DE891147C - Einrichtung zum Einfuehren von Blenden in optische oder elektronenoptische Strahlengaenge - Google Patents

Einrichtung zum Einfuehren von Blenden in optische oder elektronenoptische Strahlengaenge

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Publication number
DE891147C
DE891147C DES23528A DES0023528A DE891147C DE 891147 C DE891147 C DE 891147C DE S23528 A DES23528 A DE S23528A DE S0023528 A DES0023528 A DE S0023528A DE 891147 C DE891147 C DE 891147C
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DE
Germany
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optical
diaphragms
electron
introducing
beam paths
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Expired
Application number
DES23528A
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English (en)
Inventor
Heinz Schaar
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SUEDDEUTSCHE LABORATORIEN GmbH
Original Assignee
SUEDDEUTSCHE LABORATORIEN GmbH
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/005Diaphragms

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)

Description

  • Beim Einbau oder Auswechseln von Blenden in optische Strahlengänge, insbesondere bei Elektronenmikroskopen, tritt die Schwierigkeit auf, daß beim Wechselnder Blenden die Reproduzierbarkeit ihrer Lage im Strahlengang dadurch begrenzt ist, daß Teile des optischen Systems zum Wechseln der Blenden bewegt oder gar entfernt werden müssen, d. h. daß nach jedem Wechsel der Blende das optische System unter Umständen gänzlich neu justiert werden muß.
  • Die Erfindung betrifft nun eine Einrichtung zum Einführen von Blenden in optische oder elektronenoptische Strahlengänge, die die genannten Schwierigkeiten vermeidet und die sich von -den bereits bekannten dadurch unterscheidet, daß die Blenden auf einem Blendenträger angeordnet sind, der um eine Achse senkrecht zum optischen Strahlengang drehbar angeordnet ist, .derart, daß jede Blende während ihrer Benutzung in einer Ebene liegt, deren Lot dem Strahlengang parallel ist.
  • Besonders vorteilhaft ist es, wenn der Blendenträger mit einem Kreuztisch derart fest verbunden ist, daß er den Bewegungen des Kreuztisches in zwei Dimensionen folgen kann.
  • Die Fig. i bis 3 zeigen in zum Teil schematischer Darstellung ein Ausführungsbeispiel der Einrichtung gemäß der Erfindung.
  • Der Blendentisch,i ist fest mit einem verschiebbaren Kreuztisch 2 verbunden. Auf dem Blendentisch ist ein Lager 3 befestigt; das aus einem halbrunden Stab besteht, der an den beiden Enden senkrecht zur Achse Führungsschienen mit Nuten hat. In .diesen Nuten läuft der Blendenträger q.. An dem einem Ende des Blendenträgers q. ist eine Zugfeder 5 befestigt, deren anderes Ende am Kreuztisch 2 verspannt ist. Am anderen Ende des Blendenträgers a,. ist ein Draht 6 befestigt, der über eine Ablenkrolle mit dem Exzenter 7 verbunden ist, der die Bewegungen des Kreuztisches nicht mitzumachen braucht. Die Blende wird zum Einjustieren so geklappt, daß der Seilzug 6 lose ist und die Zugfeder 5 den Blendenträger auf dem Blerndentisch festzieht. Zum Wechseln der Blende wird der Exzenter 7 bis zum Anschlag gedreht, wodurch der Seilzug 6, den Blendenträger bewegt und eine. andere Blende in den Strahlengang einführt. Bei Rückdrehen des Exzenters 7 zieht die Feder 5 den Blerndenträger q. wieder in die ursprüngliche Lage zgrück.

Claims (2)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Einrichtung zum Einführen von Blenden in optische oder elektronenoptische Strahlengänge, dadurch gekennzeichnet, daß die Blenden auf einem Blendenträger angeordnet sind, der um eine Achse senkrecht zum optischen ,Strahlengang drehbar angeordnet ist, derart, daß jede Blende während, ihrer Benutzung in einer Ebene liegt, deren Lot dem Strahlengang parallel ist.
  2. 2. Einrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß der Blendenträger mit einem Kreuztisch derart verbunden ist, daß er dessen Bewegungen in zwei Dimensionen folgen kann.
DES23528A 1951-06-15 1951-06-15 Einrichtung zum Einfuehren von Blenden in optische oder elektronenoptische Strahlengaenge Expired DE891147C (de)

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