DE2930729A1

DE2930729A1 - Verfahren zum herstellen einer kathoden-gitteranordnung fuer leistungsroehren

Info

Publication number: DE2930729A1
Application number: DE19792930729
Authority: DE
Inventors: Hartmut Ing Grad Schmitt
Original assignee: Licentia Patent Verwaltungs GmbH
Current assignee: Licentia Patent Verwaltungs GmbH
Priority date: 1975-08-08
Filing date: 1979-07-28
Publication date: 1981-02-12

Description

Beschreibung
"Verfahren zum Herstellen einer Kathoden-Gitteranordnung für Leistungsröhren" (Zusatz zu Patent DBP ... (Patentanmeldung P 25 35 467.0) Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Kathoden-Gitteranordnung für Leistungsröhren nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Aus dem Hauptpatent ist ein Verfahren zum Herstellen eines Schattengitters bekannt, bei dem zunächst in die bereits mit Emissionsmaterial versehene Emissionsoberfläche der Kathode durch funkenerosives Abtragen Vertiefungen eingebracht werden. Anschließend werden diese Vertiefungen dann so mit Metall aufgefüllt, daß die freien Oberflächen dieses Metalls im wesentlichen in der gleichen Ebene sich befinden wie die anschließenden Bereiche der Emissionsoberflächen.
Das Herstellen der Vertiefungen mittels Funkenerosion ist in mehrfacher Hinsicht nachteilig. Zum einen findet durch die für die Durchführung des Funkenerosionsverfahrens notwendige dielektrische Erodierflüssigkeit eine Eontaminierung des Kathodenmaterials statt. Zum anderen wird beobachtet, daß durch die Funkenerosion eine nachteilige Öffnung der Poren des Kathodenmaterials stattfindet.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, daß aus der Hauptanmeldung bekannte Verfahren zur Herstellung eines Schattengitters derart zu verbessern, daß die zuvor genannten Nachteile vermieden werden.
Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 angegebene Erfindung gelöst. Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung geht aus dem Unteranspruch hervor.
Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezug auf die Zeichnung näher erläutert. Dabei zeigt: Figur 1: Eine Kathoden-Gitteranordnung mit einem konkav gewölbten Kathodenträger; Figur 2: Eine Aufsicht auf die Kathoden-Gitteranordnung von der Gitterseite her.
Figur 1 zeigt schematisch in einem Querschnitt eine Kathoden-Sitteranordnung mit einem Kathodenträger 1, auf dessen konkav gewölbter Oberfläche Emissionsmaterial 2 in Form einer Schicht aufgebracht ist. Zumindest in diese Emissionsschicht 2, gegebenenfalls auch noch bis zu einer gewissen Tiefe in den Kathodenträger 1 hinein, sind Vertiefungen eingebracht, die anschließend wieder mit einem das Schattengitter 3 bildenden Material aufgefüllt sind.
Gemäß dem Hauptpatent werden die Vertiefungen in der Schicht 2 durch Funkenerosion eingebracht. Diens ist jedoch nachteilig, weil die für die Funkenerosion notwendige dielektrische Flüssigkeit zu einer Kontaminierung des Emissionsmaterials der Kathode führt. Weiterhin hat sich gezeigt, daß durch die Funkenerosion in unerwünschter Weise gerade die Poren des Emissionsmaterials geöffnet werden.
Eine Verbesserung des Herstellungsverfahrens einer Kathoden-Gitteranordnung läßt sich dadurch erreichen, daß erfindungsgemäß für die Herst-ellung der Vertiefungen in dem schichtförmig aufgebrachten Emissionsmaterial 2 die Strahlung eines Lasers verwendet wird. Besonders günstig ist die Strahlung eines Neodym-YAG-Lasers. Derartige Laser sind marktüblich. Die Vertiefungen werden dadurch erzeugt, daß die Oberfläche des in Schichtform auf dem Kathodenträger 1 aufgebrachten Emissionsmaterials 2 entsprechend dem gewünschten Verlauf der Vertiefungen der fokussierten Strahlung des Lasers ausgesetzt wird, bis die gewünschte Materialabtragung erreicht ist. Die in das Emissionsmaterial 2 eingebrachten Vertiefungen entsprechen in ihrer Anordnung zweckmäßig der Gestalt des vor der Emissionsschicht 2 mit Abstand angeordneten Gitters 5. Das Steuergitter 5 ist bevorzugt strahlenförmig aufgebaut, d.h. es besteht aus einer Vielzahl von konzentrisch voneinander angeordneten ringförmigen Stegen 6, die durch strahlenförmig verlaufende Halterungsstreben 7 in ihrer Lage zueinander gesichert sind (Fig. 2).
Nachdem die Vertiefungen in die Emissionsschicht 2 eingebracht worden sind, werden diese in der aus der Hauptan- meldung bekannten Weise mit einem das Schattengittem bildenden Metall aufgefüllt und zwar derart, daß das die Vertiefungen auszufüllende Metall im wesenvlichen in der gleichen Ebene sich befindet wie die anschließenden Bereiche der Oberfläche der Emissionsschicht 2. Als ilatcri-l für das Schattengitter wird vorzugsweise ein schwer schmelzbares Metall, wie beispielsweise Molybdän oder Wolfram verwendet, das dann mit einem die Elektronenemission unterdrückenden Material, wie z. B. Zirkon oder Kohlenstoff, überzogen wird.
Unter Umständen wird bereits durch den Abtragungs- und Schmelzvorgang, der zur Herstellung der Vertiefungen in der Emissionsschicht 2 führt, eine Schattenwirkung erzielt, d. h. die vom Laserstrahl beaufschlagten Bereiche der E2i5-sionsschicht 2 zeigen nahezu keine oder nur noch eine äusserst geringe Elektronenemission. Gegebenenfalls erübrigt sich daher auch die zusätzliche Auffüllung dieser Vertiefungen mit Metall, bzw. es kann auf aufwendige Emissionsunterdrückungsmaßnahmen, wie z. B. Zirkonisieren der Schattengitter, verzichtet werden.

Claims

Patentansprüche Verfahren zum Herstellen einer Kathoden-Gitteranordfür für gittergesteuerte Leistungsröhren, deren Steuergitter in geringem Abstand vor der EmissionsSläche der Kathode angeordnet ist, und deren Emissionsfläche betrachtet in der Projektion unterhalb der Gitterstege des Steuergitters mit einem Schattengitter versehen ist, das die Emissionsfähigkeit der Kathode in den, den Stegen des Steuergitters gegenüberliegenden Bereichen wesentlich vermindert,bei dem entsprechend den Stegen des Schattengitters in die bereits mit Emissionsmaterial versehene Emissionsoberfläche der Kathode Vertiefungen eingebracht werden und dann in diese Vertiefungen Metall so eingebracht wird, daß die freien Oberflächen dieses Metalls im wesentlichen in der gleichen Ebene sich befinden wie die anschließenden Bereiche der Emissionsoberflächen, nach Patent DBP ... (Patentanmeldung P 25 35 467.0), dadurch gekennzeichnet, daß die Vertiefungen in die Emissionsoberfläche der Kathode durch Bestrahlen derselben mittels Strahlung eines Lasers eingebracht werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung der Vertiefungen ein Neodym-XAG-Iaser verwendet wird.