DE69936297T2

DE69936297T2 - Verfahren zum entwickeln einer verbesserten oxidbeschichtung und komponente, die aus austenitischem rostfreiem stahl oder nickellegierungsstahl hergestellt sind

Info

Publication number: DE69936297T2
Application number: DE69936297T
Authority: DE
Inventors: W. Wahlert Lakeside RAYMOND; H. Tuthill Blackburg ARTHUR
Original assignee: Semitool Inc
Current assignee: Applied Materials Inc
Priority date: 1998-04-07
Filing date: 1999-04-07
Publication date: 2008-02-14
Anticipated expiration: 2019-04-08
Also published as: DE69936297D1; WO1999051794A1; WO1999051794A9; JP2002510751A; CN1295630A; KR100573254B1; JP3963648B2; US5985048A; TW493013B; EP1071835A1; CN1163630C; EP1071835B1; EP1071835A4; KR20010042488A; ATE364735T1

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Erzeugen einer Oxidbeschichtung auf bestimmten Metallen, wobei die Oxidbeschichtung höchst widerstandsfähig gegenüber einer Korrosion und einem Ionen-Leaching ist. Insbesondere bezieht sich diese Erfindung auf ein Verfahren zum Erzeugen einer schützenden Beschichtung auf der Oberfläche von Austenitstahl oder Nickellegierungsstahl. Die Oxidbeschichtung ist sowohl widerstandsfähig gegenüber einer Korrosion und einem Leaching von Molekülen aus dem Stahl in ein Material, das mit dem Metall in Kontakt steht.
Ein Austenitstahl und ein Nickellegierungsstahl werden üblicherweise für Rohrleitungen, Behälter und Anlagen verwendet, die in Prozessen verwendet werden, in welchem die Reinheit des bearbeiteten Materials ein kritischer Gesichtspunkt ist. Solche Stähle werden auch in Prozessen verwendet, in welchen ein starkes Lösungsmittel oder anderes korrosionsempfindliches Material vorhanden ist. Viele solcher Prozesse werden bei erhöhten Temperaturen ausgeführt. Das Vorhandensein sehr reiner Materialien, starker Lösungsmittel oder korrosionsempfindlicher Materialien, insbesondere bei erhöhten Temperaturen, macht ein Verhindern der Korrosion des Stahls und/oder die Kontrolle der Infusion verschiedener verunreinigender Komponenten vom Stahl schwierig. Beispiele von Prozessen, für welche das Verhindern einer Korrosion, die Kontrolle einer Infusion oder beides kritische Gesichtspunkte sind, umfassen die chemische, nahrungstechnische, pharmazeutische und Halbleiter-Bearbeitung.
Die für solche Prozesse verwendeten Komponenten werden im Allgemeinen poliert, um kleine Oberflächenvorsprünge zu beseitigen, aus welchen Ionen in das zu bearbeitende Material austreten können oder welche Stellen liefern, an welchen eine Korrosion beginnen kann. Die Oxidbeschichtung, die natürlicherweise auf den Oberflächen von Austenitstählen und einem Nickellegierungsstahl gebildet wird, ist in vielen Anwendungen unzureichend, um eine Korrosion oder ein nicht zu akzeptierendes Leaching von Ionen aus dem Stahl in das mit dem Stahl in Kontakt befindliche Material zu verhindern, insbesondere dann, wenn die Komponenten unregelmäßig geformt sind oder Schweißstellen aufweisen.
Der Oxidfilm, der natürlicherweise auf einem Austenitstahl und einem Nickellegierungsstahl gebildet wird, enthält sowohl Eisen als such Eisenoxide sowie Chrom und Chromoxide. Oxidfilme, die ein hohes Verhältnis von Chrom-zu-Eisen haben, besitzen einen Widerstand gegenüber Leaching, der größer ist als derjenige von Filmen mit einem niedrigeren Chrom-zu-Eisen-Verhältnis. Bestehende Verfahren zum Verbessern des Oxidfilms sind nicht in der Lage, zuverlässig Oxidfilme auf Austenitstahl- und Nickellegierungsstahl-Komponenten zu erzeugen, die eine akzeptable Leistungsfähigkeit und Haltbarkeit bei schwierigen Anwendungen haben. Dieses gilt insbesondere dann, wenn bestehende Verfahren auf Komponenten mit Oberflächenunregelmäßigkeiten angewendet werden, wie Spalten scharfer Winkel und solche, die durch Schweißen gebildet werden. Bestehende Verfahren zum Verbessern des Oxidfilms sind offenbart in US 4,518,440 A und JP 02 131 566 A .
In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung wurden Nachteile bestehender Prozesse zum Erzeugen eines Oxidfilms auf Austenitstahl und Nickellegierungsstahl und Unzulänglichkeiten eines Oxidfilms, der durch solche Prozesse erzeugt wird, überwunden. Ein Oxidfilm wird erzeugt, der einen hohen Chromanteil besitzt, einschließlich Chromoxide und Chromhydroxid. Der Oxidfilm ist wegen des hohen Chromgehalts widerstandsfähig gegenüber Korrosion und einem Ionenleaching.
Ein Verfahren zum Erzeugen einer Oxidbeschichtung auf der Oberfläche einer Komponente aus Austenitstahl oder Nickellegierungsstahl wird beschrieben. Die Komponenten haben einen natürlicherweise gebildeten Oxidfilm auf der Oberfläche. Das natürlich gebildete Oxid wird durch einen Prozess mit wenigstens zwei Schritten verbessert. In dem ersten Schritt wird die Komponente bei Vorhandensein von zirkulierender Trockenluft für einen ersten Zeitraum bei einer Temperatur von 250 bis 300 Grad Celsius erhitzt. In dem zweiten Schritt wird die Komponente bei Vorhandensein von statischer Trockenluft bei erhöhtem Druck für einen zweiten Zeitraum bei einer Temperatur erhitzt, die höher ist als die Temperatur während des ersten Zeitraums. Der äußere Bereich der verbesserten Oxidbeschichtung wird mit einer Oxidationsbehandlung entfernt, wodurch eine Oxidbeschichtung mit einem hohen Verhältnis von Chrom zu Eisen an der Oberfläche des rostfreien Stahls freigelegt wird.
Demgemäß ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zum Erzeugen einer Oxidbeschichtung auf der Oberfläche von Austenitstahl und Nickellegierungsstahl zu schaffen, die ein Leaching von Eisen in an den Stahl angrenzendes Material effektiver verhindert als Filme, die durch bekannte Verfahren entwickelt wurden.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, ein Verfahren zum Erzeugen eines Oxidfilms auf der Oberfläche von Austenitstahl und Nickellegierungsstahl zu schaffen, der einen besseren Widerstand gegenüber Korrosion liefert als Filme, die durch bekannte Verfahren entwickelt wurden.
Noch eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, ein Verfahren zum Erzeugen eines Oxidfilms auf der Oberfläche von Austenitstahl und Nickellegierungsstahl zu erzeugen, das einen Oxidfilm auf unregelmäßigen Oberflächen erzeugen wird, der ein Leaching von Ionen in an die Oberfläche angrenzendes Material wirksam verhindert.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, ein Verfahren zum Erzeugen eines Oxidfilms auf der Oberfläche von Austenitstahl und Nickellegierungsstahl zu erzeugen, welcher geschweißt wurde.
Diese und weitere Aufgaben und Vorteile der vorliegenden Erfindung sowie Einzelheiten ihrer bevorzugten Ausführungsform werden besser verständlich durch die folgende Beschreibung und die Zeichnungen, in welchen:
1 ein Fließdiagramm ist, welches die Schritte zum Durchführen einer Ausführungsform des Verfahrens der vorliegenden Erfindung darstellt;
2 eine Schnittdarstellung eines Grundmaterials aus Austenitstahl und des Oxidfilms ist, der sich natürlicherweise auf dessen Oberfläche bildet;
3 eine Schnittdarstellung des rostfreien Stahls und Oxidfilms aus 2 ist, nachdem die Oberfläche des Oxidfilms elektrolytisch poliert wurde;
4 eine Schnittdarstellung des rostfreien Stahls und Oxidfilms aus 3 ist, nachdem der Film einem ersten Veredelungsschritt unterzogen wurde;
5 eine Schnittdarstellung des Edelstahls und Oxidfilms aus 4 ist, nachdem der Film einer Oxidationsbehandlung gemäß der vorliegenden Erfindung unterzogen wurde;
6 ein Diagramm ist, welches die in deionisiertem Wasser gefundenen Spurenmetalle nach einem Kontakt mit Testproben zeigt;
7 ein Diagramm ist, das die in einem Lösungsmittel gefundenen Spurenmetalle nach einem Kontakt mit Testproben zeigt.
Die verallgemeinerten Schritte eines Verfahrens zum Entwickeln einer veredelten Oxidbeschichtung auf einem Austenitstahl und Nickellegierungsstahl gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung werden durch das Fließdiagramm aus 1 gezeigt. Diese Schritte werden vorzugsweise an Komponenten durchgeführt, die aus Austenitstahl oder Ni ckellegierungsstahl durch übliche Herstellungsprozesse in den gewünschten Abmessungen und Ausbildungen hergestellt wurden. Eine Schnittdarstellung einer aus Austenitstahl gebildeten Komponente ist in 2 dargestellt.
Wie in 2 gezeigt ist, umfasst die allgemein mit 10 bezeichnete Komponente eine Metall-Grundschicht 10 mit einer außen liegenden natürlichen Oxidschicht 20. Die Metall-Grundschicht 10 hat eine chemische Zusammensetzung, die für Austenitstahl üblich ist. Der Oxidfilm 20 bildet sich natürlicherweise auf Austenitstahl nach der Herstellung der Komponente 10. Die Oberfläche des natürlichen Oxidfilms 20 ist unregelmäßig und das in dem Film vorhandene Material ist zufällig verteilt.
Mit Bezug auf 1 wird die Komponente 10 zuerst einem elektrolytischen Polierschritt 25 unterzogen. In diesem Schritt kann die Komponente durch irgendein allgemein bekanntes Verfahren zum Glätten der Außenfläche des Oxidfilms 20 elektrolytisch poliert werden. 3 zeigt den rostfreien Stahl und den Film aus 2 nach dem elektrolytischen Polieren. Wie in 3 gezeigt ist, glättet der elektrolytische Polierschritt 25 die Mikro-Risse 30, die in der Oxidschicht 20 vorhanden waren. Solche Mikro-Risse 30 werden häufig während der Kaltbearbeitung der Komponente 10 erzeugt.
Die Komponente wird danach gereinigt, um alle Oberflächenverunreinigungen am Schritt 35 in 1 zu entfernen. In Übereinstimmung mit einer Ausführungsform des Reinigungsschritts 35 wird das Reinigen vorzugsweise zuerst in einem gerührten Säurebad aus zum Beispiel Zitronensäure in einer Konzentration von zehn Prozent durchgeführt. Die Komponente 10 wird vorzugsweise diesem Prozess über etwa 30 Minuten ausgesetzt. Die Komponente 10 wird dann aus dem Bad entnommen und die Säure auf der Komponente wird neutralisiert und von der Komponente durch ein Besprühen mit deionisiertem Wasser entfernt. Ein Druckluftstrahl kann dann verwendet werden, um Wasser aus Spalten und verdeckten Bereichen zu entfernen. Die Komponente wird dann mit deionisiertem Wasser abgewischt, um Wasserstellen zu entfernen, und dann mit Methanol abgewischt. Falls noch Oberflächenverunreinigungen verblieben sein sollten, werden diese Schritte beginnend mit dem elektrolytischen Polieren wiederholt.
Die Erfassung von Oberflächenverunreinigungen kann unter Verwendung eines mehrerer unterschiedlicher Verfahren durchgeführt werden. Zum Beispiel können die Oberflächenverunreinigungen durch Messung der Widerstandsfähigkeit auf der Eingangsseite eines Reinigungsstroms und Vergleichen dieser mit der Widerstandsfähigkeit des Stroms an der Aus gangsseite detektiert werden. Wenn die Messwerte im Wesentlichen gleich sind, wird davon ausgegangen, dass die Oberflächenverunreinigungen entfernt sind. Ebenso könnte das spezifische Gewicht des Fluids auf der Eingangsseite und auf der Ausgangsseite für solche Messungen verwendet werden.
Wenn alle Oberflächenverunreinigungen wie oben beschrieben entfernt worden sind, wird dann der Methanolrest durch den Strahl aus deionisiertem Wasser entfernt. Die Komponente 10 wird dann in ein zirkulierendes Bad aus 15 bis 18 Megohm deionisiertem Wasser über etwa acht bis zwölf Stunden eingetaucht. Die benötigte Zeit hängt von der Komplexität der Komponente und der Unregelmäßigkeit seiner Oberfläche ab. Komponenten mit mehreren unregelmäßigen Oberflächen benötigen mehr Zeit in dem zirkulierenden Bad. Die Komponente 10 wird dann aus dem zirkulierenden Bad entnommen, und es kann dann ein Druckluftstrahl verwendet werden, um Wasser aus den Spalten und verborgenden Flächen zu entfernen. Die Komponente 10 wird wieder mit deionisiertem Wasser abgewischt, um Wasserstellen zu entfernen.
Nach dem Reinigungsschritt 35 unterzieht sich die Komponente 10 ein oder mehrerer Prozesse, durch welche die Oberflächen-Oxidschicht 20 veredelt wird. In Übereinstimmung mit einer Ausführungsform des Prozesses werden zwei Oxidveredelungsschritte bei erhöhter Temperatur verwendet. Diese Schritte sind an den Schritten 40 und 45 in 1 dargestellt.
In einer bevorzugten Implementierung des Schritts 40 wird die Komponente 10 in einen Ofen gesetzt, welcher zum Beispiel auf 250 bis 300 Grad Celsius erhitzt wird. Feuchtigkeit wird in dem Ofen aus der Atmosphäre durch Spülen des Ofens mit sauberer Trockenluft entfernt, die in dem Ofen mit einer Geschwindigkeit zirkuliert, die durch die Ofenkapazität bzw. das Volumen in Kubikfuß bestimmt wird. Falls der Ofen, als ein Beispiel, eine Kapazität von 50 Kubikfuß hat, sollte die Fließrate auf etwa 50 Kubikfuß pro Stunde eingestellt sein. In der offenbarten Ausführungsform wird dieser Fluss dazu verwendet, die gesamte Umgebungsluft und diejenige, die zum Beginn des Prozesses im Ofen ist, zu evakuieren oder abzuführen. Die saubere Trockenluft bezieht sich auf Luft, die einen Taupunkt hat, der nicht höher ist als etwa 100 Grad Fahrenheit. Nach einer vorbestimmten Zeitdauer von zum Beispiel einer Stunde wird die Zirkulation der sauberen Trockenluft gestoppt und wird die Komponente 10 der Oxidschichtveredelung am Schritt 45 in 1 unterzogen. Im Schritt 45 wird die Temperatur des Ofens auf eine höhere Temperatur erhöht, als derjenigen, die im Schritt 40 verwendet wurde. In einer bevorzugten Ausführungsform wird die Temperatur des Ofens zum Beispiel auf etwa 425 Grad Celsius erhöht. Die Temperatur von 425 Grad Celsius hat sich als geeignet herausgestellt, um den Verlust von Chrom in der von Hitze beeinflussten Schweißzone in geschweißten rostfreien Stahlkomponenten zu vermeiden. Der Druck der sauberen Trockenluft im Ofen wird vorzugsweise auf etwa 11/2 Inch Wassersäule gehalten. Die Komponente bleibt bei dieser Temperatur und diesem Druck über eine vorbestimmte Zeitdauer von zum Beispiel etwa zwei Stunden im Ofen. Der Ofen und die Komponente 10 werden dann gekühlt.
4 zeigt die Schichtzusammensetzung der Komponenten 10 nach dem Veredelungsschritt der Oxidschicht. Wie dargestellt, umfasst die Oxidschicht 20 ganz allgemein eine äußere Schichtregion 60 mit einem hohen Eisengehalt und einem niedrigen Chromgehalt und eine innere Schichtregion 65 mit einem hohen Chromgehalt. Die resultierende Schicht wird in diesem Doppelveredelungsprozess selbst in solchen Regionen der Komponente mit Spalten und Schweißstellen veredelt.
Obwohl die Komponente in der trockenen Atmosphäre erhitzt wird, wird der Oxidfilm 20, der sich in natürlicher Weise auf Austenitstahl oder Nickellegierungsstahl gebildet hat, aus welchem die Komponente hergestellt wird, dicker. Zusätzlich zu dem Dickerwerden sammeln sich Eisen und Eisenoxid in dem Oxidfilm nahe der äußeren Oberfläche des Films, um die Schicht 60 zu bilden, wodurch dem Film ein leicht goldenes Erscheinungsbild verliehen wird. Die Filmschicht 65 hat mehr Chrom und ein höheres Verhältnis von Chrom und Chromverbindungen zu Eisen und Eisenoxiden, als der Bereich des Films 60 angrenzend an die äußere Oberfläche des Films.
Nachdem der Teil gekühlt worden ist, wird dieser einer Oxidationsbehandlung am Schritt 70 in 1 ausgesetzt. Die Oxidationsbehandlung wird dazu verwendet, den äußeren Bereich 60 des Oxidfilms 20 mit dem akkumulierten Eisen zu entfernen. In Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der Oxidationsbehandlung wird die Komponente 10 in ein zirkulierendes Bad eines Oxidationsmittels bei erhöhter Temperatur eingetaucht. Zum Beispiel kann eine zehnprozentige Lösung von Phosphorsäure (H₃PO₄) bei einer Temperatur im Allgemeinen im Bereich von 38 bis 43 Grad Celsius verwendet werden. Oxidationsmittel, die sich als wirksam herausgestellt haben, umfassen 50 ppm Chlor, Salpetersäure, H₂O₂, Kaliumpermanganat und Salzsäure. Die Komponente 10 bleibt vorzugsweise in dem zirkulierenden Bad, bis die leichte Goldfarbe nicht mehr auf der Oberfläche der Komponente sichtbar ist.
5 zeigt das Ergebnis einer Oxidationsbehandlung auf dem durch 4 dargestellten Film. Wie dargestellt, umfasst die Oxidschicht 20 nun prinzipiell die Chrom enthaltende Schicht 65. Diese Chrom enthaltende Schicht liefert den geforderten Schutz für die Komponente 15.
Die Komponente wird dann aus dem Oxidationsbad entnommen und am Schritt 80 in 1 gereinigt. In dem Reinigungsschritt 80 wird für das Oxidationsbehandlung verwendete Material neutralisiert und von der Komponente durch einen Strahl von deionisiertem Wasser entfernt. Ein Druckluftstrahl kann dazu verwendet werden, Wasser aus den Spalten und verborgenden Flächen zu entfernen. Die Komponente wird dann mit deionisiertem Wasser abgewischt, um Wasserstellen zu entfernen.
Der Wirkungsgrad des durch dieses Verfahren entwickelten Films bei Verhindern eines Leaching und einer Korrosion für einen Austenitstahl wurde unter drei Bedingungen getestet. Proben eines 316 L rostfreien Stahls wurden durch elektrolytisches Polieren präpariert und weitere Proben wurden in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung präpariert. Die Testproben wurden von flachen 316 L rostfreien Stahlblechen abgetrennt und hatten eine Abmessung von 2'' × 0,75'' × 0,060''.
Der erste Test wurde durchgeführt, indem eine Probe, die durch das jeweilige Verfahren präpariert wurde, für 168 Stunden in 18 Megohm deionisiertem Wasser eingetaucht, welches auf 80 Grad Celsius gehalten wurde. Das Wasser, in welchem jede Probe eingetaucht wurde, wurde nach Spurenmetallen aus der Probe analysiert. Die Menge Chrom, Eisen, Nickel und Mangan in Parts per Billion, die in dem Wasser detektiert wurde, das für den Test jeder Probe verwendet wurde, ist unten angegeben.

Elektrolytisch polierte Probe Gemäß der Erfindung präparierte Probe

Chrom 80 19

Eisen 600 92

Nickel 30 nicht detektierbar

Mangan 9 3
Diese Ergebnisse werden durch die Balkendiagramme in 6 gezeigt, in welcher jeder mit 90 bezeichnete Balken einer unbehandelten Komponente entspricht und jeder mit 95 bezeichnete Balken einer in der vorgenannten Weise behandelten Komponente entspricht. Derartige Bezeichnungen werden auch in 7 verwendet.
Der zweite Test wurde durchgeführt, indem eine Probe, die durch das jeweilige Verfahren präpariert wurde, für 168 Stunden in einem Lösungsmittel eingetaucht, das durch Ashland Chemical Company geliefert wurde und als ACT 935 bezeichnet wird, das auf 80 Grad Celsius gehalten wurde. Dieses Lösungsmittel wird als ein Lösungsmittel-Entferner bezeichnet und wird dazu verwendet, positive Fotolackschichten bei der Produktion von Halbleiterwafern zu entfernen. Das Lösungsmittel, in welchem die Proben eingetaucht wurden, wurde nach Spurenmetallen aus der Probe analysiert. Die an Chrom, Eisen, Nickel und Mangan in Part per Billion, die in dem für den Test jeder Probe verwendeten Lösungsmittel detektiert wurden, ist unten angegeben.

Elektrolytisch polierte Probe Gemäß der Erfindung präparierte Probe

Chrom 275 59

Eisen 1064 244

Nickel 137 7

Mangan 34 nicht detektierbar
Diese Ergebnisse werden durch die Balkendiagramme in 7 gezeigt.
Der dritte Test wurde durchgeführt, indem eine Probe, die durch das jeweilige Verfahren präpariert wurde für 168 Stunden in Lösungsmittel eingetaucht, das durch Ashland Chemical geliefert wurde und als ACT 690C bezeichnet wird und das auf 95 Grad Celsius gehalten wurde. Dieses Lösungsmittel wird als ein Entfernungsmittel bezeichnet und wird zur Polymerentfernung verwendet, um Ätzungsreste bei der Produktion von Halbleiterwafern zu entfernen. Das Lösungsmittel, in welchem jede Probe eingetaucht wurde, wurde nach Spurenmetallen aus der Probe analysiert. Die Menge an Chrom, Eisen, Nicken und Mangan in Parts per Billion, die in dem für den Test jeder Probe verwendeten Lösungsmittel detektiert wurde, ist unten angegeben.

Elektrolytisch polierte Probe Gemäß der Erfindung präparierte Probe

Chrom 35196 26

Eisen 122516 70

Nickel 17018 8

Mangan 3671 nicht detektierbar
Diese Ergebnisse sind durch das Balkendiagramm in 7 gezeigt.

Diese Tests zeigen die Wirksamkeit der vorliegenden Erfindung beim Erzeugen eines Films, der eine deutlich effektivere Barriere zwischen einem Austenitstahl oder einem Nickelle gierungsstahl und Lösungen, mit welchen solche Stähle bei verschiedenen Anwendungen in Kontakt gelangen, erzeugt. Figur 1

Electolytically Polish Component	= Elektrolytische Polierkomponente
Clean Component	= Reinigungskomoponente
Heat Component In Circulating Dry Air	= Wärmekomponente in zirkulierender Trockenluft
Heat Component At Higher Temperature In Static Pressurized Dry Air	= Wärmekomponente bei hoher Temperatur in Trockenluft unter statischem Druck
Cool Component	= Kühlkomponente
Submerse component In Oxidizing Solution To Remove Outer Portion of Oxide Film	= Eintauchen der Komponente in Oxidationslösung, um den äußeren Bereich des Oxidfilms zu entfernen
Clean Component	= Reinigungskomponente

Figur 2

NATURAL OXIDE LAYER	= NATÜRLICHE OXIDSCHICHT
Cr + Oxides	= Cr + Oxide
Fe + Oxides	= Fe + Oxide
Ni + Oxide	= Ni + Oxid
BASE METAL	= GRUNDMETALL#
other -2%	= andere -2%

Figur 3

OXIDE LAYER	= OXIDSCHICHT
Cr + Oxides	= Cr + Oxide
Fe + Oxides	= Fe + Oxide
Ni + Oxide	= Ni + Oxid
BASE METAL	= GRUNDMETALL
other -2%	= andere -2%

Figur 4

BASE METAL	= GRUNDMETALL
other -2%	= andere -2%

Figur 5

BASE METAL	= GRUNDMETALL
other -2%	= andere -2%

Figur 6

Trace Metals Release (ppb) in 18 Megohm D.I. Water, 168 Hrs @ 80 deg C	= Freisetzung von Spurenmetallen (ppb) in 18 Megohm deionisiertem Wasser, 168 Std. bei 80 Grad C
Trace Metals Release in Ultra High Pure Water	= Freisetzung von Spurenmetallen in ultrahochreinem Wasser
Trace Metal	= Spurenmetall

Figur 7

Trace Metals Release (ppb) in ACT935, 168 Hrs @ 80 deg C	= Freisetzung von Spurenmetallen (ppb) in ACT935, 168 Std. bei 80 Grad C
Trace Metals Release in ACT935	= Freisetzung von Spurenmetallen in ACT935
Trace Metal	= Spurenmetall

Claims

Verfahren zum Erzeugen einer Oxidbeschichtung auf der Oberfläche einer Komponente, die aus rostfreiem Austenitstahl oder Nickellegierungsstahl gebildet ist, wobei die Komponente an der Oberfläche eine natürlich gebildete Oxidschicht aufweist, wobei das Verfahren die Schritte des Aufwertens der natürlich gebildeten Oxidschicht auf der Oberfläche durch Erhitzen der Oberfläche in Gegenwart von zirkulierender Trockenluft für einen ersten Zeitraum bei einer Temperatur von 250 bis 300 Grad Celsius; Erhitzens der Oberfläche in Gegenwart von statischer Trockenluft bei einem erhöhten Druck für einen zweiten Zeitraum bei einer Temperatur, die höher als die Temperatur während des ersten Zeitraums ist; und Entfernens eines äußeren Teils der aufgewerteten Oxidbeschichtung mittels einer Oxidationsbehandlung umfasst, wodurch eine Oxidbeschichtung mit einem hohen Verhältnis von Chrom zu Eisen an der Oberfläche des rostfreien Stahls freigelegt wird.
Verfahren nach Anspruch 1, in dem der erste Zeitraum ungefähr eine Stunde beträgt.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, in dem die Temperatur während des zweiten Zeitraums ungefähr 425 Grad Celsius beträgt.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, in dem der zweite Zeitraum ungefähr zwei Stunden beträgt.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, in dem der erhöhte Druck ungefähr 374 Pa (eineinhalb Zoll Wassersäule) beträgt.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, in dem die Oxidationsbehandlung das Untertauchen der Oberfläche in einer Lösung von ungefähr zehn Prozent Phosphorsäure umfasst.