DE872805C - Verfahren zur Herstellung von Ultrasieben mittels Korpuskularstrahlen - Google Patents

Description

• Verfahren zur Herstellung von Ultrasieben mittels Korpuskularstrahlen Zur Herstellung von reinen Oberflächenfiltern und Ultrafiltern ist es schon bekannt, in dünnen Folien, z. B. aus Cellulosederivaten oder Metall, Sieblöcher konstanter vorgegebener Größe und Form in gewünschtem Abstand voneinander durch Einbrennen mittels Kathodenstrahlen zu erzeugen. Dabei wird der die Filterporen einbrennende Elektronenstrahl sprunghaft von einem Porenort zum nächsten bewegt. Um beim Herstellen von Filtern gleichzeitig eine Vielzahl von Filterlöchern in die Folie zu brennen, ist es ferner schon bekannt, einen lonenstrahlerzeuger anzuwenden, dem eine elektrostatische Vielfachlinse zugeordnet ist. Auch in diesem Falle wird grundsätzlich so vorgegangen, daß die Filterlöcher in die Foliensubstanz eingebrannt bz«-. eingeschmolzen werden.
• Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur l-Ierstellung von Ultrasieben mittels Korpuskularstrahlen, bei dem die Filterlöcher grundsätzlich auf eine andere Weise hergestellt werden. Erfindungsgemäß wird die ebene Oberfläche eines Ausgangsmaterials so mit Korpuskularstrahlen bestrahlt, daß die Auftreffstellen der Strahlen ein Gitter mit vorzugsweise gleichartigen Zwischenräumen gewünschter Größe bilden, das dieForm für das Siebmaterial bestimmt, während die nicht von den Korpuskularstrahlen getroffene Substanz der Gitterzwischenräume zur Bildung der Sieblöcher entfernt wird. Das Gitter selbst wird man mit Hilfe einer ablenkbaren Korpuskularstrahlfeinstsonde auf die Folie zeichnen. Eine solche Sonde kann man sich beispielsweise durch Anwendung vcn zwei hintereinander geschalteten Verkleinerungslinsen herstellen.
• -Man kann das Verfahren nach der Erfindung im verschiedener Weise durchführen. Beispielsweise wird man als Ausgangsmaterial dünne Folien, z. B. aus Cellulöseder?vaten, verwenden.: Hierbei geht die Foliensubstanz an den Auftreffstellen in unlöslichen Kohlenstoff über. Das Filter selbst wird dann dadurch erhalten, daß man die nicht von Korpuskularstrahlen getroffene Substanz der Gitterzwischenräume chemisch herauslöst. Man hat auf diese Weise einHerstellungsverfahren, bei dem ein völliges Heraüsbrennen der Filterlöcher mit den Korpuskularstrahlen nicht notwendig ist. Das in der zuletzt beschriebenen Weise hergestellte Ultrasieb wird man vorteilhaft durch Bedampfüng mit Metall, Metalloxyden od. dgl. verstärken und weiterhin durch Anwendung poröser Unterlagen mechanisch stabil machen.
• Eine andere Möglichkeit, das Verfahren nach der Erfindung auszuführen, besteht gemäß der weiteren Erfindung darin, daß als Ausgangsmaterial eine dickere Schicht eines Stoffes; z. B. ein kristallines Scheibchen, dient, wobei durch die Bestrahlung diese Schicht in einer gewissen Tiefenausdehnung zerstört wird. Es entsteht auf diese Weise eine gitterförmige Vertiefung in der ebenen Oberfläche des Ausgangsmaterials, die mit einem geeigneten Siebmaterial ausgefüllt wird. Im Anschluß daran wird man die nicht bestrahlten Teile des Ausgangsmaterials entfernen. Bei einem solchen Verfahren dient also das Ausgangsmaterial nur als Form für die Herstellung des Ultrasiebes.

Claims (5)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. Verfahren zur Herstellung von Ultrasieben mittels Korpuskularstrahlen, dadurch gekennzeichnet, daß die ebene Oberfläche eines Ausgangsmaterials so mit Korpuskularstrählen bestrahlt wird, da3 die Auftreffstellen der Strahlen ein Gitter mit vorzugsweise gleichartigen Zwischenräumen gewünschter Größe bilden, das die Form für das Siebmaterial bestimmt, während die nicht von den Korpuskulafstrahlen getroffene Substanz der Gittetzwischenräume zur Bildung der Sieblacher entfernt wird.
2. 2. Verfahren nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß das Gitter mittels einer ablenkbaren Korpuskularstrahlfeinstsonde auf das Ausgangsmaterial gezeichnet wird.
3. 3. Verfahren nach Anspruch i oder z, dadurch gekennzeichnet, daß als Ausgangsmaterial dünne Folien, z. B. Cellulosederivate, dienen, wobei die Föliensubstanz an den Auftreffstellen der Strahlen beispielsweise in unlöslichen Kohlenstoff übergeht und die von den Strahlen nicht getroffene Substanz der Gitterzwischenräume chemisch herausgelöst wird.
4. 4.. Verfahren nach Anspruch i, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Ultrasieb durch Bedampfung mit Metall oder Metalloxyden od. dgl. verstärkt und weiterhin mechanisch durch poröse Unterlagen stabil gemacht wird.
5. 5. Verfahren nach Anspruch r oder 2; dadurch gekennzeichnet, däß als Ausgangsmaterial eine dickere Schicht eines Stoffes, z. B. ein kristallines Scheibchen, dient, daß ferner durch die Bestrahlung diese Schicht in einer gewissen Tiefenausdehnung zerstört wird und daß die so entstehende netzförmige Vertiefung mit einem geeigneten Siebmaterial ausgefüllt wird, wonach das nichtbestrahlte Material entfernt wird..