DE891895C - Vorrichtung zum Drehen und Verschieben von Gegenstaenden in evakuierten Raeumen - Google Patents

Vorrichtung zum Drehen und Verschieben von Gegenstaenden in evakuierten Raeumen

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DE891895C
DE891895C DEB9398D DEB0009398D DE891895C DE 891895 C DE891895 C DE 891895C DE B9398 D DEB9398 D DE B9398D DE B0009398 D DEB0009398 D DE B0009398D DE 891895 C DE891895 C DE 891895C
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DE
Germany
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bearing body
cylindrical
evacuated
axis
rotating
Prior art date
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Expired
Application number
DEB9398D
Other languages
English (en)
Inventor
Eugen Laepple
Erwin Munk
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J21/00Vacuum tubes
    • H01J21/02Tubes with a single discharge path
    • H01J21/06Tubes with a single discharge path having electrostatic control means only
    • H01J21/08Tubes with a single discharge path having electrostatic control means only with movable electrode or electrodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/20Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)

Description

  • Vorrichtung zum Drehen und Verschieben von Gegenständen in evakuierten Räumen Es gibt Vorrichttungen zum Einführen und Biewegen voln Gegenisitändeni in evakuierten Räumen, die vüln atliß,en# zin b,etät#,ig#--nidie, Steueriungseleinente enthalten, so daß das Vakuum gar nicht aufgehoben oder anch nur beeinibr-ächtigt wird!. Diese Voirrichtunggen können auis einem Haliterungsgerät, besitehen, das z. B. als Rohr in der Gehäusewand des evakuierten Raiumes drehbar und verschiiebbar- glelagert ist. Dlie Abidichtiung im Lager gegen von außen eindringen& Luft kann zweckmäßig dIurch Ringnuten erfolgen, die, in den; . Lagerwünden, angebracht, das Rohr aillseitig umschließen und dauernd an eine l'ainfenidL- Vakuumpumpe anggeschloisisen, sind, Um weitere Bewegungen eines an diesem. Rohr Z" Creha,-Iterten G,eigenist#ain#d#,s ausztaführen, aIs durch Drehen und Verschieben des Rohres allein möglich sänd, kann z. B. nach einem Vorschlag, im Innern des Rohres alis übert ungiselement ein Stängichen rag lieggen, das in, bekannter Weise durth, einen Federu körper mit dIem Rohr vakuu-mdlicht verbunden ist und von außen glesteuext werden klann.
  • Für genau, regelbare Dreh- und Verschiebebeiwegungen ist vorgeschlugen worden, dias Rahr exzentris,ch in zylindrischient Laggern zu: bewegen, die ihrerseits drehbar in der Geh,äuisiewan#d' des evakuierten Raumes, M egen. -Das Rohr 1 Ut! -sich mit einem soJohen Lager so direhen, diaiß,der an, ihm gehalterte Gegenstand Drehbewegungen um <Ee Achse des zylindrischen, Lagers ausfuhrt. Wirddhis Zylindrische Lager, #selbst noch, exzentrist,ch, in einem gleichen, größeren; zylindlrischen Lager gelagert, das nun seinerseits drehbar in der Gehäusewandliegt, so kann bei gleichzeitiger Bewegung beider zylindrischer Lager in entgegengesetztem Sinn eine geratd,linig-c Bewegung, z. B#. vertikal, des Gegenstandes bewirkt werden.
  • Die Erfindung geht von den genannten Vorricht#tm,gen aus; und gibt eine neue Art der Lage.,rung für die den Gegenstand halterndeen Geräte an. So soll gemäß; der Erfindiung dias Halterungisgerät in dee nicht achsparallelen Bohlung eines zy.l(inidvischen Lagerkörperst gelagert und das- Lager seinerseits drehbar im Gehäuse dk--s evakuierten Raumes gelagert sein. Die Achse des zylindrischen LagerkÖrpers, Goill dahei durch den gehaIterten Geglenstand (gehen.
  • Das Gerät zur Halteliting der Gegenstände im, evakuierten Raum kann, wie gesagt, z. B,. ans einem Rohr bestehen, das #dreh#- und vetschiebbar,- in der Geh,äusewand,dejs evakuierten Raumes gehagert sein solil. Di# Dreh- und Velischiebbarkeit de& Rohres in dem Lager ist zweckmäßig, damit der gehalterte Gegenstand so eingestellt werden kann, dhß- die Achse des zylindrischen Laglerkörpers duzch ihn hindurchgeht. Das. Rohr scoll außerdem noch, ein weiteres Übertiragungelement, z. B. ein Stängchen, in seinem Innern enthalten, das, es, ermöglicht, den, Gegenstand im evakuierten Rwrn z. # B,. aus &M Innern des Röhres, herauszuführen. Das, ist konstruktiv ohne weiteres möglich, wenn der Gegenr stanrd im Vergleich zum Halterungsgerät sehr klein ist, z. B. wenn es sich um Objekte handelt, die in einem Ellektronenmiktoiskop beobachtet werden soll',en. Die Lagerung dIes, Rühres soll: nun aber licht in der exzentrischen, Boh-rung, wie schon vorgeschlagen wurde, sondern in e-iner nicht achspairallelen B#ohrung eines 7-yliindrischen Lagerkör-pers erfolgen, Das Rohr wird dadurch zur Achse des La#-,erköTpers schief gestellt und, beschreibt beim Drehen idesi Lagerkürperts einen, Kegelmantel. Der gehalterte Geggenstand, der ja in der Achse dIes sichdrehenden, zylindrischen Lagerst liegen soll, be- wegt, sich nur um sich selbst; er führt nur eine Drehung um die durch, ihn gehende Achsedesi zylindrischen Lagerkörperls aus. Hierbei bleibt er z. B. als Objekt im Elektronenmikroskop# im Strahlenga,ng liegen, und es können Stereoaufnahmen von ihm, sehr leicht und schnell, -gemacht werden.
  • Die erfindüngsgemäße Vorrichtung hat außerdlem den Vorteil kleinerer Abmessungen für die Lagerkörper im Vgrgleich mit bekannten Vorrlichtungen, wenn man in weiterer Ausführung der Erfindung den, Lagerkörper, #der,dais(Rohr teägt, selbst in einen zweiten, größeren Lagerkörper legt, der ihn umschließt. Es ist oben schon amge-d#utet, daß einem Vorschlag gemäß auch geradlinige Bewegungen :des Gegenstandes ausfiffiAar, sind, wenn z. B,. dhs halterncle Rohir, exzentrisch in einem zwei-hm! ihn =]schließenden zylindrischen Lagerkörper, Eegt. Bei entgegengesetzter Dreliung der beiden, Lagerkörper kann man mit Hilfe einer geeigneten) Führung des Rohires etreichen, dbß! der Gegenstand z. B. eine rein vertikale Bewegung ausführt Die geradliinige Bewegung, dIes Gegenstandes kann auch mit einer erfindungsgemäßen, Vorrichtun- erfolgen: Das zylindrische Lager für dfas Halterungsgeriit soll zu. diesem Zweck selbst nicht achsparadIel, in einem zweiten, größeren zyl--ii:udirischen Laglerkörper drehbiarliegen und dieser zweite Lagerkörper im Gehäuse des evakuierten Raumes gelagert sein. Wird, dhs hiaIrtern,& Rohr mit seinem ersten 7-ylindrischen Lager festgehalten und, dhs zweite (äußere) zyliinctris"rihe Lager, in. axialer Richtu,ng verschoben, ohne daß es, gedir:,ehrt wird, so Rffirt das Rohr eine Bewegung parallel zu sich sellyst aus. Der Gegenstand wandert aleo, auf geradlinigem Wege z. B. nach ohen oder- nach, unten.
  • Mit Hilfe dieser beiden zylindrischen Lager läßt sich z. B, ein Objekt im Elektronenmikroskop. in eine ElektrünenEnse von oben hinein- und wieder herausbewegen. Die Näherung des, Objekts an die Elektrionenlinse bedeutet bekanntlich eine Verkürzung der B#rennweite. Die Bewegungen, die sich mit der erfindungsgernHen Vorrichtung au#sf#ffiren lassen, erlauben es, von den Objekten. -i-n schneller Folige fotografische Aufnahmen mit verschiedlenen Brennweiten der Eleküronenfinsen anzufertigen. Außerdem slind stereofotografische Aufnahmen durch Schwenkende& Objektsi mit ERlie des inneren zylindeiischen Lagews gleichherweise möglich.
  • Diie Ab-ib#. i und 2, zeigen Ausführungsbeispiele ,der Erfindung. In Abb«.. i ist das rührförmige Haltierungsgeriä± i für Gegenstände in, der, nicht ach(sp!afflajlllel,en Biohrung 2, eines: zylindrischen Lagerkörpeirs, 3 gelägiert. Der Lugerköirper3 selbst Iliegt im Gehäuse 4, der hier den evakuierten Raum 5 eines Elektrenenmik.rwlmpsum-gdil(ießt. Der Gegenstand, ist hier aJs Objekt 6 im Objekt.bräger 7 aM Rohr' i gehaltertund in diie Eleküronendinse 8 dItirch eine von, außen gesteuerte Bewegung eines Übertraganigs-elements einführlmr, des, hier nicht glezeichnet isit. Das Übertnagungseleinent liegt- im Innern des Rohtes. Das Objekt6 kann darch die bekannten Maßnahmen aus. dern Rohr i heratusbewegt werden, bis es in der Achise des zyllindri-.S!dl!en'Lagexs 3 liegt.
  • Druheweglungen des, zyliedbischen Lagers. 2# bewirken ein Neigen des Objekts 6 um die Achse des zyliindrischen, Lagers, die ja durch das; Objdd- 6 ,geht.
  • Die Abb. 2, zeigt die gleiche Vorrichtung, wie in Abb. i, nur ist hier ein, zweiter zyllindrischer Lagerkörper, 9 vorhanden, der länger als der innere Lagerkörpee 3 ausgefühhit ist. Im Lagerkörper 9 ist der !innere Lagerkörper 3 in nicht achsparzlIeler, Dohrung gelagert. In, der Abh. 2 ist eine Stellung gezeigt, in -welcher',das Rohr i die gefste Sbellüng einnimmt, d. h. das Objekt 6 istem. weitesten in die Linse 8 hineingebra-cht.
  • Fixiert man dIas, Rohr i mit dIem, zylindrischen Lager 3 und verischiöbt man dhs zyliüeische Lager 9 in seiner axiaJen Richtung, wie dIer Pfeil andeutet, so wird das Rohr i parallel zu sii#ch- selbist verschoben, in diesem Beispiel, entsprechend der Pfeilrichtung nach oben, so daß, das Objekt 6 aus der Linse 8 herauswandert, und zwar auf geradliniglem, Wege. Das, Obje#kt, 6 bleibt aber hier immer in 6-er Achise des inneren zylindrikhen Lagers, 3, so daß, auchi die um dIiese Achse möglichen Drehbewegungen, wie bei Abb,. i besdirieben, ausgeführt werden können.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Vorrichtung zum, D.rdhien(und Verischieben von Gegenständen in evakuierten Räumen" dadurch gekennzeichnet, daß, einid#n Gegenstand hailterndes Gerät in der nicht achsparallelen BohiTung eines zylindrischen Lagerkörpers ge- lagert ist und der zylindr-iische Lagerkörper seinerseibs,drehbür im Gehäuse desi evakuierten Raumesi gelagert ist, wobei seine Achse durch den, Gegenstand gebt. --. Vorirlchtung nach Ansprüch i, dadurch ge--kei=eichnlet, daß der zylindris,che Lagerkörper drehbar und niicht ach splar a11 liel, in einem größeren zylindrischen Lagerkörper, gelagert ist, welcher selbst in axialer Richtung im Gehäuse ,des evakuierten Raumes verschiebbar ist. 3. Vorrichtung nach Anspruch i oder 2 zum Drehenund Verschieben von Objekten in Elektrönenmikroskopen.
DEB9398D 1943-07-17 1943-07-18 Vorrichtung zum Drehen und Verschieben von Gegenstaenden in evakuierten Raeumen Expired DE891895C (de)

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DE (1) DE891895C (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE959307C (de) * 1953-08-16 1957-03-07 Siemens Ag Blendenhalter fuer Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE959307C (de) * 1953-08-16 1957-03-07 Siemens Ag Blendenhalter fuer Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope

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