Um dies zu gewährleisten, müssen die öffnungen 34 der Maske wesentlich größer

! ί

oder breiter sein als die verschiedenen entsprechenden Leuchtstoff niederschlage, falls daß der Strahlauftreff-Fleck eine klei-: , ; nere Breite als der entsprechende Leuchtstoffniederschlag oder ; ™ ■ eine größere Breite als der entsprechende Leuchtstoffnieder- ■ schlag hat. j

Beim Betrieb der Bildröhre fallen die Elektronenstrahlen j 21 durch die Öffnungen 34 auf die Leuchtstoffniederschläge 20. Da der entstehende Elektronenstrahl-Auftreffbereich eine größere Breite hat und praktisch die ganze Fläche des zugehörigen Leuchtstoffniederschlages· bedeckt, zeichnet sich die Bildröhre 10 ₍ durch eine besonders hohe Helligkeit und einen besonders guten ; Kontrast aus.

Gemäß einem Ausführungsbeispiel des vorliegenden Verfahrens, daä anhand der Fig. 2 erläutert werden soll, wird auf die eine Seite 40 eines dünnen Metallblechs 42 eine Katalysatorschicht 46 aufgebracht. Das Metallblech kann aus kalt gewalztem Stahl bestehen.

Die Katalysatorschicht 46 besteht aus einem Material, das in der Lage 1st, den stromlosen Niederschlag eines geeigneten Metalls, auf das noch eingegangen wird, einzuleiten. Die Schicht

j 46 zur katalytischen Einleitung des Niederschlages kann z.B. aus Palladium, Kupfer, Nickel, Kobalt oder Chrom bestehen. Z.B. kann

' eine Katalysatorschicht aus Palladium dadurch gebildet werden, daß man die Seite 40 des Metallblechs 42 zuerst mit einer sauren Stannochloridlösung und erst dann mit einer sauren Palladiumchloridlösung behandelt. Vermutlich laufen dabei in der Hauptsache die folgenden Reaktionen abs

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SnCl₂-(HCl) + Ob Sn + ² +Pd⁺²

Ob · SnCl₀ (absorbiert)

Pd° +. Sn

+4

Ob · SnCl₂ +PdCl₂

(HCl)

->■ Ob · Pd + Sn

dabei bedeutet "Ob" die Substratoberfläche, also z.B. die Seite 40 des Metallblechs 42, auf das die Schicht 46 aufzubrigen ist. Wenn das Substrat aus Eisen besteht, wie es bei Maskenelektroden von Farbfernsehbildröhren normalerweise der Fall ist, kann die katalytische Schicht aus Palladium durch ein einstufiges Verfahren hergestellt werden, indem man die Oberfläche des Substrats mit einer sauren Palladiumchloridlösung behandelt. Dieses einstufige Verfahren ist wegen der relativen Lage von Eisen und Palladium in der Spannungsreihe möglich. Es läuft dabei die folgende Reaktion ab:

Fe + Pd

+2

Fe⁺² + Pd

Durch diese Behandlung erhält man eine katalytische Schicht 46 mit einer im wesentlichen gleichförmigen Verteilung auf der Seite 40 des Metallblechs 42.

Wie Fig. 3 zeigt, besteht der nächste Verfahrensschritt darin, auf der Katalysatorschicht 46 ein erstes durchbrochenes Muster 48 aus einem ätzmittelbeständigen Material zu bilden. Die Durchbrechungen 50 des Musters 48 haben aus weiter unten erläuterten Gründen vorzugsweise die gleiche Größe wie die lichtdurchlässigen öffnungen 64 (Fig. 6) die beim Belichten und Kopieren des Leuchtschirms verwendet werden. Zur Bildung des Musters 48 kann man z.B. auf die Katalysatorschicht 40 eine j Sohicht aus einem ätzmittelbeständigen photoempfindlichen Ma- ! terial aufbringen, wie bichromatisiertem Fischleim, Shipley-Ätzlack oder biohromatisiertem Polyvinylalkohol, die photoempflndliche Ätzschutzschicht durch eine nicht dargestellte Beliohtungsmaske belichten und dann die löslichen Teile der Schicht mit einem geeigneten Lösungsmittel wegwaschen. Verfahren dieser Art sind bekannt. Die auf dem Substrat verbleibenden Teile der Ätzsohutzschicht bilden das durchbrochene Muster 48. Bei der Bildung der Durchbrechungen 50 in der Ätzschutzschicht durch

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Entfernen (z.B. Auswaschen) bestimmter Bereiche dieser Schicht bleiben diejenigen Teile der Katalysatorschicht 46, die durch das durchbrochene Muster 48 abgedeckt sind, auf der Seite 40 des j jMetallbleches, sie werden also nicht weggewaschen oder anderweitig entfernt. Diejenigen Teile der Katalysatorschicht 46, die sich (unterhalb den entfernten Teilen der Ätzschutzschicht befinden, können entfernt werden oder nicht; bei dem bevorzugten Ausfüh-.rungsbeispiel des vorliegenden Verfahrens ist es nicht erforderlich, daß diese Teile der Katalysatorschicht auf dem Metallblech 142 verbleiben. Durch die Durchbrechungen 40 des durchbrochenen Musters 48 werden Teile des Metallblechs 42 freigelegt.

Auf der anderen .Seite 44 des Metallblechs 42 wird ein zweite [durchbrochenes Muster 52 aus einem ätzmittelbeständigen Material ■gebildet. Dieses zweite Muster 52 ist fakultativ und kann in der gleichen Weise hergestellt werden, wie das durchbrochene Muster ;48. Das zweite Muster 52 hat Öffnungen 54* die sich im wesentlichen mit den Öffnungen 50 des ersten Musters 48 decken, vorzugsweise jedoch größer als die des ersten Musters 48 sind. Es ist jedoch nicht notwendig, daß die Durchbrechungen 54 des zweiten Musters größer als diedes ersten Musters sind; die Durchbrechungen der beiden Muster können vielmehr auch die gleiche Größe haben oder die Durchbrechungen 50 des ersten Musters 48 können die größeren sein,

Beim nächsten Verfahrensschritt (Pig, 4) werden diejenigen Teile des Metallbleohs 42, die Im wesentlichen im Bereich zwischen den Durchbrechungen 50 und 54 der Muster 48 bzw, 52 liegen, durch Ätzen, z»B. mit PerrlChlorid, entfernt, Das Ätzen kann von einer oder beiden Seiten durch die Öffnungen 50 und/oder 54 erfolgen und man erhält Öffnungen 56, die sich durch das Metallblech 42 erstrecken und im wesentlichen mit den Durchbrechungen 50 und 54 fluchten. Di«! Öffnungen 56 haben die endgültige Größe (z.B. 0,55 mm oder 14 mils) wie sie für die Lochmaske der Farbfernsehbildröhre benötigt werden. Bei der dargestellten Ausführungsform haben die Öffnungen 56 die Form zweier Kegelstümpfe', selbstverständlich sind auch andere Formen möglich, Die Erfindung läßt sich selbstverständlich auch auf Bildröhren anwenden, deren

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Masken keine kreisförmigen Öffnungen sondern Öffnungen anderer Form, z.B. Schlitzform aufweisen. Beim Ätzen verbleiben Teile der Katalysatorschicht 46 auf Randbereichen 60 des Ätzschutzschichtmusters 48 die in die Öffnungen 56 hineinreichen und diese zum Teil schließen oder verengen; diese Teile 58 der Kataly- ; satorschicht 46 haben die gleiche Größe wie die Randbereiche j und sind durch die einen oder beide Durchbrechungen 5° und 54 zugänglich. Die durch die Durchbrechungen 50 freigelegten und von der Schicht 48 nicht abgedeckten Teile der auf dem Metallblech 42 befindlichen Katalysatorschicht werden durch das Ätzen entfernt. Die Mindestgröße der Öffnungen 56 ist vorzugsweise erheblich größer als die Größe der größeren der beiden Durchbrechungen 50 und 54. Vermutlich bleiben die Teile 58 der niedergeschlagenen Katalysatorschicht 46 infolge von Absorptionseffekten auf den Randbereichen 60 des Ätzschutzschichtmusters 48 erhalten. Beim nächsten Verfahrensschritt, der in Fig. 5 darge- j stellt ist, werden opake Niederschläge 62 aus einem geeigneten ' Metall auf den freiliegenden Teilen 58 der Katalysatorschicht 46 j niedergeschlagen. Dies erfolgt vorzugsweise durch stromloses ^! Niederschlagen des Metalls. Das stromlose Niederschlagen wird durch die Sehichttelle 58 katalytisch eingeleitet. Die resultierenden opaken Niederschläge 62 erstrecken sich ebenfalls teilweise Über die Öffnungen und verschließen diese teilweise. Sie begrenzen mit den Durchbrechungen 50 die Größe von Öffnungen im Blech 42. Die resultierende Anordnung ist eine vorläufige Maske 70 mit Öffnungen 64, deren Abmessungen für das photographische Kopieren der Leuchtstoffbereiche auf dem Bildschirm 24 (Fig. 1) geeignet sind. Für Leuchtstoff-Flecke 20 mit einem j Durchmesser von etwa 350 /um sollen die Öffnungen 64 einen ί Durchmesser von etwa j500 ,um haben.

Die Größe der Durchbrechungen 50 des ersten Musters 48 kann -durch das photographische Verfahren bei der Herstellung dieses I Musters genau gesteuert werden. Da die opaken Niederschläge 62 :die gleichen Abmessungen wie die Bereiche 60 des Musters haben, ist die Größe der lichtdurchlässigen Öffnungen 64 mit der gleichen Genauigkeit bestimmt wie die der Durchbrechungen 50.

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Auf den Teilen 58 des Musters 48 lassen sich verschiedene Metalle stromlos niederschlagen, z.B. Phosphor-Nickel-Legierungen, Kupfer, Kobalt, Nickel und Legierungen dieser Metalle. Vorzugsweise wird eine Bor-Nickel-Legierung verwendet, in erster Linie weil zum Niederschlagen einer solchen Legierung eine besonders niedrige Aktivierungsenergie erforderlich ist.

Substanzen zum stromlosen Plattieren sind bekannt. Zum stromlosen Niederschlagen einer Bor-Nickel-Legierung kann z.B. ein wässeriges Plattierbad folgender Zusammensetzung verwendet werden:

NiSO

· 6H₂O - 25 g/Liter

· 10H₂O - 50 g/Liter NHBH₃ - 1,5 g/Liter

NH^OH (58$) - 20 era

Die opaken Niederschläge (z.B. 62) können auch mit einem nichtmetallischen Material hergestellt werden, das sich auf der Katalysatorschicht stromlos niederschlagen läßt. Das stromlos niedergeschlagene Material kann auch nichtopak sein, wenn es sich in einen opaken Zustand umwandeln läßt.

Erforderlichenfalls können die opaken Niederschläge 62 soweit verdickt werden, daß sie selbsttragend sind, wenn das durchbrochene Muster 48 entfernt wird. Solch ein selbsttragender opaker Niederschlag ist in Fig. 6 mit 62a bezeichnet. Bei diesen Ausführungsbeispiel der Erfindung wird der dicke opake Niederschlag 62 dadurch hergestellt, daß man das stromlose Plattieren solange fortsetzt, bis der Niederschlag die gewünschte Dicke (z.B. etwa 12 Mm) erreicht hat.

Bei einem anderen Ausführungsbeispiel, das in Fig. 7 dargestellt ist, werden die opaken Niederschläge 62 der vorläufigen Maske dadurch verdickt, daß ein geeignetes Material auf ihnen durch Stromeinwirkung, z.B. durch Elektroplattieren, niedergeschlagen wird. Das Elektroplattieren liefert zufriedenstellende Ergebnisse, es wird jedoch auch Material auf den Wänden der öffnungen 56 niedergeschlagen, wie es in Fig. 7 dargestellt 1st. Die Dicke des auf den Wänden niedergeschlagenen

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Materials ist geringer als die Dicke des verdickten opaken Niederschlages 62a, der die Belichtungsöffnung begrenzt.

Die durchbrochenen Ätzschutzschichtmuster 48 und 52 werden vorzugsweise vor dem photographischen Herstellen des Bildschirms entfernt. Man kann sie jedoch auch während des Kopierens des Bildschirms auf der vorläufigen Maske 70 lassen, wenn die vorläufige Maske nicht getempert oder geglüht wird. Wenn die Ätzschutzschichten auf der vorläufigen Maske 70 belassen werden, wirkt das durchbrochene Muster 48, das die Teile 58 der Katalysatorschicht 46 trägt, als Unterstützung für die opaken Niederschläge 62, so daß es nicht so nötig ist, die- Dicke der Niederschläge zu erhöhen.

Nach Abschluß des Verfahrens sind die ätzmittelbeständigen Niederschläge 48 und 52 entfernt, wie es in Fig. 6 dargestellt ist. Eine Fischleim-Ätzschutzschicht kann z.B. durch Behandlung mit Natronlauge entfernt werden. Es sind auch andere Mittel zur Entfernung von Ätzschutzschichten bekannt. In den öffnungen 56 des Metallbleches 42 der vorläufigen Maske 70 verbleiben die ver-; dickten metallischen Niederschläge 62a, die den Querschnitt der öffnungen vorläufig verringern. Die öffnungen 64, die durch die Metallniederschläge 62a begrenzt werden, haben im wesentlichen die für das Belichten.und Kopieren des Bildschirms erforderliche Größe. Die vorläufige Maske 70 kann dann in die gewünschte Form gebracht und getempert oder geglüht werden.

Bei der folgenden Herstellung des Leuchtschirmes wird die vorläufige Maske 70 in einem vorgegebenen Abstand von einem geeigneten transparenten Substrat 80, z.B. der Frontplatte einer ; Bildröhre, angeordnet, wie es in Fig. 8 dargestellt ist und als i Belichtungsschablone für das Aufkopieren der verschiedenen ele- j mentaren Leuchtstoffbereiche 82, 84 und 86 der jeweiligen Leucht-· Stoffgruppen (rot, blau und grün) auf dem Substrat 80 verwendet, wie es z.B. in der US-PS 3> 4o6 068 beschrieben ist.

Naoh Fertigstellung des Leuchtschirms werden die opaken Niederschläge 62, die die zur Belichtung erforderlichen Verengungen gebildet hatten, von der vorläufigen Maske 70 durch eine elektrochemische Behandlung oder durch chemisches Ätzen

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u.a.m. entfernt. Durch die Entfernung der opaken Niederschläge 62a wird die ursprüngliche, endgültige Größe der öffnungen 56 wieder hergestellt und die resultierende Maske kann nun als Parbwahlelektrode, z.B. als Lochmaske 30 (Pig· l) einer zugehörigen Parbfernsehbildröhre verwendet werden. Die Maeke und J der mit ihr hergestellte Leuchtschirm werden schließlich in eine eine Parbfernsehbildröhre (Pig. l) eingebaut.

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Claims

- 12 Patentansprüche

Verfahren zum Herstellen einer Maskenelektrode für eine farbfernsehbildröhre, die ein dünnes Metallblech mit einem Muster aus endgültigen Öffnungen enthält, welche zum Kopieren von Leuchtstoffbereichen eines Leuchtschirms der Röhre jeweils durch ein opakes Material teilweise verschlossen und zu kleineren vorläufigen Öffnungen verengt sind, dadurch gekennzeichnet, daß die endgültigen Öffnungen (56) des Metallblechs (42) mit einem Material (46) zur katalytischen Einleitung eines stromlosen Metallniederschlages teilweise verschlossen werden und daß auf diesem Katalysator-Material (46) ein Metall (62) niedergeschlagen wird, das die endgültigen Öffnungen verengt und die vorläufigen kleineren Öffnungen bildet.

2.) Verfahren nach Anspruch 1 bei welchem die das Metallblech durchsetzenden endgültigen Öffnungen dadurch gebildet werden, daß man mindestens eine Seite des Metallbleches mit einer Ätzschutzschicht überzieht, in der Ätzschutzschicht ein Muster von Durchbrechungen bildet, in denen die Oberfläche des Metallbleches freiliegt, worauf die durch die Öffnungen freigelegten Teile des Metallbleches zur Bildung der permanenten Öffnungen weggeätzt werden und das Ätzen solange fortgesetzt wird, bis auch die an den Rand der Durchbrechungen in der Ätzschutzschicht angrenzenden Teile des Metalles entfernt sind und die Ätzschutzschicht in die auf diese Weise gebildeten endgültigen Öffnungen hineinragt und sie teilweise schließt, dadurch gekennzeichnet, daß ."-.- die Oberfläche des Metallbleches (42) vor dem Aufbringen der Ätzschutzschicht (48) mit einer Schicht (46) aus dem Katalysator-Material überzogen wird das an der anjschließend aufgebrachten·Ätzschutzschicht haftet und zum Teil !freigelegt wird,wo das Metall unterhalb der Ätzschutzschicht weggeätzt wird.

Ϊ5.) Verfahren nach Anspruch 1 oder 2 bei welchem das Metallblech aus kalt gewalztem Stahl besteht, dadurch gekennzeichnet, daß das Katalysatormaterial aus Palladium, Kupfer, Nickel, Kobalt, Chrom oder deren Legierungen besteht.

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4.) Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß als fitzschutzschicht ein photoempfind- ; liches Material, insbesondere ein Photolack verwendet wird, I und daß die Durchbrechungen photographisch gebildet werden.

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