DE2112888B2 - Hochfrequenz-induktionsplasmabrenner und verfahren zur herstellung - Google Patents
Hochfrequenz-induktionsplasmabrenner und verfahren zur herstellungInfo
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/30—Plasma torches using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
Description
3. Hochfrequenz-Induktionsplasmabrenner bau dieser Vorrichtung ist jedoch relativ kompliziert,
nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß weshalb die Vorrichtung äußerst störanfällig ist.
die Hochfrequenzspule (4) aus mindestens zwei 20 Auch der durch die deutsche Auslegeschrift
parallelen und nebeneinanderliegenden Zweigen 1 264 640 bekannt gewordene Plasmabrenner, der
besteht. ebenfalls eine doppelwandige Rohrkonstruktion auf-
4. Hochfrequenz-Induktionsplasmabrenner weist, in deren Zwischenraum das Kühlmittel strömt,
nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß kann bezüglich Einfachheit und Wirksamkeit des
die Brennkammerwand (1.) mit einem wendelför- 25 Wärmeüberganges an das Kühlmittel nicht befriedimigen
Kanal (6) versehen ist. gen.
5. Hochfreqiienz-Tnduktinnsnlasrnabrenner Fin weiterer Nachte?! bekannter Vorrichtunger!
nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß dieser Art besteht darin, daß die Hochfrequenzspule
die Oberfläche des Kanals (6) metallisiert ist. außerhalb des äußeren Rohres angeordnet ist, wo-
6. Hochfrequenz-Induktionsplasmabrenner 30 durch der radiale Abstand zwischen dem Plasma und
nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Spule relativ groß ist. Dies bedeutet einen relativ
als Kühlmittel flüssiges Metall vorgesehen ist, geringen Kopplungsfaktor zwischen der Hochfrewelches
selbst den elektrischen Leiter für die quenzspule als Primärwicklung und der als Sekun-Hochfrequenzspule
(4) darstellt. därwicklung eines Transformators wirkenden kon-
7. Hochfrequenz-Induktionsplasmabrenner 35 zentrischen Strombahn an der äußeren Grenzfläche
nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß des Plasmas.
als Kühlmittel eine Natrium-Kalzium-Legierung Es ist Aufgabe vorliegender Erfindung, einen
vorgesehen ist, deren Schmelzpunkt etwa Hochfrequeriz-Induktionsplasmabrenner zu beschrei-
-110C und deren Siedepunkt etwa +794° C ben, welcher einfach im Aufbau und in der Herstelbeträgt.
4° lung und sicher im Betrieb ist, welcher einen höheren
8. Verfahren zur Herstellung eines Hochfre- Kopplungsfaktor aufweist als bekannte Brenner diequenz-Induktionsplasmabrenners
nach An- ser Art, und welcher einen wesentlich besseren Wirspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein wen- kungsgrad des Wärmeüberganges an das Kühlmittel
delförmiges Metallrohr (7) in eine der Brennkam- aufweist als bekannte Brenner dieser Art. Diese Aufmer
entsprechende Form eingegeben wird und 45 gäbe wird für einen eingangs zitierten Hochfredaß
die Zwischenräume mit einer hoch wärmefe- quenz-Induktionsplasmabrenner erfindungsgemäß
sten keramischen Isoliermasse ausgefüllt werden. dadurch gelöst, daß die Wicklungen der Hochfrequenzspule
entweder in wendelförmigen Ausnehmungen der äußeren Oberfläche oder in der Wand
50 des Brennkammerrohres, welches aus dielektrischem
Material bt»lehl, angeordnet sind.
Durch diese einfache Maßnahme werden die vielfachen Dichtungsprobleme umgangen, welche insbe-
Die Erfindung betrifft einen Hochfrequenz-Induk- sondere zu den Schwierigkeiten bei der Vorrichtung
tionsplasmabrenner mit einer rohrförmigen Hochfre- 55 gemäß der deutschen Auslegeschrift 1811501 gequenzspule,
die ein eine Brennkammer einschließen- führt haben. Ferner wird ein wesentlich besserer
des Brennkammerrohr umschlingt und durch die ein Kopplungsfaktor zwischen der Spule und dem
Kühlmittel hindurchfließt, sowie ein Verfahren zur Plasma erzielt, wodurch bei sonst gleichen Voraus-Herstellung
eines solchen Brenners. Setzungen die Leistungsfähigkeit des Brenners we-
Werden Hochfrequenz-Induktionsplasmabrenner 60 sentlich verbessert werden konnte. Schließlich wird
mit relativ hohen Leistungen betrieben, kann das dadurch ein wesentlich verbesserter Wärmeübergang
Problem der Kühlung erhebliche Schwierigkeiten be- an das Kühlmittel erreicht, so daß der Kühlmittelreiten.
In diesem Zusammenhang ist es bekannt, in- kreislauf kleiner dimensioniert werden kann als bisnerhalb
eines äußeren Rohres ein zweites, stärker her. Dabei kann das Bauvolumen, insbesondere der
hitzebeständiges Rohr, beispielsweise aus Quarzglas 65 Durchmesser, des Induktionsplasmabrenners sowie
oder Siliziumdioxyd, vorzusehen und im Zwischen- sein Gewicht wesentlich reduziert werden, da die
raum ein Kühlmittel strömen zu lassen. Bei einer großvolumige Kühlkammer, weiche bisher den Brenderartigen
Konstruktion treten jedoch erhebliche ner umgab, fortfällt.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung mit der metallisierten Oberfläche innerhalb der weneines
Hochfrequenz-Induktionsplasmabienner ist da- delfönnigen Ausnehmung 3 verlötet, um den Wärdurch
gekennzeichnet, daß das wendeiförmige Me- msübergang zu verbessern, und um die Metallschicht
taUrohr in eine der Brennkammer entsprechende auf das gleiche elektrische Potential zu bringen wie
Form eingegeben wird und daß die Zwischenräume 5 die Spule. Der Innenraum 5 der rohrförmigen Hochmit
einer hoch wärmefesten keramischen Isolier- frequenzspule 4 dient dem Durchfluß des Kühlmitraasse
ausgefüllt werden. Dadurch ergibt sicn eine tels, als welches z. B. Wasser verwendet wird,
einfache Möglichkeit zur Fabrikation eines solchen Zur Zu- und Ableitung des Kühlmittels sind die in
einfache Möglichkeit zur Fabrikation eines solchen Zur Zu- und Ableitung des Kühlmittels sind die in
Brenners, wobei die äußeren Abmessungen wegen der Figur nicht dargestellten Enden der Hochfreder
vorgegebenen Form besonders gut eingehalten io quenzspule4 über geeignete Isolierstücke an eine
werden können. Kühlrnittelquelle, bzw. Kühhnittelsenke angeschlos-
In besonders vorteilhafter Weise ist es möglich, als sen.
Kühlmittel flüssiges Metall vorzusehen, welches Wird als Kühlmittel ein elektrisch leitendes Me-
selbst den elektrischen Leiter für die Hochfrequenz- dium, beispielsweise Wasser, verwendet, ist es besonspule
darstellt. Dadurch erübrigt sich die Aufnahme 15 ders vorteilhaft, die Hochfrequenzspule 4 wie in
eines separaten Rohres in die Brennkpmmerwand, Fig. 1 angedeutet als Doppelwicklung (Bifilarwickwenn
diese selbst mit einem wendeiförmigen Kanal lung) auszuführen. Dadurch ergeben sich besonders
versehen ist. einfache und unkomplizierte Anschlußmöglichkeiten
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der für die Spule, da beide Spulenenden an der AnErfindung
an Hand von Zeichnungen näher beschric- 20 schlußstelle gleichen Potential aufweisen,
ben. Es zeigt Das in F i g. 2 gezeigte Ausführungsbeispiel be-
ben. Es zeigt Das in F i g. 2 gezeigte Ausführungsbeispiel be-
F i g. 1 die teilweise geschnittene Darstellung eines steht aus einem Rohr 1, dessen Wandung mit einem
ersten Ausführungsbeispiels, wendeiförmigen, geschlossenen Kanal 6 versehen ist.
F i g. 2 die teilweise geschnittene Darstellung eines Die Oberflächen dieses Kanals können metallisiert
zweiten Ausführungsbeispiels, 25 sein, so daß der Kanal als Hochfrequenzspule dient,
F i g. 3 die teilweise geschnittene Darstellung eines nachdem entsprechende elektrische Anschlüsse herdritten
Ausführungsbeispiels. gestellt worden sind. Der wendeiförmige Kanal 6
Gemäß F i g. 1 umfaßt der Hochfrequenz-Induk- wird vorzugsweise von einem flüssigen Kühlmittel
tionsplasmabrenner eine beispielsweise rohrförmige durchsetzt.
Brennkammerwand 1, welche beispielsweise aus ke- 30 Auf die Oberflächenmetallisierung r"es Kanals 6
ramischem Material besteht. In dem Innenraum 2 kann jedoch verzichtet werden, wenn gemäß einem
wird durch nicht dargestellte Vorrichtungen ein Gas bevorzugten Ausführungsbeispici als Kühlmittel für
eingeleitet und durch ebenfalls nicht dargestellte Mit- die in F i g. 2 gezeigte Anordnung ein flüssiges Metall
tel zum Zünden gebracht. benützt wird, welches gleichzeitig den elektrischen
Die äußere Oberfläche der Brennkammerwand 1 35 Leiter für die Hochfrequenzspule darstellt. Als solweist
eine wendeiförmige Ausnehmung 3 auf, welche ches kann beispielsweise eine Natrium-Kalzium-Lezur
Aufnahme einer mehrwindigen Hochfrequenz- gierung verwendet werden, welche einen Schmelzspule
4 ausgebildet ist. Vorzugsweise ist die Ober- punkt von —11 ° C und einen Siedepunkt von
fläche der wendeiförmigen Ausnehmung3 metalli- +794 C aufweist. Selbstverständlich können auch
siert, um eine gute Wärmeleitung zwischen dem 40 andere geeignete flüssige oder gasförmige Kühlmittel
Rohrl und der Hochfrequenzspule 4 herzustellen. verwendet werden.
Ferner nimmt die Metallschicht das elektrische Po- Gemäß einem weiteren, in Fig.3 gezeigten Aus-
tential der Spule an, wodurch möglichst stetige Po- führungsbeispiel ist als Hochfrequenzspule eine rohrtentialflächen
erhalten werden, so daß dit elektrische förmige Metallwendel 7 in die Brennkammerwand
Feldverteilung zwischen der Spule und dem Plasma 45 eingebettet. Die Einbettung geschieht durch Einfülkeine
lokalen Maxima aufweist, welche zu uner- len einer zunächst formbaren, im ausgehärteten Zuwünschten
und unvorhersehbaren Spannungsüber- stand hoch wärmefesten Isoliermasse. Vorzugsweise
schlagen führen könnten. besteht diese Isoliermasse an«: keramischem Material.
Die Hochfrequenzspule 4 besteht aus einem Rohr Die Herstellung kann in einer entsprechenden Form
guter elektrischer und thermischer Leitfähigkeit. Im 50 vorgenommen werden, wodurch sich eine besonders
bevorzugten Ausführungsbeispiel besteht die Spule sichere, einfache und kostensparende Serienfabrikaaus
Kupferrohr. Vorzugsweise sind die Kupferrohre tion durchführen läßt.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (2)
1. Hochfrequenz-Induktionsplasmabrenner mit Vc/rrichtungen zu schaffen, welche die nachteiligen
einer rohrförmigen Hochfrequenzspule, die ein S Wirkungen dieser Temperaturunterschiede beseitigen
eine Brennkammer einschließendes Brenn- sollten.
kamnicrrohr umschlingt und durch die ein Kühl- So ist aus der deutschen Auslsgeschnft 1 811501
mittel hindurchfließt, dadurch gekenn- ein Plasmastrahlgenerator bekannt, welcher aus
zeichnet, daß die Wicklungen der Hochfre- einem einseitig offenen inneren Rohr aus dielektriquenzspule
(4) entweder in wendelförmigen Aus- io schem Material besteht, in dem das zu ionisierende
nehmungen der äußeren Oberfläche oder in der Gas strömt. Ferner ist ein dieses mit radialem Ab-
Wand des Brennkammerrohres (1), welches aus stand konzentrisch umgebendes äußeres Rohr vorge-
dielektrischem Material besteht, angeordnet sind. sehen, das mit dem inneren Rohr eine Kammer ein-
2. Hochfrequenz-Induktioixsplasmabrenner schließt, in welcher ein Kühlmittel strömt. Zwischen
nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß 15 den beiden Rohren sind elastische Federeinrichtundie
wendelförmigen Ausnehmungen (3) metalli- gen vorgesehen, die axiale Längenänderungen des insiert
sind. neren Rohres relativ zum äußeren zulassen. Der Auf-
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH263871A CH528847A (de) | 1971-02-23 | 1971-02-23 | Hochfrequenz-Induktionsplasmabrenner |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2112888A1 DE2112888A1 (de) | 1972-09-07 |
DE2112888B2 true DE2112888B2 (de) | 1973-03-22 |
DE2112888C3 DE2112888C3 (de) | 1973-10-11 |
Family
ID=4238253
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19712112888 Expired DE2112888C3 (de) | 1971-02-23 | 1971-03-17 | Hochfrequenz Induktionsplasmabrenner und Verfahren zur Herstellung |
DE19717110104 Expired DE7110104U (de) | 1971-02-23 | 1971-03-17 | Hochfrequenz induktionsplasmabrenner |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19717110104 Expired DE7110104U (de) | 1971-02-23 | 1971-03-17 | Hochfrequenz induktionsplasmabrenner |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
AT (1) | AT306182B (de) |
CH (1) | CH528847A (de) |
DE (2) | DE2112888C3 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3632340A1 (de) * | 1986-09-24 | 1988-03-31 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Induktiv angeregte ionenquelle |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010014056B4 (de) | 2010-01-29 | 2022-07-07 | J-Plasma Gmbh | Induktiv gekoppelter Plasmabrenner |
DE102011008575A1 (de) | 2011-01-14 | 2012-07-19 | J-Plasma Gmbh | Induktiv gekoppelter Plasmabrenner |
DE102011107536B4 (de) | 2011-03-17 | 2017-05-04 | J-Plasma Gmbh | Brenner, insbesondere induktiv gekoppelter Plasmabrenner vorzugsweise zur Herstellung von Halbzeug für biegeunempfindliche Glasfasern |
DE102016215712A1 (de) * | 2016-08-22 | 2018-02-22 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines elektrischen Plasmas |
-
1971
- 1971-02-23 CH CH263871A patent/CH528847A/de not_active IP Right Cessation
- 1971-03-17 DE DE19712112888 patent/DE2112888C3/de not_active Expired
- 1971-03-17 DE DE19717110104 patent/DE7110104U/de not_active Expired
- 1971-07-27 AT AT653971A patent/AT306182B/de active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3632340A1 (de) * | 1986-09-24 | 1988-03-31 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Induktiv angeregte ionenquelle |
DE3632340C2 (de) * | 1986-09-24 | 1998-01-15 | Leybold Ag | Induktiv angeregte Ionenquelle |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE7110104U (de) | 1973-01-18 |
DE2112888A1 (de) | 1972-09-07 |
AT306182B (de) | 1973-03-26 |
DE2112888C3 (de) | 1973-10-11 |
CH528847A (de) | 1972-09-30 |
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