DE746056C - Verfahren zur Herstellung einer aufgerauhten Oberflaeche von isolierenden Traegerunterlagen - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer aufgerauhten Oberflaeche von isolierenden Traegerunterlagen

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DE746056C
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DE
Germany
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roughened
discharge
insulating
gas discharge
alternating voltage
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Expired
Application number
DES147949D
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English (en)
Inventor
Dr-Ing Habil Theodor Rummel
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Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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Publication date
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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/021Cleaning or etching treatments
    • C23C14/022Cleaning or etching treatments by means of bombardment with energetic particles or radiation

Description

  • Verfahren zur Herstellung einer aufgerauhten Oberfläche von isolierenden Trägerunterlagen Für den Wert einer auf einer Trägerunterlage aufgebrachten dünneu Schicht ist neben anderem ihre Haftfestigkeit auf der Unterlage entscheidend. Diese ist je nach dem angewendeten Schichtbildungsverfahren - verschieden, hängt aber auch im großen Maße von der Wahl der Trägerunterlage und deren Oberflächenbeschaffenheit ab. Durch Aufdampfung aufgebrachte Schichten haften beispielsweise infolge der Bildung der Schicht aus atomaren Teilen sehr gut, jedoch reicht auch ihre Haftfestigkeit häufig in mechanischer Beziehung nicht aus, wie es sich z. B. bei durch Aufdampfung hergestellten Spiegelflächen zeigte, die gegenüber mechanischen Beanspruchungen, wie sie bei der Reinigung des Spiegels auftreten, nicht haftfest genug waren.
  • Man hat zur Verbesserung der Haftfestigkeit bereits vorgeschlagen, die Trägerunter-Lage aufzurauhen, und hat für diese Aufrauhung die verschiedensten Verfahren in Anwendung gebracht: Es konnte dabei in gewisser Weise eine Verbesserung der _ Haftfestigkeit erzielt werden, obwohl die Aufrauhung bisher noch nicht bewußt zu dem Niederschlagsverfahren der Schicht in Ein-. klang und Übereinstimmung gebracht wurde. Die üblichen Aufrauhungen, insbesondere durch mechanische Verfahren, stellen eine makroskopische Aufrauhung dar, die für die Teilchen, aus denen die Schicht gebildet wird, viel zu grob ist, so daß eine wesentlich bessere Verankerung dieser Teilchen nicht stattfinden kann.
  • Mit der Erfindung wird ein neuartiges Verfahren- angegeben, mit welchem es mÖglich ist,- eine äußerst feine Profilierung bei der Aufrauhung zu erzielen, so daß auch.die Haftfestigkeit von aus- atomaren Teilen gebildeten Überzügen ganz wesentlich verbessert werden kann, wodurch es gelingt, beispielsweise Oberflächenspiegel, also Glasträger mit aufgedampfter Metallschicht, oder elektrische Kondensatoren, d. h. beliebige Dielektrika mit aufgedampfter oder sonstwie aufgebrachter Metallschicht, oder auch Widerstände aus isolierenden Trägern mit leitender Oberfläche u. dgl. mit wesentlich verbesserten Eigenschaften herzustellen.
  • Erfindungsgemäß wird 'diese feine Aufrauhung dadurch erreicht, daB man zwischen der aufzurauhenden Oberfläche der isolierenden Trägerunterlage und einer zweiten nichtleitenden Fläche eine Wechselspannungsgasentladung durchführt.
  • Dieses Verfahren hat große Ähnlichkeit mit der sogenännten Kathodenzerstäubung, mit Hilfe welcher bekanntlich Metalle unter dem Einfluß eines Spannungsfeldes in einem mit geeignetem- Gas angefüllten Raum zerstäubt werden, die sich auf beliebigen Trägern, die in den Weg der Kathodenzerstäubung gebracht werden, in Form einer dünnen, zusammenhängenden Schicht niederschlagen. Der Unterschied zwischen diesen bekannten und dem vorliegenden Verfahren ist der, daß nicht Metallelektroden zerstäubt werden, sondern daß die isolierenden Trägerunterlagen, die aufgerauht werden sollen; unter dem Einfluß des Wechselspannungsfeldes an ihrer Oberfläche zerstäubt werden.
  • Dieser Vorschlag erscheint zunächst schwer durchführbar, da es sich bei den aufzurauhenden Gegenständen um Nichtleiter der Elektrizität handelt, die also nicht ohne weiteres als Elektroden bezeichnet werden können. Trotzdem ist das angegebene Verfahren durchführbar, da die isolierenden Trägerkörper als Dielektrikum wirken und somit für den über die Entladungsstrecke fließenden Wechselstrom einen Leiter darstellen.
  • Es ist nun allerdings bekannt, in den Weg einer Kathodenzerstäubung Isolierstoffträger zu bringen, um diese entweder mit einer '-Metallschicht zu überziehen oder sie, wenn die Einwirkung nur kurzzeitig erfolgt, zu reinigen; d. h. von adsorbierten Gas- oder Fettschichten zu befreien und sie damit für eine in anderer Weise nachfolgende Metallisierung geeigneter zu gestalten bzw. durch die Kathodenzerstäubung in nicht sichtbarer Weise Metallkeime auf dem Träger anzubringen, die als Keimzellen für eine andersartige spätere Metallisierung dienen. In diesen bekannten Fällen hat man jedoch niemals bewußt die durch die Kathodenzerstäubung gegebenenfalls hervorgerufene Aufrauhung des Isolierstoffes verwendet, .die im übrigen auch deswegen nichtNin Erscheinung treten konnte, weil etwaige entstehende Vertiefungen durch gleichzeitig darauf niedergeschlagene Metallteilchen'wieder verstopft wurden.
  • Insofern muß also auch das. erfindungsgemäße Verfahren in anderer Weise als die bekannten Verfahren durchgeführt werden. Es ist nämlich nicht angängig, für den aufzurauhenden lsolierstoff als Gegenelektrode eine Metallarmatur anzuwenden, weil diese ihrerseits zerstäubt und auf den Isolierstoffträger niedergeschlagen wird. Entsprechend der erfindungsgemäßen Regel soll die Gasentladung zwischen der aufzurauhenden Oberfläche des Isolierstoffes und einer zweiten nichtleitenden Fläche eintreten.
  • Dies ist nun dadurch möglich, daß man den Trägerkörper mit der aufzurauhenden Oberfläche gegenüber einem weiteren Isolierstoffkörper in den Weg einer Wechselspannungsgasentladung derart bringt, daß -zwischen der aufzurauhenden Oberfläche und dem zweiten Isolierstoffkörper eine Gasentladung brennt. Man kann aber auch den aufzurauhenden _ Trägerkörper selbst als Elektrode dadurch ausbilden, daß man in seinem Innern oder auf der Gegenseite eine Belegungsschicht anbringt,.die mit dem einen Pol der Wecliselspannungsquelle in Verbindung steht. Diese Elektrode ordnet , man dann einer gleichen Elektrode oder einem sonstigen Isolierstoffkörper gegenüber an, so daß"aucli in diesem Fall eine Gasentladung zwischen der aufzurauhenden und einer weiteren Isolierstoftfläclie brennt.
  • Bei der Durchführung des Verfahrens kann es zweckniaßig sein, als Wechselspannungsquelle eine solche höherer Frequenz, gegebenenfalls sogar Hochfrequenz, zu verwenden, was besonders dann angebracht erscheint, wenn die Isolierstoffe, die mit einer aufgerauliten Oberfläche versehen werden sollen, eine geringe Diclektrizitä tskonstante und somit einen Schlechten 1_e.itweg für den Wechselstrom darstellen. :11s Gas für die Wechselspannungsentladung bedient nian sich zweckmäßigerweise solcher Gase oder Dämpfe, die ein hohes Atoin#;ewiclit besitzen, weil dadurch eine große rein physikalische Zerstäubung der Isolierstofioberflächen bedingt wird.
  • Man kann aber auch für die Entladungsstrecke solche Gase oder Dämpfe benutzen, die unter dein Einfluß der Entladung eine chemische Reaktion mit der Trägerunterlage eingehen. Es zeigte sich, daß bei Benutzung derartiger Gase oder Dämpfe eine noch bessere Aufrauhung der Isolierstoffoherfläche erzielbar ist. Als Beispiel sei angeführt, daß man bei der Aufrauhung von Glasoberflächen Wasserstoffatmosphäre,wobei Siliciumwasserstoff gebildet wird, oder Tetralindämpfe mit Vorteil verwenden kann. Bei andersartigen Isolierstoffen sind naturgemäß andere Gase oder Dämpfe zu bevorzugen. Will man beispielsweise Papier an der Oberfläche aufrauhen, so empfiehlt es sich, als Gas ungesättigte Kohlenwasserstoffe oder sogar Salzsäure in sehr,, großer Verdünnung zu be-" nutzen. Die Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist keinesfalls auf bestimmte Stoffe beschränkt, sondern läßt sich bei jedem Isolierstoff in Anwendung bringen. So hat man unter anderem auch mit Oxydschichten versehenes Aluminium als Elektroden in Wechselspannungsgasentladungen verwendet und dabei eine äußerst feine und für die Anbringung von leitenden Schichten auf der Aluminiumoxydflächevorzüglich geeignete Aufrauhung des Aluminiumoxyds festgestellt. i Das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich beispielsweise für Keramikkörper anwenden, die nachher finit niedergeschlagenen Kohlenstoffschichten überzogen werden und als elektrische Widerstände dienen. Weiterhin läßt es sich benutzen, um die Haftfestigkeit von durch Aufdampfen, erzeugten oder chemischen oder sonstigen Niederschlägen von Metallschichten auf Isolierstoffolien für Koridensatörenzwecke zu verbessern. Auch kann man die Haftfestigkeit von Metallspiegeln auf Glas öder ähnlichen Unterlagen weitestgehend verbessern.
  • In der Zeichnung= sind zwei schematische Beispiele für die Durchführung des erfindungsgeinäßen Verfahrens dargestellt. In der Fig. i .ist finit a. ein Behälter bezeichnet, in welchem sich eine Gasfüllung b befindet. i c und d sind zwei Elektroden, zwischen denen eine Wechselspannung herrscht, die sich über die Gasfüllung b entlädt. In den Weg dieser Gasentladung sind zwei Isolierkörper e und f j gebracht, so daß also zwischen der Ober- I fläche g des Isolierkörpers c und der Oberfläche h des Isolierkörpers f ebenfalls eine ; Gasentladung brennt, die nun diese beiden Oberflächen g und li zerstäubt und dadurch aufraulit. Durch -die Vorsehung des zweiten Isolierkörpers f gegenüber dein ersten bzw. umgekehrt besteht keine Gefahr, daß eine durch die Gasentladung hervorgerufene Aufrauliunig unmittelbar danach durch niedergeschlagenes Metall von den Elektroden c und d zugedeckt wird, wie es hei den bisher bekannten Verfahren, bei denen nur ein einziger Isolierkörper im Weg der Gasentladung vorgesehen war, der Fall ist.
  • Gemäß der Fig. 2 kann nun der aufzurauhende- Isolierkörper auch in der Weise selbst als Elektrode wirksam sein, daß man ihn (mit i bezeichnet) mit einer leitenden, als Stromzuführung dienenden Einlage k versieht, die aber auch, wie es bei der Gegenelektrode L gezeigt ist,- als auf der abgewendeten Seite angebrachter Belag m ausgebildet sein kann. Auch in diesem Falle erfolgt eine Gasentladung zwischen zwei Isolierstoffflächen n und o, die beide aufgerauht werden.
  • Bildet man die eine im Entladungsgefäß dauernd benutzte Elektrode in der .Form der Elektrode i aus, dann hat man gleichzeitig noch den Vorteil, daß die stromzuführenden Metallteile, insbesondere k, so gut wie keinen Abnutzungen durch Zerstäubung unterworfen sind.

Claims (7)

  1. YATENTANSPRÜCIIE: i. Verfahren zur Herstellung einer aufgerauhten Oberfläche von isolierenden Trägerunterlagen, insbesondere zur Erzielung einer besseren Haftung von durch Aufdampfen darauf hergestellten Metallschichten, dadurch gekennzeichnet, da ß der Trägerkörper mit der aufzurauhenden Oherfläche derart in den Weg einer Wechselspannungsgasentladung gebracht wird, daß zwischen der aufzurauhenden Oberfläche und einer zweiten, nichtleitenden Fläche eine Wechselspannungsgasentladung brennt. .
  2. 2. Verfahren nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Metallelektroden eine Gasentladung hervorgerufen wird und der Isolierstoffkörper mit der aufzuraulienden Oberfläche zusammen finit einem oder mehreren von ihm im Abstand angeordneten und seine aufzurauhenden Oberflächen von der direkten Einwirkung durch die Metallelektroden abschirmenden Isolierstofkörpern in den M'eg der Gasentladung gebracht wird. ' 3.
  3. Verfahren nach Anspruch ,, dadurch gel:ennzeiclinet, daß der aufzurauliende Trägerkörper als Elektrode mit eingeschlossener oder unterlagerter Belegung ausgebildet und einer gleichen, Gegenelektrode oder einem sonstigen Isolierstoffkörper gegenüber der Wechselspannungsgasentladung ausgesetzt wird. q..
  4. Verfahren nach Ansprüchen i bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Wechselspannung höherer Frequenz, gegebenenfalls Hochfrequenz, verwendet wird.
  5. 5. Verfahren nach Ansprüchen i bis q., dadurch gekennzeichnet, daß die Entladung in Gasen oder Dämpfen hohen Atomgewichtes vorgenommen wird.
  6. 6. Verfahren nach Ansprüchen i bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Entladung in Gasen oder Dämpfen; welche eine chemische Reaktion mit der Trägerunterlage eingehen, durchgeführt wird.
  7. 7. Verfahren nach Ansprüchen 2, 3 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß bei Glas mit aufzurauhender Oberfläche Wasserstoff oder Tetralindampf als Gasfüllung des Entladungsraumes verwendet wird. B. Verfahren nach Ansprüchen 2, 3 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß bei Papier als aufzurauhendem Isolierstoff ungesättigte Kohlen@vasserstoffe oder Salzsäure in großer Verdünnung als Gasfüllung des Entladungsraumes verwendet werden. g. Anwendung des Verfahrens. nach Ansprüchen i bis 8 zur Erzielung einer besseren Haftfestigkeit von niedergeschlagenen Kohlenstoffschichten auf keramischen Unterlagen für Widerstandszwecke. io. Anwendung des Verfahrens nach Ansprüchen i bis 8 zur Erzielung einer besseren Haftfestigkeit von aufgedampften, Metallschichten auf Papier oder Kunststoffolien für Kondensatorenzwecke. i i. Anwendung des Verfahrens nach Ansprüchen i bis 8 zur Erzielung einer besseren Haftfestigkeit von Metallschichten auf Glas für Spiegelzwecke. Zur Abgrenzung des Anmeldungsgegenstandes vom Stand der Technik sind im Erteilungsverfahren keine Druckschriften in Betracht gezogen worden.
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