JP4596801B2 - マスク欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
図1は本発明に係わるマスク欠陥検査装置の第1実施例を示し、この図1において、1は照明光源、2は照明光学系、3はコンデンサレンズ、4は試料としてのマスク、OLは対物レンズである。
(実施例2)
図10は本発明に係わるマスク欠陥検査装置の第2実施例を示す模式図である。このマスク欠陥検査装置では、各検出光学系15、16に合焦レンズ18、20を通して得られた照明光を二分割するハーフミラー26、27が設けられている。このハーフミラー26、27の反射方向先方には、検出センサ17a、17b、19a、19bがそれぞれ設けられている。
(実施例3)
図11は本発明に係わるマスク欠陥検査装置の第3実施例を示す模式図である。このマスク欠陥検査装置では、照明光学系2は、マスク4の石英ガラス5の表面5aの側からマスク4を照明する透過方式照明光学系2Aと、マスク4の石英ガラス5の裏面5bの側からマスク4を照明する反射方式照明光学系2Bとを備えている。ここでは、透過方式照明光学系2Aに、透過照明光と反射照明光との間で照明光の切り換えを行う照明光切り換え機構2Cが設けられている。
(実施例4)
図13は本発明に係わるマスク欠陥検査装置の第4実施例を示す模式図である。このマスク欠陥検査装置では、実施例2と同様に、各検出光学系15、16に合焦レンズ18、20を通して得られた照明光を二分割するハーフミラー26、27が設けられている。このハーフミラー26、27の反射方向先方には、検出センサ17a、17b、19a、19bがそれぞれ設けられている。その検出センサ17aからハーフミラー26までの距離L1と検出センサ17bからハーフミラー26までの距離L2も、実施例2と同様に互いに異ならされている。更に、その検出センサ19aからハーフミラー27までの距離L1’と検出センサ19bからハーフミラー27までの距離L2’も互いに異ならされている。
4…マスク
13a、13b…開口絞り(開口角調節手段)
15、16…検出光学系
17、19…検出センサ
OL…対物レンズ
Claims (5)
- パターンが形成されたマスクの異なる領域を照明する複数個の照明光学系と、
前記マスクに臨む対物レンズと、
パターン像を得る検出センサをそれぞれ有しかつ前記対物レンズを通じ、複数個の照明領域のうちの少なくとも1個の照明領域から発した光のみを反射する反射ミラーによって分離された互いに異なる照明領域からの照明光をそれぞれ採り込む少なくとも一対の検出光学系とが設けられ、
前記各検出光学系は開口角を調節する開口角調節手段を有し、
前記各開口角調節手段はそれぞれ独立に開口角を設定可能であり、
異なる開口角で得られた同一領域におけるパターン像を比較して欠陥の種類の識別を行うことを特徴とするマスク欠陥検査装置。 - パターンが形成されたマスクの異なる領域を照明する照明光学系と、
前記マスクに臨む対物レンズと、
パターン像を得る検出センサをそれぞれ有しかつ前記対物レンズを通じ、複数個の照明領域のうちの少なくとも1個の照明領域から発した光のみを反射する反射ミラーによって分離された互いに異なる照明領域からの照明光をそれぞれ採り込む少なくとも一対の検出光学系とが設けられ、
前記照明光学系はそれぞれ開口角を調節する開口角調節手段を有し、
前記各開口角調節手段はそれぞれ独立に開口角を設定可能であり、
異なる開口角で得られた同一領域におけるパターン像を比較して欠陥の種類の識別を行うことを特徴とするマスク欠陥検査装置。 - 前記各検出光学系にその開口角を調節する開口角調節手段が設けられていることを特徴とする請求項2に記載のマスク欠陥検査装置。
- 前記照明光学系の一方が透過照明光により前記マスクを照明する透過方式照明光学系であり、
前記照明光学系の他方が反射照明光により前記マスクを照明する反射方式照明光学系であり、
前記検出光学系の一方が前記透過照明光により照明された領域からの照明光を採り込む透過検出光学系であり、
前記検出光学系の他方が前記反射照明光により照明された領域からの像を採り込む反射検出光学系であることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載のマスク欠陥検査装置。 - 前記検出センサにより得られるパターン像が前記マスクの膜厚方向に対して変化するように前記マスクの膜厚方向のパターン部位と前記検出センサにより得られるパターン像との合焦関係を変更する合焦関係変更手段をさらに有することを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載のマスク欠陥検査装置。
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