Gebiet der Erfindung
-
Diese Erfindung betrifft einen Schneider zum Schneiden von Werkstücken mit
Ultraschallvibrationen.
Beschreibung des Standes der Technik
-
Ein Ultraschallvibrationsschneider ist bekannt, in dem ein Schneidewerkzeug, wie eine
Plättchenschneideklinge, ein Diamantschneider oder ein Sägeblatt, integral in einem Resonator
vorgesehen ist, der einen Resonanzzustand mit einer Ultraschallvibration mit einer
vorbestimmten Frequenz ausweist, als ein Werkzeug zum Schneiden eines Halbleiterchips, wie ein
Halbleiterelement, von einem Wafer zur Produktion eines Halbleiters, eine Metallfolie, eine
gedruckte Schaltung oder ein synthetisches Harzsubstrat.
-
Der Ultraschallvibrationsschneider des Standes der Technik ist jedoch unwirtschaftlich, da
das Schneidewerkzeug nicht ausgetauscht werden kann, weil das Schneidewerkzeug integral
in dem Resonator vorgesehen ist.
-
Die französische Patentanmeldung FR 2 735 412 (veröffentlicht am 20. Dezember 1996)
betrifft eine Schneideeinrichtung zum Schneiden mit Ultraschallvibrationen. Sie enthält einen
im wesentlichen zylindrischen Resonator, in dem ein scheibenförmiges Schneidewerkzeug
installiert ist, das während des Betriebs rotiert. Der Resonator ist an einen zentralen Bereich
angekoppelt, der sich am Punkt minimaler Amplitude einer longidutinalen
Ultraschallvibration oder nahe diesem Punkt befindet.
-
Die japanische Patentanmeldung 07-132493 offenbart eine Vorrichtung zum Schneiden von
Brot und dergleichen. Um die Biegeschwingungen einer Vibrationsplatte zu vermeiden, ist sie
austauschbar an dem Bereich der Spitze eines Horns mit einer Schraube befestigt und das
Horn ist mit einem Ultraschallvibrator verbunden, der von einem externen Oscillator
angetrieben wird.
Zusammenfassung der Erfindung
-
Um dieses Problem zu bewältigen, ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, einen
wirtschaftlich vorteilhaften Ultraschallvibrationsschneider zur Verfügung zu stellen, der das
Austauschen eines Schneidewerkezeugs gestattet.
-
Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung, ist ein
Ultraschallvibrationsschneider gemäß Anspruch 1 zum Schneiden eines Werkstücks mit einer Schneideeinrichtung, die
an einem Resonator installiert ist, der einen Resonanzzustand mit einer Ultraschallvibration
mit vorbestimmter Frequenz aufweist, vorgesehen. Da das Schneidewerkzeug an dem Punkt
minimaler Aplitude oder in der Nähe desselben installiert ist, können Vibrationen in einer
Schneiderichtung effizient an das Schneidewerkzeug gegeben werden, so daß das Schneiden
effizient ausgeführt werden kann.
-
Da der Resonator einen Abschnitt großen Durchmessers und einen Abschnitt mit
Außengewinde hat, der koaxial von einer Stirnfläche des Abschnitts großen Durchmessers vorsteht,
das Schneidewerkzeug, das eine Schneideklinge an einem scheibenförmigen
Umfangsabschnitt desselben besitzt, an dem Außengewindeabschnitt befestigt und eine Mutter an dem
Außengewindeabschnitt, der von diesem Schneidewerkzeug aus vorsteht, befestigt ist, um das
Schneidewerkzeug abnehmbar in einer solchen Art zu installieren, daß das Schneidewerkzeug
an dem Punkt minimaler Vibrationsamplitude des Resonators durch die Mutter und den
Abschnitt großen Durchmessers plaziert ist, kann das Schneidewerkzeug fest mit der Haltekraft
der Mutter fixiert werden.
-
Da weiterhin das Schneidewerkzeug abnehmbar mit der Mutter in einer solchen Weise
installiert ist, daß es sich an dem Punkt minimaler Vibrationsamplitude befindet, kann das
Schneidewerkzeug leicht durch Lösen der Mutter von dem Außengewindeabschnitt ausgetauscht
werden.
-
Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein
Ultraschallvibrationsschneider gemäß Anspruch 2 zum Schneiden von Werkstücken mit zwei Schneidewerkzeugen
vorgesehen, die an einem Resonator installiert sind, der einen Resonanzzustand mit einer
Ultraschallvibration mit vorbestimmter Frequenz aufweist. Da die zwei Schneidewerkzeuge
abnehmbar in einem gleichen Abstand von dem Punkt minimaler Vibrationsamplitude des
Resonators installiert sind, können Schnitte mit beiden Schneidewerkzeugen ausgeführt werden.
-
Da die beiden Schneidewerkzeuge, die von gleicher Form sind, mit Muttern mit einem
bestimmten Abstand dazwischen installiert sind, können die Schneidewerkzeuge einfach durch
Entfernen der Muttern von den Außengewindeabschnitten ausgetauscht werden.
-
Wenn weiterhin eine Mehrzahl von Schneidewerkzeugen derselben Form mit Muttern mit
bestimmtem Abstand dazwischen installiert sind, können Teile mit vorbestimmter Breite aus
einem Werkstück geschnitten werden.
-
Die vorhergehend erwähnten und weitere Ziele, Eigenschaften und Vorteile der Erfindung
werden aus der folgenden Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen
klarer.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
-
Fig. 1 zeigt eine erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wobei Fig. 1(a) eine
perspektivische Ansicht der äußeren Erscheinungsform der Ausführungsform ist, Fig. 1(b)
eine auseinandergezogene Schnittansicht ist und Fig. 1(c) ein Wellenformdiagramm ist, das
die Beziehung mit der Vibrationswellenform zeigt.
-
Fig. 2 zeigt eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wobei Fig. 2(a) eine
perspektivische Ansicht der äußeren Erscheinungsform der Ausführungsform ist, Fig. 2(b)
eine auseinandergezogene Schnittansicht ist und Fig. 2(c) ein Wellenformdiagramm ist, das
die Beziehung mit der Vibrationswellenform zeigt.
Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
-
Fig. 1 zeigt eine erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, in der ein einziges
Diamantschneidewerkzeug 2, das in einer Richtung senkrecht zu einer zentralen Achse L
vorsteht, an einem einzigen Resonator 1 mit einer einzelnen Mutter 3 installiert ist, der im
wesentlichen zylindrisch geformt ist und eine zentrale Achse L besitzt. Der Resonator 1 besitzt
einen Abschnitt großen Durchmessers 1a mit einem kleineren Durchmesser als der des
Diamantschneidewerkzeugs 2, einen Abschnitt kleineren Durchmessers 1b, der koaxial an einer
Stirnfläche des Abschnitts größeren Durchmessers 1a vorgesehen ist, einen Abschnitt mit
Außengewinde 1c, der koaxial an der anderen Stirnseite des Abschnitts mit größerem
Durchmesser 1a vorgesehen ist und in eine Durchgangsbohrung 2a des Diamantschneidewerkzeugs
2 eingepaßt ist, einen Abschnitt kleineren Durchmessers 1d, der koaxial an einer Stirnseite
des Abschnitts mit Außengewinde 1c vorgesehen ist, und Schraublöcher 1e und 1f, die mittig
in den Stirnflächen der Abschnitte kleineren Durchmessers 1b und 1d geformt sind. Ein
kommerzielles Produkt mit einer Durchgangsbohrung 2a in der Mitte wird als
Diamantschneidewerkzeug 2 benutzt. Die Mutter 3 hat einen Abschnitt mit Gewinde 3a, um an dem
Außengewindeabschnitt 1b des Resonators 1 befestigt zu werden.
-
In dieser Ausführung ist die Durchgangsbohrung 2a des Diamantschneidewerkzeugs 2 an dem
Außengewindeabschnitt 1c des Resonators 1 befestigt, die Mutter 3 ist an dem
Außengewindeabschnitt 1c, der aus der Durchgangsbohrung 2a hervorsteht, befestigt, und ein
Befestigungswerkzeug ist in einem von nicht gezeigten Werkzeuglöchern eingepaßt, die in die
Oberfläche des äußeren Umfangs der Abschnitte mit kleinerem Durchmesser 1b und 1d des
Resonators 1 geformt sind, um die Mutter 3 durch Drehen in eine Befestigungsrichtung fest
anzuziehen, wobei das einzelne Diamantschneidewerkzeug 2 in engen Kontakt mit dem Abschnitt
größeren Durchmessers 1a des Resonators 1 in einer solchen Art gebracht wird, daß es
zwischen dem Abschnitt mit größerem Durchmesser 1a und der Mutter 3 koaxial eingeschlossen
ist und ein äußerer Umfangsabschnitt des Diamantschneidewerkzeugs 2, das ein Schneideblatt
mit darauf haftendem Diamantstaub ist, vom Resonator 1 nach außen vorsteht. In diesem
zusammengesetzten Ultraschallvibrationsschneider ist das Ausgabeende eines Transducers, der
ein elektroakustischer Transducer oder ein Elektrovibrations-Transducer ist, der aus einem
piezoelektrischen oder magnetostriktiven Element hergestellt ist, das elektrische in
mechanische Energie umwandelt, die durch Erzeugung vertikaler Ultraschallvibrationen mit
vorbestimmter Frequenz mit von einem nicht gezeigten Ultraschallgenerator zur Verfügung
gestellter
Leistung ausgegeben wird, koaxial am Abschnitt kleineren Durchmessers 1b des
Resonators 1 mit dem Schraubloch 1e im Resonator 1 verbunden, wobei ein nicht gezeigtes
Schraubloch in dem Ausgangsende des Transducers ausgebildet ist und nicht gezeigte
kopflosen Schrauben in diese Schraublöcher eingeschraubt werden. Dieser Resonator 1 ist wie ein
Stab aus einem Spezialstahl, wie SKD11 oder dergleichen, hergestellt und unter
Vakuumatmosphäre gehärtet oder er ist als Stab aus einem gesinterten Metall hergestellt. Der Resonator
1 ist selbst ein Ultraschallhorn, welches das Diamantschneidewerkzeug 2 unter
Ultraschallvibrationen setzt, die von dem nicht gezeigten, daran befestigten Transducer übertragen werden,
und besitzt eine Länge, die gleich der halben Wellenlänge von dem Punkt maximaler
Vibrationsamplitude f1 zu dem Punkt maximaler Vibrationsamplitude f3, wie in Fig. 1(c) gezeigt,
ist, während das Diamantschneidewerkzeug 2 am Resonator 1 in einer solchen Art installiert
ist, daß es zwischen dem Resonator 1 und der Mutter 3 eingeschlossen ist, wenn der
Resonator 1 vom Transducer aus gesehen wird. Der Punkt minimaler Amplitude f2 befindet sich in
einer Zwischenposition der Dicke des an dem Resonator 1 befestigten
Diamantschneidewerkzeugs 2. In diesem Fall bilden der Abschnitt großen Durchmessers 1a und der Abschnitt mit
dem Außengewinde 1c des Resonators 1 und die Mutter 3 die Befestigungseinheit A der
vorliegenden Erfindung.
-
Gemäß dem Aufbau dieser Ausführungsform kann, da das Diamantschneidewerkzeug 2
zwischen dem Resonator 1 und der Mutter 3 eingeschlossen ist, das Diamantschneidewerkzeug 2
mit Leichtigkeit durch Einführen des Befestigungswerkzeugs in das obere, nicht gezeigte
Werkzeugloch, das in dem Resonator 1 ausgebildet ist, und durch Drehen der Mutter in die
Öffnungsrichtung ausgetauscht werden. Daher ist diese Ausführung wirtschaftlich vorteilhaft.
-
Der nicht gezeigte Transducer wird mit einem Ende dieses zusammengesetzten
Ultraschallvibrationsschneiders verbunden, und dann wird diese Baugruppe an einem Halteabschnitt einer
Ultraschallvibrationsschneidemaschine befestigt, wobei eine oder beide Seiten davon von
dem Halteabschnitt getragen werden, so daß sie, durch einen nicht gezeigten Motor
angetrieben, gedreht wird oder sich zusammen mit der horizontalen Bewegung des Halters dreht.
Wenn der Resonator 1 mit vertikalen Ultraschallvibrationen durch Anlegen von Leistung an
den Transducer in Resonanz gebracht wird, wie in Fig. 1(c) gezeigt, werden in dem Resonator
1 alternierend Schwingungen erzeugt, die durch die virtuellen Linien L1 und L2 angedeutet
sind, die sich im Punkt minimaler Amplitude f2 unter einem rechten Winkel kreuzen, und
miteinander in Resonanz stehen, wobei die in den Punkten maximaler Amplitude f1 und f3
befindlichen Abschnitte des Resonators 1 in einer durch den Pfeil X1 in Fig. 1(c) gezeigten
Richtung vibrieren und das Schneideblatt des Diamantschneidewerkzeugs 2, das in dem Punkt
minimaler Vibrationsamplitude f2 angeordnet ist, in einer durch den Pfeil Y1 in Fig. 1(c)
angezeigten Richtung vibriert, die senkrecht zu der von dem Pfeil X1 gezeigten Richtung steht.
Der äußere Umfangsabschnitt des Diamantschneidewerkzeugs 2 wird in Kontakt mit einem
zu schneidenden Teil eines Werkstücks, wie z. B. ein Wafer, eine Metallfolie, eine gedruckte
Schaltung oder ein synthetisches Harzsubstrat, durch die oben erwähnte vom Motor
angetriebene Drehung oder durch die Drehung zusammen mit der horizontalen Bewegung des Halters
gebracht, um einen Halbleiterchip, wie ein Halbleiterelement, von einem Wafer, eine
Metallfolie, eine gedruckte Schaltung oder ein synthetisches Harzsubstrat zu schneiden.
-
Fig. 2 zeigt eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Zwei
Diamantschneidewerkzeuge 11 und 12 der gleichen Form, die in einer Richtung senkrecht zur zentralen
Achse L vorstehen, sind an der äußeren Umfangsoberfläche eines einzigen Resonators 10, der
im wesentlichen zylindrisch geformt ist und die zentrale Achse L aufweist, mit zwei Muttern
13 und 14 in einer solchen Art installiert, daß sich ein vorbestimmter Abstand zwischen den
Schneidewerkzeugen 11 und 12 befindet. Der Resonator 10 besitzt einen Abschnitt großen
Durchmessers 10a, der einen kleineren Durchmesser als jenen der
Diamantschneidewerkzeuge 11 und 12 besitzt, Abschnitte mit Außengewinde 10b und 10c, zum Einpassen in die
Durchgangsbohrungen 11a und 12a, die in die Diamantschneidewerkzeuge 11 und 12
ausgebildet sind, die koaxial an beiden Stirnflächen des Abschnitts großen Durchmessers 10
vorgesehen sind, Abschnitte mit kleinem Durchmesser 10d und 10e, die koaxial an den Stirnflächen
der Abschnitte mit Außengewinde 1 Ob und 1 Oc vorgesehen sind, und Schraublöcher 10f und
10g, die in der Mitte der Stirnflächen der Abschnitte mit kleinem Durchmesser 10d bzw. 10e
ausgebildet sind.
-
Kommerzielle Produkte mit Durchgangsbohrungen 11a und 12a in deren Mitte werden als die
Diamantschneidewerkzeuge 11 und 12 benutzt. Die Muttern 13 und 14 besitzen
Gewindeabschnitte 13a und 14a, um auf die Außengewindeabschnitte 10b bzw. 10c des Resonators 10
aufgesetzt zu werden.
-
In dieser Ausführungsform wird die Durchgangsbohrung 11a des Diamantschneidewerkzeugs
11 auf den Außengewindeabschnitt 10b des Resonators 10 gesteckt, die Mutter 13 wird auf
dem Außengewindeabschnitt 10b angebracht, der aus der Durchgangsbohrung 11a hervorsteht,
und ein Befestigungswerkzeug wird in ein nicht gezeigtes Werkzeugloch einführt, das
in die äußere Umfangoberfläche des Abschnitts mit kleinem Durchmesser 10d des Resonators
10 eingeformt ist, um die Mutter 13 durch Drehung in die Befestigungsrichtung fest
anzuziehen. Mittlerweile wird die Durchgangsbohrung 12a des Diamantschneidewerkezeugs 12 auf
dem Außengewindeabschnitt 10c des Resonators 10 angebracht, die Mutter 14 wird an dem
Außengewindeabschnitt 10c, der aus der Durchgangsbohrung 12a vorsteht, angebracht und
ein Befestigungswerkzeug wird in ein nicht gezeigtes Werkzeugloch eingesetzt, das in der
äußeren Umfangsfläche des Abschnitts mit kleinem Durchmesser 10e des Resonators 10
eingeformt ist, um die Mutter 14 durch Drehung in die Befestigungsrichtung fest anzuziehen.
Dadurch werden die beiden Diamantschneidewerkzeuge 11 und 12 in engen Kontakt mit dem
Abschnitt großen Durchmessers 10a des Resonators 10 in einer solchen Art gebracht, daß sie
koaxial zwischen dem Abschnitt großen Durchmessers 10a und den Muttern 13 bzw. 14 mit
einem vorbestimmten Abstand dazwischen eingeschlossen sind, der der Dicke des Abschnitts
großen Durchmessers 10a und den äußeren Umfangsabschnitten der
Diamantschneidewerkzeuge 11 und 12 entspricht, welche Schneideblätter mit daran anhaftenden Diamantstaub sind
und vom Resonator 10 nach außen vorstehen. In diesem zusammengebauten
Ultraschallvibrationsschneider ist das Ausgabeende eines Transducers, der ein elektroakustischer
Transcuder oder ein Elektrovibrations-Transducer ist, der aus einem piezoelektrischen oder
magnetostriktiven Element hergestellt ist, um elektrische Energie in mechanische Energie
umzuwandeln, die durch Erzeugung vertikaler Ultraschallvibrationen vorbestimmter Frequenz mit von
einem nicht gezeigten Ultraschallgenerator zur Verfügung gestellter Leistung ausgegeben
wird, koaxial am Abschnitt kleineren Durchmessers 10d des Resonators 10 mit dem
Schraubloch 10f im Resonator 10 verbunden, wobei ein nicht gezeigtes Schraubloch in dem
Ausgangsende des Transducers ausgebildet ist und nicht gezeigte kopflose Schrauben in diese
Schraublöcher eingeschraubt werden. Dieser Resonator 10 ist als Stab aus einem Spezialstahl,
wie SKD11 oder dergleichen, hergestellt und ist unter Vakuumatmosphäre gehärtet oder als
ein Stab aus einem gesinterten Metall hergestellt. Der Resonator 10 ist selbst ein
Ultraschallhorn, das die Diamantschneidewerkzeuge 11 und 12 unter Ultraschallvibrationen setzt, die
von dem nicht gezeigten, daran befestigten Transducer übertragen werden. Während die
Diamantschneidewerkzeuge 11 und 12 am Resonator 10 in einer solchen Weise installiert sind,
daß sie zwischen dem Resonator 10 und den Muttern 13 bzw. 14 eingeschlossen sind, wenn
der Resonator 10 vom Transducer aus gesehen wird, werden, wie in Fig. 2(c) gezeigt, im
Resonator 10 alternierend Vibrationen erzeugt, die durch virtuelle Linien L11 und L12 angezeigt
sind, die sich in dem Punkt minimaler Vibrationsamplitude f12 unter einem rechten Winkel
kreuzen, und miteinander in Resonanz stehen, wobei der Resonator 10 eine Länge aufweist,
die der halben Wellenlänge von dem Punkt maximaler Vibrationsamplitude f11 bis zum
Punkt maximaler Vibrationsamplitude f13 entspricht, der Punkt minimaler Amplitude f12
sich in einer mittleren Position der Dicke des Abschnitts großen Durchmessers 10a des
Resonators 10 befindet und die zwei Diamantschneidewerkeuge f12 sich an beiden Seiten des
Punktes minimaler Vibrationsamplitude 11 und 12 im gleichen Abstand davon befinden. In
diesem Fall bilden der Abschnitt großen Durchmessers 10a und die Abschnitte mit dem
Außengewinde 10b und 10c des Resonators 10 und die Muttern 13 und 14 die
Befestigungseinheit B der vorliegenden Erfindung.
-
Gemäß dem Aufbau dieser Ausführungsform wird, da die zwei Diamantschneidewerkzeuge
11 und 12 am Resonator 10 mit den Muttern 13 und 14 installiert sind, ein
Befestigungswerkzeug in ein oder beide der nicht gezeigten Werkzeuglöcher eingesetzt, die in die äußeren
Umfangsoberflächen der Abschnitte kleineren Durchmessers 10d und 10e des Resonators 10
eingeformt sind, und die Muttern 13 und 14 werden in eine Öffnungsrichtung gedreht, um die
Diamantschneidewerkzeuge 11 und 12 leicht auszutauschen. Daher ist sie wirtschaftlich
vorteilhaft.
-
Der nicht gezeigte Transducer wird mit einem Ende dieses zusammengesetzten
Ultraschallvibrationsschneiders verbunden und dann wird diese Baugruppe an einem Halteabschnitt einer
Ultraschallvibrationsschneidemaschine befestigt, wobei eine oder beide Seiten davon von
dem Halteabschnitt getragen werden, so daß sie von einem nicht gezeigten Motor angetrieben
gedreht wird oder sich zusammen mit der horizontalen Bewegung des Halters dreht. Wenn
der Resonator 10 mit vertikalen Ultraschallschwingungen durch Anlegen von Leistung an den
Transducer in Resonanz gebracht wird, wie in Fig. 2(c) gezeigt, vibrieren die in den Punkten
maximaler Amplitude f11 und f13 befindliche Abschnitte des Resonators 10 in einer durch
den Pfeil X2 in Fig. 2(c) gezeigten Richtung und die Schneideblätter der
Diamantschneidewerkzeuge 11 und 12, die sich in der Nachbarschaft zum Punkt minimaler
Vibrationsamplitude f12 befinden, vibrieren in einer durch einen Pfeil Y2 in Fig. 2(c) gezeigten Richtung, die
senkrecht zu der von dem Pfeil X2 gezeigten Richtung ist. Die äußeren Umfangsabschnitte
der Diamantschneidewerkzeuge 11 und 12 werden in Kontakt mit zu schneidenden Teilen
eines Werkstücks, wie z. B. ein Wafer, eine Metallfolie, eine gedruckte Schaltung oder ein
synthtisches Harzsubstrat, durch die oben erwähnte vom Motor angetriebene Drehung oder
durch die Drehung zusammen mit der horizontalen Bewegung des Halters gebracht, um einen
Halbleiterchip, wie ein Halbleiterelement, von einem Wafer, eine Metallfolie, eine gedruckte
Schaltung oder ein synthetisches Harzsubstrat in einer bestimmten Breite zu schneiden.
-
In dieser zweiten Ausführungsform ist das Schneiden mit einer anderen als der vorbestimmten
Breite wie in der ersten Ausführung z. B. durch Benutzung des Schneidewerkzeugs 11
möglich. In diesem Fall, wenn das Material eines Werkstücks weich ist, wie ein synthetischer
Harz mit einer kleinen Vibrationsamplitude, können die Schnitte durch Entfernen des anderen
Schneidewerkszeugs 12 und Anlegen der Mutter 14 ausgeführt werden. Wenn aber das
Material eines Werkstücks hart ist, wie ein Wafer oder eine Metallfolie mit großer
Vibrationsamplitude, muß die Vibrationsamplitude durch ein nicht gezeigtes Dummy-Schneidewerkzeug,
das im wesentlichen dieselbe Masse wie das Schneidewerkzeug 12 besitzt, anstelle des
Schneidewerkzeugs 12 genau ausgeglichen werden. Der Durchmesser des Dummy-
Schneidewerkzeugs wird kleiner als das zum Schneiden benutzte Schneidewerkzeug 11
ausgeführt, um zu verhindern, daß das Dummy-Schneidewerkzeug in Kontakt mit dem
Werkstück kommt, während das Schneidewerkzeug 11 das Werkstück im Kontakt mit dem
Werkstück schneidet, mit dem Ergebnis, daß die Schneideoperation exakt ausgeführt werden kann.
-
Wenn die Vibrationsamplitude groß ist, ist es in der ersten und zweiten Ausführungsform
empfehlenswert, die Dicken in einer radialen Richtung der Muttern 3, 13 und 14 bzw. die
Dicken zwischen den Gewindeabschnitten 3a, 13a und 14a und deren äußeren
Umfangsoberflächen zu reduzieren, um den Verlust an Vibrationsenergie zu verringern. Die
Vibrationsamplitude ist in dem Fall gut ausgeglichen, wenn die Außendurchmesser der Muttern 3, 13 und
14 im wesentlichen gleich den Außendurchmessern der Abschnitte großen Durchmessers 1a
und 10a der Resonatoren 1 und 10 gemacht werden und die Außendurchmesser der
Außengewindeabschnitte 1c, 10b und 10c der Resonatoren 1 und 10 und die Innendurchmesser der
Gewindeabschnitte 3a, 13a und 14a der Muttern 3, 13 und 14 groß ausgeführt werden, um die
Dicke in einer radialen Richtung der Muttern 3, 13 und 14 zu reduzieren.
-
In der ersten und zweiten Ausführung können die Muttern 3, 13 und 14 vor einem Lösen
während eines Schneidprozesses geschützt werden, wenn die Befestigungsrichtungen der Muttern
3, 13 und 14 unter Berücksichtigung der Drehrichtung der Schneidewerkzeuge 2, 11 und 12
während eines Schneideprozesses gewählt werden.
-
In den Fig. 1 und 2 sind die Schneideblätter der Diamantschneidewerkzeuge 2, 11 und 12
einfach mit einem rechteckigen Querschnitt dargestellt. Es ist am gebräuchlichsten, daß diese
Schneideblätter tatsächlich mit einem keilförmigen Querschnitt ausgebildet sind.
-
Wenn eine Plättchenschneideklinge oder ein Sägeblatt anstelle von dem
Diamantschneidewerkzeug 2, 11 und 12 als Schneidewerkzeug entsprechend dem Material des Werkstücks
benutzt werden, können dieselbe Funktion und derselbe Effekt wie bei den vorhergehend
genannten Ausführungsformen erzielt werden.
-
Selbstverständlich können mehrere Konstruktionen, bei denen zwei Schneidewerkzeuge an
beiden Seiten des Abschnitts großen Durchmessers 10a des Resonators 10 mit den Muttern 13
und 14 installiert sind, an der äußeren Umfangsoberfläche des Resonators 10 vorgesehen sein.
Alternativ können selbstverständlich eine Mehrzahl von Konstruktionen, bei denen ein
Schneidewerkzeug an einer Seite des Abschnitts großen Durchmessers 1a des Resonators 1
mit einer Mutter 3 installiert ist, an der äußeren Umfangsoberfläche des Resonators 1
vorgesehen sein.