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Technisches
Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Behandlungsvorrichtung zum sequenziellen
Durchführen
einer Behandlung an einem Material, wie beispielsweise einem Glassubstrat
für einen
Flüssigkristall,
einen Halbleiterwafer usw., in einer Mehrzahl von Behandlungseinheiten
und eine Robotervorrichtung zum Fördern des oben genannten Materials.
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Technischer
Hintergrund
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Beispielsweise
ist es bei einem Herstellprozess zum Bilden eines Schaltkreismusters
auf einem Material, wie beispielsweise einem Glassubstrat für einen
Flüssigkristall,
einen Halbleiterwafer usw., erforderlich, dass verschiedene Arten
von Behandlungen an dem Material durchgeführt werden, und es ist erforderlich,
dass als eine solche Behandlung das Material bis zu einem hohen
Reinheitsgrad gewaschen wird.
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Zum
Waschen eines zu waschenden Materials sind verschiedene Arten von
Wascheinrichtungen (Behandlungsabschnitte) bekannt, wie beispielsweise
ultraviolette Strahlung aussendende Mittel zum Bestrahlen des Materials
mit der ultravioletten Strahlung und zum Zersetzen und zum Entfernen
eines organischen Stoffes, eine Bürstenwascheinrichtung zum Waschen
eines mit einer Bürste
geförderten
Materials, während
an dem geförderten
Material eine chemische Lösung
usw. appliziert wird, und eine Rotationswascheinrichtung zum Applizieren
einer Waschlösung,
wie beispielsweise einer chemischen Lösung, an einem Material, während die
Waschlösung
mit dem auf einem Tisch gehalte nen Material gedreht wird. In diesem
Fall, bei dem die Waschbehandlung an dem Material unter Verwendung
einer Mehrzahl von Wascheinrichtungen vorgenommen wird, wird auch
ein Fördermittel
(Behandlungsabschnitt) zum Fördern
des Materials zu und von diesen Wascheinrichtungen vorgesehen.
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Um
den Reinheitsgrad des Materials zu erhöhen, wird das Material durch
möglichst
viele Wascheinrichtungen der oben genannten Wascheinrichtungen gewaschen.
Dabei war es übliche
Praxis, die verwendeten Wascheinrichtungen in einer Ebene in einem
Reinraum nebeneinander anzuordnen und aufeinanderfolgend das zu
waschende Material zu und von einer Mehrzahl von Wascheinrichtungen durch
Fördermittel
zu Fördern.
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Die
JP 06338555 offenbart eine
Behandlungsvorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass eine
Mehrzahl von Behandlungsabschnitten in zwei Aufwärts-/Abwärts-Stufen angeordnet sind.
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Falls
jedoch die Mehrzahl von Wascheinrichtungen und Fördermitteln in einer Ebene
angeordnet sind, wurde manchmal ein größerer Raum durch die Wascheinrichtungen
und die Fördermittel
in dem Reinraum eingenommen. Es wird gefordert, dass ein Raum in
dem Reinraum so effektiv wie möglich
verwendet wird. Es ist daher wünschenswert,
den durch die Mehrzahl von Wascheinrichtungen und Fördermittel
beanspruchten Raum zu verringern.
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Falls
das oben genannte Material zu und von den nebeneinander angeordneten
Waschmitteln gefördert
wird, ist es lediglich notwendig, das Material durch den Förderer in
dem Fall kontinuierlich zu fördern,
bei dem die Waschbehandlung kontinuierlich durch die Wascheinrichtungen
ausgeführt
werden kann. Falls jedoch die Waschbehandlung durch die Wascheinrichtungen nicht
kontinuierlich ausgeführt werden
kann, wie beispielsweise die Rotationswäsche, war es üblich, das
Material durch eine Robotervorrichtung zu fördern, welche das oben genannte Fördermittel
darstellt, das eine der Behandlungseinheiten ist.
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Wenn
die Robotervorrichtung als das Fördermittel
verwendet wird, kann es manchmal vorkommen, dass diese Robotervorrichtung
entlang einer Mehrzahl von nebeneinander angeordneten Wascheinrichtungen
entlanggefahren wird. In diesem Fall wird eine Schiene über einen
Bereich angeordnet, über
den die Robotervorrichtung verfahren wird.
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Manchmal
tritt der Fall auf, bei dem, wenn das Hineinfördern/Herausfördern des
zu waschenden Materials durch die Robotervorrichtung ausgeführt wird,
eine Waschlösung
von dem Material auf die oben genannte Schiene tropft. Manchmal
wird als Waschlösung
zusätzlich
zu reinem Wasser eine chemische Lösung mit beispielsweise einem
hohen Säuregrad
verwendet. Aus diesem Grund ist manchmal der Fall aufgetreten, dass,
falls die chemische Lösung
als die Waschlösung
verwendet wird, die von dem Material tropfende chemische Lösung die
Schiene korrodierte und eine Beschädigung an Kontrollkabeln der
oben genannten Robotervorrichtung hervorgerufen hat.
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Weiterhin
tritt manchmal der Fall auf, dass, wenn das Material durch die Robotervorrichtung
zu einer vorbestimmten Wascheinrichtung gefördert wird, das in einem vorhergehenden
Schritt gewaschene Material in einem Wartezustand belassen werden
muss, wobei das Material gehalten wird, bis das Waschen des Materials
durch die Wascheinrichtung abgeschlossen ist. Falls die Wartezeit
länger wird,
ist in diesem Fall die auf dem Material in dem vorherigen Schritt
aufgebrachte Waschlösung
ausgetrocknet und es ist manchmal der Fall aufgetreten, dass ein
Fleck auf dem Material gebildet wurde.
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Das
oben genannte „Raumproblem" kann nicht nur dann
auftreten, wenn das Material einer Waschbehandlung ausgesetzt wird,
sondern kann auch in verschiedenen, dabei involvierten Schritten auftreten.
Falls beispielsweise das Material mit einer Beschichtung beschichtet
wird, muss eine Mehrzahl von Behandlungseinheiten angeordnet werden,
wie beispielsweise eine Beschichtungsvorrichtung, eine Heizvorrichtung
und eine Vorheizvorrichtung, wobei dementsprechend ein ähnliches
Problem generiert wird.
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Offenbarung
der Erfindung
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Es
ist dementsprechend eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine
Behandlungsvorrichtung und ein Verfahren anzugeben, die eine Mehrzahl
von Behandlungsabschnitten in einem kleineren Raum anordnen können.
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Eine
andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Behandlungsvorrichtung
bereitzustellen, die in dem Fall, dass die Robotervorrichtung entlang
des Behandlungsabschnitts verfahren wird, um ein Material zwischen
Behandlungsabschnitten zu transportieren, verhindert, dass eine
Waschlösung von
dem Material auf eine Schiene usw. der Robotervorrichtung tropft.
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Eine
andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Behandlungsvorrichtung
bereitzustellen, die, sogar falls ein zwischen Behandlungsabschnitten
weitergegebenes Material in einen Wartezustand versetzt wird und
gehalten wird, ein Austrocknen des Materials verhindern kann.
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Diese
Aufgaben der Erfindung werden durch eine Behandlungsvorrichtung
nach Anspruch 1 gelöst.
Weiterentwicklungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
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Kurze Beschreibung
der Zeichnungen
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1 ist
eine schematische Ansicht, welche allgemein eine Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt;
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2 ist
eine Seitenansicht, welche einen zweiten Weitergabemechanismus derselben
zeigt;
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3 ist
eine Seitenansicht, die einen Zustand zeigt; in dem ein Roboter
angeordnet ist;
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4 ist
eine perspektivische Ansicht, welche den Roboter zeigt;
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5 ist
eine beispielhafte Ansicht, welche eine Einrichtung zum Einführen reiner
Luft in den Roboter zeigt; und
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6 ist
eine Querschnittsansicht, die eine bewegliche Rolleneinheit und
eine feststehende Rolleneinheit zeigt.
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Beste Ausführungsform
der Erfindung
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Eine
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung wird im Folgenden unter Bezugnahme auf
die begleitenden Zeichnungen erläutert.
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Eine
Behandlungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung, wie in der 1 gezeigt,
stellt eine Waschbehandlungsvorrich tung 1 dar, um ein Glassubstrat
für einen
Flüssigkristall
als ein zu waschendes Material einer Waschbehandlung auszusetzen. Die
Waschbehandlungsvorrichtung 1 umfasst eine Mehrzahl von
Behandlungseinheiten, wie durch eine gepunktet-strichlierte Linie
in der 1 gezeigt ist, das sind in der vorliegenden Ausführungsform
erste bis fünfte
Behandlungseinheiten 1a bis 1e, wobei die erste
bis dritte Behandlungseinheit 1a bis 1c und die vierte
und fünfte
Behandlungseinheit 1d und 1e in zwei Reihen angeordnet
sind. Es sollte angemerkt werden, dass 2 in der 1 eine
Elektro-Ausrüstungseinheit
zeigt.
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In
der ersten Behandlungseinheit 1a ist ein Ladeabschnitt 4 auf
einer Grundplatte 3 angeordnet. In der Ladeeinheit 4 sind
eine Mehrzahl von Glassubstraten 5 für einen Flüssigkristall gestapelt und
werden an dieser Stelle gehalten, und durch einen nicht gezeigten
und an der Grundplatte 3 angeordneten Fördermechanismus 3 werden
die Glassubstrate 5 für
einen Flüssigkristall
einzeln von unten gefördert.
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Das
von dem Lader 4 geförderte
Glassubstrat 5 für
einen Flüssigkristall
wird durch einen ersten Übergabemechanismus 6 zu
der zweiten Behandlungseinheit 1b geschickt. Der erste Übergabemechanismus 6 weist
einen senkrechten Stützpfosten 7 auf.
In dem Stützpfosten 7 ist
eine Rolleneinheit 8 angeordnet, welche durch eine nicht
gezeigte Antriebsquelle aufwärts/abwärts verfahrbar
ist. Die Rolleneinheit 8 umfasst einen Rahmen 9 und
eine Mehrzahl von Rollen 11, welche an dem Rahmen 9 mit
ihren Achsen in paralleler Ausrichtung drehbar montiert sind. Eine
Antriebsquelle 12 ist auf einer Seite des Rahmens 9 angeordnet,
um die Rolle 11 drehend anzutreiben.
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Die
obere Oberfläche
der Rolleneinheit 8 ist auf ein Höhenniveau abgesenkt, welches
das gleiche ist wie das des von dem Lader 4 geförderten
Glassubstrats 5, wobei die Rolleneinheit 8 so
in einen Wartezustand versetzt ist. Das von dem Ladeabschnitt 4 geförderte Glassubstrat 5 für einen
Flüssigkristall
wird auf die Rolleneinheit 8 geführt. Die Rolleneinheit 8 nimmt
das Glassubstrat 5 für
einen Flüssigkristall
auf und wird angehoben, wobei das Glassubstrat 5 für einen
Flüssigkristall
einer in einem bestimmten Höhenniveau
in der zweiten Behandlungseinheit 1b montierten UV-Bestrahlungsvorrichtung 15 zugeführt wird.
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Die
oben genannte UV-Bestrahlungsvorrichtung 15 umfasst eine
an einer Seite gebildete Zuführöffnung 16 und
die oben genannte Rolleneinheit 8 wird angehoben, um es
zu ermöglichen,
dass das Glassubstrat 5 für einen Flüssigkristall, das auf der oberen
Oberfläche
der Rolleneinheit 8 platziert ist, auf ein Höhenniveau
gebracht wird, das gleich dem der Zuführöffnung 16 ist. Dann
werden die Rollen 11 durch die Antriebsquelle 12 drehend
angetrieben, wobei so das Glassubstrat 5 für einen
Flüssigkristall in
die UV-Bestrahlungsvorrichtung 15 zugeführt wird.
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Die
oben genannte UV-Bestrahlungsvorrichtung 15 umfasst, obwohl
nicht in Einzelheiten gezeigt, Förderrollen
zum Fördern
des Glassubstrats 5 für
einen Flüssigkristall
und eine UV-Bestrahlungslampe
zum Bestrahlen des durch die Förderrollen
geförderten
Glassubstrats für
einen Flüssigkristall
mit einer ultravioletten Strahlung, wobei sie, indem das Substrat
der UV-Strahlung ausgesetzt wird, eine Zerlegung und Entfernung
von auf dem Substrat 5 für einen Flüssigkristall abgelagertem organischem
Material bewirkt.
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Die
oben genannte zweite Behandlungseinheit 1b umfasst eine
Bürstenwascheinheit 20,
die benachbart zu und in der gleichen Höhe angeordnet ist wie die UV-Bestrahlungsvorrichtung 15,
und ein nicht gezeigtes darin angeordnetes Fördermittel zum kontinuierlichen
Fördern
des Glassubstrats 5 für
einen Flüssigkristall,
das durch die UV-Bestrahlungsvorrichtung 15 behandelt wird.
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Die
oben genannte Bürstenwascheinheit 20 umfasst
eine neutrale Kammer 22 mit einer Zuführöffnung 21 an einer
Seite zum Zuführen
des Glassubstrats für
einen Flüssigkristall
und wird an der anderen Seite mit trockener Luft oder Edelgas beschickt,
um einen Eintritt einer Flüssigkeit
oder eines Gases von einer Außenseite
zu unterbinden, eine Bürstenwaschkammer 23 zum
Durchführen
eines Bürstenwaschens,
wobei eine Waschlösung,
wie beispielsweise eine chemische Lösung, auf das Glassubstrat 5 für einen
Flüssigkristall,
das durch die neutrale Kammer 22 kommt, aufgesprüht wird,
und eine Sprühkammer 24 zum
Sprühwaschen
des Glassubstrats für
einen Flüssigkristall,
das in der Bürstenwaschkammer 23 gewaschen
wurde, mit reinem Wasser, wobei diese Kammern aufeinanderfolgend in
dieser Reihenfolge angeordnet sind. In der Sprühkammer 24 ist eine
Ausgabeöffnung,
nicht gezeigt, angeordnet, um das sprühgewaschene Glassubstrat 5 für einen
Flüssigkristall
auszugeben.
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Das
von einem Ausgabeausgang der Sprühkammer 24 ausgegebene
Glassubstrat 5 für
einen Flüssigkristall
wird durch eine Übergaberolleneinheit 30 (stationäre Rolleneinheit)
und durch einen zweiten Übergabemechanismus 31 aufgenommen,
der eine im Wesentlichen gleiche Struktur wie der oben genannte
erste Übergabemechanismus 6 aufweist.
Der zweite Aufnahmemechanismus 31 umfasst eine Tragstütze 32.
An der Tragstütze 32 ist
eine bewegbare Rolleneinheit 33 angeordnet, welche durch
eine nicht gezeigte Antriebsquelle aufwärts/abwärts verfahrbar ist. Diese bewegbare
Rolleneinheit 33 umfasst eine erste Ablaufwanne 34 mit
einem oben offenen Gefäßboden.
Eine Mehrzahl von Rollen 35 sind an der ersten Ablaufwanne 34 montiert,
so dass diese Rollen mit ihren Achsen in paralleler Ausrichtung zueinander
drehbar sind. Eine Antriebsquelle 34a (in der 2 gezeigt)
ist an einer Seite der ersten Ablaufwanne 34 angeordnet
und die oben genannten Rollen 35 werden durch die Antriebsquelle 34a drehend
angetrieben.
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Die
bewegbare Rolleneinheit 33 wird auf im Wesentlichen die
gleiche Höhe
wie das Glassubstrat 5 für einen Flüssigkristall, das von dem Ausgabeausgang
der Sprühkammer 24 geschickt
wurde, angehoben, wobei es in einen Wartezustand versetzt wird. Wenn
das von der Sprühkammer 24 gelieferte
Glassubstrat 5 für
einen Flüssigkristall
durch die bewegbare Rolleneinheit 33 aufgenommen wurde,
wird die bewegbare Rolleneinheit 33 abgesenkt.
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Das
auf der bewegbaren Rolleneinheit 33 platzierte Glassubstrat 5 für einen
Flüssigkristall
wird durch einen Roboter 41 gefasst, der einen Hineinbeförderungs-/Herausbeförderungs-Mechanismus 40 (einen
Behandlungsabschnitt bildend) als eine Robotervorrichtung bildet,
und wird zu einem eines ersten Rotationsbehandlungsabschnitts 42 und
eines zweiten Rotationsbehandlungsabschnitts 43 zugeführt, die
nebeneinander in der vierten Behandlungseinheit 1d angeordnet
sind.
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Das Übergeben
des Glassubstrats 5 für
einen Flüssigkristall
an die bewegbare Rolleneinheit 33 des oben genannten zweiten Übergabemechanismus 31 verursacht
einen Fleck etc., falls das Glassubstrat 5 getrocknet wird,
bevor es dem Roboter 41 des Hineinbeförderungs-/Herausbeförderungs-Mechanismus 40 übergeben
wird. Um dies zu verhindern, wird reines Wasser als eine Flüssigkeit
zum Verhindern des Trocknens des Substrats darauf gesprüht.
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Das
heißt,
die bewegbare Rolleneinheit 33 umfasst die oben genannte
erste Ablaufwanne 34 mit dem oben genannten, mit ei nem
Boden versehenen, kastenförmigen
Aufbau, wobei röhrenförmige Sprühdüsen 34 an
beiden Oberseiten der ersten Ablaufwanne 34 angeordnet
sind. Reines Wasser wird von den jeweiligen Sprühdüsen 37 in Richtung
des Glassubstrats 5 für
einen Flüssigkristall
versprüht,
das in der bewegbaren Rolleneinheit 33 gehalten wird.
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Das
obere Ende des bewegbaren Rohres 38 ist mit dem Boden der
oben genannten Ablaufwanne 34 verbunden. Das bewegbare
Rohr 38 ist montiert, so dass es hängend ist. Das bewegbare Rohr 38 ist gleitbar
in ein feststehendes Rohr 39 eingeführt, das einen größeren Durchmesser
als das Rohr 38 aufweist. Das feststehende Rohr 39 ist
an einer Halterung 31a des zweiten Übergabemechanismus 31 auf halber
Höhe befestigt
und sein niedrigeres Endteil ist mit einem Abschnitt für gebrauchte
Flüssigkeit,
nicht gezeigt, verbunden. Das reine Wasser wird in Richtung des
an der bewegbaren Rolleneinheit 33 gehaltenen Glassubstrats 5 für einen
Flüssigkristall
gesprüht
und wird von der ersten Ablaufwanne 34 durch das bewegbare
Rohr 38 und durch das feststehende Rohr 39 abgeführt.
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Das
bewegbare Rohr 38 ist mit der ersten Ablaufwanne 34 verbunden
und wird in das feststehende Rohr 39 eingeführt und,
sogar falls die bewegbare Rolleneinheit 33 aufwärts/abwärts bewegbar
ist, ist es möglich,
eine positive Entladung des Ablaufes von der ersten Ablaufwanne 34 zu
bewirken.
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Das
heißt,
in dem Fall, bei dem eine ablaufende Flüssigkeit von dem bewegbaren
Abschnitt abzuführen
ist, wird normalerweise ein flexibles Rohr verwendet, um einer Bewegung
des bewegbaren Abschnitts zu entsprechen. In diesem Fall wird, da
das flexible Rohr mit einer Länge
ausgeführt
wird, über welche
der bewegbare Abschnitt angehoben werden kann, das flexible Rohr,
falls es nach unten bewegt wird, gebogen und steht seitlich über. Aus
diesem Grund muss ein Raum reserviert werden, um es dem oben genannten
flexiblen Rohr zu ermöglichen,
sich zur Seite zu biegen, und das flexible Rohr wird wiederholt
auf Grund der Aufwärts-/Abwärts-Bewegung des
bewegbaren Abschnitts gebogen, so dass der Biegeteil in der Vergangenheit
beschädigt
wurde.
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In Übereinstimmung
mit der vorliegenden Erfindung wird das bewegbare Rohr 38 jedoch
mit der ersten Ablaufwanne 34 verbunden, ohne das flexible Rohr
zu verwenden, und das bewegbare Rohr 38 wird gleitbar in
das feststehende Rohr 39 eingeführt. Daher wird, da das bewegbare
Rohr 38 auf Grund der Aufwärts-/Abwärts-Bewegung der ersten Ablaufwanne 34 gleitend
in das feststehende Rohr 39 bewegt wird, lediglich ein
zum Montieren des feststehenden Rohres 39 benötigter Raum
verwendet und es besteht keine Möglichkeit,
dass eine frühzeitige Beschädigung auf
Grund der Biegung eines solchen flexiblen Rohres auftritt.
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Wie
in der 6 gezeigt, umfasst die Übergaberolleneinheit 30 eine
zweite Ablaufwanne 131, wie dies der Fall ist bei der bewegbaren
Rolleneinheit 33. In der zweiten Ablaufwanne 131 ist
ein Ablaufrohr 132 nach unten in Richtung eines zentralen
Bereiches eines Bodens geneigt und eine Mehrzahl von Rollen 133 sind
drehbar in vorbestimmten Abständen zwischen
einem Paar von gegenüberliegenden
Seitenwänden
mit ihren Achsen in paralleler Ausrichtung montiert und die Rollen 133 werden
durch eine nicht gezeigte Antriebsquelle drehend angetrieben.
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Dementsprechend
wird das von der oben genannten Sprühkammer 24 auf die
Rollen 133 der oben genannten Übergaberolleneinheit 30 geförderte Glassubstrat 5 für einen
Flüssigkristall
auf Grund eines Rotationsantriebs der Rollen 13 auf die
Rollen 35 der bewegbaren Rolleneinheit 33 übergeben.
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Eine
erste wasserdichte Abdeckung 134 und eine zweite wasserdichte
Abdeckung 135 sind an den Seitenwänden der Ablaufwannen 131, 34 der Übergaberolleneinheit 30 und
der bewegbaren Rolleneinheit 33 angeordnet, die einander
gegenüberliegend
angeordnet werden, wenn die bewegbare Rolleneinheit 33 in
eine angehobene Position gebracht wird.
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Die
jeweiligen wasserdichten Abdeckungen 134, 135 weisen
vertikale Abschnitte 134a, 135a und geneigte Abschnitte 134b, 135b auf
und die niedrigeren Endteile der vertikalen Abschnitte 134a, 135a sind
an den inneren Oberflächen
der Seitenwände durch
Abstandhalter 136 befestigt. Dadurch sind die geneigten
Abschnitte 134b, 135b der jeweiligen wasserdichten
Abdeckungen 134, 135 nach außen von den Seitenwänden der
jeweiligen Ablaufwannen 131, 34 abgesetzt und
sind nach unten in Richtung der Innenseiten der jeweiligen Ablaufwannen 131, 34 geneigt.
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Mit
der bewegbaren Rolleneinheit 33 in angehobenem Zustand
ist der geneigte Abschnitt 134b der ersten wasserdichten
Abdeckung 134 an der Übergaberolleneinheit 30 an
der stromaufwärts
gelegenen Seite der Förderrichtung
des Glassubstrats 5 für
einen Flüssigkristall
in einem überlappenden
Verhältnis über der
zweiten wasserdichten Abdeckung 135 angeordnet, die an
der bewegbaren Rolleneinheit 33 vorgesehen ist.
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Falls
bei dieser Anordnung das in der Sprühkammer 24 gewaschene
Glassubstrat 5 für
einen Flüssigkristall
von der feststehenden Rolleneinheit 30 zu der bewegbaren
Rolleneinheit 33 übergeben wird,
tropft die von dem Glassubstrat 5 tropfende Waschlösung auf
die geneigten Abschnitte 134b, 135b der wasserdichten
Abdeckungen 134, 135 und fließt entlang des geneigten Abschnitts
in die Ablaufwannen 131, 34. Dadurch wird verhindert,
dass die von dem Glassubstrat 5 für einen Flüssigkristall abtropfende Waschlösung entweicht.
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Da
die geneigten Abschnitte 134, 135 der paarweisen
wasserdichten Abdeckungen 134, 135 in einer überlappenden
Beziehung zueinander angeordnet sind, besteht keine Möglichkeit,
dass die Waschlösung
aus einer Lücke
zwischen den jeweiligen Rolleneinheiten 30, 33 entweicht.
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Weiterhin
besteht sogar falls die Waschlösung
auf die unteren Oberflächen
der wasserdichten Abdeckungen 134, 135 gelangt
und von den geneigten Abschnitten 134b, 135b auf
die vertikalen Abschnitte 134a, 135a fließt, keine
Möglichkeit,
dass die entlang der unteren Oberflächen der wasserdichten Abdeckungen 134, 135 fließende Waschlösung außerhalb
der Ablaufwannen 131, 34 abtropft, da die unteren
Enden der vertikalen Abschnitte 134a, 135a durch
die Abstandhalter an den inneren Oberflächen der Seitenwände der
Ablaufwannen 34, 131 befestigt sind.
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Der
Roboter 41 ist so angeordnet, dass der Roboter an der lateralen
Seite einer Mehrzahl von benachbart angeordneten Rotationsbehandlungseinheiten,
in dieser Ausführungsform
ein Paar von Rotationsbehandlungsabschnitten 42, 43,
und unter der oben genannten UV-Bestrahlungsvorrichtung 15 und der
Bürstenwascheinheit 20 zu
der zweiten Behandlungseinheit 1b, wie in der 5 gezeigt,
entlang einer benachbart zu den paarweisen Rotationsbehandlungsabschnitte 42, 43 liegenden
Richtung bewegbar ist. D.h. auf der lateralen Seite der oben genannten Rotationsbehandlungsabschnitte 42, 43,
wie in der 3 gezeigt, ist eine Führungsschiene 44 angeordnet,
um einen Führungsabschnitt
zu bilden, und ein Linearmotor 45 ist als eine Antriebsvorrichtung
angeordnet, die einen vorbe stimmten Abstand entfernt von und parallel
zu der Führungsschiene 44 angeordnet
ist.
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Auf
der Führungsschiene 44 ist
ein Gleiter 46 angeordnet, so dass er gleitbar ist, und
auf der oberen Oberfläche
des Gleiters 46 ist ein erstes horizontales Element 47 angeordnet.
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Der
oben genannte Linearmotor 45 umfasst einen feststehenden
Abschnitt 45a und einen bewegbaren Abschnitt 45b,
der entlang des feststehenden Abschnitts 45a verfahren
wird. Auf dem bewegbaren Abschnitt 45b ist ein zweites
horizontales Element 49 montiert. Von dem zweiten horizontalen
Element 49 erstreckt sich ein zweites vertikales Element 51.
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Zwischen
den unteren Endteilen des ersten vertikalen Elements 48 und
des zweiten vertikalen Elements 51 ist eine Lagerplatte 52 horizontal
befestigt und der oben genannte Roboter 41 ist auf der
Lagerplatte 52 angeordnet und befestigt. Der Roboter 41 weist
einen säulenförmigen Körperabschnitt 41a auf
und der säulenförmige Körperabschnitt 41a weist einen
Durchmesser auf, dessen Abmessungen kleiner sind als ein Abstand
zwischen den paarweisen vertikalen Elementen 48, 51.
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Die
oben genannte Führungsschiene 44 und der
feststehende Abschnitt 45a des Linearmotors 45 werden
mit Abdeckungen 53a, 53b abgedeckt, die aus einem
Material, wie beispielsweise einem hochgradig korrosionsbeständigen Metall
und Synthetikharz, gebildet sind.
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Die
oberen Endabschnitte der jeweiligen Abdeckungen 53a, 53b sind
an einem Rahmen 54 befestigt, der entlang einer Verfahrrichtung
des oben genannten Roboters 41 angeordnet ist, wobei ihre Übergangsabschnitte
nach unten in Richtung des Roboters 41 geneigt sind und
die Führungsschiene 44 und
den festste henden Abschnitt 45a des Linearmotors 45 jeweils
abdecken, und wobei ihre unteren Endteile zwischen den jeweiligen
vertikalen Elementen 48, 51 auf der einen Seite
und dem Roboter 41 auf der anderen Seite eingeführt sind.
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An
den unteren Endseiten der paarweisen Abdeckungen 53a, 53b ist
eine dritte Ablaufwanne 45 über den gesamten Längenbereich, über welchen der
Roboter 41 verfahren wird, angeordnet, wobei die dritte
Ablaufwanne aus einem hochgradig korrosionsbeständigen Material gebildet ist.
Wie unten gezeigt wird, wird die von dem Roboter 41 auf
die Abdeckungen 53a, 53b tropfende Waschflüssigkeit
in der dritten Ablaufwanne 55 gesammelt.
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Der
Roboter 41 besteht aus einem Zweiarmroboter, wie beispielsweise
in der 4 gezeigt, wobei eine Antriebsquelle, nicht gezeigt,
innerhalb des Körperabschnitts 41a vorgesehen
ist. Ein erster Arm 56 und ein zweiter Arm 57 sind
an der oberen Oberfläche
des Körperabschnitts 41a montiert.
Der erste Arm 56 umfasst ein erstes Glied 56a und
ein zweites Glied 56b und der zweite Arm 57 umfasst
ein drittes Glied 57a und ein viertes Glied 57b.
Jeweils ein Endteil des ersten Glieds 56a und des dritten Glieds 57a sind
mit der entsprechenden Antriebswelle der oben genannten Antriebsquelle
verbunden.
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Ein
Ende des zweiten Glieds 56b ist so an das andere Ende des
ersten Glieds 56a angeschlossen, dass es gesperrt mit der
Rotation des ersten Gliedes geschwungen wird. Weiterhin ist ein
Ende des vierten Glieds 57b so an das andere Ende des dritten
Glieds 57a angeschlossen, dass es gesperrt mit dem dritten
Glied 57a geschwungen wird. An den anderen Endseiten des
zweiten Glieds 56b und des vierten Glieds 57b sind
der erste Einsetzer 56c und ein Ende des zweiten Einsetzers 57c so
ver bunden, dass eine mit der Schwingbewegung des zweiten Glieds 56b und
des vierten Glieds 57b gesperrte lineare Bewegung (ausfahrende/einfahrende
Bewegung) erzeugt wird.
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Daher
sind der erste und der zweite Arm 56 und 57 im
Paar so angeordnet, dass mit der Schwenkbewegung des ersten Glieds 56a und
des dritten Glieds 57a das zweite Glied 56b und
das vierte Glied 57b und der erste Einsetzer 56c und
der zweite Einsetzer 57c jeweils in einer gesperrten Weise
bewegt werden, um eine Ausfahr-/Einfahr-Bewegung zu erzeugen. Weiterhin
ermöglichen
der erste und der zweite Arm 56 und 57 eine Aufwärts-/Abwärts-Antriebsbewegung,
wie auch einen Wechsel in der Ausfahr-/Einfahr-Richtung. Die 4 zeigt
einen Zustand, bei dem der erste Arm 56 eingefahren und der
zweite Arm 57 ausgefahren ist.
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Wenn
die paarweisen Arme 56, 57 eingezogen sind, sind
das erste Glied 56a und das dritte Glied 57a und
der erste Einsetzer 56c und der zweite Einsetzer 57c so
angeordnet, dass ihre Höhe
auf unterschiedlichen Niveaus liegt, um ihre gegenseitige Behinderung
zu unterbinden. In dieser Ausführungsform
ist der zweite Arm 57 angeordnet, um in der Höhe niedriger
zu sein als der erste Arm 56.
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Der
erste Arm 56 fördert
ein Glassubstrat 5 nur in einem getrockneten Zustand und
der zweite Arm 57 fördert
ein Glassubstrat nur in einem nassen Zustand.
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An
dem ersten Einsetzer 56c und dem zweiten Einsetzer 57c der
Arme 56 und 57 sind eine Mehrzahl von Halteelementen 61 zum
Positionieren des Glassubstrats einer bestimmten Größe angeordnet.
Weiterhin ist ein Paar von Düsen 62 an
der oberen Oberfläche
eines Basisteils des zweiten Einsetzers 57c für den zweiten
Arm 57 angeordnet. Aus den jeweiligen Düsen 62 wird beispielsweise
Wasser als eine Flüssigkeit
versprüht,
um ein Austrocknen des Glassubstrats zu verhindern, das an dem zweiten
Einsetzer 57c am Platz gehalten wird.
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D.h.,
das zu dem zweiten Übergabemechanismus 31 übergebene
nasse Glassubstrat 5 wird, nachdem es durch die Bürstenwascheinheit 20 gewaschen
wurde, durch den zweiten Einsetzer 57c des zweiten Arms 57 aufgenommen.
Dann wird das Glassubstrat 5 dem ersten Rotationsbehandlungsabschnitt 42 oder
dem zweiten Rotationsbehandlungsabschnitt 43 zugeführt. Zu
diesem Zeitpunkt müssen die
jeweiligen Rotationsbehandlungsabschnitte 42, 43 für eine vorbestimmte
Zeitspanne, bis das Glassubstrat 5 in dem nassen Zustand
zugeführt
ist, warten, da sie vom Stapelverarbeitungstyp sind. Während des
Wartezustandes wird reines Wasser von den Düsen 62 in Richtung
der Glasplatte gesprüht. Da
die Glasplatte 5 durch diese Tätigkeit im nassen Zustand davor
bewahrt wird, auszutrocknen, ist es möglich, zu verhindern, dass
auf Grund des Austrocknens der Glasplatte ein Fleck etc. gebildet
wird.
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Die
paarweisen Rotationsbehandlungsabschnitte 42, 43 führen die
gleiche Behandlung an dem Glassubstrat 5 durch. D.h. sie
werden bei hohen Geschwindigkeiten gedreht, wobei das Glassubstrat 5 am
Platz gehalten wird, und auf den oberen Oberflächen wird eine chemische Lösung, in
die eine Ultraschallschwingung eingebracht wird, von einer entsprechenden
Chemische-Lösung-Zuführ-Düse 65 zugeführt. Nach
dem Waschen mit der chemischen Lösung
wird reines Wasser von einer Reines-Wasser-Zuführ-Düse 66 zu dem Glas
zur Wasserspülung zugeführt. Darauffolgend
führt,
ohne Zuführung
irgendeiner chemischen Lösung
oder reinen Wassers zu der Glasplatte 5, die Behandlungseinheit
eine Trocknungsbehandlung durch, während die Glasplatte 5 bei
hohen Geschwindigkeiten gedreht wird.
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Die
UV-Bestrahlungsvorrichtung 15 und die Bürstenwascheinheit 20 führen eine
kontinuierliche Behandlung an dem Glassubstrat 5 durch,
während andererseits
die Behandlung des Glassubstrats 5 durch die Rotationsbehandlungsabschnitte 42, 43 vom
Stapelverarbeitungstyp ist. Aus diesem Grund ist der Fluss des Glassubstrats 5 nicht
kontinuierlich, wobei dementsprechend eine längere Taktzeit in Anspruch
genommen wird.
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Wie
oben dargestellt, sind jedoch eine Mehrzahl von Rotationsbehandlungsabschnitten 42, 43 zum
Behandeln des Glassubstrats 5 nebeneinander angeordnet
und das Glassubstrat 5 wird von der Bürstenwascheinheit 20 alternierend
den Rotationsbehandlungsabschnitten zugeführt. Aus diesem Grund ist es
im Vergleich mit dem Fall, bei dem ein einzelnes Glassubstrat für einen
Flüssigkristall
sequenziell mit einer einzelnen Rotationsbehandlungseinheit behandelt
wird, möglich,
eine Taktzeit einer Waschbehandlungsvorrichtung im Ganzen zu verkürzen. Das
Glassubstrat 5 wird in einem trockenen Zustand, nachdem
es der Trockenbehandlung durch die jeweiligen Behandlungsabschnitte 42, 43 unterzogen wurde,
durch den ersten Einsetzer 56c des ersten Arms 56 des
Roboters 41 aufgenommen und zu einer fünften Behandlungseinheit 1e befördert.
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Die
Befestigung und das Lösen
des Glassubstrats 5 durch den Roboter 41 an und
von den jeweiligen Rotationsbehandlungsabschnitten 42, 43 werden
durch eine Öffnung 63 bewirkt,
welche die zweite Behandlungseinheit 1b und die vierte
Behandlungseinheit 1d verbinden. Die Öffnung 63 kann durch
ein nicht gezeigtes Tor geöffnet
und geschlossen werden.
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Der
oben genannte Roboter 41 übergibt das Glassubstrat in
einem nassen Zustand durch den zweiten Arm 57 und übergibt
das Glassubstrat 5, das einer Waschbehandlung unterzogen
wurde, in einem trockenen Zustand durch den ersten Arm 56.
Aus die sem Grund wird kein Tropfen von dem Glassubstrat 5 im
nassen Zustand auf den ersten Einsetzer 56c des ersten
Arms 56 aufgebracht und ein durch den ersten Einsetzer 56c in
einem sauberen Zustand übergebenes
Glassubstrat wird nicht durch den Roboter 41 verunreinigt.
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Weiterhin
ist der Arm 56 oberhalb des zweiten Arms 57 angeordnet
und es besteht keine Möglichkeit,
dass der erste Einsetzer 56c des ersten Arms 56 und
das an diesem Platz gehaltene Glassubstrat durch eine von einem
Glassubstrat 5 im Nasszustand, das in dem zweiten Einsetzer 57c des zweiten
Arms 57 gehalten wird, tropfende Waschlösung verunreinigt wird.
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Falls
der zweite Arm 57 des Roboters 41 das Glassubstrat 5 in
dem nassen Zustand zu einem beliebigen der paarweisen Rotationsbehandlungsabschnitte 42, 43 zuführt, wird
der Roboter 41 durch einen Linearmotor 45 angetrieben
und entlang der Führungsschiene 44 verfahren.
Zu diesem Zeitpunkt tropft die Waschlösung von dem Glassubstrat 5 in dem
nassen Zustand auf die oberen Oberflächen der Übergangsteile der paarweisen
Abdeckungen 53a, 53b.
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Da
die Übergangsteile
der Abdeckungen 53a, 53b nach unten in Richtung
des Roboters 41 geneigt sind, wird die auf die Übergangsteile
der Abdeckungen 53a, 53b tropfende Waschlösung von
diesen Übergangsteilen
der Abdeckungen durch die unteren Endteile in der dritten Ablaufwanne 55 gesammelt.
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D.h.
die von dem Glassubstrat 5 im nassen Zustand getropfte
Waschlösung
wird daran gehindert, auf die Führungsschiene 44 zum
Führen
des Verfahrens des Roboters 41 zu gelangen, wobei ein Auftreten
einer frühzeitigen
Korrosion an der Führungs schiene 44 bewirkt
würde,
und wird daran gehindert, auf den Linearmotor 45 zu tropfen,
wobei dieser beschädigt
würde.
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Die
oben genannte fünfte
Behandlungseinheit 1e weist einen Herausbeförderungsabschnitt 71 auf,
der die Mehrzahl von Rollen, wie in der 1 gezeigt,
umfasst. An einer Endseite des Herausbeförderungsabschnitts 71 ist
ein Schieber 72 zur Aufnahme des auf dem ersten Einsetzer 56c des
ersten Arms 56 des Roboters 41 gehaltenen Glassubstrats so
angeordnet, um abwärts/aufwärts bewegbar
zu sein.
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Wenn
der Schieber 72 angehoben ist und das Glassubstrat 5 von
dem ersten Einsetzer 56c aufnimmt, wird er abgesenkt und übergibt
das Glassubstrat 5 an den Herausbeförderungsabschnitt 71. Ein
Entladeabschnitt 73 ist an dem anderen Ende des Herausbeförderungsabschnitts 71 angeordnet und
das zu dem Herausbeförderungsabschnitt 71 geförderte Glassubstrat 5 wird
in dem Entladeabschnitt gestapelt und aufgenommen. Ein Fluss des
Glassubstrats 5 durch die Waschbehandlungsvorrichtung wird
durch Pfeile in der 1 angezeigt.
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Die
oben genannte Waschbehandlungsvorrichtung 1 ist in einem
Reinraum installiert und es sind Reinigungseinheiten 75 an
den äußeren Oberflächen der
oberen Abschnitte der Behandlungseinheiten 1a bis 1e angeordnet,
wie in der 5 gezeigt. Die Reinigungseinheit 75 reinigt
Luft in dem Reinraum und führt
sie den Behandlungseinheiten 1a bis 1e zu.
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In
der zweiten Behandlungseinheit 1b ist der Roboter 41 unterhalb
der Bürstenwascheinheit 20 angeordnet.
Aus diesem Grund wird von der Reinigungseinheit 75 an dem
oberen Abschnitt der zweiten Behandlungseinheit 1b zugeführte reine
Luft durch die Bürstenwascheinheit 20 blockiert
und es wird schwierig, den Reinheitsgrad des durch den Roboter 41 gehaltenen
Glassubstrats 5 aufrecht zu erhalten.
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Dort
an dem oberen Abschnitt der vierten Behandlungseinheit 1d,
benachbart relativ zu der zweiten Behandlungseinheit 1b,
ist eine erste Führung 76 zum
Abzweigen eines Teils der reinen Luft von der Reinigungseinheit 75 angeordnet.
Wie durch Pfeile in der Figur angezeigt, wird die durch eine erste
Führung 76 abgezweigte
reine Luft in eine Austauschöffnung 77 geleitet,
um einen Austausch zwischen der vierten Behandlungseinheit 1d und
der zweiten Behandlungseinheit 1b zu ermöglichen.
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Eine
zweite Führung 78 zum
Führen
der reinen Luft, welche über
die Austauschöffnung 77 nach unten
in Richtung einer niedrigeren Zone eintritt, ist an der zweiten
Behandlungseinheit 1b angeordnet. Dadurch fließt die reine
Luft in Richtung des Roboters 41, so dass es möglich ist,
den Reinheitsgrad des an dem Roboter 41 gehaltenen Glassubstrats
aufrecht zu erhalten.
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In Übereinstimmung
mit der so aufgebauten Waschbehandlungsvorrichtung sind die UV-Bestrahlungsvorrichtung 15 und
die Bürstenwascheinheit 20 in
der oberen Stufe als ein Behandlungsabschnitt für das Glassubstrat 5 angeordnet
und der Roboter 41 ist in der niedrigeren Stufe als ein
solcher Behandlungsabschnitt angeordnet.
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Aus
diesem Grund kann die Abmessung der Waschbehandlungsvorrichtung
in der Breite als Ganzes kleiner ausgeführt werden, als bei dem Fall,
bei dem der oben genannte Roboter 41 in einer horizontalen
Richtung relativ zu der UV-Bestrahlungsvorrichtung 15 und
neben der Bürstenwascheinheit 20 angeordnet
ist und der durch die Waschbehandlungsvorrichtung in einem Reinraum
eingenommene Raum kann um dieses Ausmaß kleiner ausgeführt werden.
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Die
Richtung, in der das Glassubstrat 5 gefördert wird, wird zwischen der
oberen Stufe, in der die UV-Bestrahlungsvorrichtung 15 und
die Bürstenwascheinheit 20 angeordnet
sind, und der unteren Stufe, in welcher der Roboter 41 angeordnet
ist, umgedreht. Aus diesem Grund kann die Gesamtlänge der
vorliegenden Vorrichtung kürzer
ausgeführt
werden als in dem Fall, bei dem die Richtung, in welcher das Glassubstrat 5 gefördert wird,
nicht umgedreht wird. Dadurch kann in dem Reinraum ein kleinerer belegter
Raum beansprucht werden.
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Die
UV-Bestrahlungsvorrichtung 15 und die Bürstenwascheinheit 20 in
der hohen Stufe und der Roboter 41 in der niedrigeren Stufe
sind in zwei Stufen angeordnet. An der Eingangsseite der UV-Bestrahlungsvorrichtung 15 der
oberen Stufe ist ein erster Übergabemechanismus 6 angeordnet
und ein zweiter Übergabemechanismus 31 ist
an der Ausgangsseite der Bürstenwascheinheit 20 angeordnet.
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Daher
ist es, sogar falls eine Mehrzahl von Behandlungsabschnitten in
zwei Aufwärts-/Abwärts-Stufen
angeordnet sind, möglich,
das Glassubstrat 5 aktiv von dem Ladeabschnitt 4 zu
der UV-Bestrahlungsvorrichtung und von der Bürstenwascheinheit 20 zu
dem Roboter 41 zu übergeben.
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Durch
Anordnen der UV-Bestrahlungsvorrichtung 15 und der Bürstenwascheinheit 20 in
der oberen Stufe und des Roboters 41 in der unteren Stufe
wird ein nach unten Fließen
von dem oberen Abschnitt der zweiten Einheit 1b durch den
Behandlungsabschnitt der oberen Stufe verhindert.
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Ein
Teil des Abwärtsflusses
von der relativ zu der zweiten Behandlungseinheit 1b seitlich
angeordneten vierten Behandlungseinheit 1d wird jedoch durch
den ersten Führungskörper 76 abgezweigt
und durch die die zweite und die vierte Behandlungseinheit 1b, 1d verbindende
Austauschöffnung 77 durch eine
zweite Führung 78 in
Richtung des Roboters 41 geführt.
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Dementsprechend
behält
das durch den Roboter 41 gehaltene waschbehandelte Glassubstrat sein
Reinheitsniveau auf Grund der reinen Luft von der vierten Behandlungseinheit 1d,
welche benachbart zu der zweiten Behandlungseinheit 1b angeordnet
ist. D.h., das Reinheitsniveau des in der unteren Stufe angeordneten
Behandlungsabschnitts kann, sogar falls eine Mehrzahl von Behandlungsabschnitten
in den zwei Aufwärts-/Abwärts-Stufen
angeordnet sind, aktiv durch die reine Luft von der Reinigungseinheit 75 aufrecht
erhalten werden.
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Industrielle
Anwendbarkeit
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Die
vorliegende Erfindung ist nicht auf die eine oben beschriebene Ausführungsform
beschränkt
und es können
verschiedene Änderungen und
Modifikationen an der vorliegenden Erfindung vorgenommen werden.
Obwohl in der einen oben beschriebenen Ausführungsform die Waschbehandlungsvorrichtung
beispielhaft genannt ist, sogar falls die Vorrichtung irgendeine
andere Behandlung durchführt,
kann die vorliegende Erfindung auf diese Vorrichtung in dem Fall,
bei dem sie eine Mehrzahl von Behandlungsabschnitten aufweist, angewendet werden.
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Beispielsweise
kann die vorliegende Erfindung bei einer Behandlungsvorrichtung
angewendet werden, welche mit diesen, eine Behandlung durchführenden
Behandlungsabschnitten ausgerüstet
ist, wie beispielsweise eine Entwicklungsbehandlung, eine Ätzbehandlung
und eine Behandlung zur Dünnfilmbildung, um
so beispielsweise ein Schaltkreismuster auf einem Halbleiterwafer
oder einem Flüssigkristallglassubstrat
als Material zu bilden. Die vorliegende Erfindung ist nicht auf
diese Arten von Behandlungsabschnitten, eine Kombination von diesen oder
diesen Arten etc. von Materialien beschränkt.
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Obwohl
in der oben genannten einen Ausführungsform
das in dem Ladeabschnitt gehaltene Material durch den ersten Übergabemechanismus
zu dem Behandlungsabschnitt in der oberen Stufe zugeführt wird
und das durch den abschließenden
Behandlungsabschnitt in der oberen Stufe behandelte Material durch
den zweiten Übergabemechanismus zu
dem Behandlungsabschnitt in der unteren Stufe übergeben wird, ist es möglich, dass,
abhängig
von dem Zustand, in welchem die Behandlungsabschnitte angeordnet
sind, das Material an dem Ladeabschnitt durch den ersten Übergabemechanismus
zu den Behandlungsabschnitten in der unteren Stufe übergeben
wird und dass das in der unteren Stufe behandelte Material durch
den zweiten Übergabemechanismus
zu dem Behandlungsabschnitt in der oberen Stufe übergeben wird. In diesem Fall,
falls der Ladeabschnitt und der Behandlungsabschnitt der unteren
Stufe in der gleichen Höhe
liegen, ist es möglich, dass
der erste Übergabemechanismus
aufwärts/abwärts bewegbar
ist.
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Weiterhin,
obwohl eine Mehrzahl von Rotationsbehandlungsabschnitten in einer
Behandlungseinheit angeordnet sind, können diese Rotationsbehandlungsabschnitte
separat angeordnet sein und es können
an diesem Punkt Designmodifikationen abhängig von der Größe des Behandlungsabschnitts und
der Behandlungseinheit vorgenommen werden.
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Obwohl
in der oben genannten Ausführungsform
die UV-Bestrahlungsvorrichtung und die Bürstenwascheinheit in dem oberen
Bereich angeordnet sind und der Roboter darunter angeordnet ist
und der Rotationsbehandlungsabschnitt an der Seite des Roboters
und diagonal unter der UV-Bestrahlungsvorrichtung und dem Bürstenwaschabschnitt
angeordnet ist, ist es unnötig
zu sagen, dass der Roboter und der Rotationsbehandlungsabschnitt
neben der UV-Bestrahlungsvorrichtung und dem Bürstenwaschabschnitt angeordnet
sein können.
In diesem Fall können
der Ladeabschnitt und der Entladeabschnitt in einer Aufwärts/Abwärts-Richtung
angeordnet sein.