DE807964T1 - Einrichtung zum behandeln flacher elemente mit einem plasmajet - Google Patents

Einrichtung zum behandeln flacher elemente mit einem plasmajet

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Igor Petrovich Bagry
Boris Mikhailovich Balats
Vyacheslav Gennadie Shamshurin
Oleg Vyacheslavovich Sinyagin
Iskander Malikovich U Tokmulin
Aleksei Borisovich Virovets
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Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH
    Vorrichtung zur Plasmastrahibearbeitung von Platten, enthaltend einen Plasmastrahlerzeuger, ein Gaszufuhrsystem, eine Gruppe von Haltern der zu bearbeitenden, zum Plasmastrahl gekehrten Platten mit einer Antriebsvorrichtung zur Regelung der Winkelverschiebung; dabei ist jeder der Plattenhalter in Form einer Horisontalfläche achsendrehbar ausgeführt, und die Achse verläuft durch ihr geometrisches Zentrum winkelrecht in bezug auf ihre Ebene, wobei der Plasmastrahl und der Plattenhalter relativ zueinander in der Richtung mindestens nach einer Koordinatenachse verschiebbar ausgeführt sind und miteinander in einem oder keinem Kontakt stehen können, gekennzeichnet dadurch, daß in diese ein Manipulator, eine Vorrichtung zum Sammeln der zu bearbeitenden Platten und eine geschlossene, mit einem Gasaustauschsystem versehene Kammer eingesetzt sind, wobei im Innern der Kammer die Halter der zu bearbeitenden Platten und der Plasmastrahlerzeuger aufgestellt sind und der Plasmastrahl von unten nach oben in bezug auf die Ebene der Horisontaiflächen der Piattenhalter gerichtet ist, und wobei die geschlossene Kammer ein Fenster mit einem verschiebbaren Vorhang aufweist und der Manipulator mit den Vorrichtungen zum Sammeln direkt und mit den
    DE/EpQ 807 864 &tgr;
    Plattenhaltern mittels des Kammerfensters in Verbindung stehen kann, dabei ist jeder der Plattenhalter mit Randbegrenzem versehen und seine Horisontalfläche weist mindestens drei Wirbelkammern und drei Tangenzialkanäle auf, wobei die Achsen der Wirbelkammern winkelrecht in bezug auf die Ebene der Horisontalfläche verlaufen und jede der Wirbelkammern einen offenen, auf der horisontaien Stirnfläche des Plattenhalters angeordneten Bereich aufweist und mittels des Tangenzialskanals mit dem Gaszufuhrsystem verbunden und solcherweise angeordnet ist, daß die gebildeten Wirbelströme den Verbleib der Platte neben dem Halter, sowie die Abkühlung ihrer einzelnen Bereiche zum Ausgleich der zur Plattenbearbeitung nötigen Energiemenge auf der Plattenoberfläche sichern, wobei die Begrenzer auf den Flächen des Plattenhalters stabförmig sind und der Winkel zwischen den Begrenzern und der Ebene der horisontaien Plattenhalterfläche &agr; > 90° beträgt und die Länge der Begrenzer i der Bedingung 21 sin (&agr; - 90°) > &Dgr; entspricht, worin &Dgr; die größte Abweichung von der achssymmetrischen Anordnung der zu bearbeitenden Platten in den Sammlern bedeutet.
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