DE761476C - Vorrichtung zum Einsetzen von Objektpatronen in Elektronenmikroskope unter Verwendung eines Halters - Google Patents
Vorrichtung zum Einsetzen von Objektpatronen in Elektronenmikroskope unter Verwendung eines HaltersInfo
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- DE761476C DE761476C DES139149D DES0139149D DE761476C DE 761476 C DE761476 C DE 761476C DE S139149 D DES139149 D DE S139149D DE S0139149 D DES0139149 D DE S0139149D DE 761476 C DE761476 C DE 761476C
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
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Description
- Vorrichtung zum Einsetzen von Objektpatronen in Elektronenmikroskope unter Verwendung eines Halters Beim Arbeiten mit dem Elektronenmikro, skop muß das zu untersuchende Objekt bekanntlich von außen in den Vakuumraum eingeschleust werden:. Derartige Schleusen arbeiten mit Fettdichtungen, indem beispielsweise ein drehbares Hahnküken als Objektpatronenschleuse ausgebildet wird. Dieses Hahnküken ist dabei mit einer Querbohrung versehen, die zur Aufnahme der Patrone dient. Das Hahnküken kann einmal in einte Stellung verstellt werden, in der die Querbohrung einer äußeren, in der Vakuumwand des Elektronenmikroskops vorgesehenen öffnung gegenübersteht. In dieser Lage wird die Patrone mit Hilfe eines besonderen Patronenhalters von außen eingeführt. Durch eine Drehung wird das Hahnküken dann. so verstellt, daß die Querbohrung in der Richtung des Elektronenstrahls liegt.
- Beim Einführen der Objektpatrone ließ es sich bisher nicht vermeiden, daß Fett an die Objektpatrone und von dieser weiter an das Objektiv gelangt. Hierdurch treten unerwünschte Aufladungserscheinungen im Strahlengang auf, welche das Arbeiten mit dem Mikroskop stören. Die Erfindung betrifft eine
Vorrichtung zum Einsetzen von Objekt- patronen in Elektronenmikroskope unter Ver- cvendung eines Halters, mit welchem die Patrone in das Mikroskop eingeführt und an dem dafür vorgesehenen Patronenträger be- festigt wird. Die erwähnten Schwierigkeiten werden erfindungsgemäß dadurch vermieden, daß der zum Einführen der Patrone dienende Halter ein Schutzrohr aufweist, in das beim Einführen der Patrone in den Vakuumraum die Patrone eingesetzt ist. Durch diese besonderen Halter wird die Patrone beim Einführen in die Schleuse, da sie vollkommen von dem Schutz- rohr abgeschirmt ist, gegen Berührung von fettgefährlichen Stellen geschützt. Ferner wird zweckmäßig die Objektpatrone so eng ausgeführt, daß sie beim Einführen und auch bei der Patronenverstellung in Richtung des Strahlenganges an den fettgefährlichen Stellen nicht anstoßen kann. Das Schutzrohr wird vorzugsweise mit einer Feder versehen, die in den Patronen- halter so eingebaut ist, daß das Schutzrohr zurre Einsetzen der Patrone in den Halter ent- gegen der Wirkung dieser Feder zu verschie- ben ist. Durch diese Ausführung wird die Objektpatrone ganz zwangsläufig von äußeren Einflüssen bis zur Befestigung in der Schleuse geschützt. Um ein einfaches Befestigen der Patrone in der Schleuse zu ermöglichen, wird der beschriebene Patronenhalter zweckmäßig als Schraubenschlüssel ausgebildet. Man kann dann die mit einem Gewinde versehene Patrone mit Hilfe des Halters leicht in ein entsprechendes, in der Schleuse eingebautes Haltestück einschrauben. In den Figuren ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt. Fig. i zeigt den Patronenhalter gemäß der Erfindung. Die Objektpatrone ist mit i be- zeichnet; sie hat einen Teil z, der in das Rohr 3 des Halters paßt. An der Stelle, an der die Patrone eingesetzt wird, ist dieses Rohr 3 mit Schlitzen .4 versehen, so daß es etwas federn kann. Mit 5 ist das am anderen Ende der Patrone vorgesehene Gewinde be- zeichnet, mit dessen Hilfe die Patrone im Innern der Schleuse festgeschraubt wird. Mit 6 sind zwei halbkreisförmige Nasen bezeichnet, «-elche an dem Rohr 3 des Halters angeordnet sind. Diese Nasen passen in entsprechend aus- gebildete halbkreisförmige Aussparungen des mittleren Patronenteiles. Das Rohr 3 ist am anderen Ende bei 8 als Handgriff aus- gebildeL Zum Schutz der in das Rohr 3 ein- gesetzten Patrone dient ein Schutzrohr diesem ist eine Feder io zugeordnet. Unter Wirkung der Feder io stellt sich das Schutz- rohr g jeweils zwangsläufig in die dargestellte Lage ein. In dieser Stellung ist, wie die Figur erkennen läßt, die Patrone i völlig vom Bohrung. Mit z9 ist ein in der Bohrung 12, des Schleusenhahnkükens angeordneter Teil bezeichnet, in den die Patrone mit ihrem Gewinde 5 eingeschraubt wird.Schutzrohr umgeben. und gegen äußere Ein- flüsse geschützt. Zum Herausnehmen bzw. i beim Einsetzen der Patrone r wird das Schutzrohr g entgegen der Wirkung der Feder io in der Richtung des Pieil;s zurückgezogen, so daß die Patrone i aus dein Rohr 3 heraus- gezogen werden kann. Die Fig.2 zeigt einen Längsschnitt durch den Teil des Elektronenmikroskops, welcher die Einschleusvorrichtung enthält. Die Ein- schleusvorrichtung weist ein drehbares Hahn- küken i i auf. das eine Bohrung 12 hat. In der Figur ist das Hahnkük .en in der Betriebslage dargestellt. Mit 13 ist die der Schleuse zu- geordnete Vakuumwand bezeichnet. In dieser Vakuumwand ist eine Einschleusbohrung r4 vorgesehen. Mit 15 ist ein in Richtung des Elektronenstrahls verschiehbarer, mit einer mittleren Durchbohrung versehener Stempel bezeichnet, der dazu dient, die Patrone i nach dem Einschleusen aus der Schleuse heraus in Richtung auf das Objektiv 16 hin zu ver- stellen. In der Figur ist der Fall dargestellt, daß die Patrone i aus der Bohrung 12 des Hahnkükens i i heraus verstellt ist. Diese Ver- stellbewegung erfolgt entgegen der Wirkung einer Feder 17. Der Antrieb für den Stempel 15 ist in der Figur nicht gezeichnet. -Mit 18 ist eine Buchse bezeichnet, die als Führung für den unteren Teil der Patrone i dient. Zum Ausschleusen wird die Patrone i mit Hilfe des Stempels 15 so weit nach oben verstellt, bis sie sich völlig in der Schleusenhahnboh- rung 12 befindet. Der Stempel 15 wird dann noch weiter nach oben hin verstellt, bis er auch mit seinem unteren Ende ganz aus der Bohrung 1 2 herausbewegt ist. Danach kann das Hahnküken i i entgegengesetzt dem Uhr- zeigersinn so weit verdreht werden, bis das untere Ende der Patrone i der Einschleus- bohrung rd. unmittelbar gegenübersteht. In dieser Lage kann die Patrone mit Hilfe des Halters entnommen werden. Der Durchmesser der Öffnung 1 4 und der Durchmesser der Bohrung 12 des Hahn- kükens i i sind entsprechend dem Außendurch- messer des Patronenhalters d1 so gewählt, daß der Halter in die Öffnung 14 und in die Boh- rung 12 gut eingeführt werden kann. Durch die besondere Ausbildung des Halters ist da- für gesorgt, daß die Patrone auf keinen Fall mit denjenigen Stellen der Vakuumwand und des Kükens in Berührung kommen kann, an denen sich Dichtungsfett befindet. Um auch bei der Verschiebebewegung der Patrone i in Richtung auf das Objektiv 16 zu die Möglich- keit auszuschließen, daß die Oberfläche der Patrone Dichtungsfett mitnimmt, ist der Durchmesser d, des Teiles 2 der Patrone er- i heblich kleiner gewählt als der Durchmesser d3 der in der Vakuumwand 13 vorgesehenen
Claims (1)
- PATENTANSPRÜCHE: r. Vorrichtung zum Einsetzen von Objektpatronen in Elektronenmikroskope unter Verwendung eines Halters, mit welchem die Patrone in das Mikroskop eingeführt und an dem dafür vorgesehenen Patronenträger befestigt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der zum Einführen der Patrone dienende Halter ein Schutzrohr aufweist, in das beim Einführen der Patrone in den Vakuumraum die Patrone eingesetzt ist. Vorrichtung nach Anspruch r, dadurch gekennzeichnet, daß das Schutzrohr mit einer in den Halter derartig eingebauten Feder versehen ist, d.aß das Schutzrohr zum Einsetzen der Patrone in den Halter entgegen der Wirkung dieser Feder zu verschieben ist. 3. Vorrichtung nach Anspruch z oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Patronenhalter als Schraubenschlüssel ausgebildet Ist. ZurAbgrenzung des Erfindungsgegenstands vom Stand der Technik .ist im Erteilungsverfahren folgende Druckschrift in Betracht gezogen worden: Deutsche Patentschrift Nr. 659 o92:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DES139149D DE761476C (de) | 1939-11-10 | 1939-11-10 | Vorrichtung zum Einsetzen von Objektpatronen in Elektronenmikroskope unter Verwendung eines Halters |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DES139149D DE761476C (de) | 1939-11-10 | 1939-11-10 | Vorrichtung zum Einsetzen von Objektpatronen in Elektronenmikroskope unter Verwendung eines Halters |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE761476C true DE761476C (de) | 1953-06-08 |
Family
ID=7541022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DES139149D Expired DE761476C (de) | 1939-11-10 | 1939-11-10 | Vorrichtung zum Einsetzen von Objektpatronen in Elektronenmikroskope unter Verwendung eines Halters |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE761476C (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE959307C (de) * | 1953-08-16 | 1957-03-07 | Siemens Ag | Blendenhalter fuer Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE659092C (de) * | 1934-12-12 | 1938-04-25 | Ernst Ruska Dr Ing | Einschleusvorrichtung fuer an der Pumpe betriebene Korpuskularstrahlapparate |
-
1939
- 1939-11-10 DE DES139149D patent/DE761476C/de not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE659092C (de) * | 1934-12-12 | 1938-04-25 | Ernst Ruska Dr Ing | Einschleusvorrichtung fuer an der Pumpe betriebene Korpuskularstrahlapparate |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE959307C (de) * | 1953-08-16 | 1957-03-07 | Siemens Ag | Blendenhalter fuer Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope |
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