DE832831C - Vorrichtung zur Metallbedampfung temperaturempfindlicher Kunststoffbaender im Vakuum - Google Patents

Vorrichtung zur Metallbedampfung temperaturempfindlicher Kunststoffbaender im Vakuum

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DE832831C
DE832831C DEB8455A DEB0008455A DE832831C DE 832831 C DE832831 C DE 832831C DE B8455 A DEB8455 A DE B8455A DE B0008455 A DEB0008455 A DE B0008455A DE 832831 C DE832831 C DE 832831C
Authority
DE
Germany
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drum
rollers
vapor deposition
temperature
vacuum
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Expired
Application number
DEB8455A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Theodor Baum
Dr Kurt Raithel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BAUM ELEKTROPHYSIK und MESSTEC
Original Assignee
BAUM ELEKTROPHYSIK und MESSTEC
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

  • Vorrichtung zur Metallbedampfung temperaturempfindlicher Kunststoffbänder im Vakuum Die Bedampfung von Kunststoffbändern, z: B. solchen aus Polystyrol, die sich schon .bei Temperaturerhöhungen von einigen Dekagraden über Zimmertemperatur verformen, macht besondere Vorrichtungen erforderlich, wenn gutleitende Metallbelegungen aufgebracht werden sollen, wie dies z. . bei Kondensatoren kleinster Verlustwinkel Bedingung ist. Da Isolierstoffbänder schlechte Wärmeleiter sind und im Hochvakuum der Wärmeaustausch in wirksamer Weise nur durch Strahlung erfolgen kann, kann man grundsätzlich eine zu hohe Erwärmung der Bänder vermeiden, wenn man nur so viel Metall niederschlägt, daBdiedadürch hervorgerufene Temperaturerhöhung des Bandes gerade noch nicht zu seiner Deformierung führt, Entsprechend dicke Belegungen werden dann durch periodisch wiederholte Bedampfung erhalten, wenn dafür Sorge getragen wird, daB die durch die Bedampfung aufgenommene Wärmemenge bis zum Beginn .der nächsten Bedampfung durch Strahlung wieder abgegeben werden kann.
  • Man könnte diese Forderung erfüllen, wenn man das zu bedampfende Band sehr schnell und sehr oft über den Verdampfer .hin und zurück laulfen läßt. Allein dies würde,dastand mechaniisch sehr stark beanspruchen und könnte leicht zu seiner Beschädigung führen. Den Rücklauf könnte man vermeiden, wenn man das Band nacheinandler über mehrere Aufdampfste.llen führt, Aallein dies müßten dann sehr viele sein und man käme zu räumlich sehr ausgedehnten Anlagen.
  • Gegenstand der Erfindung ist ,eine Vorrichtung, bei deren Benutzung alle diese Schwierigkeiten vermieden werden. Dieselbe besteht aus einem auf Hochvakuum evakuierten, den Verdampfer enthaltenden Behälter und einer in diesem mit hoher Geschwindigkeit über dem Verdampfer rotierenden einseitig gelagerten Trommel mit Gleitrollen, über welche mindestens ein zu bedampfendes Band im Kreise geführt ist.
  • Als weitere Maßnahme :der Erfindung sind Auf-und Abspulrollen vorgesehen, die mit der Trommel umlaufen und das Band während der schnellen Bewegung der Trommel langsam umspulen. Den Aufspulrollen sind erfindungsgemäß Triebwerke zugeordnet, die zusammen mit den Rollen von der "Trommel umgeführt werden.
  • An Stelle der Triebwerke können auch an sich bekannte Übertragungsglieder benutzt werden, durch die der Bandantrieb vom Tramm,elgehäuse oder von der Trommelachse aus erfolgt. Der Gegenstand :der Erfindung :ist .in einer .beispielsweisen Ausführungsform in :den Fig. i und 2 dargestellt. I-s zeigt Fig. i eine Vorderansicht der erfindun"sgeinäßen Vorrichtung bei abgehobenem Verschdußdeckel, Fig. 2 einen Schnitt durch ,die Trommelwelle nach der Linie II-II -der .Fig. i bei etwas für Uhrzeigersinn gedrehter Trommel.
  • In dem hochzylindrischen Gehäuse i mit luftdicht schließendem Deckel 2 läuft eine ,die Trominel 3 tragende Welle 4 um, deren Durchtritts@ste lle an der Gehäusewand durch die Dichtung 5 gegen das E,indrinigen von Luft in :das Innere des Behälters i abgedichtet ist, wobei die Einrichtung gleichzeitig als Lager :dfient. Ein weiteres Lager 6 für die Welle ist am anderen Ende ,des Trägers 7 vorgesehen, der auf der Rückwand des Gehäuses i befestigt ist. Die im Ausführungsbeispiel achtarmige Trommel 3 trägt an :den Enden der Arme vorzugsweise rec'htwin'klig zu diesen,und parallel zur zylindrischen Behälterwandung angebrachte Gleitrollen 8, über die ein Band 9 oder auch mehrere Bänder nebeneinander geführt sind. Das Band läuft langsam von der Abspulrolle io ab und gelangt nach Umlauf über die Gleitrollen@,8 zur Aufspulrolle ii. Die Rollen io und ii .sind an .der Trommel 3 befestigt und laufen mit dieser um. Die Auf spulrolle i i kann ein Triebwerk besitzen, durch welches sie angetrieben wird. Sie kann aber auch mittels an sich bekannter, in der Figur nicht
    gezeichneter LT13ertra:gungsmitte1 voni Trommel-
    gehäwse i oder auch von einer besonderen Welle
    aus angetrieben werden.
    Die Bedampfun:g des Bandes erfolgt, während
    der Behälter auf Hochvakuum al>;epuml)t ist, von
    dem V.erdarnpfer 12 und, falls beide Seiten des
    Bandes gleichzeitig bedampft «-erden sollen, von
    einem weiteren, z. 13. an der Gehäusewandung be-
    festigten Verdampfer 13 aus. Bei großem Trommel-
    durchmesser können mit der `Torrichtung sehr hohe
    Umfangsgeschwindigkeiten von his ao in/S@ek.
    und mehr erzielt ,werden, w@ihrend dass Band selbst
    an den Umspwlrolleir nur schr langsam abzurollen
    braucht. Der Kühlweg ist iin Vergleich zti (lein
    Bereich, in dem (11,e Bedaml)fttlrn erfolgt, sehr groß,
    was von besonderer Bedetittilig ist, weil bekannt-
    lich im Hochvakuum @1'ürmealinal>e von Nicht-
    leitern nur durch Stralrhillg iniiglicli ist.

Claims (2)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Vorrichtung zur Metallbedalnpfung von Isolierstoffbänderir, z. B. des unter der Warenbezeichnung Polystyrol bekannten Kunststoffes, gekennzeichnet durch einen auf Hochvakuum evakuierten die Verdampfer entha,ltend'en Behälter (1, 2) .:ulld ehre ilr diesem mit hoher Geschwindigkeit über :den Verdampfer (12, 13) rotierende einseitig gelagerte Trommel (3) mit Gleitrollen (8), über -,welche mindestens ein zu bedampfendes Band (9) im Kreise gefübrt ist.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Auf- und Abspulrollen (io, ii) vorgesehen sind, die mit der Trommel (3) umlaufen und das Band (9) während der schnellen Bewegung der Trommel (3) fangsain umspulen. 3 Vorrichtung nach Anspruch i und 2, dadurch gekennzeichnet. daß eine Triebwerk für die Aufspulrolle (ii) vorgesehen ist, das zusammen mit den Rollen (io, i i) von der Trommel (3) mitgeführt wird. Vorrichtung nach Anspruch i bis 3, dadurch gekennzeichnet. daß an Stelle der Triebwerke an sich bekannte Übertragungsglieder vorgesehen sind, durchdie derBanidantrleb vom Trommelgehäuse (i) aus oder von der Trommelachse (4) aus erfolgt.
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