DE760378C - Verfahren zum Metallisieren von Unterlagen durch Metallbedampfung - Google Patents

Verfahren zum Metallisieren von Unterlagen durch Metallbedampfung

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DE760378C
DE760378C DEB187199D DEB0187199D DE760378C DE 760378 C DE760378 C DE 760378C DE B187199 D DEB187199 D DE B187199D DE B0187199 D DEB0187199 D DE B0187199D DE 760378 C DE760378 C DE 760378C
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DEB187199D
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Eberhard Dr-Ing Traub
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Robert Bosch GmbH
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Robert Bosch GmbH
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/021Cleaning or etching treatments
    • C23C14/022Cleaning or etching treatments by means of bombardment with energetic particles or radiation

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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Description

  • Verfahren zum Metallisieren von Unterlagen durch Metallbedampfung Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Metallschichten, vorwiegend sogenannter glänzender Metallschichten, auf Unterlagen durch Metallbedampfung im Vakuum, wobei die Unterlagen zuvor der Wirkung einer Glimmentladung ausgesetzt worden sind, und besteht darin, daB die zu metallisierenden Unterlagen, z. B. Papier, nach der Vorbehandlung längere Zeit frei in atmosphärischer Luft lagern.
  • Bei der Aufbringung von Metallschichten auf Unterlagen, wie z. B. Papier, durch Metallbedampfung hat es sich gezeigt, dal3 bei gutem Vakuum und hoher Temperatur sogenannte metallisch glänzende Schichten entstehen. Bei gutem Vakuum, und' hoher Temperatur wird aber andererseits manchen Unterlagen, insbesondere Papier, zu viel Wasser entzogen; die Unterlagen können brüchig werden, und eine Metall'bedampfung von rasch laufenden Bändern wird unmöglich.
  • Bei schlechtem Vakuum und niedrigeren Bedampfungstemperaturen kann die Unterlage von Feuchtigkeit und sonstigen Gasresten nicht vollständig befreit werden; es, entstehen nur nichtglänzende Schichten und diese nur in dünneren Lagen. Diese nichtglänzenden Schichten haben gegenüber den metallisch glänzenden und dem reinen Metall einen 'höheren elektrischen spezifischen Widerstand und haften nur schlecht auf ihrer Unterlage. Bei der Verwendung von Metallpapier, z. B. für Kondensatoren. hat es sich als vorteilhaft erwiesen, wenn das Metallpapier mit metallisch glänzenden --Metallschichten bedeckt ist, da diese wesentlich weniger elektrische Energie verbrauchen. wenn sie an einer Stelle elektrisch durchschlagen werden und ausbrennen. Beim Durchschlag eines Kondensators aus Metallpapier. dessen 1Ietallschicht genügend dünn ist. tritt an der Durchschlagsstelle ein Strom auf. der die umliegenden Metallschichten derart erhitzt, daß diese rasch um die Durchschlagsstelle herum wegbrennen, wodurch der Kurzschluß -wieder unterbunden wird.
  • Uni auf Unterlagen gleichmäßig verteilte. metallisch glänzende Schichten in beliebiger Stärke in möglichst kurzer Zeit zu erhalten, sind derart 'hohe Bedampfungstemp°raturen notwendig, daß die üblichen verwendeten elektrischen Heizkörper überbeansprucht werden müssen und daher eine sehr kurze Lebensdauer haben. Es haften diesen Verfahren also noch eine Reihe von -Mängeln an, die zu beheben waren.
  • Es ist nun schon vorgeschlagen worden, gute Schichten, also etwa die sogenannten metallisch glänzenden Schichten, selbst bei schlechtem Vakuum und geringer Temperatur dadurch herzustellen, daß die Unterlage, die man metallbedampfen will, der die Metallisierung fördernden Einwirkung einer Glimmentladung ausgesetzt wird. Diese Wirkung der Glimmentladung wurde verschieden erklärt. Einmal glaubte man, daß durch die von der Glimmentladung bewirkte Ionisierung des im Verdampfungsgefäß befindlichen Gases die Zusammenballung einzelner 'Metallatome des verdampften Metalls zu größeren Einheiten infolge Energieverlustes durch Zusammenstoß mit den Gasatomen verhindert werde, ein andermal suchte man die Erklärung in einer angeblich reinigenden Einwirkung der Glimmentladung auf die Unterlage, insbesondere in einer Beseitigung einer auf der Unterlage haftenden Wasserschicht.
  • Beiden Erklärungen entsprach die bisherige Auffassung, daß das Bedampfungsverfahren während der Dauer der Glimmentladung selbst oder wenigstens in dem Raum vorgenommen -werden mußte, in welchem die Glimmentladung stattgefunden hatte, ohne daß der zu metallisierende Körper vor der Metallisierung wieder in andere Bedingungen gebracht werden dürfte. Insbesondere mußte man darauf bedacht sein. zwischen der Beendigung der Glimmentladung und dem Beginn der Bedampfung keine Zeit verstreichen '' und keine Bedingungen eintreten zu lassen, die geeignet waren, die Ionisierung des im Verdampfungsraum befindlichen Gases zu stören oder gar den der Glimmentladung bereits unterworfenen, noch unbedampften Gegenstand wieder zu verunreinigen.
  • Praktisch war man infolgedessen darauf angewiesen, die Behand:ung mit der Glimmentladung und die Bedampfung im gleichen Raum möglichst unmittelbar nacheinander oder sogar gleichzeitig vorzunehmen. Dies hat schon deswegen gewisse -Nachteile, weil sowohl Glimmentladung wie Bedampfung vom Druck abhängige Vorgänge sind und keineswegs etwa bei gleichem Druck den besten Wirkungsgrad erreichen. Weiterhin ist durch die zeitliche und örtliche Bindung der 'Verfahrensschritte aneinander eine schlechte Ausnutzung der zur Durchführung eines einzelnen der Verfahrensschritte notwendigen Apparateteile gegeben, wenn mit der Gesamtanordnung auch noch andere als das obenerwähnte Verfahren ausgeführt werden sollen.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren vermeidet diese \achteile. Es hat sich nämlich gezeigt, daß die Wirkung der Vorbehandlung durch eine Glimmentladung so durchgreifend ist, daß man eine vorbehandelte Unterlage, beispielsweise ein Papierband, -wochenlang aufbewahren kann und nicht einmal vor Feuchtigkeitseinflüssen und ähnlichen Einwirkungen schützen muß und daß trotz des großen Zeitraumes zwischen Vorbehandlung und Metallbedampfung auch bei schlechtem Vakuum und geringer Temperatur gute metallisch glänzende Schichten entstehen. Dies war nach den bisherigen Erklärungen der Wirkungsweise der Glimmentladung nicht zu erwarten. Das erfindungsgemäße Verfahren unterscheidet sich also von dem bekannten durch die Einführung eines dritten Schrittes, der Aufbewahrung oder Lagerung zwischen den beiden Schritten des bekannten Verfahrens. Außer der Vermeidung der obenerwähnten Nachteile ergibt dies den ausschlaggebenden Vorteil, daß man Vorbehandlung und Bedampfung an ganz verschiedenen Stellen vornehmen kann und beispielsweise die vorbehandelten Unterlagen von einem Ort zum anderen versenden kann. ohne daß die Wirkung der Vorbehandlung leidet.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH: Verfahren zum Metallisieren von Unterlagen durch '@Ietallhedampfung, die zuvor der Wirkung einer Glimmentladung ausgesetzt worden sind, dadurch gekennzeichnet, daß die zu metallisierenden Unterlagen, z. B. Papier. nach der Vorbehandlung längere Zeit frei in atmosphärischer Luft lagern. Zur Abgrenzung des Erfindungsgegenstands vom Stand der Technik sind im Erteilungsverfahren folgende Druckschriften in Betracht gezogen worden: Physikalische Zeitschrift, Bd. 2;q,, S. 462 ff.; E s p e und. K n o 11, »Werkstoffkunde der Hochvakuumtechnik«, 1936, S. r13..
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