DE959307C - Blendenhalter fuer Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope - Google Patents

Description

AUSGEGEBEN AM 7. MÄRZ 1957

S 34832 VIII c/2ig

Bei Korpuskularstrahlapparaten, beispielsweise Elektronenmikroskopen, müssen an verschiedenen Stellen des Strahlenganges Blenden angewendet werden, bei denen es notwendig ist, eine beliebige Querverschiebung zur Justierung oder aus sonstigen Gründen durchzuführen. Eine solche Blende ist beispielsweise in der Objektivfinse des Elektronenmikroskops als Aperturblende erforderlich. Auch als Träger der Objekte benutzt man in Elektronenmikroskopen Blenden, die beliebig quer verschiebbar sein müssen, um den gesamten Objektbereieh gut durchmustern zu können. Bei den bisher bekannten Objektivblendenkonstruktionen, die bei magnetischen Linsen angewendet werden, hat man bisher die Blende in das Pplschuhsystem beweglich mit Rückstellfedern eingebaut, wobei es zum Reinigen der Blende notwendig war, die Mikroskopröhre zu öffnen, die Polschuhe herauszuziehen und dann erst die Blende zu entnehmen.

Die Erfindung betrifft einen Blendenhalter für Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope, der von außen in den Strahlengang einführbär und mit zwei vorzugsweise unter einem Winkel von 90° gegeneinander versetzten Verstellvorrichtungen quer zum Strahl justierbar ist. Zweck der Erfindung ist es, die Anordnung so durchzubilden, daß man die Blende !unmittelbar aus der Mikroskopröhre, beispielsweise aus dem Pol-

sdhuhsystem, herausnehmen kann, ohne erst die Röhre öffnen zu müssen. Zu diesem Zweck ist der Blendenhalter erfindiungsgemäß an einer der Verstellvorrichtungen lösbar, spielfrei und derart be-S weglich befestigt, daß er im Bedarfsfalle Bewegungen der anderen Verstellvorrichtung folgt. Die Verbindung des Blendenhalters mit der Verstellvorrichtung kann in verschiedener Weise erfolgen. Besonders vorteilhaft ist es, für diese Befestigung

ίο eine Verbindung nach Art eines Bajonettverschlusses zu verwenden, dabei kann das Spiel in der Verstellrichtung durch Zwischenschaltung einer Druckfeder vermieden werden. Um bei einer derartigen Konstruktion Ungenauigkeiten im Führungsteil der Verstellvorrichtung zur Linsenelektrode bzw. zum Polschuh auszugleichen, wird man dafür sorgen, daß zwischen der Bohrung der Verstelleinrichtung und dem Außenteil des Blendenhalters sowie zwischen dem Stift des Bajonettver-

ao Schlusses und den zugehörigen Anlageflächen im Gegenstück so viel Bewegungsfreiheit vorhanden ist, daß ein genügend großes Ausweichen des Blendenhalters nach allen Richtungen möglich ist. Um den Blendenhalter mit Hilfe einer zweiten Verstellvorrichtung senkrecht zu der Verstellvorrichtung, an welcher er befestigt ist, spielfrei einstellen zu können, kann die Anordnung so ausgebildet werden, daß der Blenidenhalter durch eine Druckfeder quer zu seiner Achse gedrückt wird. Ein Ausführungsbeispiel für eine solche Konstruktion ist schematisch in den Fig. 1 bis 4 dargestellt.

Fig. ι zeigt eine Seitenansicht, ' Fig. 2 die Draufsicht auf die Blendenhalterung;

Fig. 3 und 4 ist der Bajonettverschluß vergrößert herausgezeichnet.

Der eigentliche Blendenhalter 1, der mit einer oder mehreren Blenden 2 ausgerüstet sein kann, wird mit Hilfe einer nach Art eines Bajonettverschlusses 3 ausgebildeten Verbindung mit der einen Blendenverstellvorrichtung 4 so verbunden, daß eine allseitige Beweglichkeit sowie eine leichte Austauschbarkeit gewährleistet ist. Eine Druckfeder 5 sorgt für eine spielfreie Verbindung in der Verschieberichtung. Eine zweite Druckfeder 6 drückt gegen das kugelförmige hintere Ende 7 des Blendenhalters, so daß dieser immer senkrecht zur Verschieberichtung der Verstellvorrichtung 4 gedrückt wird. Die zweite Verstellvorrichtung 8 endet in einem Stift 9, der seitlich gegen den Blendenhiailter 1 arbeitet und diesen in die gewünschte Lage spielfrei drückt. Beim Drehen der Verstellvorrichtungen 4 und 8 folgt der Blendenhalter 1 in gewünschten Verstellbewegungen spielfrei in beiden senkrecht au fein anders teilenden Bewegungsrichtungen, so daß man in der Lage ist, die Blende quer zum Strahl beliebig einzustellen.

Ein dem Bajonettverschluß zugeordneter Stift 10 arbeitet mit einem breiten Teil 11 und einem schmalen Teil 12 in der aus Fig. 3 und 4 ersichtlichen Weise mit in der Hülse 13 befindlichen Schlitzen zusammen. Dadurch wird ein um i8o° falsches Einsetzen des Blendenhalters vermieden.

Eine andere Ausführungsmöglichkeit der Erfindung ergibt sich durch Verwendung nur einer einzigen Druckfeder, die einmal die Aufgabe übernimmt, das Spiel zwischen Blendenhalter und Verstellvorrichtung aufzuheben, und die ferner infolge einer schrägen Gegenlage für eine federnde Schräglage des Blendenhalters sorgt, so daß dieser durch die zweite Verstelleinrichtung senkrecht zur Längsachse spielfrei eingestellt werden kann. Ein Ausführungsbeispiel hierfür ist in Fig. 5 dargestellt. Soweit die Einzelteile mit denen in Fig. 1 übereinstimmen, sind die gleichen Bezugszeichen verwendet. Dem Blendenhalter 21 ist hier eine einzige Feder 22 zugeordnet, die die Funktionen der Federn 5 und 6 des ersten Ausführungsbeispieles übernimmt. Zu diesem Zweck sind die Anlageflächen des Stiftes 3 im Teil 23 und der Scheibe 24 am. vorderen Ende des Teiles 23 gegenüber der Längsachse des Teiles 23 um einen bestimmten Winkel geneigt angeordnet. Ebenso ist die Anlagefläche des Teiles 12 gegenüber der Scheibe 24 um denselben Winkel geneigt. Auf diese Weise ist erreicht, daß die Feder 22 den Blendenhalter 21 schräg gegenüber dtem Teil 23 hält. Durch den Druck des Stiftes 9 der zweiten Verstellvorrichtung 8 kann der Blendenhalter 21 senkrecht zur Längsachse des Teiles 23 quer verstellt werden.

Blendenhalter der vorbeschriebenen Art kann man in besonders vorteilhafter Weise so ausgestalten, daß sie zur Aufnahme einer größeren Anzahl von Blenden geeignet sind. Zu diesem Zweck wird der Blendenhalter mit einem Aufnahmeschlitz versehen, in welchen die jeweils gewünschte Anzahl von Blenden so eingesetzt werden kann, daß sie einander berühren und durch einseitigen Feder- ioo druck gegen eine Anlage gedrückt werden.

Besonders vorteilhaft ist es, in diesen Fällen als Druckfeder diejenige Feder zu benutzen, welche — wie die vorhergehenden Ausführungsbeispiele zeigen — zum federnden Einsetzen des Halters in seine Verstellvorrichtung dient.

Ein Aiusführungsbeispiel für eine derartige Blendenhalterung ist in den Fig. 6 bis 8. dargestellt. Der Blendenhalter besteht in diesem Fall aus den beiden Teilen 25 und 26, die Blenden 27 selbst können in beliebiger Anzahl in einen Schlitz 28 eingesetzt werden, der im Teil 25 vorgesehen ist. Die Druckfeder 22 drückt die Hülse 26 nach links und übt auf diese Weise von rechts her einen Druck auf die einander berührenden Blenden aus, so daß sie im Schlitz 28 festgeklemmt sind. Mit einer solchen Anordnung ergeben sich folgende Vorteile: Sämtliche Blenden können unmittelbar aneinandergelegt werden, wodurch sich der geringste Abstand der Blenden ergibt. Die einzelnen BISnden können durch Auseinanderziehen der beiden Teile 25, 26 gegen den Druck der Feder 22 leicht entnommen werden. Da die Feder nicht in der Nähe des Strahles liegt, ist sie gegen Ausglühen einwandfrei geschützt. Auch ist es ohne weiteres möglich, die Feder 22 an dieser Stelle hinreichend kräftig zu

machen, um die Blenden mit Sicherheit festzuhalten und um weiterhin die federnde Abstützung der Teile 25, 26 gegenüber dem Halter 23 sicherzustellen.

Claims (8)

Patentansprüche:

1. Blendenhalter für Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope, der von außen in den Strahlengang einführbar

Lo und mit zwei, vorzugsweise unter einem Winkel von 90⁰ gegeneinander versetzten, voneinander unabhängigen Verstellvorrichtungen quer zum Strahl justierbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Blendenhalter an einer der Verstellvorrichtungen lösbar, spielfrei und derart beweglich befestigt ist, daß er im Bedarfsfalle Bewegungen der anderen Verstellvorrichtung folgt.

2. Anordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß der Blendenhalter durch eine nach Art eines Bajonettverschlusses ausgebildete Verbindung an der Verstellvorrichtung befestigt ist und daß das Spiel in der Verstellrichtung durch Zwischenschaltung einer Druckfeder vermieden ist.

3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Bohrung der Verstelleinrichtung und dem Außenteil des Blendenhalters sowie zwischen Stift des Bajonettverschlusses und zugehörigen Anlageflächen im Gegenstück so viel Bewegungsfreiheit vorhanden ist, daß ein genügend großes Ausweichen des Blendemhialters nach allen Richtungen möglich ist, um Ungenauigkeiten im Führungsteil der Verstellvorrichtung zum Polschuh auszugleichen.

4. Anordnung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Druckfeder den Blendenhalter quer zu seiner Achse drückt, so daß durch eine zweite Verstellvorrichtung der Blendenhalter senkrecht zur ersteren spielfrei einzustellen ist.

5. Anordnung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß zwecks Vermeiden des falschen Einsetzens des Blendenhalters der Haltestift des Bajonettverschlusses auf einer Seite abgeflacht und der zugehörige Einführungsschlitz an der Verstellvorrichtung entsprechend schmal gehalten ist.

6. Anordnung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß nur eine Druckfeder das Spiel zwischen Blendenhalter und Verstellvorrichtung aufhebt und infolge einer schrägen Gegenlage für eine federnde Schräglage des Blendenhalters sorgt, damit dieser dann durch eine zweite Verstelleinrichtung senkrecht zur Längsachse spielfrei einzustellen ist.

7. Anordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Blendenhalter einen Aufnahmeschlitz aufweist, in den mehrere Blenden so einzusetzen sind, daß durch einen einseitigen Federdruck die Blenden einander berühren und gegen eine Anlage drücken.

8. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Feder als Druckfeder dient, die zum federnden Einsetzen des Halters in seine Verstellvorrichtung angeordnet ist.

In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschrift Nr. 761 476;
deutsche Patentanmeldungen ρ 55795 VIIIc/

2rg D (Patent 891118), B 9398 VIIIc/21 g (Patent 895).

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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