DE814491C

DE814491C - Elektronenstrahlroehre mit Speicherelektrode

Info

Publication number: DE814491C
Application number: DEW1170D
Authority: DE
Inventors: Frank Gray
Original assignee: Western Electric Co Inc
Current assignee: AT&T Corp
Priority date: 1949-03-31
Filing date: 1950-02-17
Publication date: 1951-09-24
Also published as: NL91957C; FR1071005A; BE494101A; NL152683C; US2592683A; GB694034A; US2547386A

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf die Übersetzung von elektrischen Strömen und insbesondere auf die Verwendung von Halbleitermaterialien, um den Strom eines Elektronenstrahles zu übersetzen.

Ein Hauptgegenstand der Erfindung besteht darin, das Fließen eines anhaltenden Stromes durch die Anlegung eines augenblicklichen elektrischen Impulses einzuleiten. Ein damit verwandtes Ziel besteht darin, in einer einzigen Konstruktion die Besonderheiten der Verstärkung und der Speicherung miteinander zu verbinden.

Ein anderes Ziel besteht darin, eine Nachricht in der Form einer Folge von kurzen elektrischen Impulsen, welche auf einem Einzelleiter in Erscheinung treten und zeitlich aufeinanderfolgen, in ein Raummuster von elektrischen Bedingungen unter einer Vielzahl von verschiedenen Leitern umzuwandeln, welche Bedingungen im wesentlichen unabhängig von dem Zeitablauf andauern, bis sie absichtlich durch Löschung verändert werden.

Es ist eine Übersetzungseinrichtung für elektrische Ströme bekannt, welche einen Block aus Halbleitermaterial, wie z. B. P-Typ-Silicium oder N-Typ-Germanium, enthält, der eine erste Elektrode in Form eines Überzuges auf einem wesentlichen Bereich einer Oberfläche, der mit dem Körper des Blocks einen Kontakt geringen Widerstandes bildet, eine Spitzenelektrode, die an der entgegengesetzten Oberfläche angreift und in umgekehrter Richtung vorgespannt ist und eine Steuerelektrode aufweist, die nahe an dem Halbleiterblock und der Spitzenelektrode angebracht ist, aber von beiden durch einen dünnen Belag aus Isoliermaterial getrennt ist. Es zeigt sich, daß die Anlegung eines Signals an die Steuerelektrode den Strom verändert, der in einem äußeren Arbeitskreis durch den Block fließt, und zwar von dem Sockel zu der Spitzenkontaktelek-

trode und quer durch eine Sperrschicht mit hohem Widerstand, welche annahmeweise im Innern des Blocks l>esteht. Beste Resultate werden erhalten, wenn die Steuerelektrode wirklich die Spitzenkontaktelektrode umgibt.

Es wird angenommen, daß die Arbeitsweise dieser Vorrichtung durch die Einstellung eines elektrischen Feldes bedingt ist, welches quer durch den Isolierbelag hindurchgeht, in den Körper aus HaIbleitermaterial hineinreicht und die Anzahl vom beweglichen Ladungsträgern wenigstens in einer dünnen Schicht des Halbleitermaterials verändert, die unmittelbar unter dem Isolierbelag liegt und auf diese Weise die Leitfähigkeit und den Widerstand dieser Schicht verändert. Besonders wesentlich ist diese Veränderung bezeichnend in der un^ mittelbaren Nähe der Spitzenkontaktelektrode. Da die Spitzenkontaktelektrode in ihrer umgekehrten Richtung oder im Sinne ihres hohen Widerstandes betrieben wird, so bildet ihr Kontaktwiderstand hier den größten Teil des Widerstandes eines Arbeitskreises, welcher die Spitzenkontaktelektrode mit dem Sockel verbindet und daher die Steuergröße.

In einer Hinsicht beruht die vorliegende Erfindung auf der Feststellung, daß die Steuerelektrode der vorerwähnten vorbekannten Vorrichtung weggelassen werden kann und daß der Tsolierbelag, welcher die Oberfläche des Halbleitermaterials abdeckt, einem gleichen oder selbst einem stärkeren elektrischen Feld unterworfen werden kann, indem er unmittelbar ohne Zuhilfenahme irgendwelcher besonderer mechanischer Elektroden aufgeladen wird, z. B. dadurch, daß er mit den Elektronen eines Kathodenstrahles bombardiert wird. Es wurde gefunden, daß ein sehr kurzer Impuls eines verhältnismäßig schwachen Strahlstromes, z. B. ein Impuls von Vioo Sekunde eines Stromes von 10 Mikroampere, welcher eine Ladung von Vj₀ Mikrocoulomb liefert, ausreichend ist, um den Strom, welcher durch den Block zu dem Kollektor fließt, mehr als zu verdoppeln; beispielsweise kann eine Änderung von weniger als 0,4 bis zu mehr als 0,8 Milliampere bestehen.

In einer anderen Hinsicht beruht die Erfindung auf der Feststellung, daß der Strom, welcher durch den Block von der Sockelelektrode zu dem Spitzenkontakt der Kollektorelektrode fließt, nicht so sehr eine Funktion der Spannung oder des Stromes eines Eingangssignals ist, als vielmehr eine Funktion der elektrischen Ladung auf der dielektrischen Isolierschicht, so daß ein sehr schnell vorübergehender Stromimpuls, welcher eine solche Ladung auf dieser Schicht anbringt und dort zurückläßt, nachdem der Stromimpuls abgeklungen ist, ausreicht, um eine fortdauernde Änderung in dem Kollektorstrom hervorzurufen. Dieser veränderte Wert des Kollektorstromes bleibt so lange bestehen, wie die Oberflächenladung bestehenbleibt, und seine Größe ist im wesentlichen der Größe dieser Ladung proportional. Die Ladung selbst kann nach Wunsch absichtlich entfernt werden, z. B. durch erneute Bombardierung der Oberfläche mit Elektronen des gleichen oder eines anderen Strahles, dieses Mal aber in Gegenwart eines örtlichen Feldes, welches Sekundärelektronen in einem Verhältnis größer als eins abzieht. So kann eine Sekundäranode nahe der Oberfläche des Blocks angeordnet sein, in solcher Lage, daß Sekundärelektronen, welche von der Oberfläche im Verlaufe dieses Bombardements mittels der Strahlelektronen freigegeben werden, · aufgenommen werden; dabei wird die Sekundäranode mit Bezug auf die Oberfläche auf einem bestimmten Potential gehalten, so daß sie im wesentlichen sämtliche derartigen Sekundärelektronen sammelt. Bei einer solchen Anordnung kann die ursprüngliche Oberflächenladung beseitigt und der Kollektorelektrodenstrom in seiner ursprünglichen Stärke im wesentlichen augenblicklich wiederhergestellt werden.

Beim Fehlen einer solchen absichtlichen Beseitigung der Ladung fließt die ursprüngliche Oberflächenladung ab, und zwar auf Grund der geringen verbleibenden Leitfähigkeit des Materials, aus welchem die Isolierschicht besteht, und der Kollektorstrom fällt entsprechend ab.

Die Geschwindigkeit dieses Abfalles hängt grundsätzlich von der Art und Stärke der Isolierschicht ab. Diese lassen sich bei der Herstellung in weiten Grenzen einstellen, so daß eine im Sinne der Erfindung gebaute Ubersetzungseinrichtung auf eine kurze Abfallzeit oder auf eine lange Abfallzeit eingestellt werden kann, um besonderen Bedürfnissen Rechnung zu tragen.

Die Erfindung eignet sich gut für den Aufbau eines Kathodenstrahlrohrverteilers, wobei die Antikathode eine Vielzahl solcher einzelnen isolierten Halbleiterblöcke umfaßt, von denen jeder seine Spitzenkontaktelektrode in geeigneter Weise vorgespannt hat und jeder seine eigene Sekundäranode aufweist. Die Blöcke können in irgendeiner gewünschten Anordnung angeordnet sein, z. B. in einer geraden oder einer kreisförmigen, spiralförmigen oder rechtwinkligen Reihe, wie es gerade gewünscht wird. Der Elektronenstrahl kann auf den einen oder anderen dieser Blöcke durch Anlegung geeigneter Signale an herkömmlichen Strahlablenkungselementen eingestellt werden, und der Strahl selbst kann durch Anlegung eines Signals an eine Strahlmodulierelektrode an- und abgestellt werden. Individuelle Belastungen, wie z. B. Relais, können in dem Kreis der verschiedenen Kollektorelektroden angeordnet sein.

Nach Anstellung des Strahles leitet das Auftreffen desselben auf einen Halbleiterblock den 115' Stromfluß in dem Relais ein, welches mit der Kollektorelektrode des Blocks verbunden ist, und dieser Strom bleibt lange bestehen, nachdem der Strahl sich fortbewegt hat, um in ähnlicher Weise den Stromfluß in anderen Relais einzuleiten.

Wenn die Betätigung des Relais ihren Zweck erfüllt hat, kann das Relais in seinen ursprünglichen Zustand zurückgebracht werden, und zwar durch Anlegung einer positiven Spannung an die zugehörige Sekundäranode, während der Strahl auf den zugehörigen Block gerichtet ist. Falls ein bestimm-

tes Fortbestehen des Kollektorstromes (Patentschrift 678961) gewünscht wird, so kann jedes Relais nach dem Verstreichen einer vorbestimmten Zeit durch geeignete Einstellung der Abfallzeit des Blocks in seine Ausgangsstellung zurückgebracht werden. Wenn gleichzeitiges Abfallen sämtlicher Relais gewünscht wird, so genügt eine einzige Sekundäranode in solcher Anordnung, daß sie die Sekundärelektronen von sämtlichen Blöcken sammelt.

Auf Grund der Tatsache, daß der auf der Blockoberfläche liegende Bereich gegenseitiger Beeinflussung zwischen der durch den Strahl erzeugten Oberflächenladung und dem ladungsabhängigen Kollektor sehr klein ist, kann die Antikathode in einfacher Weise aus einem einzelnen großen Block oder Streifen aus Halbleitermaterial bestehen, welcher eine Anzahl selbständiger Kollektorelektroden aufweist, die mit ihrer Oberfläche an getrennten

ao Stellen in Punktberührung stehen.

Die Erfindung wird ganz verständlich aus der folgenden, ins einzelne gehenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen, und zwar in Verbindung mit der Zeichnung.

Fig. ι ist ein Schaltschema eines vereinfachten Gerätes, welches die Erfindung verkörpert;

Fig. 2 bis 10 zeigen Wellenformbilder, welche die Erläuterung der Arbeitsweise des Gerätes nach Fig. ι erleichtern sollen;

Fig. 11 ist ein Schaltschema eines Schaltgerätes unter Anwendung der Erfindung;

Fig. 11 A zeigt eine Gruppe von Wellenformbildeni, welche die Erläuterung der Arbeitsweise des Gerätes nach Fig. 11 erleichtern;

Fig. 12 zeigt eine Draufsicht der Antikathodenianordnung nach Fig.11;

Fig. 13 und 14 zeigen perspektivische Ansichten von Antikathodenausführungen anderer Art als diejenige nach Fig. 12;

Fig. 15 und 16 zeigen Schnittdarstellungen der Antikathoden nach Fig. 13 bzw. 14;

Fig. 17 zeigt eine perspektivische Ansicht einer Löschelektrode, die für die Verwendung in Verbindung mit Antikathoden nach Fig. 13 und 14 zweckdienlich ist;

Fig. 18 zeigt ein Schaltschema eines geänderten Schaltgerätes unter Verwendung der Erfindung;

Fig. 18A zeigt eine Gruppe von Wellenformbildern, welche die Erläuterung der Arbeitsweise des Gerätes nach Fig. 18 erleichtern;

Fig. 19 ist eine Draufsicht der Darstellung der Antikathodenausführung nach Fig. 18.

Wie die Zeichnung erkennen läßt, stellt Fig. 1 ein Schaltschema eines vereinfachten Gerätes dar, welches die Erfindung verkörpert. Die Fig. 1 zeigt ein Rohr, das aus einer evakuierten Hülle 1 besteht, die die normalen Elektroden eines Elektronenstrahlerzeugungssystems enthält, nämlich eine Kathode 2, ejn Steuergitter 3, elektronenoptische, den Strahl fokussierende Elektroden 4 und Strahlablenkungselemente 5. Sämtliche dieser Elemente können von der herkömmlichen Art sein. Die Antikathode, auf welche der Elektronenstrahl 6 bei richtiger Ausrichtung auftrifft, besteht aus einem Block 7 aus Halbleitermaterial, wie zum Beispiel aus N-Typ-Germanium, welches auf einem Metallsockel 8 befestigt ist, der als ein elektrischer Anschluß dient. Die Oberfläche 9 des Blocks 7, die dem Elektronenstrahlerzeugungssystem zugekehrt ist, ist mit einem Belag aus Isoliermaterial versehen. Bei Verwendung von Germanium oder Silicium als Material des Halbleiterblocks 7 besteht ein einfacher Weg zur Schaffung des erforderlichen Isolierbelags darin, daß die Oberfläche des Blocks oxydiert wird, um eine dünne Schicht aus Germaniumoxyd oder Siliciumoxyd auf seiner Oberfläche zu erzeugen. Jede dieser Verbindungen ist ein guter Isolator mit einer ausreichend hohen dielektrischen Konstante, und jede von ihnen hat die Eigenschaft, Sekundärelektronen in einem Verhältnis größer als eins auszusenden, wenn sie mit Primärelektronen bombardiert wird, deren Energie bei 1000 Volt liegt.

Es wurde gefunden, daß Erwärmung eines Germaniumblocks auf etwa 450⁰ für die Dauer von etwa 2 Stunden, und zwar in einer feuchten Atmo-Sphäre, zur Bildung eines dünnen Isolierbelags aus Germaniumoxyd auf der Blockoberfläche führt, wobei das Germaniumoxyd alle erwünschten Eigenschaften aufweist. Indessen ist jeder Isolator und jede Methode für die Anbringung des Belags geeignet; diejenigen mit hohem Widerstand und einem Sekundärelektronenemissionsverhältnis größer als eins sind l>evorzugt. Ein Isoliermaterial, welches ein nur unzureichendes Sekundäremissionsverhältnis aufweist, welches aber sonst geeignet ist, kann ein Sekundäremissionsverhältnis über eins erhalten, indem auf seine Oberfläche, z. B. durch Verdampfungsprozeß, eine Anzahl getrennter Tröpfchen oder Flecke eines geeigneten Materials, wie z. B. Nickel oder Magnesium, aufgebracht wird. Ein Draht 10 mit einem zugespitzten Ende macht mit der Oberfläche 9 des Germaniumblocks,' die dem Elektronenstrahlerzeugungssystem zugewandt ist, einen Spitzenkontakt. Diese Elektrode, welche der Kollektor genannt wird, durchdringt den Isolierbelag, um unmittelbar mit dem Halbleitermaterial in Berührung zu kommen. Diese Kollektorelektrode 10 kann aus Phosphorbronze, Wolfram oder einem anderen geeigneten Metall bestehen. Sie ist über einen Ausgangswiderstand 11 und eine Batterie 12 an den Sockel 8 angeschlossen. Der Strom in dem Ausgangskreis kann an einem Meßgerät 13 oder an einem Kennlinienschreiber 14, der parallel zum Ausgangswiderstand 11 geschaltet ist, beobachtet werden. Der Kontakt, den diese Kollektorelektrode mit dem Germaniumblock 7 bildet, ist zweckmäßig ein elektrischer Gleichrichterkontakt, der dem Strom, welcher in der Vorwärtsrichtung fließt, einen geringen Widerstand entgegensetzt und einen höheren Widerstand dem Strom, welcher in der ent- lao gegengesetzten Richtung fließt. Es ist vorteilhaft, diesen Kontakt in der Gegenrichtung zu betreiben, d. h. die Batterie 12 so zu polen, daß der Kontakt auf den höheren Widerstand eingestellt ist. Das ermöglicht es, ihn auf eine größere Ausgangsbelastung 11 arbeiten zu lassen und gibt größere Ausgangs-

leistung. Das Elektronenfokussiersystem konzentriert einen aus Elektronen bestehenden Strahl 6 auf dem Block 7. Dieser Strahl kann durch An^ legung einer geeigneten negativen Spannung an die Steuerelektrode 3, z. B. durch Betätigung eines Schalters 16, an- und abgestellt werden. Eine Spannung ist an die Ablenkplatten^ angelegt, und diese Spannung kann verändert werden, beispielsweise durch Verstellung einer beweglichen Anzapfung 17, um die Lage des Strahles 6 mit Bezug auf den Spitzenkontakt der Kollektorelektrode 10 zu steuern. Eine Hilfsanode 18 ist vor dem Germaniumblock 7 angebracht, um den Fluß von Sekundärelektronen von der Blockoberfläche 9 zu beeinflussen. Das wird mit Hilfe eines Schalters 19 bewerkstelligt, welcher die Elektrode 18 mit Bezug auf den Germaniumblock 7 entweder positiv oder negativ vorspannen kann. Da das Sekundäremissionsverhältnis des Materials, welches den Isolierbelag auf der Blockober-

ao fläche 9 bildet, größer als eins ist, so vertreibt jedes Elektron in dem Strahl mehr als ein sekundäres Elektron von der Fläche, auf welche es auftrifft. Wenn die Hilfsanode 18 induktiv vorgespannt ist, so verhindert sie das Abfließeni von Sekundärelektronen, und es besteht ein Überschuß strom von Elektronen zum Block. Wenn die Elektrode positiv vorgespannt ist, so zieht sie mehr Sekundärelektronen von dem Block ab, als in dem Strom ankommen, und es besteht ein Überschußstrom von Elektronen, der von dem Block fortführt.

Die neue Übergangswirkung, mit welcher die Erfindung zu tun hat, tritt nicht auf, wenn eim Elektronenstrahl auf eine' blanke Halbleiterfläche auftrifft. Es ist aber belehrend, die Ergebnisse zu betrachten, die erhalten werden, wenn die Oberfläche des Blocks blank ist; denn diese Ergebnisse erleichtern die Beschreibung der neuen Übergangswirkung und machen den Unterschied gegenüber der vorbekannten Wirkung klar, die gewöhnlich als induzierte Leitfähigkeit bezeichnet wird.

Die Fig. 2 bis 9 veranschaulichen bestimmte Besonderheiten von Übergangswirkungen unterschiedlicher Art, wie sie mit dem Rohr nach Fig. 1 festgestellt wurden. Um diese Besonderheiten zu erhalten, wird die Ablenikungsspannungsquelle 17 nach Fig. 1 so eingestellt, daß der Elektronenstrahl 6 den Halbleiterblock unmittelbar neben dem Kollektor 10 trifft. Die Hilfselektrode 18 ist zunächst negativ vorgespannt, so daß keine sekundären Elektronen von dem Block abgezogen werden können. Dem Strahl wird dann ein Impuls gegeben, d. h. er wird für ein kurzes Zeitintervall angestellt, und die Änderung in dem Kollektorstrom wird an dem Meßgerät 13 oder an dem Kennlinienschreiber 14 festgehalten. Wenn der Kollektorstrom auf seinen normalen Wert zurückgekehrt ist, wird der Vorgang bei positiv vorgespannter Hilfselektrode 18 wiederholt, so daß die Hilfselektrode sekundäre Elektronen von dem Block abzieht und einen Überschußstrom von. Elektronen bewirkt, der von der Blockoberfläche wegführt. Die Fig. 2 und 3 zeigen in vergrößertem Maßstab die Stromimpulse in dem Strahl während dieser beiden Vorgänge, d. h. sie zeigen den Strahlstrom als eine Funktion der Zeit. Die Fig. 4 und 5 zeigen die Überschußelektronera-Stromimpulse in Richtung zum Halbleiter während dieser beiden Vorgänge. Wie ersichtlich, ist der Überschußelektronenstrom negativ, wenn die Sekundärelektronen von dem Block abgezogen werden.

Fig. 6 und 7. zeigen die entsprechenden Änderungen in dem Kollektorstrom, wenn der impulsartige Strahl auf eine blanke Germaniumfläche auftrifft. Die Zunahmen an Kollektorstrom erzeugen die entsprechenden Stromimpulse des Strahles in verstärkter Form, und sie hören auf, wenn der Strahlstrom abgestellt wird. Der Strom in den Ausgangsimpulsen ist etwa zehnmal größer als der Strahlstrom. Die Leitfähigkeitszunahme des blan»- ken Germaniums ist nicht dadurch bedingt, daß der Strahl das Germanium elektrisch auflädt, denn die Zunahme ist unabhängig von dem Vorzeichen des Überschußelektronenstromes zum Block 7. Die vergrößerte Konduktanz wird durch die Stoßenergie bewirkt, die die primären Elektronen auf das Germanium ausüben, und ist somit unabhängig von dem Vorzeichen des Gesamtelektronenstromes. Diese auf Stoß beruhende Art von Konduktanzzuwachs ist in der Kathodenstrahltechnik als induzierte Leitfähigkeit bekannt; sie bildet keinen Gegenstand der vorliegenden Erfindung.

Die Fig. 8 und 9 veranschaulichen die entsprechenden Änderungen in dem Kollektorstrom im Falle eines Germaniumblocks, welcher eine vorhergehende Oxydationsbehandlung erfahren hat, die oben beschrieben wurde, um die Oberfläche des Blocks mit einem dünnen Belag aus Germaniumoxyd zu versehen. Fig. 8 zeigt die Zunahme an Kollektorstrom, die durch den impulsartigen Strahl bewirkt wird, wenn keine Sekundärelektronen von dem Block abgezogen werden; es besteht ein Überschußstrom von Elektronen in Richtung zu der Blockoberfläche. Der Zuwachs an Kollektorstrom ist etwa das ioofache des Strahlstromes, und der verstärkte Strom fließt weiter, nachdem der Impuls beendet ist; d. h. er fließt weiter, nachdem der Strahl abgestellt oder durch Ablenkung entfernt ist. Fig. 9 veranschaulicht den Kollektorstrom, wenn dem Strahl ein Impuls erteilt wird und Sekundärelektronen von dem Block abgezogen werden, um einen Überschußstrom von Elektronen zu schaffen, der von der Blockoberfläche fortführt. Die Figur läßt erkennen, daß unter diesen Bedingungen keine anzeigbare Änderung in dem Kollektorstrom auftritt.

Die in Fig. 8 gezeigte Stromzunahme entspricht einer großen Änderung in. dem durch den Germaniumblock verlaufenden Übergang von der Sockelelektrode zur Kollektorelektrode. Es handelt sich dabei um eine neue Ubergangswirkung, welche iao auftritt, wenn die Oberfläche des Halbleiters mit einer dünnen Isolierschicht aus Oxyd bedeckt ist. Die neue Art der Konduktanz stellt keine durch Bombardierung induzierte Leitfähigkeit dar, sie ist nicht durch die Stoßenergie der Elektronen in dem primären Strahl hervorgerufen, denn sie tritt nicht

auf, wenn der Strahl die Fläche bombardiert und Sekundärelektronen abgezogen werden, um einen Überschußstrom von negativen Ladungen zu schaffen, der von der Oberfläche des Blocks fortführt; aber sie tritt auf, wenn der Strom der sekundären Elektronen unterdrückt wird und ein Überschußstrom von negativer Ladung in Richtung zur Blockoberfläche besteht.

Die neue Wirkung beruht augenscheinlich darauf, daß der Elektronenstrahl die Oberfläche des Isolierbelags auf ein negatives Potential auflädt, wodurch er die Konduktanz des Halbleiterkollektorkontaktes verändert.

Das Fortbestehen des Kollektorstromes nach der Beendigung des Einleitungsimpulses ist in Fig. 10 veranschaulicht, die sich aus Versuchen mit dem Rohr nach Fig. 1 unter Verwendung des oben beschriebenen oxydierten Germaniumblocks ergab. Der normale Strom in dem Kollektorkreis ist 0,37

ao Milliampere, bei negativer Vorspannung der Hilfsanode 18 nach Fig. 1 derart, daß keine sekundären Elektronen von dem Block abgezogen werden, wurde der Strahl für V₁₀₀ Sekunde eingeschaltet, und zwar in dem Zeitpunkt, der in Fig. 10 mit ο

as bezeichnet ist. Dadurch wurde eine Steigerung des Kollektorstromes um 0,5 Milliampere hervorgerufen, und der verstärkte Strom blieb bestehen, nachdem der Strahl abgestellt war. Er ließ mit der Zeit langsam nach, er floß aber noch 45 Minuten weiter. Dem Strahl wurde danach erneut ein Impuls erteilt, wobei die Hilfsanode positiv vorgespannt war, um Sekundärelektronen von der Oberfläche des Blocks abzuleiten. Dabei wird die negative Ladung an dem Oxydbelag entfernt und die Zunahme in dem Kollektorstrom fällt auf o, d. h. der Strom kehrt auf seinen Normalwert von 0,37 Milliampere zurück. Diese letzterwähnte Besonderheit ist ein wichtiges Merkmal der vorliegenden Erfindung, denn sie ermöglicht es, daß eine Zunahme an KoI-lektorstrom für eine vorbestimmte Periode aufrechterhalten wird und dann am Ende dieser Periode gelöscht wird, um auf diese Weise den Ausgangskreis für nachfolgende Betätigungen freizugeben.

Eine andere Besonderheit der neuen Übergangswirkung besteht in ihrer Abhängigkeit von dem Überschußstrom von Elektronen in Richtung zum Isolierbelag, und zwar nahe bei dem Kollektorkontakt. Der Anstieg der Konduktanz nimmt ab, wenn der Strom in dem Strahl verringert wird. Er nimmt auch ab, in dem Maße, wie mehr und mehr sekundäre Elektronen von der Oberfläche der Scheibe abgezogen werden, und es besteht kein Induktanzanstieg, wenn der Sekundärstrom einen Überschußstrom von Elektronen zustande kommen läßt, der von der Oberfläche wegführt. Eine weitere Besonderheit der Wirkung ist ihre Abhängigkeit vom der Lage des Strahles mit Bezug auf den Kollektorkontakt. Eine starke Konduktanzzunahme findet nur statt, wenn der Strahl sehr nahe bei dem Kollektorkontakt auf den Halbleiterblock auftrifft. Die Wirkung nimmt ab, wenn der Strahl von dem Kontakt fortgelenkt wird, und sie tritt gar nicht auf, .wenn die Auftreffstelle des Strahles auf den Block weiter als etwa 1,6 mm von der Kollektorkontaktspitze entfernt ist. Infolge dieser Besonderheiten kann der Ausgangsstrom mit Hilfe unterschiedlicher Mittel gesteuert werden. Mit Bezug auf Fig. ι kann er verändert werden durch die Steuerung des Stromes in dem Elektronenstrahl 6; er kann verändert werden durch die Ablenkung des Strahles 6 mit Bezug auf den Kollektorkontakt 10; und er kann verändert werden durch die Spannung, welche an der Hilfsanode 18 angelegt wird, und den sekundären Elektronenstrom, der von der Oberfläche des Blocks abgezogen wird, steuert.

Ähnliche Übergangswirkungen werden durch einen Elektronenstrahl hervorgerufen, welcher auf P-Typ-Germanium auftrifft, dessen Oberfläche mit einem dünnen Isolierbelag aus Germaniumoxyd abgedeckt ist; das gleiche ist beim Auf treffen auf Silicium der Fall, wenn dessen Oberfläche einen dünnen Isolierbelag aus Siliciumoxyd aufweist.^ur Erzielung bester Ergebnisse soll die Polarität der Potentialquelle für die Kollektorvorspannung in Wechselbeziehung mit der Leitfähigkeitscharakteristik des Materials gebracht werden, so daß der Kollektor in seiner umgekehrten Richtung arbeitet.

Die Stärke des Isolierbelags bestimmt die Abfallgeschwindigkeit der Konduktanz, nachdem der Strahl abgestellt ist; die Stärke des Isolierbelags hat aber, wenn überhaupt, nur eine geringe Wirkung auf die Empfindlichkeit des Gerätes. Im allgemeinen ist der Abfall der Konduktanz um so langsamer, je stärker der Belag ist. Im Falle eines Oxydbelags kann die Stärke durch die Steuerung der Temperatur und der Dauer der Oxydationsbehandlung bestimmt werden. Bei Steuerung dieser Faktoren lassen sich Belage herstellen, welche die geänderte Konduktanz in wenigen Sekunden nach Abstellung des Strahles auf den halben Wert abfallen lassen, und andererseits auch Belage, die so vorbereitet sind, daß sie ihren Ausgangsstrom für Stunden aufrechterhalten, nachdem der Strahl abgestellt ist. Es empfiehlt sich, einen Belag mit einer kurzen Abfallzeit anzuwenden, wenn dies mit den sonstigen Erfordernissen vereinbar ist, weil ein Belag mit kurzer Abfallzeit keine besonderen Vorsichtsmaßregeln im Hinblick auf Streuelektronenströme in dem Rohr erfordert.

Fig. 11 veranschaulicht die Anwendung der Erfindung bei einem Kontrollsystem für Telephonanrufe, wo sie dazu dient, um eine Reihe von Impulsen, welche an einem einzelnen Eingangsleiter auftreten und zeitlich nach der Art von Zeitteilungsmehrfachsystemen aufeinanderfolgen, in einer Art von beständigem Muster oder beständiger Verteilung elektrischer Bedingungen umzuwandeln, welche an einer Mehrzahl von Ausgangsleitern auftreten. Dieses System macht von der Besonderheit der Erfindung Gebrauch, dank welcher ein schnell vorbeigehendes Eingangssignal in ein bleibendes Ausgangssignal umgewandelt wird. Das Gerät enthält eine evakuierte Hülle 31 mit einem Elektronenstrahlerzeugungssystem, welches aus einer Kathode 32, einer Steuerelektrode 33 und Elektroden 34 für

die Fokussierung des Strahles besteht, von denen jede so angeordnet ist, daß sie von einer Batterie 35 und einem Potentiometer 36 mit geeignetem Betriebsvorspannungspotential versorgt wird; die Hülle 31 enthält außerdem Längsablenkelemente 37 und seitwärts ablenkende Elemente 38, die von herkömmlicher Art sein können, sowie eine Elektronenstrahlantikathode, welche nebeneinanderliegende Streifen 39 aus Germanium mit hoher Gegenepannung aufweist. Jeder Streifen kann auf seiner Unterseite mit einem leitenden Metallbelag 40 versehen sein, welcher als Sockelelektrode dient; und diese Sockelelektroden können miteinander verbunden und an die positive Klemme einer geeigneten Potentialquelle 41 angeschlossen sein. Die Streifen können nebeneinander auf einem Stützsockel 42 aus Isoliermaterial zusammenmontiert sein. Jeder der Germaniumstreifen ist auf seiner Oberseite mit einem Belag aus Isoliermaterial,

ao z. ß. Germaniumoxyd, das in der oben beschriebenen Weise gebildet wird, versehen, und jeder der Vielzahl von Drähten 43, die mit ihren zugespitzten Enden nebeneinanderliegen, durchdringt den Isolierbelag, um mit dem darunter befindlichen Geras maniummaterial 39 einen Spitzenkontakt zu bilden. Diese einzelnen Spitzenkontaktelektroden, die Kollektoren genannt werden mögen, sind vermittels der Magnetwicklungen 44 einer Mehrzahl von Relais und über Erde an die negative Klemme der Potentialquelle 41 angeschlossen. Jeder der Kollektordrähte 43 ist mit einer eigenen Löschelektrode 45 versehen, deren jede aus einer kleinen Metallplatte mit einer mittleren öffnung 46 bestehen kann, die auf der Isolierplatte 42 befestigt ist. Die einzelnen Löschelektroden 45 sind über hohe Widerstände 47 an Erde angeschlossen und außerdem über einen normalerweise offenen Schalter 48 an die positive Klemme einer Potentialquelle 49. Der Aufbau der Antikathodenzusammenstellung ist im einzelnen in der Draufsicht gemäß Fig. 12 gezeigt.

An Stelle jedes einzelnen. Germaniumstreifens kann eine Mehrzahl von Germaniumblöcken vorgesehen sein, deren Anzahl derjenigen der Spitzenkontaktelektrode entspricht. Die Einzelstreifen 39 werden als einfacher angesehen, und im Hinblick auf den kleinen Einflußbereich des Elektronen'-strahles auf die isolierte Fläche sind die Streifen in gleicher Weise zufriedenstellend.

Die seitwärts ablenkenden Elemente 38 sind mit einer Spannung 51 (Fig. 11 A) versehen, die rechteckige Wellenform hat und von einem Kippspannungsgenerator 52, z. B. einem Multivibrator, abgeleitet werden, dessen Arbeitsweise mit einer Reihe ankommender Impulse synchronisiert ist. In ähnlicher Weise werden die Längsablenkelemente 37 mit einer Spannung 53 mit sägezahnartiger Wellenform versehen, welche den Ausgang eines zweiten Kippspannungsgenerators 54 darstellt, der von herkömmlicher Bauart und synchron mit Impulsen der ankommenden Impulsreihen durch diese Impulse getrieben werden kann; der Generatur 54 kann auch, sofern dies vorgezogen wird, durch den Ausgang des Multivibrators 52 getrieben werden.

Bei Anordnung der Kippspannungserzeuger 52 und 54 in solcher Weise wird ein Elektronenstrahl, der an der Kathode 32 seinen Ausgang nimmt und durch die elektronenoptische Anordnung 34 fokussiert wird, durch die seitwärts ablenkenden Elemente 38 auf einen der Germaniumstreifen 39 abgelenkt und für jede solche Ablenkung in der Längsrichtung des Streifens geführt, und zwar infolge der Spannung 53 an den Längsablenkelementen 37.

Beim Betrieb ist davon auszugehen, daß ein kleiner Teil der verfügbaren Kanalzeit eines Telephonfernsystems einer Gruppe von Überwachungssignalen zugeteilt ist, welche die Tätigkeitsverteilung unter den Gliedern einer Gruppe von ankommenden Fernleitungen anzeigen. Mit Hilfe geeigneter Vervielfachungsausstattung bewirkt die Beamtin am Sendeende die genaue Impulsanordnung in der Gruppe. Eine solche Gruppe ist im oberen Teil der Fig. 11A angegeben. Sie kann in einem einfachen Fall eine Folge von 12 verfügbaren Impulsstellungen oder Zeitschlitzen umfassen, von denen· jeder oder alle einen Impuls erhalten kann und denen eine Gruppenzeichenimpulsstellung vorausgeht, welche immer einen mit Nummer ο bezeichneten Impuls enthält, der dazu dient, die Ablenkungsvorgänge einzuleiten. Die gesamte Reihe kann beispielsweise V₁₀₀ Sekunde dauern, und ihr kann nach einem Intervall von einer Sekunde oder noch einer wesentlich längeren Periode, wie z. B. 10 bis 30 Sekunden, eine weitere Reihe folgen. Die Kontrollimpulsgruppe kann an den Eingangsklemmen 56 des Gerätes von den Nachrichtensignalen getrennt werden, und zwar mit Hilfe eines geeigneten Ausscheidungsgerätes 57; sie kann als positive Spannungsimpulse an die ' Strahlmodulierelektrode 33 angelegt sein, welche normalerweise so vorgespannt ist, daß sie abschaltet, und zwar vermittels eines Übertragers 58, wobei jeder Impuls für sich bewirkt, daß der Strahl bei seiner Ankunft angestellt wird.

In dem gezeigten Beispiel befinden sich die Impulse der Impulsreihe in- den Stellungen- Nr. 4, 7, 11 und 12. Bei dieser Anordnung wird der Kathodenstrahl zunächst im Verlaufe seiner Längsbewegung entlang dem ersten Germaniumstreifen kurz angestellt, und zwar in dem Augenblick, in welchem die Elektronen des Strahles auf den Isolierbelag in der Nähe des Kollektors Nr. 4 auftreffen. Der Strahl wird erneut kurz angestellt in den Augenblicken, wo er sich im Verlaufe seiner Längsbewegung entlang dem zweiten Streifen! in der Nähe der Kollektoren Nr. 7, 11 und 12 befindet. Die Löschelektroden 45 werden auf negativem Potential gehalten, und die durch den Elektronenstrahl auf den Isolierbelag in der Nähe dieser verschiedenen Kollektoren 43 aufgebrachten Ladungen werden somit nicht gelöscht, sondern bleiben dort für iao' einige Minuten bestehen. Daher sind sie, gemessen an einer Periode in der Größenordnung von wenigen Sekunden, gewissermaßen beständig.

Solange die Ladungen bestehen, wirken sie in der in Verbindung mit Fig. 1 beschriebenen Weise, um die Leitfähigkeit des Halbleitermaterials zwischen

der Sockelelektrode 40 und jeder der einzelnen in Frage stehenden Elektroden 43 zu verändern. Auf diese Weise werden in den Strömen, die durch die Wicklungen der Relais 44 mit den Nummern 4, 7, 11 und 12 fließen, Zunahmen hervorgerufen. Diese Stromzunahmen sind ausreichend, um die Relaisanker anzuziehen und somit die Anzeigelampen 59 zum Leuchten zu bringen.

Diese Anzeigelampen 59 können an einem TeIephonklappenschrank angebracht sein, und jede Lampe kann eine ankommende Fernleitung identifizieren. Durch die vorangehende Folge von Vorgängen sind die Lampen zum Aufleuchten gebracht worden, welche ankommende Rufe auf den Leitungen Nr. 4, 7, 11 und 12 kenntlich machen. Infolge des beschriebenen Abfalles der Oberflächenladung wird jeder der Kollektorströme gegebenenfalls bis zu einem Punkt heruntergehen, bei welchem der Relaisanker des zugehörigen Relais 44 losgelassen wird und die Lampen 59 gelöscht werden.

Dies ist jedoch eher eine Angelegenheit von Minuten als eine solche von Sekunden, und bevor das eintritt, kann erwartet werden, daß die Beamtin am Sendeende eine weitere Kontrollimpuls-

»5 reihe aussendet, die derjenigen nach Fig. 11A ähnlich ist, um auf diese Weise die Oberflächenladungen auf dem Isolierbelag zu ergänzen und das Leuchten der Kontrollklappenschranklampen 59 an dem Empfangsende der Leitung aufrechtzuerhalten.

Die Empfangsbearntin, die für mehrere Sekunden anderwärts beschäftigt gewesen sein mag, sieht die leuchtende Lampe 59 vor sich, die einen ankommenden Ruf meldet. Sie führt dann den Stöpsel 60 in eine Klinkenbuchse 61 ein und vervollständigt damit einen Nachrichtenkreis von einer ankommenden Fernleitung 62 zu einer Teilnehmerleitung 63. Der Stöpsel 60, der im übrigen von herkömmlicher Bauart sein mag, kann in bekannter Weise so geändert sein, daß bei seiner Einführung in die Klinkenbuchse 61 auch der Schalter 48 geschlossen wird, wodurch das positive Potential der Batterie 49 an die besondere Löschelektrode 45 angelegt wird, welche dem vervollständigten Anruf zugeteilt ist. Bei Anlegung dieses positiven Potentials an die Löschelektrode 45 wird die Oberflächenladung an dem Isolierbelag beim nächsten Vorbeigang des Elektronenstrahls über den Kollektor 43 ausgewischt, weil Sekundärelektrönen, die von dem Isolierbelag infolge des Bombardements durch die Primärelektronen in größerem Verhältnis als eins freigegeben werden, in der oben beschriebenen Weise von dem Isolierbelag zu der Sekundäranode 45 abgezogen werden; auf diese Weise wird die Oberflächenladung beseitigt, und infolgedessen wird der Haltestrom in der Relaiswicklung 34 mit der gleichen Bezeichnung auf seinen Ausgangswert herabgesetzt.

Das Einsetzen des Stöpsels 60 in irgendeine der zwölf Klinkenbuchsen 61 gibt der Beamtin die Möglichkeit, einen Nachrichtenkreis von einer ankommenden Leitung 62 zu einer Teilnehmerleitung 63 herzustellen und bringt die Kontrollampe 59 zum Erlöschen.

Fig. 18 zeigt eine gegenüber Fig. 11 geänderte Ausführung, welche so eingerichtet ist, daß sie Kontrollsignale in der Form negativer Impulse empfängt, die an eine einzige Löschelektrode angelegt werden und ihre Steuerungsfunktion an dieser Löschelektrode ausüben, welche normalerweise im Löschzustand gehalten wird. Bei dieser Ausführung wird jede der Kontrollampen selbsttätig ausgeschaltet, wenn das Anruf signal nachläßt. Die den Elementen der Fig. 11 ähnlichen Elemente sind mit den gleichen Bezugsziffern versehen. Die Steuerelektrode 33 ist positiv vorgespannt, so daß der Strahl normalerweise angestellt ist. Die Kollektoren 43 sind mit einer gemeinsamen Löschelektrode 45' versehen, die vor dem Germaniumstreifen 39 angebracht ist, wie Fig. 19 im einzelnen erkennen läßt; Fig. 19 ist eine Draufsicht auf die Antikathodenzusammenstellung. Die Elektrode 45' wird durch die Batterie 49' positiv vorgespannt. Sie zieht normalerweise Sekundärelektronen von dem Isolierbelag auf dem Germaniumstreifen 39 ab und verhindert somit den Strahl, eine negative Ladung auf diesen Belag anzubringen und die Ströme in den Kreisen der Kollektoren 43 zu steigern.

Wie bei dem früheren Ausführungsbeispiel, werden die Kontrollimpulsgruppen mittels eines Ausscheidegerätes 57 abgesondert und an die Kipp-Spannungsgeneratoren 52, 54 angelegt, um zu bewirken, daß der Strahl sich zunächst längs des einen Streifens und dann längs des anderen Streifens bewegt. Geeignete Wellenformen 51, 53 für die Kippspannungen sind in Fig. 18 A veranschaulicht. Die Kontrollgruppenanzeigeimpulse oder die Nullimpulse in diesen Gruppen haben ebenso wie die Anrufanzeigeimpulse negatives Vorzeichen, und diese negativen Impulse werden vermittels eines Übertragers 58' an die gemeinsame Löschelektrode 45' angelegt. Ein Impuls, der sich in irgendeiner bestimmten Impulsstellung, z. B. in der Stellung Nr. 4 befindet, treibt die Löschelektrode 45' negativ, wenn der Strahl auf den Oxydbelag neben dem Kollektor Nr. 4 auftrifft. Der Strahl ladet auf diese Weise diesen Bereich des Belages negativ auf und bewirkt eine Steigerung des Ausgangsstromes von dem Kollektor Nr. 4. Diese Zunahme bleibt nach dem Vorbeigang des Strahles bestehen und bewirkt, daß das zugehörige Relais 44 geschlossen und die "o Signalanzeigelampe 59 für den Sprechkreis Nr. 4 zum Leuchten gebracht wird. Diese Anzeigelampe leuchtet so lange, wie in der Impulsstellung Nr. 4 Impulse ankommen, und sie gibt der örtlichen Beamtin zu erkennen, daß ein Anruf auf der ankommenden Fernleitung Nr. 4 eintrifft. Wenn die angerufene Beamtin ihre Verbindung mit dem anrufenden Beamten hergestellt hat, stellt letzterer die Impulssendung in der Zeitimpulsstellung Nr. 4 ein, und beim nächsten Vorbeigang des Strahles befindet iao sich die Löschelektrode auf positivem Potential der Batterie 49', wenn der Strahl an dem Kollektor Nr. 4 vorbeigeht. Die Hilfselektrode 45' löscht auf diese Weise die negative Ladung auf diesem Bereich des Oxydbelages, und der Kollektorstrom fällt auf seinen normalen Wert ab. Das zugehörige Relais 44

öffnet sich, und die Signalanzeigelampe Nr. 4 wird selbsttätig ausgeschaltet. Diese Ausführungsform hat den Vorteil, daß die Ausgangskreise selbsttätig freigegeben werden·, ohne daß hierfür andere besondere Hilfsmittel Anwendung finden müßten; demgegenüber hat die Ausführung nach Fig. 11 den Vorteil, daß der Kathodenstrahl normalerweise abgeschaltet ist, wodurch die Lebensdauer des Rohres verlängert wird.

Die im vorstehenden besprochenen beispielsweisen Ausführungsformen wurden gewählt, um die Erfindung in einer vergleichsweise einfachen Art zu beschreiben. Die Vorrichtung kann jedoch in anderen Formen ausgeführt sein, und sie kann benutzt werden, um verwickeitere Arbeitsvorgänge auszuführen. Für Arbeitsvorgänge, die viele Ausgangskreise umfassen, ist es erwünscht, die Kollektoren in einer ausgedehnten, zweidimensionalen Ordnung anzubringen und die Kollektorleiter in einer solchen

ao Weise herauszuführen, daß keine Störung des Elektronenstrahles vorkommt. Zwei verschiedene Ausgangsanordnungen mit diesen wünschenswerten Besonderheiten sind in Fig. 13 bis 16 veranschaulicht. Fig. 13 zeigt einen Antikathodenaufbau, bei wel-

»5 chem die Antikathode selbst aus einer einzigen Scheibe 62 aus Halbleitermaterial, z. B. Germanium, besteht, welches auf der Rückseite mittels eines Metallsockels 63 bedeckt ist, der seinerseits auf einer Isolierstütze 64 befestigt ist. Die Scheibe 62 ist mit einem oberflächlichen· Isolierbelag 65 versehen. Eine Vielzahl von kleinen Löchern 66 sind durch dieses Gebilde hindurchgebohrt, und zwar je eins für jeden Kollektordraht 67; die Drähte sind von der Rückseite der Antikathode her eingeführt und verlaufen durch Isolierhülsen 68. Sie sind umgebogen, um mit der Vorderseite des Germaniums Spitzenkontakte zu bilden. Der Aufbau einer Kollektoreinheit ist im einzelnen in der vergrößerten Querschnittsdarstellung nach Fig. 15 gezeigt. Eine gemeinsame Löschelektrode kann in der Form eines Drahtgitters oder -siebes ausgeführt sein, wie Fig. 17 zeigt, und vor der Halbleiterscheibe liegen, wobei die öffnungen der Löschelektrode sich mit den Kollektoreinheiten decken, können, um den Primärelektronen des Strahles die Möglichkeit zum freien Durchgang zu diesen Kollektorelementen zu geben. Fig. 14 zeigt eine abweichende Ausführung der Antikathode; sie ist der eben beschriebenen Ausführung ähnlich, aber die Löcher 69 für die Kollektordrähte 70 verlaufen verjüngt, um scharfe Kanten zu bilden. Jeder Kollektordraht kann an einem Pfropfen 71 aus Isoliermaterial gehalten werden, und zwar in einer solchen Weise, daß er gegen die scharfe innere Kante eines dieser verjüngt zulaufenden Löcher anliegt. Der Aufbau einer solchen Kollektoreinheit ist im einzelnen in Fig. 16 gezeigt, welche eine vergrößerte Querschnittsdarstellung einer Einheit veranschaulicht.

Claims

Patentansprüche:

i. Einrichtung mit einem Körper aus Halbleitermaterial, das einem leitenden Sockel, welcher mit dem Körper einen Kontakt geringen Widerstandes bildet und einen gleichrichtenden Kontakt, welcher an dem Körper an einer von dem leitenden Sockel entfernten Stelle angreift, aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß sich ein Isolierbelag auf der Oberfläche des Körpers an den gleichrichtenden Kontakt anschließt, ohne den letzteren zu berühren, und daß Mittel vor- 7« gesehen sind, um den Belag zwecks Erzeugung einer örtlichen Oberflächenladung mit Elektronen zu bombardieren.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Mitteln für die Bombardierung und dem Belag außerhalb der direkten Bombardierungsbahn liegende Mittel vorgesehen sind, welche bei und nach der Bombardierung den Fortbestand der Oberflächenladung auf dem Belag steuern.
3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel für die Steuerung des Fortbestandes der Oberflächenladung des Belags aus einer Hilfselektrode bestehen, die befähigt ist, von dem Belag Sekundärelektronen abzuziehen, die von dem Film infolge des Bombardements bei geeigneter Vorspannung der Hilfselektrode freigegeben werden.
4. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Ausgangskreis an den Sockel und an den gleichrichtenden Kontakt angeschlossen ist.
5. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Bombardierungsmittel einen Projektor für 95, einen fokussierten Elektronenstrahl aufweisen, der mit Ablenkplatten für die Steuerung des Strahlauftreffbereiches auf dem Belag versehen ist.
6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gegekennzeichnet, daß der Projektor für den fokussierten Strahl Mittel für die Änderung der Elektronenstrahlstärke aufweist.
7. Einrichtung nach einem der Ansprüche 2

bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Belag ein Sekundärelektronenemissionsverhältnis größer als eins hat, daß die Mittel für die Steuerung des Fortbestandes der Oberflächenladung auf dem Belag nach der Bombardierung auf einem Potential gehalten werden, welches nicht größer als das an den Körper angelegte Potential ist, und daß Mittel für die Steigerung des Potentials der Steuerungsmittel bis über das Potential des Körpers vorgesehen sind, um zwischen Belag und Steuerungsmitteln ein Feld für den Abzug der Ladung zu erzeugen, wobei beim Bombardieren des Belags die Sekundärelektronen durch das Feld vom Belag abgezogen werden.
8. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein iao oder mehrere zusätzliche gleichrichtende Kontakte mit Abstand an von dem leitenden Sockel entfernten Stellen des Körpers angreifen, wobei jeder Kontakt in einem eigenen Ausgangskreis mit dem leitenden Sockel zusammengeschaltet ist, und daß der Isolierbelag sich auch um den

bzw. die zusätzlichen Kontakte erstreckt, ohne jedoch mit denselben in Berührung zu kommen, wobei die Bombardierungsmittel wahlweise auf den Film und auf die den verschiedenen Stellen der einzelnen gleichrichtenden Kontakte benachbarten Bereiche ausrichtbar sind.
9. Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der gleichrichtenden Kontakte aus einem Metalldraht besteht, der durch eine eigene öffnung im Block hindurchgeführt ist, wobei jeder Draht an der Oberfläche des Blocks an Stellen angreift, die von der mit dem leitenden Sockel in Berührung stehenden Stelle verschieden und im übrigen voneinander isoliert sind.
10. Einrichtung nach Anspruchs und 6 und einem der Ansprüche 8 oder 9-, dadurch gekennzeichnet, daß an die Ablenkplatten und die Strahlmodulationsmittel ein Eingangsleiter für die Übertragung einer Impulsreihe angeschlossen ist zu dem Zweck, den Strahl unter dem Einfluß der Impulse über den Belag in den aufeinanderfolgenden, neben den gleichrichtenden Kontakten liegenden Bereichen hinwegzuführen.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

O 1532 9.