DE761476C - Vorrichtung zum Einsetzen von Objektpatronen in Elektronenmikroskope unter Verwendung eines Halters - Google Patents

Vorrichtung zum Einsetzen von Objektpatronen in Elektronenmikroskope unter Verwendung eines Halters

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Publication number
DE761476C
DE761476C DES139149D DES0139149D DE761476C DE 761476 C DE761476 C DE 761476C DE S139149 D DES139149 D DE S139149D DE S0139149 D DES0139149 D DE S0139149D DE 761476 C DE761476 C DE 761476C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
cartridge
holder
protective tube
electron microscopes
cartridges
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DES139149D
Other languages
English (en)
Inventor
Bodo Von Dr-Ing Borries
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens and Halske AG
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens and Halske AG
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens and Halske AG, Siemens Corp filed Critical Siemens and Halske AG
Priority to DES139149D priority Critical patent/DE761476C/de
Application granted granted Critical
Publication of DE761476C publication Critical patent/DE761476C/de
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/18Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Description

  • Vorrichtung zum Einsetzen von Objektpatronen in Elektronenmikroskope unter Verwendung eines Halters Beim Arbeiten mit dem Elektronenmikro, skop muß das zu untersuchende Objekt bekanntlich von außen in den Vakuumraum eingeschleust werden:. Derartige Schleusen arbeiten mit Fettdichtungen, indem beispielsweise ein drehbares Hahnküken als Objektpatronenschleuse ausgebildet wird. Dieses Hahnküken ist dabei mit einer Querbohrung versehen, die zur Aufnahme der Patrone dient. Das Hahnküken kann einmal in einte Stellung verstellt werden, in der die Querbohrung einer äußeren, in der Vakuumwand des Elektronenmikroskops vorgesehenen öffnung gegenübersteht. In dieser Lage wird die Patrone mit Hilfe eines besonderen Patronenhalters von außen eingeführt. Durch eine Drehung wird das Hahnküken dann. so verstellt, daß die Querbohrung in der Richtung des Elektronenstrahls liegt.
  • Beim Einführen der Objektpatrone ließ es sich bisher nicht vermeiden, daß Fett an die Objektpatrone und von dieser weiter an das Objektiv gelangt. Hierdurch treten unerwünschte Aufladungserscheinungen im Strahlengang auf, welche das Arbeiten mit dem Mikroskop stören. Die Erfindung betrifft eine
    Vorrichtung zum Einsetzen von Objekt-
    patronen in Elektronenmikroskope unter Ver-
    cvendung eines Halters, mit welchem die
    Patrone in das Mikroskop eingeführt und an
    dem dafür vorgesehenen Patronenträger be-
    festigt wird. Die erwähnten Schwierigkeiten
    werden erfindungsgemäß dadurch vermieden,
    daß der zum Einführen der Patrone dienende
    Halter ein Schutzrohr aufweist, in das beim
    Einführen der Patrone in den Vakuumraum die
    Patrone eingesetzt ist. Durch diese besonderen
    Halter wird die Patrone beim Einführen in die
    Schleuse, da sie vollkommen von dem Schutz-
    rohr abgeschirmt ist, gegen Berührung von
    fettgefährlichen Stellen geschützt. Ferner
    wird zweckmäßig die Objektpatrone so eng
    ausgeführt, daß sie beim Einführen und auch
    bei der Patronenverstellung in Richtung des
    Strahlenganges an den fettgefährlichen Stellen
    nicht anstoßen kann.
    Das Schutzrohr wird vorzugsweise mit
    einer Feder versehen, die in den Patronen-
    halter so eingebaut ist, daß das Schutzrohr
    zurre Einsetzen der Patrone in den Halter ent-
    gegen der Wirkung dieser Feder zu verschie-
    ben ist. Durch diese Ausführung wird die
    Objektpatrone ganz zwangsläufig von äußeren
    Einflüssen bis zur Befestigung in der Schleuse
    geschützt. Um ein einfaches Befestigen der
    Patrone in der Schleuse zu ermöglichen, wird
    der beschriebene Patronenhalter zweckmäßig
    als Schraubenschlüssel ausgebildet. Man kann
    dann die mit einem Gewinde versehene
    Patrone mit Hilfe des Halters leicht in ein
    entsprechendes, in der Schleuse eingebautes
    Haltestück einschrauben.
    In den Figuren ist ein Ausführungsbeispiel
    der Erfindung dargestellt.
    Fig. i zeigt den Patronenhalter gemäß der
    Erfindung. Die Objektpatrone ist mit i be-
    zeichnet; sie hat einen Teil z, der in das
    Rohr 3 des Halters paßt. An der Stelle, an
    der die Patrone eingesetzt wird, ist dieses
    Rohr 3 mit Schlitzen .4 versehen, so daß es
    etwas federn kann. Mit 5 ist das am anderen
    Ende der Patrone vorgesehene Gewinde be-
    zeichnet, mit dessen Hilfe die Patrone im
    Innern der Schleuse festgeschraubt wird. Mit 6
    sind zwei halbkreisförmige Nasen bezeichnet,
    «-elche an dem Rohr 3 des Halters angeordnet
    sind. Diese Nasen passen in entsprechend aus-
    gebildete halbkreisförmige Aussparungen
    des mittleren Patronenteiles. Das Rohr 3 ist
    am anderen Ende bei 8 als Handgriff aus-
    gebildeL Zum Schutz der in das Rohr 3 ein-
    gesetzten Patrone dient ein Schutzrohr
    diesem ist eine Feder io zugeordnet. Unter
    Wirkung der Feder io stellt sich das Schutz-
    rohr g jeweils zwangsläufig in die dargestellte
    Lage ein. In dieser Stellung ist, wie die Figur
    erkennen läßt, die Patrone i völlig vom
    Schutzrohr umgeben. und gegen äußere Ein-
    flüsse geschützt. Zum Herausnehmen bzw.
    i beim Einsetzen der Patrone r wird das
    Schutzrohr g entgegen der Wirkung der Feder
    io in der Richtung des Pieil;s zurückgezogen,
    so daß die Patrone i aus dein Rohr 3 heraus-
    gezogen werden kann.
    Die Fig.2 zeigt einen Längsschnitt durch
    den Teil des Elektronenmikroskops, welcher
    die Einschleusvorrichtung enthält. Die Ein-
    schleusvorrichtung weist ein drehbares Hahn-
    küken i i auf. das eine Bohrung 12 hat. In der
    Figur ist das Hahnkük .en in der Betriebslage
    dargestellt. Mit 13 ist die der Schleuse zu-
    geordnete Vakuumwand bezeichnet. In dieser
    Vakuumwand ist eine Einschleusbohrung r4
    vorgesehen. Mit 15 ist ein in Richtung des
    Elektronenstrahls verschiehbarer, mit einer
    mittleren Durchbohrung versehener Stempel
    bezeichnet, der dazu dient, die Patrone i nach
    dem Einschleusen aus der Schleuse heraus in
    Richtung auf das Objektiv 16 hin zu ver-
    stellen. In der Figur ist der Fall dargestellt,
    daß die Patrone i aus der Bohrung 12 des
    Hahnkükens i i heraus verstellt ist. Diese Ver-
    stellbewegung erfolgt entgegen der Wirkung
    einer Feder 17. Der Antrieb für den Stempel 15
    ist in der Figur nicht gezeichnet. -Mit 18 ist
    eine Buchse bezeichnet, die als Führung für
    den unteren Teil der Patrone i dient. Zum
    Ausschleusen wird die Patrone i mit Hilfe
    des Stempels 15 so weit nach oben verstellt,
    bis sie sich völlig in der Schleusenhahnboh-
    rung 12 befindet. Der Stempel 15 wird dann
    noch weiter nach oben hin verstellt, bis er
    auch mit seinem unteren Ende ganz aus der
    Bohrung 1 2 herausbewegt ist. Danach kann
    das Hahnküken i i entgegengesetzt dem Uhr-
    zeigersinn so weit verdreht werden, bis das
    untere Ende der Patrone i der Einschleus-
    bohrung rd. unmittelbar gegenübersteht. In
    dieser Lage kann die Patrone mit Hilfe des
    Halters entnommen werden.
    Der Durchmesser der Öffnung 1 4 und der
    Durchmesser der Bohrung 12 des Hahn-
    kükens i i sind entsprechend dem Außendurch-
    messer des Patronenhalters d1 so gewählt, daß
    der Halter in die Öffnung 14 und in die Boh-
    rung 12 gut eingeführt werden kann. Durch
    die besondere Ausbildung des Halters ist da-
    für gesorgt, daß die Patrone auf keinen Fall
    mit denjenigen Stellen der Vakuumwand und
    des Kükens in Berührung kommen kann, an
    denen sich Dichtungsfett befindet. Um auch
    bei der Verschiebebewegung der Patrone i in
    Richtung auf das Objektiv 16 zu die Möglich-
    keit auszuschließen, daß die Oberfläche der
    Patrone Dichtungsfett mitnimmt, ist der
    Durchmesser d, des Teiles 2 der Patrone er- i
    heblich kleiner gewählt als der Durchmesser d3
    der in der Vakuumwand 13 vorgesehenen
    Bohrung. Mit z9 ist ein in der Bohrung 12, des Schleusenhahnkükens angeordneter Teil bezeichnet, in den die Patrone mit ihrem Gewinde 5 eingeschraubt wird.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRÜCHE: r. Vorrichtung zum Einsetzen von Objektpatronen in Elektronenmikroskope unter Verwendung eines Halters, mit welchem die Patrone in das Mikroskop eingeführt und an dem dafür vorgesehenen Patronenträger befestigt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der zum Einführen der Patrone dienende Halter ein Schutzrohr aufweist, in das beim Einführen der Patrone in den Vakuumraum die Patrone eingesetzt ist. Vorrichtung nach Anspruch r, dadurch gekennzeichnet, daß das Schutzrohr mit einer in den Halter derartig eingebauten Feder versehen ist, d.aß das Schutzrohr zum Einsetzen der Patrone in den Halter entgegen der Wirkung dieser Feder zu verschieben ist. 3. Vorrichtung nach Anspruch z oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Patronenhalter als Schraubenschlüssel ausgebildet Ist. ZurAbgrenzung des Erfindungsgegenstands vom Stand der Technik .ist im Erteilungsverfahren folgende Druckschrift in Betracht gezogen worden: Deutsche Patentschrift Nr. 659 o92:
DES139149D 1939-11-10 1939-11-10 Vorrichtung zum Einsetzen von Objektpatronen in Elektronenmikroskope unter Verwendung eines Halters Expired DE761476C (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES139149D DE761476C (de) 1939-11-10 1939-11-10 Vorrichtung zum Einsetzen von Objektpatronen in Elektronenmikroskope unter Verwendung eines Halters

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES139149D DE761476C (de) 1939-11-10 1939-11-10 Vorrichtung zum Einsetzen von Objektpatronen in Elektronenmikroskope unter Verwendung eines Halters

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE761476C true DE761476C (de) 1953-06-08

Family

ID=7541022

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DES139149D Expired DE761476C (de) 1939-11-10 1939-11-10 Vorrichtung zum Einsetzen von Objektpatronen in Elektronenmikroskope unter Verwendung eines Halters

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE761476C (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE959307C (de) * 1953-08-16 1957-03-07 Siemens Ag Blendenhalter fuer Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE659092C (de) * 1934-12-12 1938-04-25 Ernst Ruska Dr Ing Einschleusvorrichtung fuer an der Pumpe betriebene Korpuskularstrahlapparate

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE659092C (de) * 1934-12-12 1938-04-25 Ernst Ruska Dr Ing Einschleusvorrichtung fuer an der Pumpe betriebene Korpuskularstrahlapparate

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE959307C (de) * 1953-08-16 1957-03-07 Siemens Ag Blendenhalter fuer Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope

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