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Technisches
Gebiet
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Diese Erfindung bezieht sich auf
eine Anziehungsobjekt-Erfassungsvorrichtung und ein Anziehungsobjekt-Erfassungsverfahren,
welches erfassen kann, ob ein Anziehungsobjekt vorhanden ist oder nicht,
und, genauer gesagt, auf eine Anziehungsobjekt-Erfassungsvorrichtung und ein Anziehungsobjekt-Erfassungsverfahren,
das für
die Verwendung mit einer IC-Test- bzw. IC-Prüfungshandhabungseinrichtung
geeignet ist, welche einen Anziehungstransportarm hat.
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Technischer
Hintergrund
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Herkömmlich wird ein durch einen
Anziehungstransportarm zu transportierendes Anziehungsobjekt erfasst,
indem z. B. ein Drucksensor oder ein Sensor des Übertragungstyps verwendet wird.
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Deshalb ist eine Anziehungsobjekt-Erfassungsvorrichtung,
welche einen Drucksensor verwendet, in (a) und (b) von 1 gezeigt, während eine
andere Anziehungsobjekt-Erfassungsvorrichtung,
welche einen Sensor des Übertragungstyps verwendet,
in 2 gezeigt ist, und
ihre Bauweisen und Operationen bzw. Arbeitsweisen werden beschrieben.
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Die Vorrichtung, die in 1 gezeigt ist, ist derart
aufgebaut, dass sie einen Arm 2 enthält, der eine Saugöffnung hat
und in einer horizontalen Richtung und einer vertikalen Richtung
bewegbar ist, und Luft um die Saugöffnung des Armes 2 wird
in eine Vakuumquelle bzw. Unterdruckquelle (nicht gezeigt) über einen
Drucksensor 3 angesaugt. Bei der vorliegenden Vorrichtung
wird durch einen Drucksensor 3 unterschieden, ob ein Anziehungsobjekt 1 vorhanden ist
oder nicht, wenn der Arm 2 nach unten zu einem Ort bewegt
wird, an dem das Anziehungsobjekt anzuordnen ist. Insbesondere wird,
wenn das Anziehungsobjekt 1 nicht zugegen ist, wenn der
Arm 2 nach unten bewegt wird, weil die Ansaugöffnung des Armes 2 in
einem auslaufenden Zustand verbleibt, ein Druckabfall nicht durch
den Drucksensor 3 erfasst, aber wenn das Anziehungsobjekt 1 zugegen ist,
dann geschieht kein Entweichen von dem Arm 2 und ein Druckabfall
wird durch den Drucksensor 3 erfasst. Daraus kann unterschieden
werden, ob das Anziehungsobjekt 1 zugegen ist oder nicht.
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Mittlerweile ist in der Vorrichtung,
die in 2 gezeigt ist,
ein Sensor des Übertragungstyps an
einem Ort angeordnet, an welchem ein Anziehungsobjekt 1 unterzubringen
ist. Bei dem Sensor des Übertragungstyps
sind Lichtstrahlen, welche durch den Ort gehen, an dem das Anziehungsobjekt 1 unterzubringen
ist, aus einem Paar von Licht emittierenden Elementen 4 und
einem Paar von Licht empfangenden Elementen 5 gebildet.
Bei der Vorrichtung des soeben beschriebenen Typs kann unterschieden
werden, ob ein Anziehungsobjekt 1 zugegen ist oder nicht,
indem das Anziehungsobjekt 1 Lichtstrahlen zwischen dem
Paar Licht emittierender Elemente 4 und dem Paar Licht
empfangender Elemente 5 des Sensors des Übertragungstyps
abfängt.
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Jedoch ist eine derartige Vorrichtung,
wie sie in 1 gezeigt
ist, nachteilig, weil nicht unterschieden werden kann, ob ein Anziehungsobjekt
zugegen ist oder nicht, außer,
wenn der Arm nach unten zu dem Ort bewegt wird, an dem das Anziehungsobjekt unterzubringen
ist. Die Vorrichtung ist ebenfalls nachteilig, weil es möglich sein
kann, irrtümlicherweise
zu unterscheiden, dass ein Anziehungsobjekt wegen eines Fehlers
bei der Einstellung des Drucksensors zugegen ist.
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Andererseits ist eine derartige Vorrichtung, wie
diese in 2 gezeigt ist,
nachteilig, weil sie nicht verwendet werden kann, wo der Sensor
nicht in horizontaler und schräger
Richtung bezüglich
eines Anziehungsobjektes montiert werden kann. Die Vorrichtung ist
ebenfalls nachteilig, weil da, wo es beabsichtigt ist, zu unterscheiden,
ob ein Anziehungsobjekt zugegen ist oder nicht, an jedem einer großen Anzahl
von Anziehungspunkten eine große
Anzahl Sensoren erforderlich ist.
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Offenbarung
der Erfindung
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Es ist ein Ziel der vorliegenden
Erfindung, eine Anziehungsobjekt-Erfassungsvorrichtung und ein -verfahren
vorzusehen, welche besser im Durchsatz gegenüber den Bauweisen des vorstehend
beschriebenen Standes der Technik ist, welche mit Bestimmtheit erfassen
kann, ob ein Anziehungsobjekt zugegen ist oder nicht und bei welcher
der erforderliche Raum verringert ist und die einfach in der Bauweise
ist.
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Um das vorstehend beschriebene Ziel
zu erreichen, setzt die vorliegende Erfindung eine Anziehungsobjekt-Erfassungsvorrichtung
zum Erfassen voraus, ob ein Anziehungsobjekt, das durch einen Anziehungstransportarm,
der in einer vertikalen und horizontalen Richtung beweglich ist,
anzuziehen und zu bewegen ist, an einem vorbestimmten Ort einer Stufe
bzw. einer Station zugegen ist oder nicht. Und ein erster Aspekt
der vorliegenden Erfindung ist durch die folgenden Punkte gekennzeichnet.
Insbesondere hat der Anziehungstransportarm ein Düsenloch,
das in einer solchen Weise ausgebildet ist, um in Richtung der Seite
der Stufe geöffnet
zu sein und mit einer Vakuumquelle verbunden zu sein. Ein Licht emittierendes
Element ist entweder auf der Rückseite
zu dem vorbestimmten Ort oder auf dem Anziehungstransportarm angeordnet.
Die Stufe hat ein Durchgangsloch, das an dem vorbestimmten Ort zur Verfügung gestellt
ist, so dass Lichtstrahlen von dem Licht emittierenden Element durch
die Stufe nicht abgefangen werden können. Und ein Licht empfangendes
Element, um die Lichtstrahlen von dem Licht emittierenden Element
zu empfangen, ist auf der Rückseite
zu dem vorbestimmten Ort oder dem Anziehungstransportarm, an welchem
das Licht emittierende Element nicht angeordnet ist, angeordnet.
Insbesondere ist das Licht emittierende Element oder das Licht empfangende
Element bevorzugt in dem Inneren des Düsenloches des anziehenden Transportarmes
angeordnet.
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Unterdessen ist ein zweiter Aspekt
der vorliegenden Erfindung durch die folgenden Merkmale gekennzeichnet.
Insbesondere ist ein Reflexionselement entweder auf einer Oberfläche der
Stufe an dem vorbestimmten Ort oder an dem Anziehungstransportarm
angeordnet. Und ein Licht emittierendes Element und ein Licht empfangendes
Element zum Empfangen von Lichtstrahlen von dem Licht emittierenden
Element über
das Reflexionselement sind auf der Oberfläche an dem vorbestimmten Ort oder
an dem Anziehungstransportarm angeordnet, an welchem das Reflexionselement
nicht angeordnet ist. Insbesondere ist irgendeines des Licht emittierendes
Elementes und des Licht empfangenden Elementes paarweise oder das
Reflexionselement ist bevorzugt in dem Inneren des Düsenloches
des Anziehungstransportarmes angeordnet.
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Bei dieser Vorrichtung kann ein oberer
Abschnitt des Anziehungstransportarmes, der das Licht emittierende
Element oder das Licht empfangende Element oder außerdem das
Reflexionselement oder eine Reihe eines Licht emittierenden Elementes
und eines Licht empfangenden Elemente enthält, die in dem Inneren des
Düsenloches
angeordnet sind, eine Sensoreinheit ausbilden, unabhängig von
dem aber durch eine optische Faser angeschlossenen Anziehungstransportarm.
Oder die Sensoreinheit kann unabhängig von dem Anziehungstransportarm
an einer Stelle gegenüber
zu dem vorbestimmten Ort festgelegt werden, während der anziehende Transportarm so
konstruiert ist, um es Lichtstrahlen von dem Licht emittierenden
Element zu ermöglichen,
da hindurch zu gehen.
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Ein dritter Aspekt der vorliegenden
Erfindung sieht ein Anziehungsobjekt-Erfassungsverfahren vor, welches die
Vorrichtung gemäß dem ersten
oder zweiten Aspekt der vorstehend beschriebenen, vorliegenden Erfindung
verwendet, dadurch gekennzeichnet, dass, wenn der Anziehungstransportarm
zu einer Position oberhalb des vorbestimmten Ortes bewegt wird,
falls das Licht empfangende Element kein Licht empfängt, es
dann bestimmt wird, dass ein Anziehungsobjekt zugegen ist, aber
falls das Licht empfangende Element Licht empfängt, es dann unterschieden
wird, dass kein Anziehungsobjekt zugegen ist.
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Bei diesem Verfahren ist bevorzugt
ein Vakuumdrucksensor in einer Vakuumleitung von dem Düsenloch
des Anziehungstransportarmes zu der Vakuumquelle vorgesehen und,
nachdem es durch das Licht empfangende Element unterschieden worden ist,
dass ein Anziehungsobjekt zugegen ist, der Anziehungstransportarm
abwärts
zu dem vorbestimmten Ort bewegt wird und eine Anziehungsoperation durchführt, um
die Gegenwart oder Abwesenheit des Anziehungsobjektes wieder mittels
des Vakuumdrucksensors zu bestätigen.
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Ein vierter Aspekt der vorliegenden
Erfindung sieht ein Positionsverschiebungs-Erfassungsverfahren zum Erfassen der
positionsmäßigen Verschiebung
eines anziehenden Transportarmes bzw. Anziehungstransportarmes unter
Verwendung einer Vorrichtung gemäß dem ersten
oder zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung vor, dadurch gekennzeichnet,
dass, wenn der Anziehungstransportarm von einer Referenzposition
zu einer Position oberhalb des vorbestimmten Ortes bewegt wird,
während ein
Anziehungspunkt an dem vorbestimmten Ort nicht zugegen ist, falls
das Licht empfangende Element keine Lichtstrahlen von dem Licht
emittierenden Element empfängt,
es dann bestimmt wird, dass die Position des Anziehungstransportarmes
von der vorbestimmten Position versetzt bzw. verschoben ist. In
diesem Fall ist es bevorzugt, nachdem es bestimmt worden ist, dass
die Position des Anziehungstransportarmes von dem vorbestimmten
Ort verschoben ist, der Anziehungstransportarm horizontal in einer
willkürlichen
Richtung bewegt wird, bis das Licht empfangende Element die Lichtstrahlen
von dem Licht emittierenden Element empfängt, und wobei Koordinaten
der Position bzw. Stellung, zu welcher der Anziehungstransportarm
aufwärts
oberhalb des vorbestimmten Ortes zu bewegen ist, auf der Grundlage
von Koordinaten einer Position korrigiert werden, die durch Bewegungsmittel
für den
Anziehungstransportarm erkannt worden sind, wenn das Licht empfangende
Element die Lichtstrahlen empfängt.
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Ein fünfter Aspekt der vorliegenden
Erfindung sieht ein Reinigungsverfahren vor, welches eine Vorrichtung
gemäß dem ersten
oder zweiten Aspekt der vorstehend beschriebenen, vorliegenden Erfindung
verwendet, dadurch gekennzeichnet, dass Überdruckluft bzw. positiver
Luftdruck in eine Vakuumleitung von dem Düsenloch des Anziehungstransportarmes
zu der Vakuumquelle zugeführt
wird, um die Luft aus dem Düsenloch
in Richtung des vorbestimmten Ortes auszublasen.
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Ein sechster Aspekt der vorliegenden
Erfindung sieht eine Anziehungsobjekt-Erfassungsvorrichtung vor,
dadurch gekennzeichnet, dass ein Näherungssensor an dem vorbestimmten
Ort angeordnet ist.
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Ein siebter Aspekt der vorliegenden
Erfindung sieht eine Anziehungsobjekt-Erfassungsvorrichtung vor, dadurch gekennzeichnet,
dass Abstandserfassungseinrichtungen zum Messen eines Abstandes
zu einem Objekt, das in einer gegenüberliegenden Richtung zugegen
ist, an dem Anziehungstransportarm angeordnet sind. Und ein Anziehungsobjekt-Erfassungsverfahren
gemäß dieser
Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass Gegenwart oder Abwesenheit
des Anziehungsobjektes aus der Tatsache bestimmt wird, dass der
durch die Abstandserfassungseinrichtung erfasste Abstand unterschiedlich
ist, wobei das Objekt entweder das Anziehungsobj ekt oder die Stufe
bzw. Station ist, und auch ein Abstand der Abwärtsbewegung des Anziehungstransportarmes
durch die Abstandserfassungseinrichtung erkannt wird.
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Kurze Beschreibung
der Zeichnungen
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(a) und (b) von 1 sind schematische Ansichten, die ein
Beispiel einer herkömmlichen
Anziehungsobjekt-Erfassungsvorrichtung zeigen, welche einen Drucksensor
verwendet;
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2 ist
eine schematische Ansicht, die ein Beispiel einer herkömmlichen
Anziehungsobjekt-Erfassungsvorrichtung zeigt, welche einen Sensor
des Übertragungstyps
verwendet;
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3 ist
eine schematische Schnittansicht, die ein Ausführungsbeispiel einer Anziehungsobjekt-Erfassungsvorrichtung
und eines -verfahrens der vorliegenden Erfindung zeigt;
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4 ist
eine schematische Schnittansicht, die ein anderes Ausführungsbeispiel
einer der Anziehungsobjekt-Erfassungsvorrichtung und eines -verfahrens
der vorliegenden Erfindung zeigt;
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5 ist
eine schematische Schnittansicht, die ein weiteres Ausführungsbeispiel
einer Anziehungsobjekt-Erfassungsvorrichtung und eines -verfahrens
der vorliegenden Erfindung zeigt;
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6 ist
eine schematische Schnittansicht, die noch ein weiteres Ausführungsbeispiel
einer Anziehungsobjekt-Erfassungsvorrichtung und eines -verfahrens
der vorliegenden Erfindung zeigt; und
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7 ist
eine schematische Schnittansicht, die noch ein weiteres Ausführungsbeispiel
einer Anziehungsobjekt-Erfassungsvorrichtung und eines -verfahrens
der vorliegenden Erfindung zeigt.
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Beste An zum
Ausführen
der Erfindung
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Als Nächstes werden nachstehend die
Ausführungsbeispiele
der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen
beschrieben.
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3 ist
eine schematische Schnittansicht, die ein Ausführungsbeispiel einer Anziehungsobj ekt-Erfassungsvorrichtung
und eines -verfahrens der vorliegenden Erfindung zeigt. Die Vorrichtung
des gezeigten Ausführungsbeispiels
enthält
einen Anziehungstransportarm 12 zum Anziehen und Transportieren
eines Anziehungsobjektes 11 in horizontaler und vertikaler
Richtung. Genauer gesagt, hat der Anziehungstransportarm 12 ein
Düsenloch,
das nach unten offen ist. Eine Auslassöffnung zum Ausscheiden von
Luft aus dem Düsenloch
zu einer Vakuumquelle (nicht gezeigt) ist an einem Seitenabschnitt des
Armes 12 angeordnet. Folglich kann, wenn die Vakuumquelle
in Betrieb ist, das Anziehungsobjekt 11 zu dem Öffnungsende
des Düsenloches
angezogen werden.
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Das Anziehungsobjekt 11 ist
vorgesehen, um an einer Stufe bzw. Station 13 untergebracht
zu werden, und ein nach oben gerichteter, Licht emittierender Sensor 14 ist
an der Rückseite
des Ortes der Stufe bzw. Station 13 angeordnet, an welcher
das Anziehungsobjekt 11 unterzubringen ist. An dem Ort der
Stufe bzw. Station 13, bei welcher das Anziehungsobjekt 11 unterzubringen
ist, ist ein Durchgangsloch geöffnet,
so dass es ansteigende Lichtstrahlen von dem Licht emittierenden
Sensor 14 nicht unterbricht. Unterdessen ist ein nach unten
gerichteter Licht empfangender Sensor 15 zum Empfangen von
Lichtstrahlen von dem Licht emittierenden Sensor 14 in
dem Inneren des Düsenloches
des Anziehungstransportarmes 12 angeordnet. Der Licht empfangende
Sensor 15 und der Licht emittierende Sensor 14 bilden
zusammen einen so genannten Sensor des Übertragungstyps. Es ist zu
beachten, dass der Licht empfangende Sensor 15 in dem Anziehungsdüsenloch
mit einem Transportelement 16 abgedeckt werden kann. Ferner
kann der Licht emittierende Sensor 14 an der Seite des
Anziehungstransportarmes an geordnet werden, während der Licht empfangende
Sensor 15 an der Seite der Stufe bzw. Station angeordnet
ist. Oder der Licht emittierende Sensor 14 oder der Licht
empfangende Sensor 15 können
an einer Außenseite
des Anziehungstransportarmes 12 montiert werden.
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Bei der Vorrichtung der beschriebenen
Form wird der Anziehungstransportarm 12 zu einem Ort oberhalb
des Ortes der Stufe bzw. Station 13 bewegt, an welcher
das Anziehungsobjekt 11 unterzubringen ist. In diesem Fall
fängt,
wenn das Anziehungsobjekt 11 an der Stufe bzw. Station 13 zugegen
ist, dann das Anziehungsobjekt 11 ansteigend Lichtstrahlen
von dem Licht emittierenden Sensor 14 auf. Folglich reagiert
der Licht empfangende Sensor 15 in dem Anziehungstransportarm 12 nicht.
Daraus kann es unterschieden werden, dass ein Anziehungsobjekt zugegen
ist. Deshalb wird der Anziehungstransportarm 12 nach unten
bewegt, zieht das Anziehungsobjekt dazu und wird dann wie bei einer
gewöhnlichen
Operation bzw. einem gewöhnlichen
Vorgang nach oben bewegt. Andererseits kommen, wenn das Anziehungsobjekt 11 nicht
an der Stufe bzw. Station 13 ist, dann die Lichtstrahlen
von dem Licht emittierenden Sensor 14 an der Rückseite
der Stufe bzw. Station 13 zu dem Licht empfangenden Sensor 15 in
dem Anziehungstransportarm 12 und folglich reagiert der
Licht empfangende Sensor 15. Daraus kann unterschieden werden,
dass kein Anziehungsobjekt zugegen ist und ebenfalls die bewegte
Position des Armes bestätigt ist.
Ferner kann bei der Vorrichtung der soeben beschriebenen Bauweise
bestätigt
werden, sogar wenn Abwärtsbewegung
des Anziehungstransportarmes 12 nicht ausgeführt wird,
ob ein Anziehungsobjekt zugegen ist oder nicht. Folglich, weil keine
nutzlose Abwärts-
oder Aufwärtsbewegung
einbezogen ist, ist die Vorrichtung im Durchsatz, verglichen mit
dem in 1 gezeigten Stand
der Technik, verbessert.
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Wenn ferner bei dem vorliegenden
Ausführungsbeispiel
Luft eines Überdruckes
zu einer Vakuumleitung zugeführt
wird, die sich von dem Düsenloch
zu der Vakuumquelle erstreckt, dann kann, um den Sensor leicht zu
reinigen, die Luft aus dem Düsenloch
zu der oberen Oberfläche
des Licht emittierenden Sensors 14 an der Rückseite
der Stufe bzw. Station 13 geblasen werden, an welcher Staub
oder ähnliche
fremde Gegenstände
dazu neigen, stecken zu bleiben.
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Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel jedoch,
weil es unterschieden ist, dass ein Anziehungsobjekt zugegen ist,
wenn der Licht empfangende Sensor 15 nicht Lichtstrahlen
von dem Licht emittierenden Sensor 14 empfängt, wenn
die Halteposition des Armes 12 von dem Licht emittierenden
Sensor 14 verschoben ist, kann der Sensor irrtümlicherweise
unterscheiden, dass ein Anziehungsobjekt zugegen ist, obwohl das
Anziehungsobjekt 11 nicht an der Stufe bzw. Station 13 zugegen
ist. In diesem Fall kann, wenn so ein Drucksensor, wie dieser in 1 gezeigt ist, für die Vakuumleitung
von dem Düsenloch
zu der Vakuumquelle vorgesehen ist, derartige positionsmäßige Verschiebung
des Armes, wie dies vorstehend beschrieben ist, durch den Drucksensor unterschieden
werden. Insbesondere kann die positionsmäßige Verschiebung des Armes
unterschieden werden, wenn es wieder mittels des Drucksensors unterschieden
wird, ob das Anziehungsobjekt 11 zugegen ist oder nicht,
nachdem der Anziehungstransportarm 12 nach unten bewegt
wird, um eine Anziehungsoperation bzw. einen Anziehungsvorgang auszuführen.
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Ferner ist es möglich, sogar wenn ein Drucksensor
nicht verwendet wird, aber ein anderer Sensor oder ein ähnliches
Element verwendet wird, welches eine Dicke eines Anziehungsobjektes
oder einen Abstand zu einem Anziehungsobjekt erfassen kann, zu bestätigen, ob
da ein Anziehungsobjekt und positionsmäßige Verschiebung des Armes
zugegen ist oder nicht.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht
auf die vorstehend beschriebene Form beschränkt und kann derart verschiedene
Formen haben, wie dies nachstehend beschrieben wird. 4 bis 7 sind schematische Schnittansichten
von anderen Ausführungsbeispielen
der Anziehungsobjekt-Erfassungsvorrichtung und des -verfahrens der
vorliegenden Erfindung. In der Beschreibung der anderen Ausführungsbeispiele
und den Zeichnungen werden dieselben Bestandteile wie jene des vorstehend
beschriebenen Ausführungsbeispiels
durch dieselben Bezugszeichen bezeichnet und sich überschneidende
Beschreibung wird weggelassen.
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Bei der Vorrichtung der Form, die
in 4 gezeigt ist, ist
ein Reflexionselement 17 an der Oberfläche des Ortes der Stufe bzw.
Station 13 angeordnet, an welcher das Anziehungsobjekt 11 unterzubringen
ist. Ferner ist ein Sensor des Reflexionstyps, der aus einem Licht
emittierenden Sensor 14 und einem Licht empfangenden Sensor 15 zusammen
gebildet ist, in dem Inneren des Düsenloches des Anziehungstransportarms 12 angeordnet.
Es ist zu beachten, dass der Sensor des Reflexionstyps in dem Düsenloch
mit einem Transportelement 16 abgedeckt werden kann. Ferner
können
der Licht emittierende Sensor 14 und der Licht empfangende
Sensor 15 zusammen an der Seite der Stufe bzw. Station
angeordnet sein, während
das Reflexionselement 17 an der Seite des Anziehungstransportarmes
angeordnet ist. Oder irgendeiner des Licht emittierenden Sensors 14 und
des Licht empfangenden Sensors 15 zusammen oder das Reflexionselement 17 können an
einer Außenseite
des Anziehungstransportarms 12 montiert werden.
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Ebenfalls bei der Vorrichtung der
vorliegenden Form wird der Anziehungstransportarm 12 zuerst
zu einem Ort oberhalb des Ortes der Stufe bzw. Station 13 bewegt,
bei welcher das Anziehungsobjekt 11 unterzubringen ist.
In diesem Fall wird, wenn das Anziehungsobjekt 11 an der
Stufe bzw. Station 13 zugegen ist, das Reflexionselement 17 mit
dem Anziehungsobjekt 11 abgedeckt. Folglich reagiert der Licht
empfangende Sensor 15 in dem Anziehungstransportarm 12 nicht.
Weil es daraus unterschieden werden kann, dass ein Anziehungsobjekt
zugegen ist, wird der Anziehungstransportarm 12 nach unten bewegt,
zieht das Anziehungsobjekt 11 an und wird dann wie bei
einer gewöhnlichen
Operation bzw. einem gewöhnlichen
Vorgang nach oben bewegt. Andererseits werden, wenn das Anziehungsobjekt 11 nicht
an der Stufe bzw. Station 13 zugegen ist, Lichtstrahlen
von dem Licht emittierenden Sensor 14 durch das Reflexionselement 17 reflektiert
und kommen zu dem Licht empfangenden Sensor 15 und folglich
reagiert der Licht empfangende Sensor 15. Daraus kann es
unterschieden werden, dass kein Anziehungsobjekt zugegen ist, und
die bewegte Position des Armes kann ebenfalls bestätigt werden.
Ferner ist bei der soeben beschriebenen Vorrichtung, weil keine
nutzlose Abwärts-
oder Aufwärtsbewegung
einbezogen ist, die Vorrichtung im Durchsatz verbessert, verglichen
mit dem in 1 gezeigten Stand
der Technik, ähnlich
wie bei der vorstehend beschriebenen Form.
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Ferner kann ebenfalls bei der vorliegenden Form,
wenn Luft eines Überdruckes
einer Vakuumleitung zugeführt
wird, die sich von dem Düsenloch
zu der Vakuumquelle erstreckt, dann die Luft von der Anziehungsdüse zu der
oberen Oberfläche
des Reflexionselementes 17 an der Stufe bzw. Station 13 geblasen
werden, um den Sensor leicht zu reinigen.
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Ebenfalls bei der vorliegenden Form
jedoch kann, weil es unterschieden wird, dass ein Anziehungsobjekt
zugegen ist, wenn der Licht empfangende Sensor 15 reflektierte
Lichtstrahlen von dem Licht emittierenden Sensor 14 aus
dem Reflexionselement 17 nicht empfängt, wenn die Halteposition
des Armes 12 von dem Licht emittierenden Sensor 14 verschoben
wird, der Sensor irrtümlicherweise
unterscheiden, dass ein Anziehungsobjekt zugegen ist, obwohl das
Anziehungsobjekt 11 nicht an der Stufe bzw. Station 13 zugegen
ist. In diesem Fall kann, wenn ein derartiger Drucksensor, wie dieser
in 1 gezeigt ist, für die Vakuumleitung
von dem Düsenloch
zu der Vakuumquelle vorgesehen wird, derartige positionsmäßige Verschiebung
des Armes, wie dies vorstehend beschrieben ist, durch den Drucksensor
unterschieden werden. Insbesondere kann die positionsmäßige Verschiebung
des Armes unterschieden werden, wenn es mittels des Drucksensors
wieder unterschieden wird, ob das Anziehungsobjekt 11 zugegen ist,
nachdem der Anziehungstransportarm 12 nach unten bewegt
wird, um eine Anziehungsoperation bzw. einen Anziehungsvorgang auszuführen.
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Ferner ist es sogar möglich, wenn
ein Drucksensor nicht verwendet wird, aber ein anderer Sensor oder
ein ähnliches
Element verwendet wird, welches eine Dicke eines Anziehungsobjektes
oder einen Abstand zu einem Anziehungsobjekt erfassen kann, zu bestätigen, ob
da ein Anziehungsobjekt und positionsmäßige Verschiebung des Armes ähnlich wie
bei der vorstehenden Form vorhanden ist.
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Zusätzlich zu den zwei vorstehend
beschriebenen Formen kann die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung
sein, wobei ein oberer Abschnitt des Anziehungstransportarmes 12,
der in 3 oder 4 gezeigt ist, das heißt die Sensoranordnung
in dem Inneren des Düsenloches
(wo ein Sensor des Übertragungstyps
verwendet wird, nur der Licht emp fangende Sensor, aber wo ein Sensor
des Reflexionstyps verwendet wird, eine Reihe Licht emittierender
und Licht empfangender Sensoren) als eine Sensoreinheit 19 ausgebildet
ist, unabhängig
von dem Anziehungstransportarm 12, wie dieser in 5 gezeigt ist, und die Sensoreinheit 19 und
das Düsenloch
des Anziehungstransportarmes 12 werden durch eine optische
Faser 18 miteinander verbunden.
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Oder die vorliegende Erfindung kann
eine Vorrichtung sein, wobei, wie dies in 6 gezeigt ist, eine derartige Sensoreinheit 19,
wie dies vorstehend beschrieben ist, in einer gegenüber liegenden
Beziehung zu dem Licht emittierenden Sensor 14 an der Rückseite
der in 3 gezeigten Stufe
bzw. Station 13 oder zu dem in 4 gezeigten Reflexionselement 17 an
der Stufe bzw. Station 13 ist. Es ist zu beachten, dass
sich in diesem Fall das Innere des Düsenloches hindurch bis an das
obere Ende des Anziehungstransportarmes 12 erstreckt, so
dass Lichtstrahlen des Sensors in dem Anziehungstransportarm 12 hindurch
führen
können
und es mit einem Transportelement 16 abgedeckt ist.
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Ferner kann die Vorrichtung, welche
einen derartigen Sensor des Übertragungstyps,
wie dieser in 3 gezeigt
ist, oder einen derartigen Sensor des Reflexionstyps enthält, wie
dieser in 4 gezeigt
ist, durch eine noch weitere Vorrichtung ersetzt werden, wobei ein
Näherungssensor 20 an
dem Ort der Stufe bzw. Station 13 installiert ist, bei
der das Anziehungsobjekt 11 unterzubringen ist, wie dies
in 7 gezeigt ist.
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Außerdem kann, wo die Abstandserfassungseinrichtung
zum Messen des Abstandes zu dem Gegenstand, der in der gegenüberliegenden Richtung
an dem Anziehungstransportarm angeordnet ist, der Abstand der Abwärtsbewegung
des Anziehungstransportarmes zu dem Anziehungsobjekt durch sich
selbst erkannt werden. Wenn folglich, wenn z. B. ein Servomotor
für ein
vertikales Bewegen der Vorrichtung für den Anziehungstransportarm
verwendet wird, so dass sogar, wenn sich die Höhe des Anziehungsobjektes ändert, der
Abwärtshub
des Anziehungstransportarmes auf der Grundlage des erkannten Abstandes
der Abwärtsbewegung
leicht eingestellt werden kann, wenn das Anziehungsobjekt anzuziehen
ist. Dies ist effektiv bei der Instandhaltung, verglichen mit der,
wo die vertikale Bewegungsvorrichtung für den Anziehungstransportarm
einen Luftzylinder verwendet. Insbesondere, wo die vertikale Bewegungsvorrichtung
einen Luftzy linder verwendet, wenn sich die Höhe des Anziehungsobjektes ändert, ist
dann Zeit und Arbeit für
die Einstellung erforderlich, so dass die montierte Position des
Luftzylinders eingestellt wird oder die Höhe des Anziehungsobjektes an
der Stufe bzw. Station eingestellt wird.
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Ferner wird, wenn der Anziehungstransportarm
horizontal von einer Bezugsposition zu einer Position oberhalb des
vorbestimmten Ortes bewegt wird, die Halteposition des Armes manchmal
von dem vorbestimmten Ort verschoben. Dies tritt aus dem folgenden
Grund auf. Im Allgemeinen werden Koordinaten der Position des vorbestimmten
Ortes als ein Ursprung im Voraus bestimmt. Dann bezieht sich eine
Bewegungsvorrichtung für
den Anziehungstransportarm auf die Koordinaten der Position des
vorbestimmten Ortes, um einen Bewegungsumfang zu berechnen, und
bewegt den Anziehungstransportarm durch den Bewegungsumfang von
der Bezugsposition. Wenn jedoch der Transport für eine lange Zeitdauer wiederholt
wird, wird die Transportvorrichtung beeinträchtigt, was in der Verschiebung der
Bezugsposition resultiert. In diesem Fall wird, sogar wenn der Anziehungstransportarm
von der Bezugsposition durch den berechneten Bewegungsumfang bewegt
wird, der sich auf die Koordinaten der Position des vorbestimmten
Ortes bezieht, die Halteposition des Armes von dem vorbestimmten
Ort verschoben. Als ein Ergebnis verfehlt der Anziehungstransportarm,
ein Anziehungsobjekt anzuziehen, das an dem vorbestimmten Ort vorhanden
ist, oder er verfehlt sogar, wenn er erfolgreich das Anziehungsobjekt
angezogen hat, das Anziehungsobjekt genau zu einem nächsten Transportort
zu transportieren.
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Gemäß der vorliegenden Erfindung
kann eine derartige positionsmäßige Verschiebung
des Armes ebenfalls erfasst werden. Insbesondere in einem Zustand,
wobei ein Anziehungsobjekt nicht an dem vorbestimmten Ort vorhanden
ist, wird der Anziehungstransportarm horizontal von der Bezugsposition
zu der Position oberhalb des vorbestimmten Ortes bewegt. In diesem
Fall kann es, wenn Lichtstrahlen von dem Licht emittierenden Sensor
nicht durch den Licht empfangenden Sensor empfangen werden, unterschieden
werden, dass die Position des Anziehungstransportarmes von dem vorbestimmten
Ort verschoben ist. Ferner wird, nachdem es unterschieden wird,
dass die Halteposition des Anziehungstransportarmes auf diese Weise
verschoben ist, der Anziehungstransportarm horizontal in einer beliebigen
Richtung bewegt, bis die Lichtstrahlen von dem Licht emittierenden
Sensor durch den Licht empfangenden Sensor empfangen werden. Dann werden,
wenn der Anziehungstransportarm zu der Position oberhalb des vorbestimmten
Ortes zu bewegen ist, die Koordinaten der Position auf der Grundlage
der Koordinaten der Position korrigiert, die durch die Bewegungsvorrichtung
für den
Anziehungstransportarm erkannt werden, wenn der Licht empfangende
Sensor das Licht empfängt.
Folglich wird die positionsmäßige Verschiebung
des Anziehungstransportarmes von dem vorbestimmten Ort korrigiert,
und das Anziehungsobjekt, das an dem vorbestimmten Ort vorhanden
ist, kann genau zu einer nächsten
Transportposition transportiert werden. Außerdem ist, weil das Erfassungselement
der positionsmäßigen Verschiebung
in der Düse
des Anziehungstransportarmes vorgesehen ist, die Vorrichtung sehr
klein in der Größe, verglichen
mit einer alternativen Vorrichtung, wobei die positionsmäßige Verschiebung
erfasst wird, indem z. B. eine Kamera verwendet wird.
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Wie dies vorstehend beschrieben ist,
ist gemäß der vorliegenden
Erfindung ein Licht emittierendes Element entweder an der Rückseite
einer Stufe bzw. Station an einem vorbestimmten Ort oder an einem
Anziehungstransportarm angeordnet. Die Stufe bzw. Station hat ein
Durchgangsloch, das an dem vorbestimmten Ort derart vorgesehen ist,
dass Lichtstrahlen von dem Licht emittierenden Element nicht durch
die Stufe bzw. Station abgefangen werden können. Und ein Licht empfangendes
Element zum Empfangen der Lichtstrahlen von dem Licht emittierenden Element
ist an der Rückseite
des vorbestimmten Ortes oder des Anziehungstransportarmes vorgesehen, an
welchem das Licht emittierende Element nicht angeordnet ist. Andererseits
ist ein Reflexionselement entweder an einer Oberfläche einer
Stufe bzw. Station an dem vorbestimmten Ort oder an einem Anziehungstransportarm
angeordnet. Und ein Licht emittierendes Element und eine Licht empfangendes
Element zum Empfangen der Lichtstrahlen von dem Licht emittierenden
Element über
das Reflexionselement sind an der Oberfläche an dem vorbestimmten Ort
oder dem Anziehungstransportarm angeordnet, an welchem das Reflexionselement
nicht angeordnet ist. Durch diese Anordnung wird, weil nutzlose
Aufwärts-
und Abwärtsbewegungen
wie in dem Stand der Technik, welcher nur einen Drucksensor verwendet,
der es nicht erfordert, mit Unterscheidung ausgeführt zu werden,
ob ein Anziehungsobjekt zugegen ist oder nicht, wobei die Vorrichtung
der vorlie genden Erfindung im Durchsatz verbessert ist. Ferner ist,
weil ein Anziehungsobjekt in einer vertikalen Richtung erfasst werden
kann, ein großer
Raum in einer horizontalen Ebene nicht für die Installation eines Sensors erforderlich
und ebenfalls kann die Anzahl der Sensoren, verglichen mit dem Stand
der Technik, verringert werden.
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Ferner kann bei einer derartigen
Vorrichtung, wie dies vorstehend beschrieben ist, ebenfalls die
positionsmäßige Verschiebung
des Anziehungstransportarmes bestätigt werden. Ferner kann, wenn
die Vorrichtung mit dem Stand der Technik kombiniert wird, welcher
einen Drucksensor verwendet, dann mit einem höheren Grad der Genauigkeit
erfasst werden, ob ein Anziehungsobjekt zugegen ist oder nicht. Ferner
ist es durch Zuführen
von Luft eines Überdruckes
zu einer Vakuumleitung des Anziehungstransportarmes und Ausblasen
der Luft aus der Anziehungsdüse
möglich,
den Licht emittierenden Sensor oder das Reflexionselement zu reinigen,
die an der vorbestimmten Position angeordnet sind.