DE2535467C2 - Verfahren zum Herstellen einer Kathode einer gittergesteuerten Leistungsröhre - Google Patents
Verfahren zum Herstellen einer Kathode einer gittergesteuerten LeistungsröhreInfo
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Description
30
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Ein solches Verfahren ist aus a°.r GB-PS 12 64 765
bekannt.
Aus der DE-OS 15 64 397 ist ferner eine Kathode für eine gittergesteuerte Leistungsröhre bekannt, bei der
die in der Projektion unterhalb der Gitterstege des Steuergitters befindlichen Oberflzehenbereiche der
Emissionsfläche der Kathode durch aufgebrachtes Material hoher Temperaturbeständigkeit in ihrer Emissionsfähigkeit
verringert sind.
Es hat sich gezeigt, daß solche gewissermaßen in die Kathode integrierte Schattengitter, denen ja die Aufgabe
zukommt, das Steuergitter zumindest teilweise gegen ankommende Elektronen abzuschirmen, zu gewissen
Feldverzerrungen führen können, insbesondere dann, wenn das Material des Schattengitters um einen
größeren Betrag über die Kathodenoberfläche hinaus hervortritt. Bei der aus der GB-PS 12 64 765 bekannten
Kathode sind die Stege des Schattengitters nur teilweise in die Kathodenoberfläche eingelassen. Eine gleichförmig
ebene oder gewölbte Oberfläche ist bei dieser Kathode nicht vorgesehen und auch nicht beabsichtigt.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugründe,
ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1 so weiterzubilden, daß bei den nach
diesem Verfahren hergestellten Kathoden Feldverzerrungen an der Kathodenoberfläche möglichst vermieden
werden.
Diese Aufgabe wird durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.
Es hat sich gezeigt, daß sich die Vertiefungen in jeder gewünschten Art durch funkenerosives Abtragen sehr
genau und vor allen Dingen für die Emissionsmateria- ^ lien unschädlich einbringen lassen. Die Herstellung einer
solchen Kathode vereinfacht sich besoiid'.v.i dann in
starkem M.iRc. wenn man zupi innkcnciM,i\\n Abtragen
eine Elektrode verwendet, die entsprechend dem Steuergitter ausgebildet ist In die funkenerosiv hergestellten
Vertiefungen läßt sich ein vorgeformtes Schattengitter einsetzen oder aber es läßt sich in anderer
Weise in die Vertiefungen Metall einbringen.
Anhand des in den F i g. 1 und 2 dargestellten Ausführungsbeispieles
wird die Erfindung nachfolgend näher erläutert
Die F i g. 1 zeigt schematisch im Querschnitt eine gemäß
der Erfindung hergestellte Kathode mit einem Kathodenträger I1 auf dessen konkav gewölbter Oberfläche
das Emissionsmaterial 2 in Form einer Schicht aufgebracht ist. In diese Emissionsschicht 2 sowie ggf. auch
noch bis zu einer gewissen Tiefe in den Kathodenträger 1 hinein, sind linienförmige Vertiefungen eingebracht in
welche das Schattengitter 3 so eingesetzt ist daß die eigentliche Emissionsfläche 4 der Kathode weitgehend
gleichförmig ist. Da das Schattengitter und die angrenzenden Emissionsoberrlächenbereiche nunmehr bündig
abschließen, können sn der eigentlichen Emissionsfläche keine Feldverzerrungen mehr auftreten. In dichtem
Abstand vor der Emissionsfläche 4 befindet sich das Steuergitter 5, das im wesentlichen deckungsgleich mit
dem Schatter.gitter 3 ist und durch dieses Schattengitter 3 gewissermaßen gegen Elektronenbeschuß abgeschattet
wird.
Die Fig. 2 zeigt eine bevorzugte Ausfühningsform
eines solchen Steuergitters 5, das strahlenförmig aufgebaut ist, d. h. aus einer Vielzahl von konzentrisch zueinander
angeordneten ringförmigen Stegen 6 besteht, die durch strahlenförmig verlaufende Halterungsstreben 7
in ihrer Lage gehaltert sind.
Die Herstellung der Kathode erfolgt in der Weise, daß die Vertiefung zum Einbringen des Schattengitters
3 in die Emissionsfläche 2 durch einen funkenerosiven Abtragungsvorgang vorgenommen wird. Dieses Abtragen
geschieht mit einer Gegenelektrode, die auf die Emissionsschicht 2 aufgesetzt wird, und die im wesentlichen
die gleiche Form besitzt wie das Steuergitter 5. Mit diesem Verfahren läßt sich die Tiefe der Vertiefungen
sehr präzise einhalten und ferner eine sehr genaue Formgebung der Vertiefungen erzielen. Von besonderem
Vorteil ist, daß dieses Verfahren keinerlei schädliche Einwirkungen auf die üblichen Emissionsstoffe für
Kathoden besitzt. Es kann daher bei bereits mit Emissionsmaterial versehener Kathode angewendet werden,
und zwar sowohl bei einer Oxidschicht-Kzthode als auch bei einer Vorratskathode, z. B. nach Art einer
Wolfram-Matrix-Kathode. Es hatte sich nämlich gezeigt, daß viele andere mögliche Verfahren zur Herstellung
der Vertiefungen, die ggf. zur notwendigen Genauigkeit führen, wegen ihrer Unverträglichkeit mit den
Emissionsmaterialien weniger brauchbar sind.
Das Material des Schattengitters wird zweckmäßig so gewählt oder behandelt, daß es eine erhöhte Elektronenaustrittsarbeit
besitzt. Dies geschieht bevorzugt durch Karbonisieren oder Zirkonisieren.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (2)
1. Verfahren zum Herstellen einer Kathode einer gittergesteuerten Leistungsröhre mit einem in geringern
Abstand vor der Emissionsfläche der Kathode angeordneten Steuergitter (5), wobei die Emissionsfläche,
betrachtet in der Projektion unterhalb der Gitterstege des Steuergitters (5), mit einem Schatiengitier
(3) versehen ist das die Emissionsfähigkeit der Kathode in den den Gitterstegen des Steuergitters
(5) gegenüberliegenden Bereichen wesentlich vermindert und aus einem Metallgitter besteht, das
in durch funkenerosives Abtragen erzeugte entsprechende Vertiefungen eingesetzt wird, dadurch
gekennzeichnet, daß die Vertiefungen in die bereits mit Emissionsmaterial versehene Emissionsfläche
eingebracht werden und dann das Meta:!gitter dorart bündig abschließend in die Vertiefungen
eingelassen wird, daß dessen freie Oberfläche zusammen mit den angrenzenden Emissionsoberflächenbereichen
eine möglichst gleichförmig ebene oder gekrümmte Oberfläche ergibt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Schattengitter (3) vorgeformt wird
und als Ganzes in die durch funkenerosives Abtragen entstandenen Vertiefungen eingesetzt wird.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19752535467 DE2535467C2 (de) | 1975-08-08 | 1975-08-08 | Verfahren zum Herstellen einer Kathode einer gittergesteuerten Leistungsröhre |
DE19792930729 DE2930729A1 (de) | 1975-08-08 | 1979-07-28 | Verfahren zum herstellen einer kathoden-gitteranordnung fuer leistungsroehren |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19752535467 DE2535467C2 (de) | 1975-08-08 | 1975-08-08 | Verfahren zum Herstellen einer Kathode einer gittergesteuerten Leistungsröhre |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2535467A1 DE2535467A1 (de) | 1977-02-17 |
DE2535467C2 true DE2535467C2 (de) | 1985-06-05 |
Family
ID=5953581
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19752535467 Expired DE2535467C2 (de) | 1975-08-08 | 1975-08-08 | Verfahren zum Herstellen einer Kathode einer gittergesteuerten Leistungsröhre |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2535467C2 (de) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2930729A1 (de) * | 1975-08-08 | 1981-02-12 | Licentia Gmbh | Verfahren zum herstellen einer kathoden-gitteranordnung fuer leistungsroehren |
FR2481000A1 (fr) * | 1980-04-18 | 1981-10-23 | Thomson Csf | Procede de realisation d'une cathode impregnee a grille integree, cathode obtenue par ce procede, et tube electronique muni d'une telle cathode |
US4583021A (en) * | 1983-04-18 | 1986-04-15 | Litton Systems, Inc. | Electron gun with improved cathode and shadow grid configuration |
JP4041742B2 (ja) * | 2001-05-01 | 2008-01-30 | 株式会社荏原製作所 | 電子線装置及び該電子線装置を用いたデバイス製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL6504397A (de) * | 1965-04-07 | 1966-10-10 | ||
US3594885A (en) * | 1969-06-16 | 1971-07-27 | Varian Associates | Method for fabricating a dimpled concave dispenser cathode incorporating a grid |
-
1975
- 1975-08-08 DE DE19752535467 patent/DE2535467C2/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2535467A1 (de) | 1977-02-17 |
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