JP3812020B2 - 電子部品観察装置及び電子部品観察方法 - Google Patents

電子部品観察装置及び電子部品観察方法 Download PDF

Info

Publication number
JP3812020B2
JP3812020B2 JP31594796A JP31594796A JP3812020B2 JP 3812020 B2 JP3812020 B2 JP 3812020B2 JP 31594796 A JP31594796 A JP 31594796A JP 31594796 A JP31594796 A JP 31594796A JP 3812020 B2 JP3812020 B2 JP 3812020B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
recognition
light
emitting unit
bump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP31594796A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH10163694A (ja
Inventor
恵介 藤代
浩 村田
峰彦 後藤
浩二 高田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP31594796A priority Critical patent/JP3812020B2/ja
Priority to US08/976,450 priority patent/US5991039A/en
Priority to KR1019970062657A priority patent/KR100289208B1/ko
Publication of JPH10163694A publication Critical patent/JPH10163694A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3812020B2 publication Critical patent/JP3812020B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08Monitoring manufacture of assemblages
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N21/95684Patterns showing highly reflecting parts, e.g. metallic elements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0404Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08Monitoring manufacture of assemblages
    • H05K13/081Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines
    • H05K13/0812Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines the monitoring devices being integrated in the mounting machine, e.g. for monitoring components, leads, component placement

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、バンプ付電子部品の観察に好適な電子部品観察装置及び電子部品観察方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
本出願人は、先に、バンプ付電子部品の特性に応じて、既存の電子部品観察装置を改良した技術を提案した(特開平8−153997号公報)。
【0003】
以下、この電子部品観察装置の要点を、図6、図7を用いて説明する。
図6において、1はバンプ付電子部品であり、このうち2はモールド体からなる本体部2、3は本体部2の下部に設けられる基板部、4は基板部3の下面にマトリックス状に複数個形成され、バンプ付電子部品1の端子としての役割を有するバンプ4である。バンプ4は、半球状をなし、その表面(曲面)は、鏡面状をなしている。
【0004】
バンプ付電子部品1は、移載ヘッド6の下部に設けられたノズル5によって吸着支持されており、移載ヘッド6にはバンプ付電子部品1の背後に位置するように背景板7が取り付けられている。
【0005】
8は、その上部に凹部9を備えた光源ユニットであり、凹部9の下部には、光源ユニット8の中心を貫通する鏡筒10が設けられ、鏡筒10に接続されるカメラ11は、鏡筒10、凹部9を介してバンプ付電子部品1の下面を観察できるようになっている。
【0006】
12は、凹部9の傾斜面に多数配置され、バンプ付電子部品1の下面(端子としてのバンプ4の配列面)に向けて光を照射するLEDである。また、14はハロゲン光源13に接続され、矢印N1、N2で示すように、バンプ付電子部品1の背後にある背景板7を明るく照らす光ファイバ14である。
【0007】
ところで、図7(a)に示すように、バンプ4は、基板部3の下面に形成されたランド15に固着されるものである。しかし、場合によっては、バンプ4に欠けがあり、図7のA部で示すように、ランド15がそのまま下部に露呈していることがある。このような場合、バンプ付電子部品1は不良品であって、ラインから排除されなければならない。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、ランド15も銅などの金属箔から構成され、その表面は水平な金属面であるから、光を照射すると、明るく光るものである。
【0009】
このため、図6に示すような従来の電子部品観察装置で観察すると、図7(b)のような画像となっていた。なお、図7(b)において、斜線部は明るい部分を示し、非斜線部は暗い部分を示す。また、P1は基板部3の角部3aを示す点であり、S1、S2は図7(a)のA部に存在する像である。
【0010】
即ち、バンプ4が存在せず(バンプ欠け)ランド15のみの部分の像S2とバンプ4が存在する部分の像S2とを、画像上で区別することができない。
【0011】
したがって、この画像を画像処理部で認識させると、本来バンプ4がなく、「不良」と判定されるべきであるのに、「良」と誤判定されてしまう。このように、従来の電子部品観察装置では、バンプ付電子部品1の認識の信頼性が低いという問題点があった。またランド15の近くに配線パターンが存在する場合もこれを「バンプ」として誤認識してしまい、誤ったバンプの位置に基づいて電子部品を基板に搭載してしまうこともあった。
【0012】
そこで本発明は、バンプ付電子部品を正しく認識できる電子部品観察装置及び電子部品観察方法を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の電子部品観察装置は、電子部品を保持する移載ヘッドと、移載ヘッドに保持された電子部品の背後に位置する背景板と、電子部品を観察するカメラと、光源ユニットの凹部の傾斜面に設けられて電子部品の端子の配列面に向かって光を照射する反射認識発光部と、反射認識発光部の上段に設けられて背景板に光を照射する透過認識発光部と、最上段に配置されて電子部品の端子の配列面に対して鋭角に光を照射するバンプ認識発光部とを備えている。
【0014】
また本発明の電子部品観察方法は、光源ユニットの凹部の傾斜面に設けられて電子部品の端子の配列面に向かって光を照射する反射認識発光部と、反射認識発光部の上段に設けられて背景板に光を照射する透過認識発光部と、最上段に配置されて電子部品の端子の配列面に対して鋭角に光を照射するバンプ認識発光部とを用意し、バンプ認識方式、透過認識方式、反射認識方式の認識方式によって、反射認識発光部と透過認識発光部と、バンプ認識発光部のうち、点灯する発光部を切り替えて用いるものである。
【0015】
【発明の実施の形態】
請求項1記載の電子部品観察装置は、電子部品を保持する移載ヘッドと、移載ヘッドに保持された電子部品の背後に位置する背景板と、電子部品を観察するカメラと、光源ユニットの凹部の傾斜面に設けられて電子部品の端子の配列面に向かって光を照射する反射認識発光部と、反射認識発光部の上段に設けられて背景板に光を照射する透過認識発光部と、最上段に配置されて電子部品の端子の配列面に対して鋭角に光を照射するバンプ認識発光部とを備えている。
【0016】
また請求項2記載の電子部品観察方法は、光源ユニットの凹部の傾斜面に設けられて電子部品の端子の配列面に向かって光を照射する反射認識発光部と、反射認識発光部の上段に設けられて背景板に光を照射する透過認識発光部と、最上段に配置されて電子部品の端子の配列面に対して鋭角に光を照射するバンプ認識発光部とを用意し、バンプ認識方式、透過認識方式、反射認識方式の認識方式によって、反射認識発光部と透過認識発光部と、バンプ認識発光部のうち、点灯する発光部を切り替えて用いるものである。
【0017】
したがって、バンプ付電子部品を観察する際には、バンプ認識発光部を点灯する。こうすれば、バンプが有る箇所についてリング状の画像が得られ、バンプが無くランドがそのまま露呈している場合と、明確に区別することができ、誤認識を減らして、認識の信頼性を向上できる。
【0018】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、従来の技術を示す図6、図7と同様の構成要素については、同一符号を付すことにより説明を省略する。
【0019】
図1において、16は凹部17を有する光源ユニットである。凹部17の傾斜面には、バンプ付電子部品1の下面(端子としてのバンプ4の配列面)に向けて光を照射する反射認識発光部18(多数のLEDから構成される)が設けられている。
【0020】
また、その上段には、ハロゲン光源13に接続され、背景板7に光を照射する透過認識発光部19(光ファイバで構成される)が設けられ、さらに、最上段には、上記配列面に対して鋭角(ほぼ水平に近い)に光を照射するバンプ認識発光部20(ハロゲンランプで構成される)が配置されている。
【0021】
これらの発光部18、19、20は、図2に示す制御ブロックによって、認識方式(バンプ認識方式、透過認識方式、反射認識方式)に応じて切り替えて用いられる。
【0022】
図2において、21は全体を制御する主制御部、22は各電子部品毎の認識方式や形状のデータなどを記憶する記憶部、23は移載ヘッド6をXYZθ方向に駆動する移載ヘッド駆動部である。
【0023】
また、24は主制御部21から認識方式の情報を入力し、後述する要領で、各発光部18、19、20の点灯/消灯を切り替える照明制御部である。
【0024】
一方、カメラ11から得られたアナログの画像情報は、A/D変換器25でデジタル信号に変換され、画像メモリ26に一旦保存される。
【0025】
そして、画像処理部27が、画像メモリ26の画像に基づいて、位置ずれの有無やバンプ付電子部品1についてはバンプ4の有無などを認識し、バンプの位置情報や「良」または「不良」という認識結果が主制御部21に出力されるようになっている。そして主制御部21は、認識結果に基づいて移載ヘッド駆動部23を制御して移載ヘッド6に保持された電子部品を図外の基板へ移載したり、不良の電子部品を所定の位置に廃棄したりする。
【0026】
本形態の電子部品観察装置は、以上のような構成よりなり、次にその動作を電子部品実装装置を例にとって図3、図4などを用いて説明する。
【0027】
まず、ステップ1にて、図外の供給部から移載ヘッド6で電子部品をピックアップし、電子部品観察装置の上方へ移送する。ステップ2にて、現在ノズル5に吸着されている電子部品の認識方式を、記憶部22から取得する。
【0028】
この認識方式がバンプ認識方式であれば、照明制御部24にバンプ認識発光部20と透過認識発光部19を点灯させ、反射認識発光部18を消灯させる。
【0029】
なおこのとき、透過認識発光部19を消灯させても良いが、バンプ認識発光部20と透過認識発光部19とを点灯した方が、基板部3の角部を画像で見つけやすく、バンプ4の概略位置を求めることができるので、認識を高速化できて好都合である。
【0030】
さて、このバンプ認識方式による観察について、図4を用いて説明する。ここで、従来の技術に関する図7(a)と同様に、A部にバンプ4の欠けがあるとき、カメラ11の画像は、図4(b)のようになる。
【0031】
即ち、バンプ4がなくランド15がそのまま露呈している部分では、ランド15は水平な金属面であるから、バンプ認識発光部20によって鋭角に光が照射されても、反射光は、真下のカメラ11側に向くことがない。したがって、像S2のように、この部分は、暗く観察される。
【0032】
一方、ランド15にバンプ4が固着されていると、バンプ4にバンプ認識発光部20から照射される光は、図4(c)のように反射する。
【0033】
即ち、矢印N3のように、バンプ4の頂部付近に入射する光は、基板部3とほぼ並行に反射してカメラ11側には向かない。したがって、バンプ4の頂部付近は、暗い像になる。しかし、矢印N4のように、バンプ4の中腹付近に入射する光は、基板部3に対してほぼ垂直に反射して、カメラ11側を向く。
【0034】
この結果、バンプ4が存在すると、図4(b)の像S1のように、リング状の明るい像が得られる。そこで、画像処理部27において、リング状のパターン(二値または多値のいずれでもよい)を用意し、パターンマッチングを行い、バンプ4の位置を特定することができる。
【0035】
ここで、図4(b)に示すように、バンプ4の有無は、像S1、S2によって、明確に区別することができる。ここで、従来技術のように、バンプ4がなくランド15がそのまま露呈している場合に、「良」と誤判定することがない。このため、認識の信頼性を向上できる。
【0036】
次に、図3のステップ2にて、認識方式が透過認識方式であるとき、透過認識発光部19のみを点灯し、反射認識発光部18、バンプ認識発光部20を消灯する。
【0037】
この透過認識方式には、図5(a)に示すように、角チップ28やQFP,SOPなどのリード付電子部品が適する。
【0038】
この方式によると、図5(b)のように、背景板7が明るく照らされ、電子部品は背景板7の中に暗いシルエットとして観察される。なお本形態では、図1に示すように、透過認識発光部19によって下側から背景板7を照らしているが、上側から背景板7を照らすようにしても差し支えない。
【0039】
また図3のステップ2にて、認識方式が反射認識方式であるときは、反射認識発光部18を点灯する(ステップ5)。なお併せて、透過認識発光部19を点灯しても良い。
【0040】
過認識方式に適するのは、図5(c)のように、内側に折れ曲がるJリード29aを有するJリード部品29などである。このとき、図5(d)に示すように、Jリード29aのみが明るい像S4、S5として観察される。
【0041】
そして、図3のステップ6にて、カメラ11のアナログ画像をA/D変換器25でデジタル化し画像メモリ26に記憶させる。そして、画像処理部27により、電子部品の認識方式に応じて、位置ずれなどの認識を行い(ステップ7)、認識結果を得るものである。認識結果が「良」であれば検出したバンプ4の位置に基づいて電子部品を基板に搭載する(ステップ9)。不良であればこの電子部品を廃棄する(ステップ10)。そして全ての電子部品の搭載が完了したかを確認し(ステップ11)、完了していなければステップ1へ戻って次の電子部品をピックアップし完了であれば処理を終了させる。
【0042】
【発明の効果】
本発明では、以上のように構成したので、バンプ付電子部品についてもバンプの有無判定を含めて、信頼性の高い認識を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】発明の一実施の形態における電子部品観察装置の側面図
【図2】発明の一実施の形態における電子部品観察装置の制御ブロック図
【図3】発明の一実施の形態における電子部品観察装置のフローチャート
【図4】(a)発明の一実施の形態におけるバンプ付電子部品の側面図
(b)発明の一実施の形態における画像の例示図
(c)発明の一実施の形態におけるバンプ付近の拡大図
【図5】(a)発明の一実施の形態における透過認識方式向きの電子部品の側面図
(b)発明の一実施の形態における画像の例示図
(c)発明の一実施の形態における反射認識方式向きの電子部品の側面図
(d)発明の一実施の形態における画像の例示図
【図6】従来の電子部品観察装置の側面図
【図7】(a)従来の電子部品観察装置によるバンプ付電子部品の側面図
(b)従来の電子部品観察装置による画像の例示図
【符号の説明】
1 バンプ付電子部品
4 バンプ
6 移載ヘッド
7 背景板
11 カメラ
18 反射認識発光部
19 透過認識発光部
20 バンプ認識発光部

Claims (5)

  1. 電子部品を保持する移載ヘッドと、前記移載ヘッドに保持された電子部品の背後に位置する背景板と、電子部品を観察するカメラと、光源ユニットの凹部の傾斜面に設けられて電子部品の端子の配列面に向かって光を照射する反射認識発光部と、前記反射認識発光部の上段に設けられて前記背景板に光を照射する透過認識発光部と、最上段に配置されて電子部品の端子の配列面に対して鋭角に光を照射するバンプ認識発光部とを備えたことを特徴とする電子部品観察装置。
  2. 電子部品を保持する移載ヘッドと、前記移載ヘッドに保持された電子部品の背後に位置する背景板と、電子部品を観察するカメラとを備えた電子部品観察装置による観察方法であって、
    光源ユニットの凹部の傾斜面に設けられて電子部品の端子の配列面に向かって光を照射する反射認識発光部と、前記反射認識発光部の上段に設けられて前記背景板に光を照射する透過認識発光部と、最上段に配置されて電子部品の端子の配列面に対して鋭角に光を照射するバンプ認識発光部とを用意し、バンプ認識方式、透過認識方式、反射認識方式の認識方式によって、前記反射認識発光部と前記透過認識発光部と、前記バンプ認識発光部のうち、点灯する発光部を切り替えて用いることを特徴とする電子部品観察方法。
  3. バンプ認識方式では、少なくとも前記バンプ認識発光部を点灯し、バンプ欠けの有無を前記カメラで取得した画像中で区別することを特徴とする請求項2記載の電子部品観察方法。
  4. 透過認識方式では、前記透過認識発光部のみを点灯し、電子部品の形状を前記カメラで取得した画像中のシルエットで観察することを特徴とする請求項2記載の電子部品観察方法。
  5. 反射認識方式では、すくなくとも前記反射認識発光部を点灯し、前記カメラで取得した画像中で、電子部品の端子のみを明るい画像として観察することを特徴とする請求項2記載の電子部品観察方法。
JP31594796A 1996-11-27 1996-11-27 電子部品観察装置及び電子部品観察方法 Expired - Lifetime JP3812020B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31594796A JP3812020B2 (ja) 1996-11-27 1996-11-27 電子部品観察装置及び電子部品観察方法
US08/976,450 US5991039A (en) 1996-11-27 1997-11-25 Electric component monitoring device and electronic component monitoring method
KR1019970062657A KR100289208B1 (ko) 1996-11-27 1997-11-25 잔자부품관찰장치및전자부품관찰방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31594796A JP3812020B2 (ja) 1996-11-27 1996-11-27 電子部品観察装置及び電子部品観察方法

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002334818A Division JP3783680B2 (ja) 2002-11-19 2002-11-19 電子部品観察装置及び電子部品観察方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10163694A JPH10163694A (ja) 1998-06-19
JP3812020B2 true JP3812020B2 (ja) 2006-08-23

Family

ID=18071520

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP31594796A Expired - Lifetime JP3812020B2 (ja) 1996-11-27 1996-11-27 電子部品観察装置及び電子部品観察方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5991039A (ja)
JP (1) JP3812020B2 (ja)
KR (1) KR100289208B1 (ja)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1068759A (ja) * 1996-05-31 1998-03-10 Advantest Corp 吸着物検知装置、該装置を用いた吸着物検知方法、該装置を用いた位置ずれ検知方法、および該装置を用いた清掃方法
KR100516828B1 (ko) * 2002-07-29 2005-09-26 최현호 광학적 검사의 과검출 방지 방법 및 이를 수행하기 위한 시스템
EP1400802A1 (en) * 2002-09-23 2004-03-24 Ford Global Technologies, Inc. Method and arrangement for detecting and evaluating surface irregularities
JP4147923B2 (ja) 2002-12-03 2008-09-10 松下電器産業株式会社 電子部品実装装置および電子部品実装方法
JP4596801B2 (ja) * 2004-03-22 2010-12-15 株式会社東芝 マスク欠陥検査装置
US7809180B2 (en) * 2004-07-05 2010-10-05 Panasonic Corporation Method of generating image of component
JP2009290120A (ja) * 2008-05-30 2009-12-10 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd 電子部品装着装置
JP5561056B2 (ja) * 2010-09-15 2014-07-30 ソニー株式会社 光照射装置、部品撮像装置及び部品実装装置
DE102010053912B4 (de) * 2010-12-09 2013-01-31 Mühlbauer Ag Optische Untersuchungseinrichtung und optisches Untersuchungsverfahren
US11050912B2 (en) * 2017-01-06 2021-06-29 Fuji Corporation Illumination device for image capturing

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61293657A (ja) * 1985-06-21 1986-12-24 Matsushita Electric Works Ltd 半田付け外観検査方法
JPH05153997A (ja) * 1991-11-29 1993-06-22 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd イチゴ培養細胞を用いたアントシアニンの製造方法
JP3079921B2 (ja) * 1994-11-28 2000-08-21 松下電器産業株式会社 半田ボールの搭載装置および搭載方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR100289208B1 (ko) 2001-11-30
JPH10163694A (ja) 1998-06-19
US5991039A (en) 1999-11-23
KR19980042720A (ko) 1998-08-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3299193B2 (ja) バンプ検査方法/装置、情報記憶媒体
JP3812020B2 (ja) 電子部品観察装置及び電子部品観察方法
JP2000028320A (ja) 画像認識装置および画像認識方法
JP4351303B2 (ja) 電子部品の位置検出装置
JP3783680B2 (ja) 電子部品観察装置及び電子部品観察方法
US6738504B1 (en) Inspection apparatus for semiconductor device and parts mounter using same
JPH05280946A (ja) 基板の観察装置
JP4818572B2 (ja) 画像認識装置および画像認識方法
JP2002048731A (ja) 実装基板の外観検査装置および外観検査方法
JP3695112B2 (ja) 電子部品観察装置および電子部品観察方法
JP3340114B2 (ja) 半導体装置用検査装置と部品実装機
JPH05288527A (ja) 実装基板外観検査方法およびその装置
JP2001094299A (ja) 電子部品実装装置における電子部品認識装置
JP2000030991A (ja) ウェハid読み取り方法および装置
CN100527933C (zh) 电子器件识别方法及装置
JPH0979990A (ja) 半導体装置の検査装置及びその検査方法
JP2885443B2 (ja) フラットパッケージ集積回路のリード検査装置
JP2002110745A (ja) 部品認識制御方法及び部品認識制御装置
JP3006437B2 (ja) 電子部品観察装置及び電子部品観察方法
JPH07174539A (ja) 画像処理装置
JP2002048732A (ja) 外観検査装置および外観検査方法
JPH1027513A (ja) 撮像装置
JPH11296657A (ja) 画像処理装置の撮像光学系
JP2000510248A (ja) 端子ボールの存在を監視するための方法
JPH10160426A (ja) 被検査物体の検査装置及び被検査物体の検査方法

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050603

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20050623

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20051004

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20051125

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060509

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060522

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100609

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100609

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110609

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120609

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120609

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130609

Year of fee payment: 7

EXPY Cancellation because of completion of term