DE716007C - Regelbare Blende fuer photometrische Einrichtungen zum Messen der Rueckstrahlung des Lichtes von festen Oberflaechen - Google Patents

Regelbare Blende fuer photometrische Einrichtungen zum Messen der Rueckstrahlung des Lichtes von festen Oberflaechen

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DE716007C
DE716007C DEZ24779D DEZ0024779D DE716007C DE 716007 C DE716007 C DE 716007C DE Z24779 D DEZ24779 D DE Z24779D DE Z0024779 D DEZ0024779 D DE Z0024779D DE 716007 C DE716007 C DE 716007C
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DE
Germany
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diaphragm
light
edges
aperture
parts
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DEZ24779D
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English (en)
Inventor
Dr Gerhard Hansen
Dr Paul Heinz Keck
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Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/10Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
    • G01J1/20Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle
    • G01J1/22Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using a variable element in the light-path, e.g. filter, polarising means
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/005Diaphragms

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Description

  • Regelbare Blende für photometrische Einrichtungen zum Messen der Rückstrahlung des Lichtes von festen Oberflächen Wenn man die diffuse Rückstrahlung einer Fläche messen will, ist es notwendig, die Rüdcstrahlung für alle Richtungen 4es Raumes zu bestimmten und hierüber das Mittel zu bilden. Man verwendet zweckmäßig dabei Einrichtungen, die diese M ittelwertshiltdung selbsttätig ausführen, damit nur eine einzige Helligkeitseinstellung notwendig wird. Es ist bekannt, daß man sich vorteilhaft der Einrichtung der Ulbrichtschen Kugel, also einer innen weißen Hohlkugel bedient, in welcher ein Teil der Wand durch die zu messende Probe ersetzt wird. Man kann dabei entweder so vorgehen, daß man nur auf die zu messende Probe Licht fallen läßt und nun auf irgendeiner Stelle der Kugelwand die Beleuchtungsstärke mißt. Es ist hierzu notwendig, daß dde Stelle der Kugelwand gegen das von der Probe selbst kommende Licht abgeschirmt wird. Man kann auch so vorgehen, daß ein Teil der Kugelwand beleuchtet wird, Wobei wieder die Probe vor dem von diesem Teil kommenden Licht zu schützen ist un'd das von der Probe zurückgestrahlte Licht zur Messung gelangt. Man kann sich bei solchen Messungen als Vergleticbshelligkeit tder von einem Teil der Kugelwand ausgestrahlten Lichtmenge bedienen. In diesem Falle herrscht, wenn die Fläche der Probe genügend klein ist, verglichen mit der Innenfläche der Kugel, eine nahezu vollkommene Proportionalität zwischen dem gemessenen Helligkeitsverhältnis und der wahren Rückstrahlung (der Probe. Es ist aber gelegentlich im Interesse einer guten Lichtausheute notwendig, die Kugel ziemlich klein auszuführen. Dann macht es Schwierigkeiten, einen Teil der Kugelwand als Vergleichshellisvkeit zu verwenden. In diesem Falle bedient man sich einer zweiten Kugel, die Licht von der gleichen Lichtquelle empfängt. Das Licht, das in diese Kugel eintritt, läßt man eine Schwächungsvorrichtung passieren, die zur DvleLssung der Helligkeit dienen soll. Man vergleicht nun die Helligkeit einer Stelle der ersten Kugel (Probenkugel) mit der Helligkeit einer Stelle der zweiten Kugel- (Meßkugel) und regelt die Schwächungsvorrichtung so, daß man die gleiche Helligkeit beobachtet.
  • Die einfachste Schwächungsvorrichtung ist eine Blende von regelbarer Öffnung. Eine solche Vorrichtung in der bisher bekannten Form mit kreisförmiger oder rechteckiger Öffnung verursacht aber Fehler im Meßresultat, denn es herrscht aus zwei Gründen nicht die gewünschte Proportionalität zwischen der Schwächungsvorrichtung der Meßvorrichtung und der gesuchten Rückstrahlung der Probe.
  • Eine Schwierig,keit besteht darin, dafür zu sorgen, daß die Beleuchtungsstärke an allen Stellen der vollständig geöffneten Blende genau die gleiche ist. Ferner wäre, selbst wenn man dliese Bedingung erfüllen kann, die Proportionalität noch nicht gewährleistet, da schon die Beleuchtungsstärke auf einer Wandstelle der Probenkugel der Rückstrahlung der Probe um so weniger proportional ist, je größer die von der Probe eingenommene Fläche der Kugelwand verglichen mit der ganzen Wandfläche ist.
  • Man kann trotzdem eine solche Einrichtung, d. h. also eine Blende von regelbarer öffnung, bei einem Gerät der obenbeschriebenen Gattung verwenden, wenn man gemäß der Erfindung die gegeneinander verstellbare Teile enthaltende Blende so ausbildet, ,daß zur Erzielung einer Proportionalität zwischen der Verstellung und der tatsächlichen Rückstrahlung der zu messenden Probe bei einer proportional mit der Einstellbewegung ihrer Antriebsvorrichtung erfolgenden Verstellung eine Fläche freigegeben wird, deren Größenänderung der Einstellbewegung weder direkt noch dem Quadrat davon proportional ist.
  • Es sind bereits Blenden, z. B. Spaltblenden und Irisblenden, bekannt, denen man eine beliehige andere als dem linearen oder quadratischein Gesetz folgende Kennlinie erteilt, indem man sie entweder mit Profilausschnitten versieht oder den betreffenden Antrieb über eine Kurvensdieibe besorgt, die eine entsprechende Verzerrung bzw. Entzerrung der Kennlinie in gewollter Weise ergibt, beispielsweise um eine lineare Teilung verwenden zu können. Der Zweck der Anwendung der erfindungsgemäßen Blendenformen ist es.
  • WIeßfehler infolge unvermeidl icher Beleuchtungsungleidimäßigkeiten bei der Messung der Rückstrahlnng des Lichts von festen Oberflächen zu beseitigen.
  • Bei einer Ausführungsform der Erfindung wird die Blendvorrichtung so ausgebildet, daß sie Blendenränder aufweist, die eine von der rechteckigen Gestalt abweichende Gestalt der vom Licht durchsetzten Öffnung hervorrufen.
  • So ist es z. B. möglich, daß man die Blende aus bewegten und festen Teilen zusammensetzt, wobei die bewegten Teile der Blende begrenzung parallele gerade Kanten besitzen, während die festen Teile zwei unter einem Winkel zueinander verlaufende, gerade Kan ten aufweisen. In der geschlossenen Stellung der Blendenvorrichtung fällt zweckmäßig der Scheitel des Winkels mit den Blendenkanten der bewegten Teile zusammen. Eine weitere Ausführungsform gemäß der Erfindung wird durch eine Blendvorriditung dargestellt, bei der die Ränder der festen Blendenteile krummlinig berandet sind. Weitere Beispiele für die erfindungsgemäße Form einer Blendvorrichtung sind dadurch gegeben, daß die Öffnung für den Lichtdurchtritt durch die Kanten bewegter Blendenteile begrenzt wird, die z. B. eine sechseckige Fläche freigeben. \ATeiterhill können die Blendenkanten auch eine rechteckige Fläche freigeben, wobei jedoch die Verbindungsgerade zweier bei der Verstellung der Blendenteile sich auf dieser Geraden gegeneinander bewegender Punkte mit den Diagonalen der rechteckigen Fläche einen Winkel miteinander bilden, der zwischen Oo und 450 veränderlich ist. Dieser Winkel kann für jede Einstellung der Blende konstant auf einen Wert eingestellt werden; die Einrichtung kann aber auch so getroffen werden, daß der Winkel sich mit der Einstellbewegung der Blendvorrichtung verändert.
  • Von den zwei eingangs erwähnten Gründen, die eine Abweichung von dem linearen Zusammenhang zwischen der Einstellbewegung der Blendvorrichtung und der Größe der freigegebenen Öffnung bewirken, nämlich -mangelhafte Gleichmäßigkeit in der Beleuchtung der Blendenfiäche und mangelhafte Proportionalität zwischen der zu messenden Rückstrahlung und der Helligkeit an der Wand der Probenkugel, ist insbesondere diese letztere Erscheinung von der Farbe abhängig.
  • Der Zusammenhang zwischen der Rückstrahlung der Probe und der Wandhelligkeit der Kugel wird beeinflußt durch das Verhältnis der Probefläche zur Kugelinnenfläche und durch die Rückstrahlung der Wand. Wenn diese Rückstrahlung aber von der Farbe abhängt, dann ist auch die Abweichung von der Proportionalität von der Farbe abhängig.
  • Auf Grund dieser Tatsache besteht also eine weitere Forderung, die gemäß weiterer Ausgestaltung der Erfindung verwirklicht wird, beim Messen mit verschiedenen Farben eine verschieden starke Korrektion anzubringen.
  • Zu diesem Zweck wird gemäß dieser weiteren Ausgestaltung eine zusätzliche Blende vorgesehen, die am Ort der Hauptblendvorrichtung eine weitere, veränderliche Ausbiendung des die Blendvorrichtung durchsetzenden Lichtstromes bewirkt. Nach einer Ausführungsform der Erfindung weist die zusätzliche Blende rautenförmige Gestalt auf und ist um eine Achse senkrecht zur Lichtrichtung drehbar angeordnet. Dabei kann die zusätzliche Blende unmittelbar neben der Blendvorrichtung angeordnet sein. Es ist auch möglich, die zusätzliche Blende als Bild eines rautenförmigen Blendenteils in der Ebene der Hauptblendvorrichtung zu entwerfen. Die zusätzliche Blende besteht aus einem Material, das den von ihr bedeckten Teil der Öffnung der Blendvorrichtung für jedes Licht undurchlässig macht.
  • Es besteht noch eine andere Möglichkeit, die Abhängigkeit der Rückstrahlung von der Farbe und damit die Abhängigkeit der Korrektionsgröße vorder Farbe zu kompensie ren. Wenn man z. B. für die Messung im Roten eine stärkere Korrektion braucht, so kann man die Einrichtung so treffen, daß man die Raute nicht aus einem für jedes Licht undurchlässigen Mater,ial, z,B. also aus Metall macht, sondern aus einem Material herstellt, das lediglich für rotes Licht undurchlässig, für blaues dagegen durchlässig ist.
  • Eine solche Raute braucht nicht gedreht zu werden, man kann sie daher entweder in der Ebene der Hauptblende abbilden, oder aber man kann die Ränder der Blendenbegrenzungen der Hauptblende aus einem Material herstellen, das xden von den Begrenzungen bedeckten Teil der Öffnung der Hauptblende nur für einen bestimmten Teil des farbigen Spektrums, z. B. also für den roten Teil, undurchlässig macht.
  • Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur meßbaren Schwächung,des Lichts ist in allen Anordnungen zur- Messung der Rückstrahlung anwendbar, also bei Anordnung zur visuellen Photometrie- als auch bei lichtelektrischen Photometeranordnungen.
  • Einilge AusführunNgsbeispiele der Erfindung sind in den im folgenden näher beschriebenen Abbildungen dargestellt, wobei Abb' I schematisch ein Beispiel einer bekannten Meßeinrichtung zur Veranschaulichung der Strahlengänge zeigt, Abb. 2, -3 und 4 stellen Ausführungsformen von Blenden gemäß der Erfindung dar, während in Abb 5 eine Blentie gemäß der Erfindung mit veränderlichem Korrekturwert gezeichnet ist.
  • Abb. 6 stellt eine Ausführungsform einer Einrichtung dar, bei der nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung eine zusätzliche Blende in der Ebene der Hauptblende abgebildet wird.
  • Abb. 7 und 8 zeigen verschiedene Stellungen der in der Ebene der Hauptblende abgebildeten zusätzlichen Blende, während in Abb. g eine Blende mit für einen bestimmten Teil des Spektrums undurchlässigen Kanten dargestellt ist.
  • Im einzelnen ist in Abb. I mit I eine Licht quelle bezeichnet, von der eine zu untersuchende Probe 2 beleuchtet wird, die mit einer nicht gezeichneten Haltevorrichtung von unten an eine Kugel 3 angedrückt wird. Die Beleuchtung erfolgt über ein geeignetes Kondensorsystem 4. Das Licht, das die Probe zurückstrahlt, wird von der Kugel aufgenommen und auf einen ' Lummer-Brodhunschen Würfel 5 geleitet. Dieser besteht aus einem Glaswürfel, der aus zwei mit ihren Hypothenusenflächen gut àufeinander passenden rechtwinkligen Prismen besteht. An dem Prisma 6 ist eine Kugelfläche angeschliffen. An der Berührnngsfläche a-b sind die Prismen zur Erzielung optischen Kontaktes fest aneinandergepreßt. Das von dem Innern der Kugel 3 ausgehende Licht passiert den Würfel und gelangt durch die Kreisfläche a-b zu dem mit Hilfe der Linse 7 auf das Fetd der Hypothenusen akkomodierten Auge 8. Ein Teil des von der Lichtquelle I ausgehenden Lichtstromes wird über eine Linsenanordnung 9 zu einer zweiten Kugel 10 geleitet und passiert eine Blendenvorrichtung II, die erfindungsgemäß mit Blendenkanten ausgestattet ist, die eine von der reckteckigen abweichende Gestalt der vom Licht durchsetzten Öffnung bewirken.
  • Das aus der Kugel 10 austretende Licht gelangt nun nach totales Reflexion an der Hypothenusenflächle c-d des Glasprismas 12 zum Auge 8, so daß das beobachtete Feld das Aussehen einer Kreisfläche hat, in der ein Feld von unterschiedlicher Helligkeit eingelagert ist. Zu Meßzwecken muß nun auf gleiche Helligkeit der beiden Flächen eingestellt werden, was dann der Fall ist, wenn die Öffnung der Blendenanordnung II so weit verkleinert ist, daß die Beleuchtungsstärke der betrachteten Wandstelle der Vergleichskugel Io gleich derjenigen der Meßkugel 3 ist.
  • Die Abb. 2 veranschaulicht ein Beispiel einer Blendenanordnung gemäß der Erfindung, bei der bewegte Teile 12 mit parallelen geraden Kanten vorgesehen sind, die feste Teile 13 überdecken, die zwei unter einem Winkel zueinander verlaufende Kanten besitzen.
  • In Abb. 3 ist eine Blendenanordnung gemäß der Erfindung dargestellt, bei der eine krummlinige Begrenzung der festen Blendenteile 13 vorgesehen ist, während die bewegten Teile 12 ebenfalls parallele, gerade Kanten aufwei sen.
  • Das Ausführungsbeispiel einer Blendenanordnung nach Abb. 4 weist nur bewegte Blendenteile 14 auf, welche eine sechseckige Fläche freigeben.
  • In den Beispielen gemäß den Abb. 2, 3 und 4 werden die bewegten Blendenteile von einer Spindel I5, die mit einer Meßtrommel I6 versehen ist, verschoben, wobei die eine Hälfte der Spindel und die von dieser bewegte Mutter I7 Linksgewinde, die andere Hälfte mit der Atutter 18 Rechtsgewinde aufweisen.
  • Die Abb. 5 stellt ein Ausftihrungsbelspiei einer Blende gemäß der Erfindung dar, bei der von den Bfendefflcanten eine rechteckige Fläche freigegeben wird. Zwei bewegliche Blendenteile 19 und 20 sind in krei1sbogenförmigen Führungsstücken 21, 22, 23 und 24 drehbar eingesetzt, wobei die unteren Führungsstüde 21 und 22 mit Hilfe der Muttern I7 und I8 von der Spinclel 15 mit der Meßtrommeln6 verschoben werden können. Die Blendenteile 19 und 20 können mit Hilfe einer weiteren Spindel 25 gemeinsam so verstellt werden, daß die Diagonalen der rechteckigen Fläche mit der Bewegungsrichtung der Einstellung einen Winkel bildet. Die Versteilmig der beiden Blen denteile erfolgt zlveckmäßig dann, wenn die Blende vollständig geöffnet ist, weil in diesem Falle die kreisförmigen äußeren Begrenzungen der Blendenteile zur Deckung gebracht sind und die Spindel 25 beide Blendenteile gemeinsam verdrehen kann.
  • Zu diesem Zwecke können die Begrenzungen der Blendenteile eine Zähnung aufweisen, in die die Spindel 25 zum Eingriff gebracht werden kann, wenn die Blende vollständig geöftnet ist. Sofern eine gleichzeitige Verstellung des Winkels bei jeder Öffnung der Blende erforderlich ist, kann statt der Spindel 25 eine Drehung beider Blendenteile, z. B. mittels einer Parallelogrammführung. vorgenommen werden.
  • In der Abb. 7, die die Abbildung einer Blende von rautenförmiger Gestalt 26 zeigt sind zusätzlich zu den Elementen der Abb. I noch eine Linse 27, die die Blende 26 in der Ebene der Hauptblende II abbildet, und eine Feldlinse 28 vorgesehen, die die Abbildung der Öffnung der Linse g auf die Linse 27 zu 1-eisten hat. Die Abb. 7 und 8 zeigen verschiedene Stellungen der zusätzlichen Blende 26, deren Bild 26' einen Teil der Öffnung der Haupthlende abdeckt. Mit Hilfe dieser zusätzlichen Abblendung kann man dieselbe Wirkung erzielen, wie wenn man den Winkel, den die Begrenzungskanten der festen Blendenteile 13 miteinander bilden, verändert.
  • Die Abb. g zeigt als Abänderung der Blenden formeln gemäß der Abb. 2 die Anordnung von für einen bestimmten Teil des Spektrums undurchlässigen Berandungen 28 des Blendenteils 13.

Claims (17)

  1. PATENTANSPRÜCHE: I. Einrichtung zur Messung der Rückstrahlung des Lichtes von festen Oberflächen mit zwei getrennten Strahlengängen für das Meßlicht und das Vergleichslicht, bei der in jedem der beiden Strahlengänge eine lichtzerstreuende Vorrichtung und in einem der beiden Strahlengänge eine gegeneinander verstellbare Teile enthaltende Blende zur meßbaren Schwächung des Lichts vorgesehen ist, mit deren Hilfe auf gleiche Größe der beiden austretenden Lichtströme eingestellt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Blende so ausgebildet ist, daß zur Erzielung einer Proportionalität zwischen ,der Verstellung und der tatsächlichen Rückstrahlung der zu messenden Probe bei einer proportional mit der Einstellbewegung ihrer Antriebsvorriclltung erfolgenden Verstellung eine Fläche freigegeben wird, deren Größenänderung der Einstellbewegung weder direkt noch dem Quadrat davon proportional ist.
  2. 2. Einrichtung nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die Blende Blendenränder aufweist, die eine von der rechteckigen abweichende Gestalt der vom Licht durchsetzten Öffnung hervorrufen.
  3. 3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Blende aus bewegten und festen Teilen derart zusammengesetzt ist, daß die bewegten Teile der Blendenleegrenzung parallele gerade Kanten besitzen und die festen Teile zwei unter einem Winkel zueinander verlaufende, gerade Kanten aufweisen.
  4. 4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Scheitel des Winkels in der geschlossenen Stellung der RlendvY>rrichtung mit den bewegten Blendenkanten zusammenfällt.
  5. -5 Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Ränder der festen Blendenteile krummlinig berandet sind.
  6. 6. Einrichtung nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung für den Lichtdurchtritt durch eine Blendvorrichtung bewirkt wird, die nur durch die Kanten bewegter Blendenteile begrenzt wird.
  7. 7. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gelkennzeichnet, daß die Blendenkanten eine sechseckige Fläche freigeben.
  8. S. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Blendenkanten eine rechteckige Fläche freigeben, wobei jedoch die Verbindungsgerade zweier bei der Verstellung der Blendenteile sich auf dieser Geraden gegeneinander bewegender Punkte mit den Diagonalen der rechteckigen Fläche einen Winkel miteinander bilden
  9. 9. Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Winkel zwischen 0° und 450 veränderlich ist.
  10. 10. Einrichtung nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch eine solche Ausgestaltung, daß sich der Winkel mit der Einstellbewegung der Blendvorrichtung verändert.
  11. II. Einrichtung nach den Ansprüchen I bis I0, dadurch gekennzeichnet, daß eine zusätzliche Blende vorgesehen ist, die am Ort der Blendvorrichtung eine weitere, veränderliche Ausblendung,des die Blendvorrichtung durchsetzenden Lichtstromes bewirkt.
  12. 12. Einrichtung nach Anspruch II, dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzliche Blende rautenförmige Gestalt aufweist und um eine Achse senkrecht zur Lichtrichtung drehbar angeordnet ist.
  13. 13. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzliche Blende unmittelbar neben der Blendvorrichtung angeordnet ist.
  14. 14. Einrichtung nach Anspruch I2, dadurch gelcennzeichnet, daß die zusätzliche Blende als Bild eines rautenförmigen Blendenteils in der Ebene der Blendvorrichtung entworfen wird.
  15. 15. Einrichtung nach Anspruch II, dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzliche Blende aus einem Material besteht, das den von ihr bedeckten.Teil der Öffnung der Blendvorrichtung für jedes Licht undurchlässig macht.
  16. I6. Einrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzliche Blende aus einem Material besteht, das den von ihr bedeckten Teil der Öffnung der Blendvorrichtung nur für einen bestimmten Teil des Spektrums des Lichts undurchlässig macht.
  17. 17. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kanten der Blendenbegrenzungen aus einem Material bestehen, das den von ihnen bedeckten- Teil der Öffnung der Blendvorrichtung nur für einen bestimmten Teil des Spektrums des Lichts undurchläss,ilg macht.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE947753C (de) * 1950-08-18 1956-08-23 Siemens Ag Anordnung zum Vergleich zweier Lichtwege unterschiedlicher Intensitaet nach dem Wechsellichtverfahren

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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