DE69725676T2 - Stellelement, seine Ansteuerung und seine Verwendung - Google Patents

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displacement unit
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Yuichi Tsukuba-shi Ishikawa
Kazuyoshi Mihama-ku Furuta
Kitahara Tsukuba-shi Tokio
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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/101Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using intermittent driving, e.g. step motors
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
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    • H02N2/021Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
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    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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    • Y10T74/1529Slide actuator

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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
  • Numerical Control (AREA)

Description

  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Stellglied, das eine Größenreduktion und eine Energieeinsparung erlaubt. Ferner bezieht sich die vorliegende Erfindung auf ein Stellgliedansteuerungsverfahren, das das Stellglied unter den besten Bedingungen ansteuern kann, sowie auf ein computerlesbares Aufzeichnungsmedium mit einem Programm, das einen Computer veranlasst, das darin aufgezeichnete Stellgliedansteuenangsverfahren auszuführen. Ferner bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine kompakte Werkzeugmaschine, die das Stellglied verwendet.
  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Derzeit gibt es verschiedene Typen von Stellgliedern, die in verschiedenen industriellen Gebieten weit verbreitet sind. Da ferner in den letzten Jahren die Notwendigkeit zur Energieeinsparung und zur Raumeinsparung besteht, besteht starker Bedarf an einem energieeinsparenden und kompakten Stellglied.
  • Als energieeinsparendes und kompaktes Stellglied gab es ein so genanntes Ministellglied. Dieses Ministellglied wird hergestellt durch Anwenden eines ultrafeinen Schleifens auf eine Innenseite einer Außenschiene, die durch Ziehen ausgebildet wird, um eine Oberfläche zu schaffen, auf der sich eine Kugel bewegt und rotiert, und ferner durch Anwenden einer Hybridbearbeitungs-Kugelzirkulationsbearbeitung für einen Innenblock derselben und einer Kugelzirkulationsbearbeitung für eine Kugelgewindemutter. Die Höhe eines Ministellgliedes, das wie oben beschrieben hergestellt wird, beträgt etwa 20 mm.
  • Ein Servomotor ist für ein Stellglied auf der Grundlage des gewöhnlichen Typs eines Kugelgewindes, das das Ministellglied wie oben beschrieben enthält, unverzichtbar. Um die Größe eines Stellgliedes zu reduzieren, ist es ferner notwendig, den Servomotor zu minimieren. Derzeit sind im Handel kompakte Servomotoren erhältlich, die jeweils einen Durchmesser von etwa 20 mm aufweisen.
  • Ferner gibt es verschiedene Typen von Mikrostellgliedern, die wichtige Vorrichtungen für Mikromaschinen sind, die große Aufmerksamkeit von betreffenden Kreisen erhalten. Es gibt verschiedene Prinzipien zum Ansteuern eines Mikrostellgliedes, einschließlich der statischen Elektrizität, eines piezoelektrisches Elements, einer Formgedächtnislegierung und der thennischen Ausdehnung. Die allgemeine Größe eines Mikrostellgliedes liegt im Bereich von 10 μm bis etwa 1 mm.
  • Ferner wurde in den letzten Jahren als Mittel zum Minimieren eines bewegten Mechanismus ein Stellglied auf der Grundlage eines Raupensystems vorgeschlagen. 18 ist eine Ansicht, die eine obere Oberfläche eines Stellgliedes auf der Grundlage des Raupensystems zeigt. In dieser Figur bezeichnet das Bezugszeichen 802 eine Führungsschiene. Ein H-förmiger beweglicher Körper 803 ist zwischen den Führungsschienen 802, 802 vorgesehen. Dieser bewegliche Körper 803 umfasst zwei Halter 831, 832, die jeweils senkrecht zu den Führungsschienen 802, 802 sind, und einen Halterabschnitt 833 parallel zu den Führungsschienen 802, 802. In die Halterabschnitte 831 bis 833 sind jeweils piezoelektrische Elemente 834 bis 846 eingebettet. Als piezoelektrische Elemente 834 bis 336 werden piezoelektrische Keramiken auf PZT-Basis verwendet. Eine Seitenwand jedes der Halterabschnitte 831 bis 833 ist dünn. Der Grund hierfür ist, dass ein Raum zwischen den Seitenwänden im Zusammenhang mit der Ausdehnung der piezoelektrischen Elemente erweitert werden kann. Der Tisch 804 ist auf einem oberen Abschnitt des beweglichen Körpers 803 angebracht.
  • Wenn das piezoelektrische Element 835 mit einer Spannung beaufschlagt wird, dehnt sich das piezoelektrische Element 835 auf Grund des piezoelektrischen Effekts aus. Wenn das piezoelektrische Element 835 sich ausdehnt, dehnt sich der Halterabschnitt 332 aus und wird zwischen den Führungsschienen 802, 802 fixiert. In diesem Zustand wird das piezoelektrische Element 836 mit einer Spannung beaufschlagt. Anschließend dehnt sich das piezoelektrische Element 836 aus und der Halterabschnitt 833 dehnt sich aus. Wenn sich der Halterabschnitt 833 ausdehnt, bewegt sich der Halterabschnitt 331 zusammen mit dem piezoelektrischen Element 834. Anschließend wird das piezoelektrische Element 834 mit einer Spannung beaufschlagt, um den Halterabschnitt 831 auszudehnen. Mit diesem Vorgang wird der Halterabschnitt 831 zwischen dem Führungsschienen 802, 802 fixiert.
  • Wenn anschließend die Beaufschlagung des piezoelektrischen Elements 835 mit Spannung beendet wird, schrumpft das piezoelektrische Element 835 bis zu seiner ursprünglichen Größe. Hierdurch wird die Fixierung durch den Halterabschnitt 832 gelöst. Wenn anschließend die Beaufschlagung des piezoelektrischen Elements 836 mit einer Spannung beendet wird, schrumpft das piezoelektrische Element 836 bis zu seiner ursprünglichen Größe, wobei der Halterabschnitt 833 schrumpft. Mit dem Schrumpfen des Halterabschnitts 833 bewegt sich der Halterabschnitt 832. In diesem Stellglied 800 auf der Grundlage des Raupensystems wird der Tisch 804 durch schrittweises Ausführen der obenbeschriebenen Sequenz bewegt.
  • US 5319257 beschreibt ein Mikrostellglied mit zwei piezoelektrischen Klammer/Schieber-Anordnungen, die einen Schaft radial greifen. Durch selektives Erregen der Klammer/Schieber-Anordnungen kann der Schaft in seiner Axialrichtung in einer Bohrung in der Anordnung gezogen oder geschoben werden.
  • US 4777398 beschreibt einen piezoelektrischen Motor mit zwei Klemmelementen und einem Schieberelement, die selektiv erregt werden, um eine relative Bewegung zwischen einer Welle und einem Gehäuse des Motors hervorzurufen.
  • EP 0592030A beschreibt eine Verschiebungsvorrichtung mit ersten und zweiten piezoelektrischen Klemmelementen und einem piezoelektrischen Verschiebungselement zum Verschieben eines Elements relativ zu einem Halter.
  • Beispiele von verschiedenen Typen von Stellgliedern wurden oben beschrieben, jedoch weist jedes dieser Stellglieder Probleme auf, wie im Folgenden beschrieben wird. Erstens ist im herkömmlichen Typ von Stellglied auf der Grundlage des Kugelgewindesystems ein Umlauf von Kugeln erforderlich, weshalb es auf Grund seiner Konstruktion eine Grenze bei der Reduzierung der Größe gibt. Da ferner ein Servomotor verwendet wird, ist der Energieverbrauch hoch. Gleichzeitig ist das Mikrostellglied in seiner Abmessung zu klein, so dass es sehr schwierig zu handhaben ist und für allgemeine industrielle Zwecke praktisch nicht verwendet werden kann.
  • Der herkömmliche Typ von Stellglied 800, der auf dem Raupensystem beruht, ist im Vergleich zu einem Stellglied auf der Grundlage eines Kugelgewindesystems kleiner. Da jedoch drei piezoelektrische Elemente verwendet werden, ist eine weitere Reduktion der Größe unmöglich, wobei ein Verfahren zum Ansteuern des Stellgliedes 800 selbst kompliziert ist.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein kompaktes und energiesparendes Stellglied zu schalten, das leicht angesteuert werden kann. Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Stellgliedansteuerungsverfahren zu schalten, das das obenbeschriebene Stellglied unter besten Bedingungen ansteuern kann, und ferner ein computerlesbares Aufzeichnungsmedium mit einem Programm zu schaffen, das einen Computer veranlasst, das darin aufgezeichnete Stellgliedansteuerungsverfahren auszuführen. Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine kompakte Werkzeugmaschine zu schaffen, die ein solches Stellglied verwendet.
  • Um die obenerwähnten Aufgaben zu lösen, umfasst in einem ersten Aspekt ein Stellglied gemäß der vorliegenden Erfindung eine erste Verschiebungseinheit, die eine Position desselben bezüglich einer Führung durch Verschieben fixieren oder ändern kann; eine zweite Verschiebungseinheit, die mit der ersten Verschiebungseinheit verbunden ist und in wenigstens einer Richtung verschiebt, die verschieden ist von derjenigen, in der die erste Verschiebungseinheit verschiebt; gekennzeichnet durch einen Halter, der die zweite Verschiebungseinheit auf der Führung mit einer Kraft hält, die schwächer ist als eine Kraft der ersten Verschiebungseinheit zum Fixieren der ersten Verschiebungseinheit bezüglich der Führung, und der sich entsprechend der Verschiebung der zweiten Verschiebungseinheit bewegt.
  • In einem Stellglied gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst die Führung vorzugsweise zwei Führungsschienen, die voneinander beabstandet sind, um eine Linearführung bereitzustellen, wobei die zweite Verschiebungseinheit in einer Richtung senkrecht zur Verschiebungsrichtung der ersten Verschiebungseinheit verschiebt; und der Halter die zweite Verschiebungseinheit zwischen den Führungsschienen mit einer Kraft hält, die schwächer ist als die von der ersten Verschiebungseinheit bereitgestellte Kraft.
  • Das Stellglied kann vorteilhaft eine Zyklusverschiebung-Befehlseinheit, die einen zyklischen Verschiebungsbefehl an die erste Verschiebungseinheit ausgibt und ferner einen zyklischen Verschiebungsbefehl mit einer Phase, die sich von dem an die erste Verschiebungseinheit ausgegebenen zyklischen Verschiebungsbefehl unterscheidet, an die zweite Verschiebungseinheit ausgibt; und eine Bewegungsratenauflösung-Änderungseinheit umfassen zum Ändern einer Auflösung für eine Bewegungsrate durch Ändern der Phasendifferenz.
  • Das Stellglied kann ferner umfassen: eine Zyklusverschiebung-Befehlseinheit, die einen zyklischen Verschiebungsbefehl an die erste Verschiebungseinheit ausgibt und ferner einen zyklischen Verschiebungsbefehl mit einer Phase, die sich von dem an die erste Verschiebungseinheit ausgegebenen zyklischen Verschiebungsbefehl unterscheidet, an die zweite Verschiebungseinheit ausgibt; und eine Bewegungsgeschwindigkeit-Änderungseinheit zum Ändern einer Bewegungsgeschwindigkeit durch Ändern des Zyklus.
  • Ein Stellglied gemäß der vorliegenden Erfindung kann eine Haltekrafteinstellvorrichtung zum Einstellen einer Haltekraft des Halters durch Einstellen eines Abstands zwischen den Führungsschienen der Linearführung umfassen.
  • Die Haltekrafteinstellvorrichtung kann eine Haltekraft des Halters mittels eines elastischen Körpers einstellen, der an wenigstens einer der Führungsschienen vorgesehen ist, um eine Druckkraft auf die Führungsschiene auszuüben.
  • Die Haltekrafteinstellvorrichtung kann eine Haltekraft des Halters mittels einer Verschiebungseinheit einstellen, die an wenigstens einer der Führungsschienen vorgesehen ist, um eine Druckkraft auf die Führungsschienenverschiebung dieser Verschiebungseinheit auszuüben.
  • In einem zweiten Aspekt schafft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Ansteuern eines Stellgliedes, das eine erste Verschiebungseinheit, die eine Position desselben bezüglich einer Führung durch Verschieben fixieren oder ändern kann, eine zweite Verschiebungseinheit, die mit der ersten Verschiebungseinheit verbunden ist und in wenigstens einer Richtung verschiebt, die verschieden ist von derjenigen, in der die erste Verschiebungseinheit verschiebt, und einen Halter, der die zweite Verschiebungseinheit auf der Führung mit einer Kraft hält, die schwächer ist als eine Kraft der ersten Verschiebungseinheit, um die erste Verschiebungseinheit bezüglich der Führung zu fixieren, und der sich gemäß der Verschiebung der zweiten Verschiebungseinheit bewegt, umfasst; wobei das Verfahren gekennzeichnet ist durch die Schritte: Fixieren einer Position des Stellgliedes bezüglich der Führung durch Verschieben der ersten Verschiebungseinheit; Verschieben der zweiten Verschiebungseinheit und ferner Bewegen des Halters im Zusammenhang mit der Verschiebung der zweiten Verschiebungseinheit; Zurücksetzen der ersten Verschiebungseinheit in ihre Ausgangsposition; und Zurücksetzen der zweiten Verschiebungseinheit in ihre Ausgangsposition und Bewegen der ersten Verschiebungseinheit im Zusammenhang mit der Rücksetzbewegung der zweiten Verschiebungseinheit.
  • Das Verfahren kann die Verschiebung der zweiten Verschiebungseinheit vor der Verschiebung der ersten Verschiebungseinheit, um somit die erste Verschiebungseinheit im Zusammenhang mit der Verschiebung der zweiten Verschiebungseinheit zu bewegen, und das Zurücksetzen der zweiten Verschiebungseinheit in ihre Ausgangsposition umfassen, um somit den Halter im Zusammenhang mit der Rücksetzbewegung der zweiten Verschiebungseinheit vor dem Zurücksetzen der ersten Verschiebungseinheit in seine Ausgangsposition zu bewegen.
  • Die zweite Verschiebungseinheit wird vorzugsweise in einer Richtung verschoben, die die Verschiebungsrichtung der ersten Verschiebungseinheit senkrecht kreuzt.
  • In einem Stellgliedansteuerungsvertahren gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Phasendifferenz zwischen einem Zyklusverschiebungs-Befehl, der die Verschiebung der ersten Verschiebungseinheit veranlasst, und einem zweiten Zyklusverschiebungs-Befehl, der die Verschiebung der zweiten Verschiebungseinheit veranlasst, verändert, um somit eine Änderung der Auflösung einer Bewegungsrate des Stellgliedes zu veranlassen.
  • In einem Stellgliedansteuerungsverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Zyklus eines Zyklusverschiebungs-Befehls, der die Verschiebung der ersten Verschiebungseinheit veranlasst, und eines Zyklusverschiebungs-Befehls, der die Verschiebung der zweiten Verschiebungseinheit veranlasst, verändert, um somit eine Änderung einer Geschwindigkeit zu veranlassen, mit der das Stellglied relativ zur Führung bewegt wird.
  • In einem dritten Aspekt schafft die vorliegende Erfindung ein computerlesbares Aufzeichnungsmedium, das ein Programm umfasst, das dafür ausgelegt ist, einen Computer so zu steuern, das ein Stellglied gemäß dem obigen ersten Aspekt veranlasst wird, entsprechend einem Stellgliedansteuerungsverfahren zu arbeiten, das entsprechend dem obigen zweiten Aspekt beschrieben worden ist.
  • In einem vierten Aspekt schafft die vorliegende Erfindung eine kompakte Werkzeugmaschine, die ein Stellglied gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst.
  • In der kompakten Werkzeugmaschine ist das Stellglied vorzugsweise vorgesehen, um eine Bewegung einer Spindeleinheit relativ zu einer Auflageschieneneinheit der Werkzeugmaschine zu bewirken.
  • Weitere Aufgaben und Merkmale dieser Erfindung werden deutlich anhand der folgenden Beschreibung mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine perspektivische Ansicht, die das Stellglied gemäß der Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 2A und 2B sind eine Draufsicht und eine Seitenansicht, die jeweils das in 1 gezeigte Stellglied zeigen;
  • 3 ist eine Draufsicht, die die Konstruktion des in 1 gezeigten beweglichen Körpers zeigt;
  • 3A bis 3E sind erläuternde Ansichten, die einen Bewegungsmechanismus für den in 1 gezeigten bewegten Körper zeigen;
  • 5 ist ein Graph, der eine Wellenform einer Spannung zeigt, mit der ein piezoelektrisches Element beaufschlagt wird;
  • 6 ist ein Graph, der eine Änderung in einer Bewegungsrate in einem Fall zeigt, in welchem eine Phasendifferenz verändert wird;
  • 7 ist ein Graph, der eine Beziehung zwischen einer Frequenz und einer Bewegungsgeschwindigkeit zeigt;
  • 8 ist ein Blockschaltbild, das eine Ansteuerungseinheit für das in 1 gezeigte Stellglied zeigt;
  • 9 ist ein Flussdiagramm, das eine Sequenz zum Ansteuern eines Stellgliedes mit der in 8 gezeigten Ansteuerungseinheit zeigt;
  • 10 ist eine Draufsicht und eine Seitenansicht, die jeweils das Stellglied gemäß der Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung zeigen;
  • 11 ist eine Draufsicht und eine Seitenansicht, die jeweils das Stellglied gemäß der Ausführungsform 3 der vorliegenden Erfindung zeigen;
  • 12 ist ein Anordnungsdiagramm, das das in 11 gezeigte Stellglied zeigt;
  • 13 ist eine perspektivische Ansicht, die die kompakte Drehbank gemäß der Ausführungsform 4 der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 14A und 14B sind eine Draufsicht und eine Seitenansicht, die jeweils die in 13 gezeigte kompakte Drehbank zeigen;
  • 15 ist eine Querschnittsansicht, die die Konstruktion der in 13 gezeigten Spindel zeigt;
  • 16 ist ein Blockschaltbild, das eine Ansteuerungseinheit für die in 13 gezeigte kompakte Drehbank zeigt;
  • 17A und 17B sind erläuternde Ansichten für einen Vergleich des Unterschieds einer Bodenfläche auf Grund des Unterschieds der Anordnung der Komponenten in einer Drehbank; und
  • 18 ist eine Draufsicht, die einen herkömmlichen Typ von Stellglied auf der Grundlage eines Raupensystems zeigt.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
  • Es folgt eine genaue Beschreibung der Ausführungsformen des Stellgliedes gemäß der vorliegenden Erfindung, eines Verfahrens zum Ansteuern derselben, eines computerlesbaren Aufzeichnungsmediums mit einem Programm, das einen Computer veranlasst, das darin aufgezeichnete Ansteuerungsverfahren auszuführen, und einer kompakten Werkzeugmaschine, die das Stellglied verwendet, mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen. Es ist zu beachten, dass die vorliegende Erfindung nicht auf diese Ausführungsformen beschränkt ist.
  • 1 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Stellglied gemäß der Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung zeigt. Die 2A und 2B sind eine Draufsicht und eine Seitenansicht, die jeweils das in 1 gezeigte Stellglied zeigen. Dieses Stellglied 100 umfasst ein Basissubstrat 1, Führungsschienen 2a, 2b, die an parallelen Positionen auf diesem Basissubstrat 1 vorgesehen sind, einen beweglichen Körper 3, der zwischen diesen Führungsschienen 2a, 2b gehalten wird, und Positionseinstellschrauben 4, 4, die jeweils zum Einstellen der Positionen der Führungsschienen 2a, 2b dienen. Die Größe des Stellgliedes 100 mit der obenbeschriebenen Konfiguration beträgt 22 mm (Länge) × 25 mm (Tiefe) × 8 mm (Höhe) oder dergleichen.
  • Auf den gegenüberliegenden Oberflächen der Führungsschienen 2, 2 sind V-förmige Nuten 21, 21 vorgesehen. Die Führungsschiene 2a wird mit Schrauben am Basissubstrat 1 befestigt. Die Führungsschiene 2b wird mit einer Schraube befestigt, nachdem ein Raum zwischen den Führungsschienen 2a, 2b mit den Positionseinstellschrauben 4, 4 eingestellt worden ist. Die Positionseinstellschrauben 4, 4 werden von der Seitenwand 1a des Basissubstrats 1 her eingeschraubt. Ferner ist eine lineare Skala 5 an einer Unterseite des beweglichen Körpers 3 angebracht.
  • 3 ist eine Draufsicht, die die Konstruktion des in 1 gezeigten beweglichen Körpers zeigt. Dieser bewegliche Körper 3 wird hergestellt durch Anwenden einer Drahtentladungsbearbeitung auf eine flache Platte mit den Gesamtabmessungen 20 mm mal 14 mm und einer Dicke von 4 mm. Dieser bewegliche Körper 3 besitzt einen gestuften Kerbenabschnitt 3c. Ferner besitzt der bewegliche Körper 3 einen Halterabschnitt 31, der in einer Richtung senkrecht zu den Führungsschienen 2a, 2b langgestreckt ist, und einen Halterabschnitt 32, der in horizontaler Richtung parallel zu den Führungsschienen 2a, 2b langgestreckt ist. In diese Halterabschnitte 31, 32 sind piezoelektrische Elemente 33, 34 eingebettet.
  • Die Längen dieser Halterabschnitte 31, 32 sind etwas kürzer als diejenigen der piezoelektrischen Elemente 33, 34, so dass ein überschüssiger Druck von etwa 10 N erzeugt wird, wenn die piezoelektrische Elemente 33, 34 darin eingepresst werden. Die Breite der Unterstützungsabschnitte 35, 35, die jeweils als Seitenwand des Halterabschnitts 31 dienen, beträgt 0,2 mm. Das Bezugszeichen 36 bezeichnet einen Verbindungsabschnitt. Die Breite dieses Verbindungsabschnitts 36 beträgt 0,4 mm. Ein Abstand zwischen einem Kontaktabschnitt 37 und einem Kontaktabschnitt 37 ist um 0,005 mm kürzer als ein Abstand zwischen einem Kontaktabschnitt 38 und einem Kontaktabschnitt 38. Hierbei ist definiert, dass die Seite des piezoelektrischen Elements 33 von den Verbindungsabschnitten 36, 36 ein Schnitt A3a innerhalb des beweglichen Körpers ist und die Seite des piezoelektrischen Elements 34 ein Schnitt B3b innerhalb des beweglichen Körpers ist. Der bewegliche Bereich dieses beweglichen Körpers 3 beträgt etwa 4 mm.
  • Ein geschichteter Typ einer piezoelektrischen Keramik auf PZT-Basis wird für die piezoelektrischen Elemente 33, 34 verwendet. Der geschichtete Typ von piezoelektrischen Keramiken auf PZT-Basis wird verwendet, da er eine große Verschiebungsrate aufweist und eine hervorragende Genauigkeit, Antwortgeschwindigkeit und Antriebskraft aufweist. Die Abmessung des piezoelektrischen Elements beträgt 3 mm × 3 mm × 8 mm. Es ist zu beachten, dass eine beliebige andere Komponente als ein piezoelektrisches Element verwendet werden kann, sofern es verschiebbar ist. Das Bezugszeichen 39 bezeichnet ein Befestigungsloch für die Verbindung zweier beweglicher Körper.
  • Die 4A bis 4E sind erläuternde Ansichten, die einen Bewegungsmechanismus für den beweglichen Körper 3 zeigen. Wie in 4A gezeigt ist, wird im Anfangszustand der bewegliche Körper 3 gehalten und in einem statischen Zustand gehalten, auf Grund einer Reibungskraft zwischen den Kontaktabschnitten 38a, 38b und den Führungsschienen 2a, 2b. Wie in 4B gezeigt ist, wird anschließend dann, wenn das piezoelektrische Element 33 mit einer Spannung beaufschlagt wird, eine Ausdehnung im piezoelektrischen Element 33 erzeugt, wobei der Abschnitt A3a innerhalb des beweglichen Körpers ausgedehnt wird. Wenn der Abschnitt A3a innerhalb des beweglichen Körpers ausgedehnt wird, werden die Kontaktabschnitte 37a, 37b an die Führungsschienen 2a, 2b gepresst. Hierdurch wird der Abschnitt A3a innerhalb des beweglichen Körpers zwischen den Führungsschienen 2a, 2b fixiert.
  • Wenn anschließend in dem Zustand, in den der Abschnitt A 3a innerhalb des beweglichen Körpers fixiert ist, eine Spannung angelegt wird, wird im piezoelektrischen Element 34 eine Ausdehnung erzeugt. Eine durch die Ausdehnung dieses piezoelektrischen Elements 34 hervorgerufene Kraft ist größer als eine Reibungskraft zwischen den Kontaktabschnitten 38a, 38b und den Führungsschienen 2a, 2b. Die durch die Ausdehnung des piezoelektrischen Elements 34 hervorgerufene Kraft ist kleiner als eine Reibungskraft zwischen den Kontaktabschnitten 37a, 37b und den Führungsschienen 2a, 2b. Wie in 4C gezeigt ist, bewegt sich aus diesem Grund der Abschnitt B3b innerhalb des beweglichen Körpers in der Figur nach rechts.
  • Wenn anschließend die Beaufschlagung des piezoelektrischen Elements 33 mit einer Spannung beendet wird, wie in 4D gezeigt ist, werden die Kontaktabschnitte 37a, 37b von den Führungsschienen 2a, 2b getrennt. Wenn anschließend die Beaufschlagung des piezoelektrischen Elements 34 mit einer Spannung beendet wird, wie in 4E gezeigt ist, schrumpft das piezoelektrische Element 34. Wenn das piezoelektrische Element 34 schrumpft, bewegt sich der Abschnitt A3a innerhalb des beweglichen Körpers in der Figur nach rechts im Zusammenhang mit dem Schrumpfen des piezoelektrischen Elements 34. Durch Wiederholen dieser Serie von Operationen bewegt sich der bewegliche Körper 3 in einer Richtung.
  • Durch Schaffen einer Phasendifferenz zwischen einer Spannung, die an das piezoelektrische Element 33 angelegt wird, und einer Spannung, die an das piezoelektrische Element 34 angelegt wird, wurde anschließend eine Bewegungsrate des beweglichen Körpers 3 gemessen. 4 ist ein Graph, der Wellenformen der Spannungen zeigt, die an die piezoelektrischen Elemente 33, 34 angelegt werden. Die Wellenform A (in der Figur mit einer gestrichelten Linie gezeigt) zeigt eine Spannung an, die an das piezoelektrische Element 33 angelegt wird. Die Wellenform B (in der Figur mit einer durchgezogenen Linie gezeigt) zeigt eine Spannung an, die an das piezoelektrische Element 34 angelegt wird. Es ist zu beachten, dass die an die piezoelektrischen Elemente 33, 34 angelegte Spannung gleich 60 V ist. Wie in der Figur gezeigt ist, bewegt sich der bewegliche Körper 3, wenn eine Spannung an die jeweiligen piezoelektrischen Elemente 33, 34 mit einer Phasendifferenz C angelegt wird. Der Bewegungsmechanismus, der in diesem Schritt eine Rolle spielt, wurde bereits oben beschrieben (siehe 4A bis 4E). Als Ergebnis der Messung ist eine Bewegungsrate für einen Zyklus (einen Schritt) im Zusammenhang mit der Phasendifferenz C verschieden, wobei er maximal etwa 2,7 μm betrug und minimal etwa 0,3 μm betrug.
  • 6 ist ein Graph, der eine Änderung der Bewegungsrate in einem Fall zeigt, in dem die Phasendifferenz verändert wird. Als Ergebnis der Messung betrug bei einer Phasendifferenz von 90° die Bewegungsrate 2,7 μm, was das Maximum war. Wenn ferner die Phasendifferenz 165° betrug, war die Bewegungsrate gleich 0,3 μm, was das Minimum war. Ferner wurde festgestellt, dass die Bewegungsrate sich kontinuierlich ändert, wenn sich die Phasendifferenz ändert. Aus dieser Tatsache wurde ferner abgeleitet, dass eine kleine Bewegung des beweglichen Körpers 3 durch Ändern der Phasendifferenz gesteuert werden kann. Ferner wurde festgestellt, dass eine Bewegungsrichtung des beweglichen Körpers 3 bei einer Phasendifferenz von 180° als Grenze umgekehrt wird.
  • Anschließend wurde ein Messung für eine Korrelation zwischen einer Frequenz und einer Bewegungsgeschwindigkeit ausgeführt. 7 ist ein Graph, der eine Beziehung zwischen einer Frequenz und einer Bewegungsgeschwindigkeit in einem Fall zeigt, in dem die Phasendifferenz gleich 101° ist und ein Eingangsspannungswert gleich 60 V ist. Als Ergebnis der Messung wurde festgestellt, dass dann, wenn eine Frequenz geändert wird, eine Bewegungsgeschwindigkeit des beweglichen Körpers 3 kontinuierlich verändert wird. Ferner wurde festgestellt, dass eine Bewegungsgeschwindigkeit des beweglichen Körpers 3 in einem weiten Bereich von etwa 1 bis 35 μm/s eingestellt werden kann. Es ist zu beachten, dass eine Steigung des Graphen sich bei der Frequenz von etwa 10 Hz als Grenze ändert. Dieses Phänomen wird hergerufen durch die Sanftheit des Gleitens des beweglichen Körpers 3. Eine Sanftheit beim Gleiten des beweglichen Körpers 3 kann erhalten werden durch Einstellen der Haltekraft für den beweglichen Körper 3 (eine Reibungskraft mit der Führungsschiene 2).
  • 8 ist ein Blockschaltbild, das eine Ansteuerungseinheit 150 für dieses Stellglied zeigt. Diese Ansteuerungseinheit 150 bewegt den beweglichen Körper 3 durch Beaufschlagen jedes der piezoelektrischen Elemente 33, 34 jeweils mit einer bestimmten Frequenz mit einer verschiedenen Phase, um eine Sequenzsteuerung für das Stellglied 100 zu schaffen, und umfasst einen Personalcomputer 160, der eine geschlossene Schleife mit einer linearen Skala 5 bildet, um Regelungen zu bewirken, und einen Ansteuerungsabschnitt 170 für ein piezoelektrisches Element, der die Signale vom Personalcomputer 160 verstärkt.
  • Der Personalcomputer 160 besitzt einen Positionsregelungsabschnitt zum Regeln einer Position des beweglichen Körpers 3 und einen Geschwindigkeitsregelungsabschnitt 162 zum Regeln der Bewegungsgeschwindigkeit des bewegten Körpers 3. Der Positionsregelungsabschnitt 161 besitzt einen Phasendifferenzeinstellabschnitt 1611 zum Setzen einer Phasendifferenz zwischen den Spannungen, die an die piezoelektrischen Elemente 33, 34 angelegt werden. Der Geschwindigkeitsregelungsabschnitt 162 besitzt einen Frequenzeinstellabschnitt 1621 zum Setzen einer Frequenz für jede der Spannungen, die an die piezoelektrischen Elemente 33, 34 angelegt werden.
  • 9 ist ein Flussdiagramm, das eine Sequenz zur Ansteuerung des Stellgliedes 100 unter Verwendung der in 8 gezeigten Ansteuerungseinheit 150 zeigt. Im Schritt S901 wird ein Befehl zur Bewegung vom Personalcomputer 160 ausgegeben. Im Schritt S902 wird eine Bewegungsgeschwindigkeit des beweglichen Körpers 3 entsprechend einem Befehl für die Bewegung vom Personalcomputer 160 gesetzt. Eine Bewegungsgeschwindigkeit des beweglichen Körpers 3 wird gesetzt durch Ändern einer Frequenz einer Spannung, die an die jeweiligen piezoelektrischen Elemente 33, 34 angelegt wird. Das Setzen einer Frequenz wird ausgeführt vom Frequenzeinstellabschnitt 1621.
  • Im Schritt S903 wird eine Bewegungsrichtung des beweglichen Körpers 3 festgelegt. Die Bewegungsrichtung wird festgelegt mit Bezug auf eine Anfangsposition des bewegten Körpers 3 als Referenz. Da die Bewegungsrichtung bei der Phasendifferenz 180° als Grenze umgekehrt wird, wird die Bewegungsrichtung festgelegt, indem die Phasendifferenz größer oder kleiner als 180° gemacht wird (Schritt S903 bis S905). In dem in den 4A4E gezeigten Fall wird in einem Fall, in dem die Bewegungsrichtung nach rechts gerichtet ist, eine Phasendifferenz auf einem Wert kleiner als 180° gesetzt (Schritt S904). In einem Fall, in dem die Bewegungsrichtung nach links gerichtet ist, wird die Phasendifferenz auf einen Wert größer als 180° gesetzt (Schritt S905).
  • Im Schritt S906 wird eine Regelung mittels einer geschlossenen Schleifenschaltung durchgeführt, die die lineare Skala 5 umfasst.
  • Im Schritt S907 wird ermittelt, ob eine Auflösung für die Positionierung des beweglichen Körpers 3 an der Grenze ist, oder nicht. Die Auflösung für die Positionierung wird entsprechend der Phasendifferenz festgelegt. Aus diesem Grund wird eine Phasendifferenz geändert, um die Positionsregelung weiter zu verfeinern (Schritt S908). In diesem Stellglied 100 wird die Auflösung am höchsten, wenn die Phasendifferenz gleich 165° ist. Wenn die Phasendifferenz gleich 165° ist, ist die Bewegungsrate in einem Schritt gleich 0,3 μm. Das Setzen der Phasendifferenz wird vom Phasendifterenzsetzabschnitt 1611 ausgeführt. Es ist zu beachten, dass die obenbeschriebene Verarbeitungssequenz in einem Aufzeichnungsmedium aufgezeichnet ist, das vom Personalcomputer 160 gelesen werden kann (wie z. B. eine Diskette oder eine optische Platte).
  • 10 ist eine Draufsicht bzw. eine Seitenansicht, die jeweils ein Stellglied gemäß der Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung zeigen. Dieses Stellglied 200 ist dadurch gekennzeichnet, dass eine Feder 201 anstelle der Positionseinstellschrauben 4, 4 für das Stellglied 100 verwendet wird. Die anderen Abschnitte dieser Konfiguration sind die gleichen wie diejenigen in der Ausführungsform 1.
  • Für die Feder 201 wird eine gebogene Blattfeder verwendet. Diese Feder 201 ist zwischen die Führungsschiene 2b und die Seitenwand 1a des Basissubstrats 1 eingebaut. Eine Reibungskraft zwischen den Führungsschienen 2a, 2b und dem bewegten Körper 3 kann durch Ändern der Härte der Feder 201 geändert werden. Diese Feder 201 kann leicht angesetzt oder abgenommen werden.
  • Wenn eine gewünschte Reibungskraft durch Einstellen der Feder 201 erhalten worden ist, wird die Führungsschiene 2b mittels Schrauben am Basissubstrat 1 fixiert. Ferner kann eine Einstellschraube an einem Abschnitt 1a' vorgesehen sein, an dem die Feder 201 die Seitenwand 1a des Basissubstrats 1 berührt. Eine Druckkraft der Feder 201 kann eingestellt werden durch Schrauben dieser Einstellschraube bis zu einem gewünschten Maß. Ferner kann ein piezoelektrisches Element anstelle der Feder 201 eingebaut sein. Es ist möglich, eine Reibungskraft zwischen den Führungsschienen 2a, 2b und dem beweglichen Körper 3 unmittelbar zu ändern durch Beaufschlagen des piezoelektrischen Elements mit einer Spannung. Wenn das piezoelektrische Element angeregt gehalten wird, ist eine Fixierung mit Schrauben nicht erforderlich.
  • 11 ist eine Draufsicht und eine Seitenansicht, die jeweils ein Stellglied gemäß der Ausführungsform 3 der vorliegenden Erfindung zeigen. Dieses Stellglied 300 wird erhalten durch Ändern der Konstruktion des Stellgliedes 100 gemäß der Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung in eine rotierende Konstruktion.
  • Ein Basissubstrat 301 weist eine scheibenförmige Form auf. Die Führungsschienen 302a, 302b sind an einer oberen Oberfläche des Basissubstrats 301 angebracht. Die Führungsschienen 302a, 302b sind an einer Höhe des Scheitels der V-förmigen Nuten 321a, 321b unterteilt. Ein beweglicher Körper 301, der in dieser Ausführungsform verwendet wird, ist im Wesentlichen der gleiche wie derjenige, der in der Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung verwendet wird. Die Krümmung jedes der Kontaktabschnitte 337a, 337b des beweglichen Körpers 303 stimmt mit einer Krümmung der Führungsschienen 302a, 302b überein. In ähnlicher Weise stimmt die Krümmung der Kontaktabschnitte 338a, 338b des beweglichen Körpers 303 mit der Krümmung der Führungsschienen 302a, 302b überein. Das piezoelektrische Element 333 ist in Radialrichtung angeordnet. Das piezoelektrische Element 334 ist in einer Richtung senkrecht zur Radialrichtung angeordnet.
  • Es werden drei Stücke des beweglichen Körpers 303 verwendet. Die beweglichen Körper 303 sind in einem Winkel von 120° zueinander positioniert. Das Bezugszeichen 360 bezeichnet einen Tisch. Ein unterer Abschnitt 360a dieses Tisches 360 ist mit einem oberen Abschnitt 303a der jeweiligen beweglichen Körper 303 verbunden. Ein zentraler Schaft 361 des Tisches 360 ist durch ein Schublager 362 unterstützt.
  • 12 ist eine Anordnungsansicht, die das in 11 gezeigte Stellglied 300 zeigt. Zuerst wird der bewegliche Körper 303 auf dem Basissubstrat 301 platziert. Anschließend wird die Führungsschiene 302a am Basissubstrat 301 angebracht. In ähnlicher Weise wird die Führungsschiene 302b am Basissubstrat 301 angebracht. Wenn die Führungsschienen 302a, 302b daran angebracht worden sind, wird der bewegliche Körper 303 durch die V-förmigen Nuten 321a, 321b unterstützt. Anschließend wird das Schublager 362 in den Lagerabschnitt 301a des Basissubstrats 301 eingebettet. Danach wird der zentrale Schaft 361 des Tisches 360 in dieses Schublager 362 eingebettet. Schließlich wird eine untere Oberfläche 360a des Tisches 360 mit einer oberen Oberfläche 303a der jeweiligen beweglichen Körper 303 verbunden.
  • Dieses Stellglied 300 kann durch die Ansteuerungseinheit 150 ähnlich derjenigen in Ausführungsform 1 angesteuert werden. Es ist zu beachten, dass die Anzahl der beweglichen Körper nicht immer auf drei beschränkt ist.
  • 13 ist eine perspektivische Ansicht, die eine kompakte Drehbank gemäß der Ausführungsform 4 der vorliegenden Erfindung zeigt. Die 14A und 14B sind eine Draufsicht und eine Seitenansicht, die jeweils die in 13 gezeigte kompakte Drehbank zeigen. In dieser kompakten Drehbank 1000 sind die Stellglieder 100 gemäß der Ausführungsform 1 in Richtungen senkrecht zueinander positioniert, um die Z-X-Achsen zu bilden. Ferner wird nicht eine Auflageschienenseite, sondern die Spindelseite für dessen Bewegung gesteuert.
  • Zuerst wird auf dem Bett 1001 ein Stellglied 100a für die Bewegung in Z-Achsen-Richtung montiert. Zuerst werden die Führungsschienen 2a, 2b auf dem Bett 1001 an einander gegenüberliegenden Positionen angebracht. Die Führungsschiene 2a wird am Bett 1001 mit Schrauben befestigt. Die Führungsschiene 2b wird daran vorübergehend befestigt. Anschließend wird der bewegliche Körper 3 zwischen die Führungsschienen 2a, 2b gehalten. Wenn der bewegliche Körper zwischen die Führungsschienen 2a und 2b gehalten wird, wird die Positionseinstellschraube 4 von der Seitenwand 1001a des Bettes 1001 eingeschraubt, um die Führungsschiene 2b anzuregen. Ein Raum zwischen den Führungsschienen 2a und 2b wird mit dieser Positionseinstellschraube 4 eingestellt. Wenn die Einstellung beendet ist, wird die Führungsschiene 2b mit Schrauben am Bett 1001 fixiert. Ferner ist die lineare Skala 5 unter dem beweglichen Körper 3 vorgesehen.
  • Anschließend wird das Stellglied 100b für die Bewegung in X-Achsen-Richtung vertikal mit dem Stellglied 100a verbunden. Das Bezugszeichen 1002 bezeichnet ein Verbindungssubstrat. Dieses Verbindungssubstrat 1002 verbindet den beweglichen Körper 3 für das Stellglied 100a mit dem Stellglied 100b. Dieses Stellglied 100b besitzt eine Einheitsform. Ein Raum zwischen den Führungsschienen (nicht gezeigt), der in dieser Stellgliedeinheit eingebaut ist, wird im voraus eingestellt. Die (nicht gezeigte) lineare Skala ist im Inneren der Einheit vorgesehen. Ferner liegt der (nicht gezeigte) bewegliche Körper von einer oberen Oberfläche des Stellgliedes 100b nach außen frei.
  • Anschließend wird eine Spindeleinheit 1100 an einem oberen Abschnitt des beweglichen Körpers des Stellgliedes 100b für die Bewegung in X-Achsen-Richtung angebracht. In der Spindeleinheit 1100 sind ein Mikromotor 1200 und eine Spindel 1300 parallel zueinander angeordnet und mit einem Halteblock 1100a aneinander befestigt. Eine Riemenscheibe 1201 ist an einer Welle des Mikromotors 1200 angebracht. Ferner ist eine Riemenscheibe 1301 am Spindelschaft angebracht.
  • Ein Riemen 1102 ist zwischen der am Mikromotor 1200 angebrachten Riemenscheibe 1201 und der an der Spindel 1300 angebrachten Riemenscheiben 1301 gespannt. Eine Drehzahl der Spindel 1300 kann erhöht oder gesenkt werden durch Ändern eines Durchmessers der Riemenscheibe 1201 für den Mikromotor 1200.
  • Die Drehzahl des Mikromotors 1200 beträgt 15.000 min–1. Die Nennleistung beträgt etwa 1,5 W.
  • 15 ist eine Querschnittsansicht, die die Konstruktion der Spindel 1300 zeigt. Das Bezugszeichen 1302 zeigt ein Spannfutter. Das Spannfutter 1302 umfasst vier Stücke einer Spaltklaue 1303 und eine Halteschraube 1304.
  • Dieses Spannfutter 1302 kann ein Werkstück W mit einem Durchmesser von bis zu 2 mm halten. Eine Hülse 1305 der Spindel 1300 ist durch Miniaturkugellager 1306, 1306 (mit einem Innendurchmesser von 4,0 mm und einem Außendurchmesser von 8,0 mm) unterstützt und innerhalb eines Gehäuses 1307 aufgenommen. Um ferner Beschränkungen bezüglich der Länge eines Werkstücks zu eliminieren, ist die Seite der Riemenscheibe 1301 nach außen vorgestreckt.
  • Ferner ist auf dem Bett 1001 eine Auflageschienenbasis 1400 vorgesehen. Ein Bit 1401 ist an der Auflageschienenbasis 1400 mit einer Schraube befestigt. Dieses Bit 1401 ist aus verschiedenen Materialien gefertigt, wie z. B. einer ultraharten Legierung, Diamant oder einem Hochgeschwindigkeitsstahl. Eine Spitze des Bits 1401 befindet sich in der gleichen Höhe wie das Drehzentrum der Spindel 1300.
  • 16 ist ein Blockschaltbild, das eine Ansteuerungseinheit 1500 für die kompakte Drehbank 1000 zeigt. Diese Ansteuerungseinheit 1500 umfasst hauptsächlich einen Personalcomputer 1501 zum Bereitstellen von NC-Regelungen und PC-Regelungen über die kompakte Drehbank 1000, einen Ansteuerungsabschnitt 1502 für ein piezoelektrisches Element, und einen Gleichstromversorgungsabschnitt 1503. Das Verfahren zum Ansteuern der Stellglieder 100a und 100b ist das gleiche wie in Ausführungsform 1. Das heißt, ein Signal vom Personalcomputer 1501 wird vom Ansteuerungsabschnitt 1502 für das piezoelektrische Element verstärkt, um die Stellglieder 100a, 100b anzusteuern. Der Personalcomputer 1501 sorgt für Positionsregelungen entsprechend einem Rückkopplungssignal von der auf der Z-X-Achse vorgesehenen linearen Skala.
  • Der Gleichstromversorgungsabschnitt 1503 liefert Strom zum Mikromotor 1200. Der Personalcomputer 1501 führt Leistung zu oder schaltet diese ab. Es ist zu beachten, dass eine zu diesem Zweck verwendete Stromquelle vier Stücke von einzelnen 3-V-Zellen umfassen kann.
  • Mit der kompakten Drehbank 1000, die die obenbeschriebene Konfiguration aufweist, wurde eine Messung durchgeführt, wobei die Größe 32 mm (Länge) × 25 mm (Tiefe) × 30,5 mm (Höhe) betrug. Das Gewicht betrug etwa 100 g. Im Vergleich zu einer Universaldrehbank beträgt die Abmessung etwa 1/50, wobei das Gewicht etwa 115000 bis 1/10000 beträgt, wobei eine wesentliche Reduktion des Gewichts sowie der Größe verwirklicht wurde.
  • Ferner war auch die spezifische Anordnung der Spindel 1100 bei der Größenreduktion effektiv. 17A ist eine erläuternde Ansicht, die die allgemeine Anordnung der Komponenten (Spindeleinheit 1100, Z-X-Achsen-Stellglied 100, und Auflageschienenbasis 1400) der kompakten Drehbank 1000 zeigt. 17B ist eine erläuternde Ansicht, die die allgemeine Anordnung einer Drehbank auf der Grundlage eines Systems zeigt, in welchem eine Auflageschienenbasis bewegt wird. In dieser kompakten Drehbank 1000 ist die Spindel 1100 auf dem Z-X-Achsen-Stellglied 100 montiert, so dass in einem Fall, in dem jede der Komponenten eine identische Größe aufweist, die Bodenfläche wesentlich reduziert werden kann im Vergleich zu dem in 17B gezeigten Fall.
  • Anschließend wurde ein Messingmaterial mit einem Außendurchmesser von 2 mm auf dieser Kompaktdrehbank 1000 befestigt, wobei eine Schneidoperation unter den Bedingungen einer Drehzahl der Spindel von etwa 10.000 min–1, einer Vorschubgeschwindigkeit von etwa 10 μm/s und einer Schneidrate von etwa 30 μm durchgeführt wurde. Anschließend wurde die Rauheit einer Schnittfläche gemessen, wobei festgestellt wurde, dass die maximale Flächenrauheit etwa 1,5 μm betrug. Nach der Bearbeitung wurde keine große Schwellung in einem Bereich von etwa 1,8 mm erkannt. Ferner wurde die Kreisförmigkeit des Schnittabschnitts gemessen, wobei festgestellt wurde, dass die Kreisförmigkeit etwa 2,5 μm betrug. Diese numerischen Werte zeigen, dass diese kompakte Drehbank eine Bearbeitungsgenauigkeit äquivalent zu derjenigen einer Universaldrehbank aufweist.
  • Ferner wurde das Schneiden unter den gleichen Bearbeitungsbedingungen wiederholt, wobei eine Nadel mit einem Durchmesser von 60 μm bearbeitet werden konnte. Der Leistungsverbrauch betrug etwa 1,6 W, selbst für eine Schnittrate von 200 μm. Im Gegensatz hierzu liegt der Nennleistungsverbrauch eines Motors, der allgemein für eine Universaldrehbank verwendet wird, in einem Bereich von 735 W bis 1.470 W. Aus den obenbeschriebenen Gründen wird deutlich, dass der Leistungsverbrauch dieser kompakten Drehbank 1000 gemäß der vorliegenden Erfindung in einem Bereich von etwa 1/500 bis 1/1000 desjenigen der Universaldrehbank liegt.
  • Es ist zu beachten, dass, obwohl das Stellglied 100 gemäß der Ausführungsform 1 in der Ausführungsform 4 verwendet wurde, diese Ausführungsform nicht auf diese Konfiguration beschränkt ist. Zum Beispiel kann das in Ausführungsform 3 beschriebene rotierende Stellglied 300 verwendet werden, um einen Trennungstisch zu bilden. Auch diese kompakte Drehbank gemäß der vorliegenden Erfindung kann nicht nur in industriellen Maschinen wie z. B. einem Bearbeitungszentrum oder einem Roboter verwendet werden, sondern auch in elektrischen Haushaltsgeräten.
  • Wie oben beschrieben worden ist, umfasst das Stellglied gemäß der vorliegenden Erfindung eine erste Verschiebungseinheit, die eine Position desselben bezüglich einer Führung durch Verschieben fixieren oder ändern kann; eine zweite Verschiebungseinheit, die mit der ersten Verschiebungseinheit verbunden ist und in wenigstens einer Richtung verschiebt, die verschieden ist von derjenigen, in der die erste Verschiebungseinheit verschiebt; gekennzeichnet durch einen Halter, der die zweite Verschiebungseinheit auf der Führung mit einer Kraft hält, die schwächer ist als eine Kraft der ersten Verschiebungseinheit zum Fixieren der ersten Verschiebungseinheit bezüglich der Führung, und der sich entsprechend der Verschiebung der zweiten Verschiebungseinheit bewegt, so dass der Halter durch Verschieben der zweiten Verschiebungseinheit in dem Zustand, in dem die erste Verschiebungseinheit fixiert ist, bewegt werden kann. Nachdem der Halter bewegt worden ist, kann die erste Verschiebungseinheit in die Ausgangsposition zurückgestellt werden, woraufhin die zweite Verschiebungseinheit in die Ausgangsposition zurückgestellt wird. Aus diesem Grund ist eine Bewegung durch zwei Verschiebungseinheiten möglich. Ferner kann das Stellglied leicht konstruiert werden, so dass es leicht in seine Größe reduziert werden kann, wobei das Ansteuerungsverfahren ebenfalls einfach ist. Ferner sind nur zwei Verschiebungseinheiten erforderlich, so dass eine für die Verschiebung benötigte Energiemenge klein ist.
  • Das Stellglied gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst eine Führung, in der zwei Führungsschienen in einem gewissen Abstand voneinander vorgesehen sind; eine erste Verschiebungseinheit, die zwischen den Führungsschienen dieser Linearführung vorgesehen ist und zwischen den Führungsschienen durch Verschiebung fixiert wird; eine zweite Verschiebungseinheit, die in einer Richtung senkrecht zur Verschiebungsrichtung dieser ersten Verschiebungseinheit verschiebt; und einen Halter, der die erste Verschiebungseinheit mit der zweiten Verschiebungseinheit verbindet, die zweite Verschiebungseinheit zwischen den Führungsschienen mit einer Kraft hält, die schwächer ist als eine Kraft der ersten Verschiebungseinheit zum Fixieren, und sich gemäß der Verschiebung der zweiten Verschiebungseinheit bewegt, so dass der Halter durch Verschieben der zweiten Verschiebungseinheit in dem Zustand, in dem die erste Verschiebungseinheit fixiert ist, bewegt werden kann. Nachdem der Halter bewegt worden ist, kann die erste Verschiebungseinheit in die Ausgangsposition zurückgestellt werden, woraufhin die zweite Verschiebungseinheit in die Ausgangsposition zurückgestellt wird. Aus diesem Grund ist eine Bewegung durch zwei Verschiebungseinheiten möglich. Ferner kann das Stellglied leicht konstruiert werden, so dass es leicht in seine Größe reduziert werden kann, wobei das Ansteuerungsverfahren ebenfalls einfach ist. Ferner sind nur zwei Verschiebungseinheiten erforderlich, so dass eine für die Verschiebung benötigte Energiemenge klein ist.
  • Im Stellglied gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Haltekraft des Halters eingestellt durch Einstellen eines Raumes zwischen den Führungsschienen der Linearführung. Diese Haltekraft bewirkt die Bewegung, so dass die Bewegungscharakteristiken des Stellgliedes frei eingestellt werden können.
  • Im Stellglied gemäß der vorliegenden Erfindung ist ein elastischer Körper auf wenigstens einer der Führungsschienen vorgesehen, um die Führungsschiene mit einer Druckkraft zu beaufschlagen. Mit dieser Konfiguration kann die Haltekraft des Halters leicht eingestellt werden.
  • Im Stellglied gemäß der vorliegenden Erfindung ist eine Verschiebungseinheit auf wenigstens einer der Führungsschienen vorgesehen, um auf die Führungsschiene durch Verschiebung dieser Verschiebungseinheit eine Druckkraft auszuüben. Da sich die Verschiebungseinheit unmittelbar ver schieben kann, kann eine Haltekraft des Halters unmittelbar eingestellt werden.
  • Das Stellglied gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst eine Zyklusverschiebungs-Befehlseinheit zum Ausgeben eines zyklischen Verschiebungsbefehls an die erste Verschiebungseinheit und ferner zum Ausgeben eines zyklischen Verschiebungsbefehls mit einer Phasen, die verschieden ist vom zyklischen Verschiebungsbefehl für die erste Verschiebungseinheit, an die zweite Verschiebungseinheit; und eine Bewegungsratenauflösungs-Änderungseinheit zum Ändern einer Auflösung für eine Bewegungsrate durch Ändern der Phasendifferenz, so dass eine feine Verschiebungssteuerung mit einer beliebigen Auflösung durchgeführt werden kann.
  • Das Stellglied gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst eine Zyklusverschiebungs-Befehlseinheit zum Ausgeben eines zyklischen Verschiebungsbefehls an die erste Verschiebungseinheit und ferner zum Ausgeben eines zyklischen Verschiebungsbefehls mit einer Phasen, die verschieden ist vom zyklischen Verschiebungsbefehl für die erste Verschiebungseinheit, an die zweite Verschiebungseinheit; und eine Bewegungsgeschwindigkeits-Änderungseinheit zum Ändern einer Bewegungsgeschwindigkeit durch Ändern des Zyklus, so dass leicht eine beliebige Bewegungsgeschwindigkeit erhalten werden kann.
  • Das Verfahren zum Ansteuern eines Stellgliedes gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst einen Schritt zum Fixieren einer Position desselben gegenüber einer Führungsschiene durch Verschieben der ersten Verschiebungseinheit; einen Schritt des Verschiebens der zweiten Verschiebungseinheit und ferner des Bewegens des Halters im Zusammenhang mit der Verschiebung der zweiten Verschiebungseinheit; einen Schritt des Zurückstellens der ersten Verschiebungseinheit in die Ausgangsposition; und einen Schritt des Zurückstellens der zweiten Verschiebungseinheit in die Ausgangsposition und des Bewegens der ersten Verschiebungseinheit im Zusammenhang mit der Rückkehrbewegung der zweiten Verschiebungseinheit. Mit dieser Konfiguration ist eine Bewegung durch zwei Verschiebungseinheiten möglich. Ferner ist das Ansteuerungsverfahren sehr einfach.
  • Das Verfahren zum Ansteuern eines Stellgliedes gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst einen Schritt des Verschiebens der zweiten Verschiebungseinheit und ferner des Bewegens der ersten Verschiebungseinheit im Zusammenhang mit der Verschiebung; einen Schritt des Fixierens einer Position derselben gegenüber den Führungsschienen durch Verschieben der ersten Verschiebungseinheit; einen Schritt des Zurückstellens der zweiten Verschiebungseinheit in die Ausgangsposition und ferner des Bewegens des Halters im Zusammenhang mit der Rückkehrbewegung der zweiten Verschiebungseinheit; und einen Schritt des Zurückstellens der ersten Verschiebungseinheit in die Ausgangsposition. Mit dieser Konfiguration ist eine Bewegung durch zwei Verschiebungseinheiten möglich. Ferner ist das Ansteuerungsverfahren sehr einfach.
  • Das Verfahren zur Ansteuerung eines Stellgliedes gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst einen Schritt des Ausgebens eines zyklischen Verschiebungsbefehls an die erste Verschiebungseinheit; und einen Schritt des Ausgebens eines zyklischen Verschiebungsbefehls mit einer Phasendifferenz gegenüber dem zyklischen Verschiebungsbefehls, der an die erste Verschiebungseinheit ausgegeben wird, an die zweite Verschiebungseinheit. Mit dieser Konfiguration ist eine Bewegung durch zwei Verschiebungseinheiten möglich. Ferner ist das Ansteuerungsverfahren sehr einfach.
  • Das Verfahren zur Ansteuerung eines Stellgliedes gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst einen Schritt des Änderns einer Auflösung für eine Bewegungsrate durch Ändern der Phasendifferenz. Mit dieser Konfiguration kann eine feine Verschiebungssteuerung mit einer beliebigen Auflösung durchgeführt werden.
  • Das Verfahren zur Ansteuerung eines Stellgliedes gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst einen Schritt der Änderung einer Bewegungsgeschwindigkeit durch Ändern des Zyklus. Mit diesem Schritt kann eine beliebige Bewegungsgeschwindigkeit einfach erhalten werden.
  • Das computerlesbare Aufzeichnungsmedium gemäß der vorliegenden Erfindung zeichnet ein Programm auf, das einen Computer veranlasst, ein Stellgliedansteuerungsverfahren wie oben beschrieben auszuführen. Wenn ein Stellglied mit dem obenbeschriebenen Programm angesteuert wird, ist eine Bewegung durch zwei Verschiebungseinheiten möglich. Ferner ist das Ansteuerungsverfahren einfach. Außerdem kann eine feine Verschiebungssteuerung mit einer beliebigen Auflösung bewerkstelligt werden, wobei eine beliebige Bewegungsgeschwindigkeit leicht erreicht werden kann.
  • Die kompakte Werkzeugmaschine gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet das Stellglied, wie oben beschrieben worden ist, als Bewegungseinheit, so dass die Größe der gesamten Werkzeugmaschine reduziert werden kann.
  • Die kompakte Werkzeugmaschine gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet ein Stellglied, wie oben beschrieben worden ist, als Bewegungseinheit, um wenigstens die Spindelseite mit der Bewegungseinheit zu bewegen, wobei die Auflageschienenseite fixiert ist. Mit dieser Konfiguration kann die Bodenfläche kleiner gemacht werden im Vergleich zu derjenigen einer Werkzeugmaschine, in der die Auflageschienenseite bewegt wird.
  • Die vorangehende Beschreibung ist lediglich beispielhaft, wobei für Fachleute klar ist, dass Modifikationen vorgenommen werden können, ohne vom Umfang der beigefügten Ansprüche abzuweichen.

Claims (15)

  1. Stellglied, umfassend: eine erste Verschiebungseinheit (3a, 33), die eine Position desselben bezüglich einer Führung (2a, 2b) durch Verschieben fixieren oder ändern kann; eine zweite Verschiebungseinheit (34), die mit der ersten Verschiebungseinheit (3a, 33) verbunden ist und in wenigstens einer Richtung verschiebt, die verschieden ist von derjenigen, in der die erste Verschiebungseinheit (3a, 33) verschiebt; gekennzeichnet durch einen Halter (3b), der die zweite Verschiebungseinheit (34) auf der Führung (2a, 2b) mit einer Kraft hält, die schwächer ist als eine Kraft der ersten Verschiebungseinheit (3a, 33) zum Fixieren der ersten Verschiebungseinheit (3a, 33) bezüglich der Führung (2a, 2b), und der sich entsprechend der Verschiebung der zweiten Verschiebungseinheit (34) bewegt.
  2. Stellglied nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß: die Führung zwei Führungsschienen (2a, 2b) umfaßt, die voneinander beabstandet sind, um eine Linearführung bereitzustellen; die zweite Verschiebungseinheit (34) in einer Richtung senkrecht zur Verschiebungsrichtung der ersten Verschiebungseinheit (33) verschiebt; und der Halter (3b) die zweite Verschiebungseinheit (34) zwischen den Führungsschienen (2a, 2b) mit einer Kraft hält, die schwächer ist als die von der ersten Verschiebungseinheit (33) bereitgestellte Kraft.
  3. Stellglied nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch: eine Zyklusverschiebung-Befehlseinheit, die einen zyklischen Verschiebungsbefehl an die erste Verschiebungseinheit (33) ausgibt und ferner einen zyklischen Verschiebungsbefehl mit einer Phase, die sich von dem an die erste Verschiebungseinheit (33) ausgegebenen zyklischen Verschiebungsbefehl unterscheidet, an die zweite Verschiebungseinheit (34) ausgibt; eine Bewegungsratenauflösung-Änderungseinheit zum Ändern einer Auflösung für eine Bewegungsrate durch Ändern der Phasendifferenz.
  4. Stellglied nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch: eine Zyklusverschiebung-Befehlseinheit, die einen zyklischen Verschiebungsbefehl an die erste Verschiebungseinheit (33) ausgibt und ferner einen zyklischen Verschiebungsbefehl mit einer Phase, die sich von dem an die erste Verschiebungseinheit (33) ausgegebenen zyklischen Verschiebungsbefehl unterscheidet, an die zweite Verschiebungseinheit (34) ausgibt; und eine Bewegungsgeschwindigkeit-Änderungseinheit zum Ändern einer Bewegungsgeschwindigkeit durch Ändern des Zyklus.
  5. Stellglied nach Anspruch 2, oder nach Anspruch 3 oder 4 in Abhängigkeit von Anspruch 2, gekennzeichnet durch eine Haltekrafteinstellvorrichtung (4) zum Einstellen einer Haltekraft des Halters (3b) durch Einstellen eines Abstands zwischen den Führungsschienen (2a, 2b) der Linearführung.
  6. Stellglied nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Haltekrafteinstellvorrichtung (4) eine Haltekraft des Halters (3b) mittels eines elastischen Körpers (201) einstellt, der an wenigstens einer der Führungsschienen (2b) vorgesehen ist, um eine Druckkraft auf die Führungsschiene (2b) auszuüben.
  7. Stellglied nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Haltekrafteinstellvorrichtung eine Haltekraft des Halters (3b) mittels einer Verschiebungseinheit einstellt, die an wenigstens einer der Führungsschienen (2b) vorgesehen ist, um eine Druckkraft auf die Führungsschiene (2b) auszuüben durch Verschieben dieser Verschiebungseinheit, um eine Kraft in derselben zu erzeugen.
  8. Verfahren zum Ansteuern eines Stellgliedes, das eine erste Verschiebungseinheit (3a, 33), die eine Position desselben bezüglich einer Führung (2a, 2b) durch Verschieben fixieren oder ändern kann, eine zweite Verschiebungseinheit (34), die mit der ersten Verschiebungseinheit (3a, 33) verbunden ist und in wenigstens einer Richtung verschiebt, die verschieden ist von derjenigen, in der die erste Verschiebungseinheit (3a, 33) verschiebt, und einen Halter (3b), der die zweite Verschiebungseinheit (34) auf der Führung (2a, 2b) mit einer Kraft hält, die schwächer ist als eine Kraft der ersten Verschiebungseinheit (3a, 33), um die erste Verschiebungseinheit (3a, 33) bezüglich der Führung (2a, 2b) zu fixieren, und der sich gemäß der Verschiebung der zweiten Verschiebungseinheit (34) bewegt, umfaßt; wobei das Verfahren gekennzeichnet ist durch die Schritte: Fixieren einer Position des Stellgliedes bezüglich der Führung (2a, 2b) durch Verschieben der ersten Verschiebungseinheit (3a, 33); Verschieben der zweiten Verschiebungseinheit (34) und ferner Bewegen des Halters (3b) im Zusammenhang mit der Verschiebung der zweiten Verschiebungseinheit (34); Zurücksetzen der ersten Verschiebungseinheit (3a, 33) in ihre Ausgangsposition; und Zurücksetzen der zweiten Verschiebungseinheit (34) in ihre Ausgangsposition und Bewegen der ersten Verschiebungseinheit (3a, 33) im Zusammenhang mit der Rücksetzbewegung der zweiten Verschiebungseinheit (34).
  9. Verfahren nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch die Verschiebung der zweiten Verschiebungseinheit (34) vor der Verschiebung der ersten Verschiebungseinheit (3a, 33), um somit die erste Verschiebungseinheit (3a, 33) im Zusammenhang mit der Verschiebung der zweiten Verschiebungseinheit (34) zu bewegen, und Zurücksetzen der zweiten Verschiebungseinheit (34) in ihre Ausgangsposition, um somit den Halter (3b) im Zusammenhang mit der Rücksetzbewegung der zweiten Verschiebungseinheit (34) vor dem Zurücksetzen der ersten Verschiebungseinheit in seine Ausgangsposition zu bewegen.
  10. Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Verschiebungseinheit (34) in einer Richtung senkrecht zur Verschiebungsrichtung der ersten Verschiebungseinheit (3a, 33) verschoben wird.
  11. Verfahren nach irgendeinem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß eine Phasendifferenz zwischen einem Zyklusverschiebung-Befehl, der die Verschiebung der ersten Verschiebungseinheit (3a, 33) veranlaßt, und einem zweiten Zyklusverschiebung-Befehl, der die Verschiebung der zweiten Verschiebungseinheit (34) veranlaßt, verändert wird, um somit eine Änderung einer Auflösung einer Bewegungsrate des Stellgliedes zu veranlassen.
  12. Verfahren nach irgendeinem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß ein Zyklus eines Zyklusverschiebung-Befehls, der die Verschiebung der ersten Verschiebungseinheit (3a, 33) veranlaßt, und eines Zyklusverschiebung-Befehls, der die Verschiebung der zweiten Verschiebungseinheit (34) veranlaßt, verändert wird, um somit eine Änderung einer Geschwindigkeit zu veranlassen, mit der das Stellglied relativ zur Führung (2a, 2b) bewegt wird.
  13. Computerlesbares Aufzeichnungsmedium, dadurch gekennzeichnet, daß es ein Programm enthält, daß dafür ausgelegt ist, einen Computer so zu steuern, daß ein Stellglied nach Anspruch 1 veranlaßt wird, entsprechend einem Ansteuerverfahren nach Anspruch 8 zu arbeiten.
  14. Kompakte Werkzeugmaschine (1000), dadurch gekennzeichnet, daß sie ein Stellglied nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 7 umfaßt.
  15. Kompakte Werkzeugmaschine (1000) nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Stellglied dafür ausgelegt ist, eine Bewegung einer Spindeleinheit (1100) relativ zu einer Auflageschieneneinheit (1400) der Werkzeugmaschine (1000) zu bewirken.
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