DE720649C - Vorrichtung zum Aufdampfen von Metallschichten in elektrischen Entladungsgefaessen - Google Patents

Description

• Vorrichtung zum Aufdampfen von Metallschichten in elektrischen Entladungsgefäßen Bei der Herstellung von Vakuumgeräten, insbesondere elektronenoptischer Art, ergibt sich oft innerhalb des Herstellungsganges die Notwendigkeit, metallische Schichten, z. B. aus Silber, auf Teile im Innern eines. Gefäßes aufzubringen, wenn das Gefäß bereits evakuiert ist und auch nicht mehr mit Luft in Berührung kommen darf. Vielfach kann die hierzu erforderliche Aufdampfmetallisierung aber nur von .einer Stelle des Innenraumes aus erfod@ gen, .an der die Anwesenheit der Verdampfungseinrichtung bei den vor und nach dem Aufdampfen auszuführenden Behandlungen, insbesondere ,aber beim Gebrauch des fertiggestellten Gerätes, nicht zulässig ist. In diesem Falle muß die Verdampfungseinrichtung verschiebbar ausgeführt werden, damit sie bei Nichtbenutzung entfernt werden kann. -Bei derartigen Einrichtungen bringt bekanntlich eine elektrisch geheizte Wolframspirale das auf einem Nickelschiffchen b.efindliche Silberstückchen zum,-Verdampfen. Dieses und die es tragenden Stromzuführungsdrähte nehmen nur .einen solchen Querschnitt ein, daß :sie gerade noch durch eine verengte Verbindungsstelle zwischen einem rohrförmigen Ansatz aus Glas und dem eigentlichen Gefäß hindurchgezogen werden können. Die starren haben .etwa die Länge, um die der Heizwiderstand mit dem Nickel.schiffch,en in das Gerät hinein verschoben werden muß. Die Verschiebung erfolgt dabei durch .ein im Glasrohr gleitendes Eisenstück mittels eines außen entlang bew egroen Magneten. Da auf diese Weise nur ziemlich kleine Kräfte übertragen werden können, kann die Stromzuführung nicht durch fest angeschlossene isolierte und etwa zu dein Eisenstück führende in Wendeln zusammengelegte Leitungen erfolgen, da diese insbesondere bei vakuumtechnisch einwandfreier Isolierung, z. B. durch Glasperlen, der Bewegeng der Vorrichtung einen zu großen Widerstand entgegensetzen würden. Daher besitzen die bekanntgewordenen Anordnungen z. B. durch metallische Ösen laufende, auf ihrer Oberfläche nicht isolierte Drähte, die sich an das Eisenstück anschließen und mindestens noch einmal die Länge des Verbindungsstückes haben müssen. Da eine solche Einrichtung, die oft die Längenmaße des damit beschickten Gerätes selbst übertrifft, den fertiggestellten Gegenstand viel zu unhandlich machen würde, 'wird nach Ausführung der letzten erforderlichen Metallisiening die verengte Stelle zugeschmolzen und der gesamte Ansatz durch Abziehen .entfernt. Aber auch während der Herstellung stört die Länge der Einrichtung empfindlich, da in den meisten Fällen die Geräte zu Wärmebehandlungen in kastenartige Öfen eingebracht werden -müssen, die dann wesentlich größer zu wählen sind, als für das eigentliche Gerät allein erforderlich wäre. Außerdem wirkt erschwerend, daß wegen der graßen Längen leicht eine Verdrehung der Verdampfungseinrichtüng um die Längsachse eintreten kann, was zu fehlerhaften Metallisierungen führt, -wenn nicht besondere Vorkehrungen getroffen werden, wie z. B. die Führung der Stromzuführungsdrähte in getrennten Glasröhren, was natürlich die Herstellung erschwert.
• Diese Schwierigkeiten werden bei einer Vorrichtung zum Aufdampfen von Metallschichten in elektrischen Entladungsgefäßen unter Vakuum, bei der die den Metalldampf durch elektrisches Erhitzen erzeugende Einrichtung getrennt von dem Raum, in dem sich die zu bedampfende Fläche befindet, in einem Ansatz des Entladungsgefäßes vor- und rückwärts verstellbar angeordnet ist, dadurch vermieden, daß erfindungsgemäß die Stromzuführungsleitungen für den Heizwiderstand als Gleitschienen ausgebildet sind, die mit den freien Enden bis, nahe an die Anschmelzstelle heranreichen, und daß ein an diesen Gleitschienen entlang gleitender Stromabnehmer vorgesehen ist, .an dem ein den Heizwiderstand tragender und in das Innere des Gefäßes hineinverschiebbarer Arm sitzt.
• Die Erfindung ist in der Zeichnung beispielsweise und schematisch dargestellt.
• Im Ansatzrohr z i sind zwei parallele Stromzuführungen io vorgesehen, die am einen Rohrende eingeschmolzen sind. Auf diesen als Schienen ausgebildeten Stromleitern kann ein Stromabnehmer 12 hin und her gleiten, der einen Arm 15 trägt, an dessen vorderem Ende sich der Heizwiderstand mit dem zu verdampfenden Metall i q. befindet. Im vorgeschobenen Zustande ragt der Arm 15 durch die Verjüngung 13 in das Entladungsgefäß hinein. Diese gedrängte Ausführung ergibt gleichzeitig die Möglichkeit eines einfachen robusten und störungsfreien Aufbaues. Natürlich ist die Ausführung nicht auf geradlinige Verschiebung beschränkt; sie kann z.B. auch längs .eines Kreisbogens erfolgen.

Claims (1)

1. PATENTANSPRUCH: Vorrichtung zum Aufdampfen von Metallschichten in elektrischen Entladungsgefäßen unter Vakuum, bei der die den Metalldampf durch elektrisches. Erhitzen erzeugende Einrichtung getrennt von dem Raum, in dem sich die zu bedampfende Fläche befindet, in einem Ansatz des Entladungsgefäßes vor- und rückwärts verstellbar angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Stromzuführungsleitungen (i o) für den Heizwiderstand _ als Gleitschienen ausgebildet sind, die mit den freien Enden bis nahe an die Anschmelzstell@e (13) heranreichen, und daß ein an diesen Gleitschienen entlang gleitender Stromabnehmer (i2) vorgesehen ist, an dem ein den Heizwiderstand tragender und in das Innere des Gefäßes hinein verschiebbarer Arm (15) sitzt.