DE2853295A1 - Verfahren zur herstellung einer pyroelektrischen werkstoff aufweisenden kathode mit einer fadennetzschicht fuer ein vidikon - Google Patents
Verfahren zur herstellung einer pyroelektrischen werkstoff aufweisenden kathode mit einer fadennetzschicht fuer ein vidikonInfo
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Description
Verfahren zur Herstellung einer pyroelektrischen Werkstoff aufweisenden Katode mit einer Fadennetzschicht für ein
Vidikon
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung einer pyroelektrischen Werkstoff aufweisenden Katode mit
einer Fadennetzschicht für ein Vidikon.
Ein Verfahren zur Herstellung einer pyroelektrischen Werkstoff aufweisenden Katode mit einer Fadennetzschicht ist aus der
Literaturstelle "Research and Development" August 1975 in dem Artikel "Advances in Low ... - Ion Beam Technology"
by W. Rasnovsky bekanntgeworden.
Die Erfindung geht von diesem Stand der Technik aus. Ihr liegt die Aufgabe zugrunde, ein verbessertes Herstellungsverfahren
zur Bildung eines Fadennetzes auf einer Schicht aus pyrolytischem Werkstoff für eine Katode für ein Vidikon
anzugeben, das eine erhöhte Auflösung und eine höhere Bildgüte aufweisen sollte.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird bei dem Herstellungsverfahren der eingangs genannten Art nach der Erfindung zunächst eine
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Schicht aus pyroelektrischem Werkstoff auf einem einen
Träger "bildenden Substrat angeordnet, danach die Schicht auf etwa 20 /um verkleinert, wobei die Katode mit
einer Fadennetz schicht überzogen wird, danach wird eine
für Elektronen durchlässige und die Fadennetzschicht tragende Schicht gebildet, wonach diese Schicht mit der
Fadennetzschicht von dem Substrat bzw. dem Träger getrennt wird und zur weiteren Herstellung fertig ist.
Die Erfindung gibt ein Verfahren an, daß eine Erhöhung der Ausbeute von Katoden bedeutet, die sich für die Verwendung
in den oben genannten Vldikons sehr gut eignet.
In weiterer Ausgestaltung kann nach der Erfindung,um den
elektrischen Kontakt mit der Fadennetzschicht zu verbessern, die behandelte Oberfläche mit einer äußerst dünnen Antimonschicht
bedeckt werden, die für eine Infrarotstrahlung durchlässig ist.
Weiterhin kann die Polymerschicht, die die Fadennetzschicht trägt und in der späteren Anordnung in der Vidikonrohre
dem Elektronenstrahl zugewandt ist, mit einer dünnen Siliziumschicht
(SiO , 1<. χ ■£ 2) beschichtet sein, die etwas leitfähig
ist und zu große Aufladungen ableitet.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben.
Es zeigen
Fig. 1 ein Flußdiagramm mit der Darstellung von Herstellungsstufen zur Herstellung einer Katode,
Fig. 2 ein Flußdiagramm mit der Darstellung von gegenüber nach Fig. 1 abgewandelten Herstellungsstufen zur Herstellung
einer Katode,
Fig. 3 ein Flußdiagramm mit der Darstellung von Herstellungsstufen zur Herstellung einer Katode aus pyrolytischein
Werkstoff.
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Wie in den Fig. 1 und 2 gezeigt, wird zunächst nach der
Erfindung eine Schicht aus pyroelektrischem Werkstoff,
z.B. Triglyzinsulfat, Triglyzinfluoroberyllat oder
denteriertes Triglyzinfluoroberyllat, auf einem Substrat aus Glas über eine Schicht von geschmolzenen und dann erstarrtem
Wachs 3 befestigt. Daraufhin wird die Schicht Ί
aus dem pyroelektrischen Werkstoff in der Stärke auf etwa 20 /um durch Ätzen, auf chemischem Wege oder mit Hilfe
eines Plasmas, verkleinert.
Nach diesem Arbeitsgang wird eine (nicht gezeigte) Maske auf der freien Oberfläche der Schicht 1 aus dem pyr elektrischen
Werkstoff angeordnet und das Ätzen zur Bildung von Inseln wird fortgesetzt. Daraufhin wird die Maske entfernt und
eine Schicht 5 eines Polymer, z.B. Polyvinylchlorid, wird auf der Fadennetzschicht 4 gebildet, und zwar mit
einer ausreichenden Stärke, um die Fadennetzschicht 4 zu tragen, aber dünn genug, um die Elektronen hindurchzulassen.
Daraufhin wird die Fadennetzschicht 4 von dem Substrat 2 getrennt und ist für die weitere Herstellung fertig.
Wie in Fig. 1 gezeigt, wird eine dünne Schicht 6 aus Antimon auf der freien Oberfläche der Fadennetzschicht 4 abgelagert,
um einen elektrischen Kontakt mit der Schicht 4" nach dem Einbau in
die Röhre 7 zu schaffen. Weiterhin muß die Schicht 6 aus Antimon dünn genug ausgebildet werden, um eine Infrarotstrahlung
hindurchzulassen.
Eine Schicht aus Siliziumoxid (SiOx; 1 ^. χ ^2) wird dann auf
der Polymerschicht 5 angeordnet, die dann fertig zur Montage in die Röhre 7 ist.
Bei der abgewandelten Herstellung nach Fig. 2 wird der pyroelektrische
Werkstoff durch Katodenzerstäubung entfernt.
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In diesem Fall wird die zu behandelnde Oberfläche des pyroelektrischen
Werkstoffes mit einer Polymerschicht 8 bedeckt und zur Weiterbehandlung in die Röhre 7 montiert, wobei
die durch Katodenzerstäubung behandelte Oberfläche dem Elektronenstrahl zugewandt ist.
Fig. 3 zeigt ein Herstellungsverfahren, wie in "Advances in Low ... - Ion Beam Technology" by W. Rasnovsky, veröffentlicht
in "Research an Development" August 1975» beschrieben.
Das Verfahren nach der Erfindung vergrößert den Vorteil der höheren Katodenausbeute.
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Leerseite
Claims (6)
- N. V. Philips 'Gloeilampenfp.orie/ten, JÜindhoven/Holland PATENTANSPRÜCHE; 2853295Q. Verfahren zur Herstellung einer pyroelektrisehen Werkstoff aufweisenden Katode mit einer Fadennetzschicht für ein Vidikon, dadurch gekennzeichnet, daß zunächst eine Schicht (1) aus pyroelektrischem Werkstoff auf einem einen Träger bildenden Substrat (2) angeordnet wird, danach die Schicht (1) auf etwa 20 /um verkleinert wird, wobei die Katode mit einer Fadennetzschicht (4) überzogen wird, danach eine für Elektronen durchlässige und die Fadennetzschicht (4) tragende Schicht (5) gebildet wird, wonach diese Schicht (5) mit der Fadennetzschicht (4) von dem Substrat (2) bzw. dem Träger getrennt wird.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht (5) mit Siliziumoxid bedeckt wird.
- 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Fadennetzschicht (4) mit einer Schicht (6) aus Antimon bedeckt wird.
- 4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Fadennetzschicht (4) mit einer Schicht (5) bedeckt ist, deren Stärke gleich der der für Elektronen durchlässigen Schicht ist.
- 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht (1) zunächst mit dem Substrat (2) verbunden und danach mindestens zum Teil durch Katodenzerstäubung entfernt wird.
- 6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der pyroelektrische Werkstoff Triglyzinsulfat, Triglyzinfluoroberyllat oder deuteriertes Triglyzinfluoroberyllat ist.ORIGINAL INSPECTEDPHA 20 787 - 2 -909824/0882
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