DE3920726C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3920726C2 DE3920726C2 DE3920726A DE3920726A DE3920726C2 DE 3920726 C2 DE3920726 C2 DE 3920726C2 DE 3920726 A DE3920726 A DE 3920726A DE 3920726 A DE3920726 A DE 3920726A DE 3920726 C2 DE3920726 C2 DE 3920726C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- rotor
- resonator
- ultrasonic oscillator
- oscillator according
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 9
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 5
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 3
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 20
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 7
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 6
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/002—Driving devices, e.g. vibrators using only longitudinal or radial modes
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0065—Friction interface
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/103—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
Es ist bereits ein Ultraschallvibrator der eingangs genannten Art bekannt, der Überlagerungsschwingungen in beliebiger
Richtung erzeugen kann und insbesondere zur Verwendung in einem Ultraschallmotor
oder dergleichen einsetzbar ist (DE 36 35 806 A1). Hierbei werden an einem Schwingungsende
elliptische Schwingungen erzeugt, die einen Rotor drehen können. Um die
Elliptizität und die Schwingungsrichtung am Schwingungs- und Abtriebsende und damit
das Schwingungsbild einer Überlagerungsschwingung steuern zu können, weist der
bekannte Ultraschallvibrator zwei Elektrostriktivelemente auf, zwischen denen eine Elektrodenplatte
angeordnet ist. Ein Vibrator ist kontaktierend an dem einen Elektrostriktivelement
zur Anlage gebracht, während ein Metallteil mit einer Anschlußlasche kontaktierend
am anderen Elektrostriktivelement zur Anlage kommt. Die beiden Elektrostriktivelemente
mit den dazwischen liegenden Elektrodenplatten sowie der Vibrator und das
Metallteil sind mittels eines Gewindebolzens stramm miteinander verspannt. Wesentlich
für die Steuerung der Elliptizität ist die Ausbildung der Elektrostriktivelemente und der
Elektrodenplatte. Die Elektrostriktivelemente weisen jeweils vier Elektrodenpaare auf, die
in Umfangsrichtung nebeneinander angeordnet sind. Dabei besteht jedes Elektrodenpaar
auf seiner Oberfläche aus Elektroden, die durch einen Isolationsbereich hälftig geteilt sind.
Auf der Unterseite der Elektrodenpaare ist eine für alle Paare gemeinsame Elektrode vorgesehen.
Die zwischen den Elektrostriktivelementen angeordnete Elektrodenplatte ist
ebenfalls in Elektrodenbereiche unterteilt, und zwar derart, daß sie den Bereichen der Elektrostriktivelemente
entsprechen. Die Elektrodenbereiche der Elektrodenplatte sind mit Anschlußlaschen
versehen, an die eine in der relativen Phase steuerbare Spannungsquelle geschaltet
ist. Die Steuerfrequenz dieser Spannungsquelle ist auf die Resonanzfrequenz des
Ultraschallvibrators in Axialrichtung abgestimmt.
Nachteilig ist hierbei, daß für die Erzeugung elliptischer Schwingungen Phasenverschiebeeinrichtungen
für die Anregungsspannung vorgesehen sein müssen. Außerdem müssen die
Elektrostriktivelemente und die dazwischenliegende Elektrodenplatte unterteilt werden.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, einen Ultraschalloszillator zu schaffen,
mit dem elliptische Schwingungen unter Verwendung einfacher Bauteile erzeugt werden
können.
Die Erfindung betrifft einen Ultraschalloszillator nach dem Oberbegriff des
Patentanspruchs 1.
Ultraschalloszillatoren, die piezoelektrische Elemente aufweisen, werden oft
als Motorantriebe eingesetzt. Bei solchen durch Piezoelemente angetriebenen
Motoren kann es sich um drehende oder linear bewegende Motoren handeln.
Diese Aufgabe wird gemäß den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst.
Der mit der Erfindung erzielte Vorteil besteht insbesondere darin, daß mit
Hilfe des Ultraschalloszillators Ultraschallmotore mit hohem Wirkungsgrad
hergestellt werden können. Außerdem ragen die Reibungsdrehmomentüber
tragungsstifte, die eine große Härte und eine große Abriebfestigkeit be
sitzen, aus den Oberflächen hervor, welche die elliptische Ultraschall
schwingung erzeugen, wodurch die Drehbedingungen auf den Drehmoment
übertragungsflächen stabilisiert werden und die Berührungsfläche zwischen
den Übertragungsstiften und dem Rotor verkleinert wird. Hierdurch wird eine
große Drehstabilität erreicht, und es werden Geräuschbildungen verhindert
sowie die Lebensdauer des Ultraschallmotors verlängert. Ein weiterer Vorteil
der Erfindung besteht darin, daß ein Ultraschallmotor geschaffen werden kann,
bei dem ein Rotor und ein Steckverbinder ständig mittels einer bestimmten
Druckkraft zusammengehalten werden, wodurch jegliche Lockerung der Ver
bindung von Rotor und Steckverbinder sowie jede andere Lose im Ultra
schallmotor verhindert wird. Schließlich besteht ein weiterer Vorteil der
Erfindung darin, daß die Schwingungen des Freiträger- und Auslegerbereichs
eines Verbinders keine Dämpfungen erleiden, wodurch nur geringe
Schwingungsverluste auftreten, die frei von Ausgangsverlusten sind.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und
werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigen
Fig. 1a und 1b eine Seitenansicht bzw. eine perspektivische Ansicht einer
ersten Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 2, 3, 4 (a, b) und 5 (a, b) eine zweite, dritte, vierte und fünfte Ausführungsform der
Erfindung;
Fig. 6 eine teilweise geschnittene Ansicht auf eine sechste Ausführungs
form eines erfindungsgemäßen Ultraschallmotors;
Fig. 7 eine perspektivische Darstellung eines wesentlichen Teils der
Fig. 6;
Fig. 8 eine Explosionsdarstellung eines Ultraschallmotors gemäß Fig. 6;
Fig. 9a eine teilweise geschnittene Draufsicht auf eine siebente Aus
führungsform eines erfindungsgemäßen Ultraschallmotors;
Fig. 9b eine perspektivische Ansicht auf einen wesentlichen Bereich der
Fig. 9a;
Fig. 10 eine perspektivische Explosionsdarstellung eines Ultraschall
motors gemäß Fig. 9a;
Fig. 11a eine teilweise geschnittene Darstellung einer achten
Ausführungsform des erfindungsgemäßen Ultraschallmotors;
Fig. 11b und 11c perspektivische Darstellungen eines wesentlichen Teils der
Fig. 11a;
Fig. 11d, 11e und 11f perspektivische Darstellungen, die andere Beispiele des
Aufbaus des wesentlichen Teils der Fig. 11a zeigen;
Fig. 12a eine teilweise geschnittene Draufsicht auf eine neunte Ausfüh
rungsform des erfindungsgemäßen Ultraschallmotors;
Fig. 12b eine perspektivische Explosionsdarstellung des in der Fig. 12a
gezeigten Ultraschallmotors;
Fig. 13a, 13b, 13c und 13d vergrößerte Draufsichten auf Teile von Druck
befestigungs-Kraftverbindungsmuttern;
Fig. 14 eine perspektivische Darstellung, die eine weitere Ausführungs
form eines Verriegelungselements zeigt;
Fig. 15 eine perspektivische Ansicht eines wesentlichen Teils einer
zehnten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Ultraschallmotors;
Fig. 16a, b eine perspektivische Ansicht eines wesentlichen Teils einer elften
Ausführungsform des erfindungsgemäßen Ultraschallmotors;
Fig. 17 einen Längsschnitt durch eine zwölfte Ausführungsform des er
findungsgemäßen Ultraschallmotors;
Fig. 18 eine perspektivische Ansicht des Motors gemäß Fig. 17 und
Fig. 19 einen Längsschnitt durch eine dreizehnte Ausführungsform eines
erfindungsgemäßen Ultraschallmotors.
Wie aus der Zeichnung ersichtlich ist, umfaßt der Ultraschalloszillator 1
piezoelektrische Elemente 2, die mit einem (nicht dargestellten) Hochfrequenz
generator verbunden sind, ein Horn (Resonator) 4 mit einer Kontaktfläche 3
(d. h. in Kontakt mit dem zu betreibenden Apparatkörper), welche parallel
zu den Schwingungsflächen der piezoelektrischen Elemente 2 ist, einen
Bolzen 6 zur Befestigung des Horns 4 und der piezoelektrischen Elemente 2
mittels eines Rings 5, um sie aneinander zu fixieren, etc. Die Bezugszahlen 7
kennzeichnen Arretierungslamellen.
Auf dem Horn 4 ist eine geneigte Fläche 9 vorgesehen, welche sich zwischen
der Kontaktfläche 3 und der äußeren Umfangsfläche erstreckt und mit
Bezug auf die Achse 8 des Ultraschalloszillators einen vorgegebenen Neigungs
winkel aufweist.
Wenn in dem Ultraschalloszillator 1 mit dem oben beschriebenen Aufbau eine
Longitudinal-Schwingung, d. h. gemäß der Zeichnung in senkrechter Richtung,
erzeugt wird, indem eine entsprechende Hochfrequenz an die piezoelektrischen
Elemente 2 durch einen Hochfrequenzgenerator angelegt wird, wird die
Schwingung durch das Horn 4 verstärkt, wobei die Kontaktfläche 3 des
Horns 4 aufgrund der Resonanz in hohem Maß in vertikaler (longitudinaler)
Richtung 10 schwingt. Gleichzeitig treffen Schwingungswellen auf die ge
neigte Fläche 9 des Horns 4 auf, so daß der vordere Endbereich des Horns 4
in seitlicher Richtung 11 zu schwingen beginnt. Aus den longitudinalen und
lateralen Schwingungen 10 und 11 wird dann eine elliptische Oszillation
erzeugt.
Dementsprechend kann ein Rotationskörper wie ein (nicht dargestellter)
Rotor zur Rotation oder eine flache Platte (nicht dargestellt) zu einer
Parallelbewegung gebracht werden, wenn sie gegen die Kontaktfläche 3
gepreßt werden.
Dieses Ausführungsbeispiel zeigt somit einen Ultraschalloszillator 1, der ein
fach aufgebaut ist und eine elliptische Oszillation erzeugt, die mit geringen
Kosten erreicht werden kann. Während bei den herkömmlichen Oszillatoren
der die Longitudinal-Schwingung erzeugende Bereich von dem die Lateral
schwingung erzeugenden Bereich getrennt vorgesehen ist, was unvermeidlich
zu einem Schwingungsverlust im Abschnitt zwischen den beiden Bereichen
führt, wird bei diesem Ausführungsbeispiel kein solcher Schwingungsverlust
hervorgerufen, weil der die elliptische Oszillation erzeugende Mechanismus
ein integrales Ganzes bildet, wodurch ein Ultraschalloszillator mit hohem
Wirkungsgrad erhalten werden kann.
Fig. 2 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. In
diesem wird beispielhaft der Aufbau eines Ultraschallmotors 20 dargestellt,
welcher einen Ultraschalloszillator 1 gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel
verwendet.
Der Ultraschallmotor 20 enthält einen Ultraschalloszillator 1 und einen Rotor
bereich 21, welcher mit einer vorgegebenen Druckkraft gegen die Kontakt
fläche 3 des Ultraschalloszillators 1 gepreßt wird.
Auf eine Beschreibung des Ultraschalloszillators 1 kann an dieser Stelle ver
zichtet werden, da er mit demjenigen gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel
identisch ist.
Der Rotorbereich 21 besteht aus einem ringförmigen Rotor 22 und einer
Welle 24, an welcher der Rotor mittels eines Lagers 23 gelagert ist, wobei
der Rotor 22 mit einer vorgegebenen Druckkraft gegen die Kontaktfläche 3
des Horns 4 gedrückt wird.
Nachfolgend wird die Arbeitsweise des Ultraschallmotors mit dem obigen Auf
bau beschrieben.
Wird eine Longitudinal-Schwingung erzeugt, indem durch einen Hochfrequenz
generator (nicht dargestellt) eine entsprechende Hochfrequenz auf die
piezoelektrischen Elemente 2 gegeben wird, so wird in der Kontaktfläche 3,
wie oben beschrieben, eine elliptische Oszillation erzeugt. Der Rotor 22,
welcher gegen die Kontaktfläche 3 gedrückt ist, wird dementsprechend in
der elliptischen Rotationsrichtung 25 gedreht, wobei der Ultraschallmotor 20
angetrieben wird.
Dieses Ausführungsbeispiel ermöglicht folglich einen Ultraschallmotor 20 mit
einer einfach auszuführenden Konstruktion, wodurch er mit geringen Kosten
hergestellt werden kann.
Darüber hinaus werden bei diesem Ausführungsbeispiel keine Schwingungsverluste
verursacht, weil der die elliptische Schwingung erzeugende Mechanismus des
Ultraschalloszillators 1 als ein integrales Ganzes ausgebildet ist, wie dies
bereits mit Bezug auf das erste Ausführungsbeispiel beschrieben ist. Mit
diesem Ausführungsbeispiel wird also ein sehr leistungsfähiger Ultraschall
motor 20 geschaffen.
Fig. 3 zeigt ein drittes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
Während der Ultraschallmotor 20 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel den
Rotor 22 antreibt, ist gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ein Ultra
schallmotor 31 (Antriebsvorrichtung für Linearbewegung) vorgesehen, welcher
ein Werkstück 30, welches das zu bewegende Objekt darstellt, geradlinig
bewegt. Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel sind zwei (oder eine
andere Anzahl) dem Ausführungsbeispiel 1 entsprechende Oszillatoren 1 neben
einander angeordnet und erzeugen auf den Kontaktflächen 3 der Ultra
schalloszillatoren 1 eine synchronisierte elliptische Schwingung. Auf eine Be
schreibung des Aufbaus und der Arbeitsweise der Ultraschalloszillatoren 1 wird
verzichtet, da diese denjenigen gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel ent
sprechen.
Mit dem Ultraschallmotor 31 für Linearbewegungsantrieb gemäß dem vor
liegenden Ausführungsbeispiel kann auf jeder der Kontaktflächen 3 eine syn
chronisierte elliptische Schwingung erzeugt werden, indem auf jeden Ultra
schalloszillator 1 eine Hochfrequenz gegeben wird. Das Werkstück 30, welches
auf den Kontaktflächen 3 beweglich angebracht ist, kann durch den Ultra
schallmotor 31 für Linearbewegungsantrieb in der durch den Pfeil 32 ange
deuteten Geradeausrichtung bewegt werden.
Das vorliegende Ausführungsbeispiel ermöglicht somit einen Linearbewegungs
mechanismus mit einem sehr einfachen Aufbau.
Die Fig. 4a und 4b zeigen ein viertes Ausführungsbeispiel der vorliegenden
Erfindung. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist ein Ultraschalloszillator 1 vor
gesehen, der ein zu bewegendes Objekt in zwei verschiedene Richtungen be
wegen kann, indem lediglich die angelegte Frequenz verändert wird. Aus
Fig. 4b, welche eine Draufsicht auf die Vorrichtung gemäß Fig. 4a zeigt, ist
ersichtlich, daß die Kontaktfläche 3 des Horns 4 mit Bezug auf die Achse 8
des Utraschalloszillators 1 versetzt angeordnet ist. Im vorderen Endbereich
des Horns 4 sind vier Oberflächen 40, 41, 42 und 43 ausgebildet. Die ent
sprechenden Konfigurationen dieser geneigten Flächen sind folgende: Die ge
neigten Flächen 42 und 43 sind so angeordnet, daß der vordere Endbereich
des Horns 4 von der Vorderseite des Horns 4 in Richtung des Pfeils 44 aus
gesehen eine asymmetrische trapezoidförmige Konfiguration aufweist. Eine
davon unterschiedliche asymmetrische trapezoidförmige Konfiguration ergibt
sich aus der Sicht in der Richtung des Pfeils 45, der mit Bezug auf den Pfeil
44 um 90° versetzt ist. Im übrigen besitzt dieses Ausführungsbeispiel den
selben Aufbau wie das erste Ausführungsbeispiel, so daß auf eine nähere Be
schreibung verzichtet werden kann. Entsprechende Bauteile sind mit densel
ben Bezugszahlen versehen.
Die Arbeitsweise des Ultraschallmotors mit dem oben beschriebenen Aufbau
wird im folgenden näher erläutert.
Wenn die piezoelektrischen Elemente 2 durch einen (nicht dargestellten)
Hochfrequenzgenerator in Schwingung versetzt werden und bei einer solchen
Frequenz schwingen, daß sie eine Resonanz in der Richtung des Pfeils 46,
d. h. in derselben Richtung wie Pfeil 44, bewirken, beginnt in der Ebene
des Pfeils 44 und der Mittelachse 8 eine elliptische Schwingung, die auf der
selben Wirkung beruht, wie sie im ersten Ausführungsbeispiel beschrieben
wurde. Die elliptische Oszillation entsteht, wie oben beschrieben, aus einer
Longitudinal-Schwingung 47 und einer seitlichen Schwingung in Richtung des
Pfeils 46, welche an den geneigten Flächen 40 und 41 erzeugt wird. Ein
(nicht dargestelltes) zu bewegendes Objekt, das gegen die Kontaktfläche 3
gepreßt wird, kann dementsprechend in die durch den Pfeil 44 angedeutete
oder in die dazu entgegengesetzte Richtung bewegt werden.
In gleicher Weise wird auch eine elliptische Schwingung in der Ebene des
Pfeils 45 und der mittleren Achse 8 erzeugt, wenn auf die piezoelektrischen
Elemente 2 eine Frequenz gegeben wird, welche eine Resonanz in der Richtung
des Pfeils 48, die der Richtung des Pfeils 45 entspricht, bewirkt. Dement
sprechend kann ein zu bewegendes Objekt, das gegen die Kontaktfläche 3
gedrückt ist, in die durch den Pfeil 45 angegebene Richtung oder in die dazu
entgegengesetzte Richtung bewegt werden.
Das vorliegende Ausführungsbeispiel weist also das sehr nützliche und wirk
same Merkmal auf, daß ein zu bewegendes Objekt durch einen Ultraschall
oszillator 1 in zwei verschiedene Richtungen bewegt werden kann, lediglich
indem die angelegte Frequenz verändert wird.
Die Fig. 5 zeigt ein fünftes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung,
welches einen Ultraschallmotor 50 darstellt, der durch den Aufbau des
Horns 4 gekennzeichnet ist. Das Horn 4 gemäß diesem Ausführungsbeispiel
besitzt ein Paar Ausbuchtungen 51, die bezüglich der Achse 8 symmetrisch
angeordnet sind, wobei die Ausbuchtungen 51 um 180° zu einander versetzt
und auf jeder von beiden Seiten der Mittelachse 8 vorgesehen sind. Die Aus
buchtungen 51 besitzen jeweils Kontaktflächen 3, welche sich in derselben
Horizontalebene befinden, und geneigte Flächen 52, welche sich zwischen der
jeweiligen Kontaktfläche 3 und der seitlichen Umfangsfläche des Horns 4
erstrecken. Die Bezugszahlen 54 bezeichnen jeweils senkrechte Flächen
abschnitte der Ausbuchtungen. Des weiteren weist jede Ausbuchtung 51 eine
geneigte Fläche 54 auf, welche sich bis zu der Position erstreckt, wo sie mit
der anderen Ausbuchtung 51 zusammentrifft, wobei die geneigten Flächen 54
voneinander unabhängige Schwingungen der Ausbuchtungen 51 verhindern. Der
Bolzen 6 gemäß dem fünften Ausführungsbeispiel besteht aus einem Schrau
benabschnitt 6a mit einem verhältnismäßig großen Durchmesser, einem
Schaftstück 6c mit einem verhältnismäßig kleinen Durchmesser und einem
Gewindeabschnitt 6c mit einem verhältnismäßig kleinen Durchmesser, welcher
an dem vorderen Ende des Schaftstücks 6b vorgesehen ist, sowie aus den
piezoelektrischen Elementen 2 und dem Hornkörper 4, welche mittels des
Schraubenabschnitts 6a des Bolzens 6 durch den Ring 5 miteinander verbunden
sind. Das Schaftstück 6b des Bolzens 6 ist in ein Axialloch 55 des Horns 4
eingeführt, wobei zwischen dem Schaftstück 6b und dem Axialloch 55 ein
Spalt vorgesehen ist, so daß sie bei der Oszillation des Horns 4 nicht mitein
ander in Berührung kommen.
Ein Rotor 56 ist mittels eines Lagers 57 mit dem Schaftstück 6b, das sich
durch das Axialloch 55 des Horns 4 erstreckt, verbunden, wobei der Rotor 56
durch eine auf den Gewindeabschnitt 6c aufgeschraubte Mutter 58 und eine
Feder 59, welche mit Vorspannung zwischen der Mutter 58 und dem Lager 57
vorgesehen ist, gegen die Kontaktflächen 3 der Ausbuchtungen 56 des Horns
4 gepreßt ist. Die anderen strukturellen Merkmale dieses Ausführungsbeispiels
entsprechen denjenigen des ersten Ausführungsbeispiels und werden daher
nicht näher beschrieben.
Nachfolgend wird die Arbeitsweise der Vorrichtung gemäß dem vorliegenden
Ausführungsbeispiel erläutert.
Wird durch einen (nicht dargestellten) Hochfrequenzgenerator eine entspre
chende Hochfrequenz auf die piezoelektrischen Elemente 2 gegeben, so wird
die erzeugte Schwingung durch das Horn 4 zu einer großen Longitudinal-
Schwingung 60 an den Kontaktflächen 3 verstärkt. Gleichzeitig treffen longi
tudinale Schwingungswellen auf die geneigten Flächen 52 auf, was bewirkt,
daß die Ausbuchtungen 51 des Horns 4 eine Lateraloszillation 60 machen.
Da diese Oszillation eine Phasenabweichung von 180° zwischen dem Paar von
Ausbuchtungen 51 verursacht, werden zwei elliptische Schwingungen, deren
Phasen um 180° voneinander abweichen, erzeugt, und der Rotor 56 wird durch
diese elliptischen Schwingungen angetrieben.
Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die jeweiligen geneigten Flächen 54 der
Ausbuchtungen 51 so angeordnet, daß sie strukturell in Verbindung stehen,
wodurch die Schwingungen der beiden Ausbuchtungen 51 nicht voneinander
unabhängig sind. Auch wenn der Rotor 56 nur auf einer Kontaktfläche 3 auf
liegt, kann die Schwingungsenergie auf der unbeladenen Seite auf einfache
Weise zu der Ausbuchtung 51 auf der beladenen Seite übertragen werden.
Hierdurch erhält man einen Ultraschallmotor 50, der durch eine unausge
glichene Belastung des Rotors 56 oder durch in radialer Richtung auf den
Rotor 56 von außen einwirkende Kräfte wenig beeinflußt wird. Ist außerdem
ein Spalt zwischen dem Schaftstück 6b des Bolzens 6 und dem Axialloch 55
des Horns 4 vorgesehen, so tritt am Horn 4 kein Schwingungsenergieverlust
auf, was zur Leistungsfähigkeit des Ultraschallmotors 50 zusätzlich beiträgt.
Fig. 6 zeigt eine Vorderansicht eines sechsten Ausführungsbeispiels eines
Ultraschallmotors 101 gemäß der vorliegenden Erfindung. Zur Vereinfachung
der Beschreibung ist die Vorrichtung teilweise geschnitten dargestellt. Fig. 7
ist eine vergrößerte perspektivische Ansicht eines wesentlichen Teils der
Fig. 6, und Fig. 8 ist eine perspektivische Ansicht der Fig. 6 und eine Ex
plosionsdarstellung eines wesentlichen Teils der Fig. 6.
Wie aus der Zeichnung ersichtlich ist, enthält der Ultraschallmotor 101 gemäß
dem sechsten Ausführungsbeispiel piezoelektrische Elemente 102, einen Resona
tor (Ring) 103, welcher auf der einen Seite der piezoelektrischen Elemente
102 angeordnet ist, einen Verbinder 105 mit einem Träger 104, eine Be
festigungsschraube 106, einen Rotor 108, welcher mittels eines Lagers 107
drehbar an dem oberen Abschnitt der Befestigungsschraube 106 gelagert ist,
und Reibungsmomentübertragungsstifte 110, welche zwischen dem Rotor 108
und den Abschlußflächen 109, d. h. den die elliptische Oszillation erzeugenden
Flächen, des Trägers 4 vorgesehen und an den vorderen Abschlußflächen 109
des Trägers 104 angebracht sind, sowie eine Mutter 112 zur Einstellung der
Anpreßkraft, mit der der Rotor 108 gegen die oberen Flächen der Stifte 110 auf
den Oberflächen 109 des Trägers 104 gepreßt wird etc. Die Bezugszahlen 113
bezeichnen Arretierungslamellen.
Die Verbindung 105 besteht aus dem Träger 104 und einer Scheibe 114,
welche die Basis bildet. Wie in Fig. 8 gezeigt ist, ist der Träger 104 als
Horn ausgebildet, welches in zwei Trägerabschnitte unterteilt ist, die sich
vom Boden einer Aussparung 115 erstrecken, deren Mittelpunkt auf der
Mittelachse 116 liegt. Eine Seite 117 jeden Trägerabschnitts ist als senk
rechte Fläche ausgebildet, und die andere Seite 118 jeden Trägerabschnitts
als gewölbte Fläche, wobei die Trägerabschnitte mit Bezug auf die Mittel
achse 116 symmetrisch sind. Der Träger 104 ist somit als Horn ausgebildet,
so daß Schwingungen, insbesondere Longitudinal-Schwingungen, durch den
Horn-Effekt verstärkt werden können.
Die Befestigungsschraube 106 erstreckt sich durch die Scheibe 114 und den
Boden des Trägers, wobei der Rotor 108 durch das überstehende Schaft
stück der Befestigungsschraube 106 drehbar gelagert ist. Gleichzeitig ist der
Rotor 108 mit einer vorgegebenen Druckkraft mittels der Scheibenfeder 111
und der Mutter 112 gegen die oberen Flächen der Stifte 110 gepreßt, wobei
die Mutter 112 zur Einstellung der Andruckkraft dient und auf einen Gewinde
abschnitt 119 am Ende des überstehenden Schaftstücks der Schraube 106
aufgeschraubt ist.
Die jeweiligen Abschlußflächen 104 der Trägerabschnitte liegen in einer
Ebene, die zu der Mittelachse 116 senkrecht ist. Auf den jeweiligen
Abschlußflächen 109 der Trägerbereiche sind die Stifte 110 zur Reibungs
übertragung angebracht. Die Stifte bestehen aus Stahl mit einer Härte von
HRC40 oder mehr, aus rostfreiem Stahl oder einem keramischen Material.
Wie aus Fig. 7 ersichtlich, besteht jeder Stift 110 aus einem Kopf 121 und
einem Schaft 122 mit kleinerem Durchmesser zur kraftschlüssigen Anbringung,
wobei die Stifte 110 in der jeweiligen Abschlußfläche 109 angebracht werden,
indem die Schäfte 122 kraftschlüssig in das jeweilige Loch 123 eingesetzt
werden, welches an dem jeweiligen Ende des entsprechenden Trägerabschnitts
vorgesehen ist und sich in der Richtung der Mittelachse 116 erstreckt.
Die Kraftsitztiefe für jeden Stift 110 wird durch eine Stufe 124 des Stifts
110 definiert. Der Rotor 108 ist gegen die jeweilige obere Oberfläche der
Stifte 110 mittels der Scheibenfeder 111 und der Mutter 112 gedrückt,
wodurch Reibung auf den Motor 8 durch die oberen Oberflächen 125 der
Stifte 110 übertragen werden kann.
Die in dem Ultraschall-Motor 101 mit dem obigen Aufbau an den piezo
elektrischen Elementen 102 in der Breitenrichtung erzeugten Longitudinal-
Schwingungen werden zum Verbinder 105 übertragen, wobei elliptische
Oszillationen an den Abschlußflächen 109 des Verbinders 105 erzeugt werden.
Da die Stifte 110 kraftschlüssig an den Abschlußflächen 109 angebracht sind,
führen die Stifte 110 zusammen mit den Abschlußflächen 109 eine elliptische
Schwingung aus. Da der Rotor 108 gegen die jeweiligen Oberflächen 125
der Stifte 110 gepreßt ist, wird die Reibung durch die oberen Flächen 125
auf den Rotor 108 übertragen, wodurch der Rotor 108 angetrieben wird.
Auf diese Weise werden gemäß diesem Ausführungsbeispiel die an den Ab
schlußflächen 109 der Trägerenden erzeugten elliptischen Oszillationen durch
die Stifte 110 auf den Rotor 108 übertragen, so daß Abriebfestigkeit und
eine akustische Schwingungscharakteristik dem Verbinder 105 und den Stif
ten 110 verliehen werden können. Diese beiden Eigenschaften sind nicht
immer miteinander vereinbar, üblicherweise sind sie jedoch bei Materialien
für Ultraschall-Motoren erforderlich. Da bei diesem Ausführungsbeispiel
somit Materialien mit besseren Eigenschaften verwendet werden, kann ein
Ultraschall-Motor hergestellt werden, der eine merklich verbesserte Abrieb
festigkeit und bessere akustische Schwingungscharakteristika aufweist.
Da die Stifte 110 kraftschlüssig angebracht werden, können sie leicht einge
setzt werden und erlauben auch eine maschinelle Montage.
Da darüber hinaus das Ausmaß, um welches die Stifte 110 überstehen, durch
die Stufen 124 der Stifte 110 bestimmt ist, hat eine Mehrzahl von kraft
schlüssig angebrachten Stiften 110 eine gleichmäßige Berührung mit dem
Rotor 108, so daß ein Angleichen der Stifthöhe durch nachträgliches Be
arbeiten der oberen Oberflächen der Stifte 110 nicht erforderlich ist.
Dieses Ausführungsbeispiel ermöglicht also die preisgünstige Herstellung eines
Ultraschall-Motors 101 mit einem einfachen Aufbau, welcher sich bezüglich
der Abriebfestigkeit und den akustischen Schwingungscharakteristiken aus
zeichnet, sehr wirksam arbeitet und eine lange Standzeit gewährleistet.
Die Fig. 9a, 9b und 10 zeigen ein siebtes Ausführungsbeispiel der vorliegen
den Erfindung. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die Schaftstücke 122 zur
kraftschlüssigen Verbindung der Stifte 110 gemäß dem sechsten Ausführungs
beispiel als Gewindeschäfte 130 ausgebildet, die in entsprechende Gewinde
löcher 131 geschraubt werden können, die in den Abschlußflächen 109 der
Trägerabschnitte vorgesehen sind. Der übrige Aufbau entspricht demjenigen
gemäß dem sechsten Ausführungsbeispiel, so daß auf eine Beschreibung ver
zichtet werden kann. Identische Teile werden mit denselben Bezugszahlen
wie im sechsten Ausführungsbeispiel bezeichnet.
Bei dem oben beschriebenen Aufbau können die Stifte 110 lösbar an den je
weiligen Abschlußflächen 109 der Trägerabschnitte befestigt und nach ent
sprechender Abnutzung auf einfache Weise durch neue ersetzt werden. Der
Ultraschall-Motor 101 weist dadurch eine höhere Standzeit auf. Im übrigen
entspricht der Aufbau demjenigen im sechsten Ausführungsbeispiel, so daß
hierauf nicht näher eingegangen werden muß.
Die Fig. 11a, 11b und 11c zeigen ein achtes Ausführungsbeispiel der vorlie
genden Erfindung. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die Stifte 110 gemäß
dem sechsten Ausführungsbeispiel als zylindrische Stifte 110 ausgebildet,
wie aus Fig. 11b ersichtlich ist, und sind an den jeweiligen Abschlußflächen
109 durch kraftschlüssigen Sitz in den Löchern 140, welche sich parallel zu
den Abschlußflächen 109 erstrecken, vorgesehen. Jedes Loch 140 ist so aus
gebildet, daß es an der Abschlußfläche 109 eine langgestreckte Öffnung 141
mit einer bestimmten Breite aufweist, welche sich in der axialen Richtung
des Lochs 140 erstreckt, wobei ein Teil des Stifts 110 über die Öffnung 141
über die Abschlußfläche 109 übersteht, wenn sich der Stift 110 im Loch 140
befindet.
Da der Aufbau im übrigen mit demjenigen des sechsten Ausführungsbeispiels
identisch ist, wird er hier nicht näher beschrieben.
Bei dem oben beschriebenen Aufbau sind die Stifte 110 in linearem Kontakt
mit dem Rotor 108, wobei die elliptische Oszillation von dem Verbinder 105
zu dem Rotor 108 durch Bereich mit linearer Berührung übertragen wird.
In diesem Fall wird die elliptische Oszillation entlang einer Kreisbahn über
tragen, wobei sich die Geschwindigkeitsrichtug der Rotationsrichtung
annähert. Da die Berührungsfläche klein ist, kann das während der Dreh
momentübertragung erzeugte Geräusch verringert werden. Außerdem können
die Stifte 10 auf einfache Weise angebracht werden.
Im übrigen entsprechen die Arbeitsweise und die Wirkungen der vorliegen
den Konstruktion denjenigen des sechsten Ausführungsbeispiels, so daß auf
eine nähere Beschreibung verzichtet werden kann.
Die Form des Stifts 110 ist nicht auf die zylindrische Form beschränkt; sie
kann zum Beispiel auch dreieckig, pfeilförmig oder dornförmig sein, wie es
in den Fig. 11d, 11e und 11f gezeigt ist.
Die erwähnten Ausgestaltungen des Stifts haben jeweils dieselben Wirkungen.
Besonders vorteilhaft ist die in Fig. 11f gezeigte Ausgestaltung, daß bei ihr
jeder Stift 110 fest mit dem entsprechenden Trägerbereich verbunden werden
kann.
Fig. 12a ist eine teilweise geschnittene Vorderansicht eines neunten Aus
führungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Ultraschall-Motors 230, und
Fig. 12b eine Explosionsdarstellung des erfindungsgemäßen Ultraschall-Motors.
Wie aus der Zeichnung hervorgeht, umfaßt der Ultraschall-Motor 230 piezo
elektrische Elemente 231 mit Arretierungslamellen 231, einen auf einer
Seite der piezoelektrischen Elemente 231 befindlichen Ring 232, einen auf der
anderen Seite der piezoelektrischen Elemente 231 vorgesehenen Verbinder
234 mit einem Träger 233, einen Rotor 235, welcher an die eine elliptische
Oszillation erzeugenden Flächen 233a eines Trägers 233 anstößt und von
diesen gehalten wird, einen durchgehenden Bolzen 236 mit einem Endbereich,
der über den Rotor 235 übersteht, eine Mutter 237 zur Einstellung der An
druckkraft, welche auf den Endbereich des durchgehenden Bolzens 236 ge
schraubt ist, und eine Sperrplatte 238, welche eine Rotation der Mutter 237
zur Einstellung der Andruckkraft verhindert.
Der Verbinder 234 besteht aus dem Träger 233 und einem scheibenförmigen
Bereich 239, der die Basis darstellt. Der um die Achse a befindliche Teil des
scheibenförmigen Bereichs 239 und die Seitenflächen 240, die der Rotations
richtung entgegengesetzt ausgerichtet sind, sind bezüglich der Mittelachse a
symmetrisch, wobei der Verbinder 234 als Horn mit einem unteren Träger
bereich 233b ausgebildet ist. In der Mitte des Trägers 233 ist eine U-förmige
Ausnehmung 233c vorgesehen, die sich abwärts von den die elliptische Oszilla
tion erzeugenden Flächen 233a erstreckt und einen unteren Trägerbereich
233b mit einer geeigneten Höhe zwischen dem Boden dieser Ausnehmung
233c und der oberen Fläche der Scheibe 239 bildet. Durch die U-förmige
Ausnehmung 233c ist der Träger 233 in zwei Längsbereiche unterteilt, welche
sich von der Mittelachse a aus erstrecken. Die eine Seite jedes Trägerbereichs,
d. h. die der oben erwähnten Seitenfläche 240 gegenüberliegende Fläche 240a,
ist als vertikale Fläche ausgebildet, während die andere Seite, d. h. die
Seitenfläche 240, als gekrümmte Fläche ausgebildet ist, wobei beide Träger
bereiche in bezug auf die Mittelachse a symmetrisch sind.
Die Grundfläche des Rotors 235 ist als Druckfläche 235a ausgebildet und
stößt an die elliptische Schwingungen erzeugenden Flächen 233a an. Auf der
Oberseite des Rotors 235 ist eine Ausnehmung 235b vorgesehen, in welcher
ein Lager 241 angebracht ist.
Der durchgehende Bolzen 236 erstreckt sich durch den Ring 232, die piezo
elektrischen Elemente 231, den Verbinder 234, den Rotor 235 und das Lager
241, wobei der Endbereich 236a über das Lager 241 übersteht. Ein Gewinde
abschnitt 242 sowie ein sich in axialer Richtung erstreckender Schlitz 243
sind an diesem Endbereich 236a vorgesehen.
Die Mutter 237 zur Einstellung der Anpreßkraft ist auf den Gewindeabschnitt
242 geschraubt. Sie sorgt für die Andrückung des Rotors 235 gegen die
elliptische Schwingungen erzeugenden Flächen 233a mit einer gewünschten
Andruckkraft, die eine Scheibenfeder 244 ausübt, und weist auf ihrem
gesamten Umfang Einkerbungen 245 auf, die eine gerippte Oberfläche bil
den und mit der Sperrplatte 236 in Eingriff gebracht werden können.
Die Sperrplatte 238 ist in den Schlitz 243 eingeführt, um die Mutter 237
zur Einstellung der Andruckkraft an der Rotation zu hindern, und besteht
aus einem Rumpfteil 246, welches in den Schlitz 243 eingeführt werden
kann, und zwei Füßen 247, die sich parallel zueinander von den seitlichen
Bereichen des Rumpfteils 246 erstrecken. An den jeweiligen Enden der
Füße 47 sind sich gegenüberliegende Halteabschnitte 248 angebracht, die
sich im Eingriff mit den Einkerbungen 245 der Mutter 237 befinden und
dadurch die Mutter 237 zur Einstellung der Andruckkraft halten. Der Ab
stand T1 zwischen den unteren Enden der Halteabschnitte 248 ist größer
als der Bodendurchmesser der Mutter 237, d. h. der Abstand zwischen zwei
sich diagonal gegenüberliegenden Böden der Einkerbungen 245, und der
Abstand T2 zwischen den mittleren Bereichen der Halteabschnitte 248 ist
etwas kleiner als der erwähnte Bodendurchmesser, wodurch die Mutter 237
elastisch gehalten werden kann. Um die Halterung zu erleichtern, weist
jeder Halteabschnitt 248 eine geneigte oder gekrümmte Fläche auf, die
sich kontinuierlich von dem unteren Ende zu dem mittleren Bereich des
Halteabschnitts erstreckt.
Bei dem Ultraschall-Motor 230 mit dem oben beschriebenen Aufbau wird
die Andruckfläche 235a des Rotors gegen die elliptische Oszillation er
zeugenden Flächen 233a des Verbinders 234 gepreßt, und zwar mit einer
gewünschten Druckkraft, die von der Scheibenfeder 244 und dem Lager 241
ausgeübt werden, während die Mutter 237 zur Einstellung der Andruckkraft
rotiert, wenn die Sperrplatte 238 nicht in den Schlitz 243 eingeführt ist.
Sodann wird der Rumpfteil 246 der Sperrplatte 238 in den Schlitz 243 von
oben eingeführt, während die unteren Enden der Halteabschnitte 248 entlang
der diagonalen Nuten 245 der Mutter 237 geführt werden, wodurch die
Sperrplatte 238 gelockert wird. Die periphere Oberfläche 237 wird sodann
durch die Mittelteile der Halteabschnitte 248 zurückgehalten, wodurch das
Drehen der Mutter 237 verhindert wird.
Die Ausgestaltung der Nuten, die sich um den gesamten Umfang der Druck
befestigungskraft-Verbindungsmutter 237 herum erstrecken, kann derart sein,
daß jede Nut einen rechteckigen Querschnitt (vgl. Fig. 13b), einen recht
eckigen Querschnitt mit linear-abgegrateten Vorsprungsenden (Fig. 13c) oder
einen rechteckigen Querschnitt mit abgerundeten Vorsprungsenden (Fig. 13d)
aufweist.
Entsprechend dieser Ausführungsform wird die Sperrplatte 238 durch den
Schlitz 243 am Drehen gehindert, der am Ende 236a des durchgehenden
Bolzens 236 vorgesehen ist. Gleichzeitig verhindert der Eingriff zwischen den
Halteabschnitten 248 der Sperrplatte 238 und den Nuten 245, die sich am
ganzen Umfang der Mutter 237 zur Einstellung der Anpreßkraft befinden, die
Drehung der Mutter 237, die auf den durchgehenden Bolzen 236 geschraubt
ist und die dazu dient, die Druckkraft einzustellen, mit welcher die Andruck
fläche 235a des Rotors 235 gegen Oberflächen 233a des Verbinders 234 zur
Erzeugung der elliptischen Schwingungen gedrückt werden, sowie den gesam
ten Ultraschallmotor 230 zu befestigen. Demgemäß kann die Mutter 237
in einer beliebigen Stellung arretiert werden, wobei sie es ermöglicht, daß
der Rotor 235 konstant mit der gewünschten Druckkraft gegen den Ver
binder 234 gedrückt wird.
Weiterhin kann die Mutter 237 an einer Drehung verhindert und in einer
Position gehalten werden, indem lediglich die Sperrplatte 238 von oben in
den Schlitz 243 gezwängt wird, wodurch eine automatische Montage des
Ultraschallmotors 230 möglich ist.
Wie in der Fig. 14 gezeigt ist, kann ein Stopper 250 am unteren Ende des
Rumpfteils 246 der Sperrplatte 238 vorgesehen sein. Diese Anordnung ge
stattet es, daß die Sperrplatte 238 fest mit dem Schlitz 243 verbunden wird,
ohne daß irgendwelche Lose auftreten, und zwar auch dann nicht, wenn
die Dicke des Rumpfteils 246 kleiner ist als die Breite des Schlitzes 243,
wodurch verhindert wird, daß die Mutter 237 zur Einstellung der Anpreß
kraft sich drehen kann.
Die Fig. 15 zeigt eine zehnte Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Ultraschallmotors. In der Zeichnung ist nur die Sperrplatte 251 dieser Aus
führungsform dargestellt. Die übrigen Merkmale dieser Ausführungsform sind
dieselben wie bei der oben beschriebenen neunten Ausführungsform, weshalb
auf eine erneute Beschreibung dieser Merkmale verzichtet wird.
Die Sperrplatte 251 der zehnten Ausführungsform weist eine kreisrunde
Bohrung 253 auf, die im oberen Bereich des Körperabschnitts 252 vorge
sehen ist. Ansonsten ist die Ausgestaltung dieselbe wie bei der beschriebe
nen neunten Ausführungsform, weshalb auf ihre Beschreibung verzichtet
wird. Komponenten, die denjenigen der neunten Ausführungsform entsprechen,
sind mit denselben Bezugszahlen versehen. Die Ausbildung der Bohrung 253
ist nicht auf kreisförmige Löcher beschränkt, vielmehr kann es sich auch
um eine elliptische, rechteckige oder sonstige Durchbrechung handeln.
Diese Ausführungsform weist dieselben Eigenschaften auf wie die vorbe
schriebene neunte Ausführungsform. Außerdem ist es vorteilhaft, daß die
Sperrplatte 238 leicht mit Hilfe der Bohrung 253 herausgezogen werden
kann, indem beispielsweise ein Haken oder dergleichen in diese Bohrung 253
eingeführt wird. Hierdurch wird sowohl die Neueinstellung der Druckkraft
erleichtert, mit welcher der Rotor gegen die Oberfläche gepreßt wird,
welche die elliptischen Schwingungen erzeugt, als auch der Austausch und
die Neueinstellung des Rotors, wenn er aufgrund der Übertragung des
Ultraschall-Schwingungsmoments abgenutzt ist.
Die Fig. 16a und 16b zeigen eine elfte Ausführungsform des erfindungs
gemäßen Ultraschallmotors. In der Zeichnung ist jedoch lediglich die
Sperrplatte 255 dieser Ausführungsform dargestellt. Die anderen Bauteile
dieser Ausführungsform sind dieselben wie diejenigen der oben beschriebenen
neunten Ausführungsform, so daß auf ihre Beschreibung verzichtet werden
kann.
In der Sperrplatte 255 dieser Ausführungsform sind die Kanten der je
weiligen Haltebereiche 258 der Füße 257, die sich vom Abschnitt 256 her
erstrecken, als abgeschrägte Bereiche 259 ausgebildet. Dies bedeutet, wie in
einem vergrößerten Maßstab in der Fig. 16b gezeigt ist, daß die Breite t
der jeweiligen Endflächen der Haltebereiche 258 kleiner als der Abstand T
zwischen den Nuten 245 ist, die um den ganzen Umfang der Mutter 237
zur Einstellung der Anpreßkraft angeordnet sind.
Diese Ausführungsform weist dieselben Effekte auf wie die oben beschrie
bene neunte Ausführungsform. Hinzu kommt, daß sie das Eingreifen der
Sperrplatte 255 in die Nuten 245 mittels der abgeschrägten Endbereiche
259 der Halteabschnitte erleichtert und überdies sowohl eine Drehung der
Mutter 237 zur Einstellung der Anpreßkraft verhindert als auch die Ein
stellung der Druckkraft ermöglicht, mit welcher der Rotor gegen den
Verbinder gedrückt wird, um genauer zu arbeiten.
Die Fig. 17 und 18 zeigen eine zwölfte Ausführungsform der Erfindung. Bei
dieser Ausführungsform erstreckt sich ein Bolzen 306 entlang einer Zentral
achse des erfindungsgemäßen Ultraschallmotors, und zwar durch eine Um
mantelung 305, durch Abschlußplatten 307 sowie durch piezoelektrische
Elemente 302, und er wird mittels eines mit einem Schraubgewinde ver
sehenen Bereichs in ein Horn 304 eingeschraubt, wodurch diese Komponenten
mit einer ausreichenden Kraft miteinander verbunden werden, so daß ge
währleistet ist, daß die jeweiligen Kontaktflächen während der Schwingungen
nicht in Richtung der Dicke der piezoelektrischen Elemente 302 vonein
ander getrennt werden. Die axiale Bohrung des Horns 304 definiert er
findungsgemäß einen zylindrischen Raum, dessen Größe so ausgelegt ist,
daß der Bolzen 306 daran gehindert wird, mit dem Horn 304 in Berührung
zu kommen, wenn letzteres in Resonanz schwingt.
Ein Rotor 356 wird mittels eines Lagers 357 durch einen zweiten linearen
Abschnitt des Bolzens 306 getragen. Eine Mutter 358, die auf einen zweiten
mit einem Gewinde versehenen Abschnitt 306c des Bolzens 306 aufgeschraubt
ist, dient dazu, die Druckkraft einer Feder 359 einzustellen, mit welcher
der Rotor 358 gegen die obere Fläche 303 des Horns angedrückt gehalten
wird. Der innere Durchmesser des Lagers 357 ist so ausgelegt, daß er in
axialer Richtung entlang eines linearen Abschnitts 366 des Bolzens 306
unter der Druckkraft der Feder 359 gleiten kann. Wenn eine geeignete
Hochfrequenz mittels eines nicht dargestellten Hochfrequenzgenerators auf
die piezoelektrischen Elemente 302 gegeben wird, wird die Schwingung auf
das Horn 304 übertragen, wobei sie an der Kontaktoberfläche 303 zu einer
Längsschwingung hohen Grades wird. Außerdem gelangen Längsschwingungen
auf die schrägen Oberflächen 354 und bewirken, daß die Vorsprünge 353
des Horns 304 in seitliche Richtung schwingen. Diese Schwingung beinhaltet
eine 180°-Phasenverschiebung zwischen den beiden Vorsprüngen 353, wodurch
zwei elliptische Schwingungen mit einer 180°-Phasenverschiebung erzeugt
werden, die bewirken, daß sich der Rotor 356 dreht. Da sich zwischen dem
Bolzen 306 und dem Horn 304 ein zylindrischer Zwischenraum befindet,
kommt das Horn 304 nicht mit dem Außenmantel des Bolzens 306 in
Berührung, so daß die Schwingung des Horns 304 auf den Rotor 356 ohne
Dämpfung übertragen wird, wodurch die Eigenschaften des Motors verbessert
werden. Außerdem wird der Motor 356 drehbar vom Bolzen 306 mit Hilfe
des Lagers 357 getragen, so daß der Rotor 356 bezüglich des Bolzens 306
und des Horns 304 in einer stabilen Lage gehalten wird.
Die Fig. 19 zeigt eine dreizehnte Ausführungsform der Erfindung. Diese
Ausführungsform enthält einen Bolzen 401, der als zweistufiger Bolzen
ausgebildet ist und eine hexagonale Bohrung 402 an seinem Ende aufweist.
Er enthält außerdem einen Kragen 405, in den ein mit Gewinde versehener
Abschnitt 404 des Bereichs 403 mit dem kleineren Durchmesser des Bolzens
401 eingeschraubt ist. Der Kragen 405, die Abschlußplatten 406, die piezo
elektrischen Elemente 407 und ein Horn 408 werden hierbei mit Hilfe des
Stufenabschnitts 410, der sich zwischen den Abschnitten 403 bzw. 409 mit
kleinem bzw. großem Durchmesser des Bolzens 401 befindet, unter Druck
befestigt. Mit dem äußeren Umfang des Abschnitts 409 mit dem großen
Durchmesser des Bolzens 401 ist der innere Umfang eines Lagers 411 ver
bunden, mit dessen äußerem Umfang ein Rotor 412 in Verbindung steht.
Wie bei der vorbeschriebenen Ausführungsform wird die Druckkraft, mit
welcher der Rotor gegen das Horn 408 gedrückt wird, mittels einer
Feder 413 und einer Mutter 414 eingestellt. Zwischen dem inneren Durch
messer des Horns 408 und dem äußeren Durchmesser des Bolzens 401 ist
ein zylindrischer Raum 415 vorgesehen, der bewirkt, daß die Schwingung
des Horns 408 nicht gedämpft wird.
Die dreizehnte Ausführungsform der Erfindung hat im wesentlichen dieselben
Wirkungen wie die zwölfte Ausführungsform. Der Vorteil der dreizehnten
Ausführungsform besteht darin, daß alle Montageschritte, die für den
Zusammenbau des Motors erforderlich sind, von oben vorgenommen werden
können, wodurch der Zusammenbau an einem Fließband erleichtert wird.
Claims (14)
1. Ultraschalloszillator mit an Spannung liegenden piezoelektrischen Elementen, die
flächig auf einer Seite mit einem ringförmigen Halterungsteil und auf der anderen
Seite mit einem zylindrischen Resonator in Verbindung stehen, der eine oder mehrere
abgeschrägte Flächen aufweist und an dessen Kopfende aufgrund der an den piezoelektrischen
Elementen anliegenden Spannungen durch einerseits senkrecht und
andererseits parallel zur Verbindungsfläche zwischen piezoelektrischen Elementen
und Resonator verlaufende Bewegungen elliptische Schwingungen erzeugt werden,
dadurch gekennzeichnet, daß die abgeschrägten Oberflächen (9) relativ zur Längsachse (8)
oder einer hierzu parallelen Linie unsymmetrisch sind, wenn der Resonator
(4) in einer die Längsachse oder die hierzu parallele Linie durchsetzenden und senkrecht
zu den abgeschrägten Oberflächen liegenden Ebene geschnitten betrachtet wird.
2. Ultraschalloszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
elliptischen Schwingungen in zwei oder in mehrere Richtungen erzeugt wer
den, indem auf die piezoelektrischen Elemente (2) eine Spannung von einer
Frequenz gegeben wird, die Resonanzen in Richtung der jeweiligen abge
schrägten Oberflächen des Resonators (4) bewirken.
3. Ultraschalloszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß er
für einen Motor verwendet wird, wobei ein Rotor (22) drehbar gelagert ist
und elliptische Schwingungen am vorderen Ende des Resonators (4) erzeugt
werden und wobei der Rotor (22) dadurch in Drehung versetzt wird, daß
er mittels einer geeigneten Druckkraft gegen den Bereich gepreßt wird,
wo die elliptischen Schwingungen erzeugt werden.
4. Ultraschalloszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß er für
einen Motor verwendet wird, wobei der Bereich, in dem die elliptischen
Schwingungen erzeugt werden, so ausgeführt ist, daß er ein Werkstück (30),
das auf ihn gelegt wird, geradeaus bewegt.
5. Ultraschalloszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß er
für einen Motor verwendet wird, wobei zwei Resonator-Ausbuchtungen (51)
vorgesehen sind, welche dieselbe Form aufweisen und die in den vorderen
Endbereichen des Resonators (4) derart symmetrisch zur Achse dieses
Resonators (4) angeordnet sind, daß sie eine Phasenverschiebung von 180°
zueinander haben, wobei ein Rotor (56) drehbar gelagert ist und die
Resonator-Ausbuchtungen (51) eine oder mehrere abgeschrägte Oberflächen
aufweisen, und daß der Rotor (56) dadurch gedreht wird, daß er gegen die
jeweiligen Endbereiche der Resonator-Ausbuchtungen (51) mit einer ge
eigneten Kraft gedrückt wird.
6. Ultraschalloszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß er für
einen Motor verwendet wird, wobei ein drehbar gelagerter Rotor (108) gegen
die elliptische Schwingungen erzeugenden Oberflächen gedrückt wird und
diese Oberflächen Reibungsmoment-Übertragungsstifte (110) aufweisen, die
sich von den Oberflächen aus erstrecken und aus rostfreiem Stahl, Eisen
aus HRC40 oder mehr oder einem keramischen Material bestehen.
7. Ultraschalloszillator nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die
Reibungsmoment-Übertragungsstifte (110) einen kraftangepaßten Teil auf
weisen, der als Stift mit Gewinde (130) ausgebildet ist und der in eine
Gewindebohrung (131) eingeführt werden kann, die sich an der Endoberfläche
(109) eines Trägerabschnitts des Resonators befindet.
8. Ultraschalloszillator nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die
Reibungsmoment-Übertragungsstifte so ausgebildet sind, daß sie sich von
einer Oberfläche, die elliptische Schwingungen erzeugt, mit einer bestimmten
Höhe erheben, und zwar mittels eines Stufenabschnitts zwischen einem
Kopfbereich, der einen relativ großen Durchmesser aufweist, und einem
Schaftbereich, der einen relativ kleinen Durchmesser aufweist.
9. Ultraschalloszillator nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
Bohrungen vorgesehen sind, welche sich in der Nähe von und parallel zu
den Oberflächen befinden, die elliptische Schwingungen erzeugen, und daß
Reibungsmoment-Übertragungsstifte derart in diese Bohrungen eingeführt
sind, daß ihre oberen Bereiche über die elliptische Schwingungen erzeugen
den Oberflächen hinausragen, wobei der Rotor und die Stifte in einem
linearen Kontakt zueinander stehen.
10. Ultraschalloszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß er
für einen Motor verwendet wird, bei dem ein Rotor durch Andrücken auf
eine Oberfläche, die elliptische Schwingungen erzeugt, gedreht wird, und
wobei ein Durchsteckstift durch den Ultraschallmotor führt und eine Be
festigungsmutter für die Druckbefestigungskraft auf den vorderen End
abschnitt des Durchsteckstifts aufgeschraubt wird und so ausgelegt ist, daß
sie den Ultraschallmotor zusammenhält, wobei diese Mutter auf ihrer ge
samten Außenseite Nuten hat und ein Verriegelungselement vorgesehen ist,
welches die Drehung der Befestigungsmutter für die Druckbefestigungskraft
verhindert.
11. Ultraschalloszillator nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das
Verriegelungselement Halteabschnitte aufweist, die lösbar mit den Nuten
des Durchsteckstifts verbunden werden können und daß dieses Verriegelungs
element in einen Schlitz eingeführt werden kann, der sich am vorderen
Ende des Durchsteckstifts befindet, wodurch die Rotation der Befestigungs
mutter für die Druckbefestigungskraft verhindert wird.
12. Ultraschalloszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß er
für einen Motor verwendet wird, bei dem ein Rotor drehbar gelagert ist
und ein Bolzen vorgesehen ist, der den Rotor gegen die Oberfläche drückt,
die elliptische Schwingungen erzeugt, daß ferner ein Durchsteckstift vor
gesehen ist, der integral mit dem erwähnten Bolzen verbunden ist und sich
durch den Ultraschallmotor erstreckt, wobei der Bolzen nur mit dem Boden
des Resonators in Kontakt steht und zwischen sich und dem vorderen End
abschnitt des Resonators einen Zwischenraum bildet, so daß die Schwingung
des vorderen Endbereichs des Resonators nicht behindert wird.
13. Ultraschalloszillator nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der
Bolzen als zweistufiger Bolzen ausgebildet ist, dessen Abschnitt mit dem
größeren Durchmesser so ausgelegt ist, daß er einen Verbinder gegen einen
Oszillator drückt, und dessen Abschnitt mit dem kleineren Durchmesser die
innere Peripherie eines Lagers, welches den Motor trägt, derart stützt, daß
das Lager in axialer Richtung gleiten kann.
14. Ultraschalloszillator nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der
Bolzen als zweistufiger Bolzen ausgebildet ist, dessen Abschnitt mit dem
kleineren Durchmesser einen Stufenabschnitt aufweist, der einen Verbinder
gegen einen Oszillator drückt und dessen Abschnitt mit dem größeren Durch
messer die innere Peripherie eines Lagers stützt, welches den Rotor trägt,
so daß das Lager sich in axialer Richtung bewegen kann.
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63161786A JPH0213280A (ja) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | 超音波モータ |
JP63203031A JP2605121B2 (ja) | 1988-08-15 | 1988-08-15 | 超音波振動子及びそれを用いた超音波モータ |
JP63270291A JPH02119580A (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 | 超音波モータ |
JP63270292A JPH02119581A (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 | 超音波モータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3920726A1 DE3920726A1 (de) | 1990-01-04 |
DE3920726C2 true DE3920726C2 (de) | 1993-06-03 |
Family
ID=27473748
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3920726A Granted DE3920726A1 (de) | 1988-06-29 | 1989-06-24 | Ultraschalloszillator |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5162692A (de) |
DE (1) | DE3920726A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6825592B2 (en) | 2000-03-23 | 2004-11-30 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
US7368853B2 (en) | 2002-04-22 | 2008-05-06 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2874762B2 (ja) * | 1989-06-05 | 1999-03-24 | キヤノン株式会社 | モータ駆動装置 |
JP2935504B2 (ja) * | 1989-07-05 | 1999-08-16 | キヤノン株式会社 | モータ |
JP3171887B2 (ja) * | 1991-10-21 | 2001-06-04 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
JP3167394B2 (ja) * | 1992-01-29 | 2001-05-21 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装置 |
JP3205026B2 (ja) * | 1992-01-30 | 2001-09-04 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装置 |
US5410204A (en) * | 1992-02-28 | 1995-04-25 | Olympus Optical Co. Ltd. | Ultrasonic oscillator |
US5440190A (en) * | 1992-09-25 | 1995-08-08 | Olympus Optical Co., Ltd. | Ultrasonic motor |
JP3107946B2 (ja) * | 1993-05-07 | 2000-11-13 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
US6091179A (en) * | 1994-11-09 | 2000-07-18 | Nikon Corporation | Vibration actuator drive device and method of use |
JP3233901B2 (ja) * | 1998-05-22 | 2001-12-04 | セントラル技研工業株式会社 | 超音波振動によるスクリューロッド駆動機構 |
EP2568595A3 (de) * | 1998-12-21 | 2013-05-15 | Seiko Epson Corporation | Piezoelektrischer Aktor, Uhrwerk und tragbares Gerät |
US6242850B1 (en) | 1999-07-28 | 2001-06-05 | Technology Commercialization Corp. | Piezoelectric motor and a disk drive using same |
US7119477B1 (en) * | 1999-10-31 | 2006-10-10 | Nanomotion Ltd. | Replaceable friction coupling for piezoelectric motors |
IL137206A0 (en) * | 1999-10-31 | 2001-07-24 | Nanomotion Ltd | Piezoelectric motors and motor driving configurations |
DE19952946A1 (de) | 1999-11-03 | 2001-05-17 | Siemens Ag | Elektromechanischer Motor |
JP4795596B2 (ja) * | 1999-11-29 | 2011-10-19 | ミニスイス・ソシエテ・アノニム | 圧電ドライブ |
AU5040001A (en) * | 2000-03-23 | 2001-10-03 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motor and method of making and using same |
US6936951B1 (en) | 2000-11-27 | 2005-08-30 | Grq Instruments, Inc. | Smart sonic bearings and method for frictional force reduction and switching |
US6930436B2 (en) * | 2001-01-22 | 2005-08-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration element and vibration wave driving apparatus |
US20050127789A1 (en) * | 2001-03-08 | 2005-06-16 | Magnussen Bjoern B. | Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof |
WO2002099844A2 (de) * | 2001-06-06 | 2002-12-12 | Creaholic Sa | Piezoelektrischer antrieb |
DE10141820A1 (de) * | 2001-08-27 | 2003-03-20 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Piezomotor mit Kupferelektroden |
DE10146703A1 (de) | 2001-09-21 | 2003-04-10 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Piezomotor mit Führung |
DE50205472D1 (de) * | 2001-10-22 | 2006-02-02 | Miniswys Sa Biel | Piezoelektrischer antrieb |
NZ534848A (en) * | 2002-02-06 | 2005-10-28 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Piezoelectric motor control |
AU2003206604A1 (en) * | 2002-03-15 | 2003-09-29 | Creaholic S. A. | Piezoelectric motor and method for actuating same |
FR2844114B1 (fr) * | 2002-08-30 | 2005-10-28 | Centre Nat Rech Scient | Moteur electroactif monophase |
US7224099B2 (en) * | 2004-04-20 | 2007-05-29 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Molded piezoelectric apparatus |
EP2200101A1 (de) * | 2008-12-22 | 2010-06-23 | Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG | Ultraschallmotor |
CN104607671B (zh) * | 2014-12-09 | 2017-02-22 | 南京航空航天大学 | 一种单激励超声椭圆振动车削装置 |
CN114697493A (zh) * | 2020-12-31 | 2022-07-01 | 华为技术有限公司 | 压电马达、摄像模组及电子设备 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU623241A1 (ru) * | 1976-11-04 | 1978-09-05 | Специальное Проектно-Конструкторское И Технологическое Бюро Малых Электрических Машин Производственного Объединения "Эльфа" | Вибродвигатель |
SU635538A1 (ru) * | 1977-07-21 | 1978-11-30 | Petrenko Aleksandr Vasilevich | Вибрационный электродвигатель |
SU1023458A1 (ru) * | 1977-10-24 | 1983-06-15 | Специальное Проектно-Конструкторское И Технологическое Бюро Малых Электрических Машин Производственного Объединения "Эльфа" | Вибродвигатель |
SU794685A1 (ru) * | 1978-08-14 | 1981-01-07 | Специальное Проектно-Конструкторс-Koe И Технологическое Бюро Малыхэлектрических Машин Производствен-Ного Объединения "Эльфа" | Вибродвигатель |
US4249100A (en) * | 1979-04-12 | 1981-02-03 | Vasiliev Petr E | Drive means and force control for piezoelectric vibration motor |
SU773715A1 (ru) * | 1979-04-12 | 1980-10-23 | Предприятие П/Я А-3593 | Устройство дл транспортировани носител записи |
SU817815A1 (ru) * | 1979-05-30 | 1981-03-30 | Каунасский Политехнический Институтим. Ahtahaca Снечкуса | Вибродвигатель |
SU858153A1 (ru) * | 1979-12-04 | 1981-08-23 | Каунасский Политехнический Институт Им.Антанаса Снечкуса | Вибродвигатель |
AT382262B (de) * | 1982-04-16 | 1987-02-10 | Ki Polt I | Piezoelektrischer motor |
AT384912B (de) * | 1982-04-16 | 1988-01-25 | Ki Polt I | Piezoelektrischer motor |
DE3433768A1 (de) * | 1983-09-16 | 1985-04-18 | Hitachi Maxell, Ltd., Ibaraki, Osaka | Piezo-elektrischer motor |
JPS6062880A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-11 | Hitachi Maxell Ltd | スパイラルモ−ド駆動の圧電モ−タ |
US4663556A (en) * | 1984-01-11 | 1987-05-05 | Hitachi Maxell, Ltd. | Torsional mode ultrasonic vibrator |
JPS60148387A (ja) * | 1984-01-12 | 1985-08-05 | Hitachi Maxell Ltd | 定在波型圧電モ−タ |
JPS6152163A (ja) * | 1984-08-21 | 1986-03-14 | Hitachi Maxell Ltd | 片持梁状捻り超音波振動子を用いた圧電モ−タ |
US4634916A (en) * | 1984-10-02 | 1987-01-06 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Piezoelectric rotary driver |
JPH0640746B2 (ja) * | 1985-02-21 | 1994-05-25 | 日立マクセル株式会社 | ころを用いた圧電モ−タ |
JPS6311073A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-18 | Canon Inc | 振動波により駆動される振動波モータ |
JPS6292778A (ja) * | 1985-10-18 | 1987-04-28 | Hitachi Maxell Ltd | 超音波ねじり振動子 |
US4697117A (en) * | 1985-11-27 | 1987-09-29 | Taga Electric Co., Ltd. | Rotary ultrasonic motor |
US4703214A (en) * | 1985-11-27 | 1987-10-27 | Taga Electric Co., Ltd. | Ultrasonic vibrator and its drive control method |
EP0231940A3 (de) * | 1986-02-04 | 1990-01-17 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezoelektrischer Antrieb |
JPH0648911B2 (ja) * | 1986-09-27 | 1994-06-22 | 日本特殊陶業株式会社 | 超音波モ−タ |
JPS63167682A (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-11 | Brother Ind Ltd | 超音波モ−タ |
JPS63224678A (ja) * | 1987-03-10 | 1988-09-19 | Marcon Electronics Co Ltd | 超音波モ−タ |
JPH01234067A (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-19 | Nec Corp | 超音波モータ |
EP0356591B1 (de) * | 1988-09-02 | 1995-11-15 | Honda Electronic Co., Ltd. | Ultraschall-Antriebsvorrichtung |
-
1989
- 1989-06-24 DE DE3920726A patent/DE3920726A1/de active Granted
-
1991
- 1991-01-04 US US07/636,553 patent/US5162692A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6825592B2 (en) | 2000-03-23 | 2004-11-30 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
US6870304B2 (en) | 2000-03-23 | 2005-03-22 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
US7173362B2 (en) | 2000-03-23 | 2007-02-06 | Bjoern Magnussen | Vibratory motors and methods of making and using same |
US7368853B2 (en) | 2002-04-22 | 2008-05-06 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5162692A (en) | 1992-11-10 |
DE3920726A1 (de) | 1990-01-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3920726C2 (de) | ||
DE3500607C2 (de) | Torsionsschwingungs-Ultraschallvibrator sowie Torsionsschwingungs-Piezomotor | |
DE3686345T2 (de) | Ultraschallmotor. | |
DE69028952T2 (de) | Schwingsgetriebener Motor und System | |
EP0313130B1 (de) | Elektrischer Rotations- oder Linearmotor, dessen Läufer mittels Ultraschallschwingungen angetrieben wird | |
DE3703676C2 (de) | ||
DE3433768C2 (de) | ||
DE69025984T2 (de) | Durch Vibration angetriebener Motor | |
DE3710874C2 (de) | ||
DE69520931T2 (de) | Piezoelektrischer rotierender Antriebapparat | |
DE3635482A1 (de) | Ultraschallvibrator | |
DE3010252C2 (de) | Antriebsvorrichtung | |
DE3542443C2 (de) | ||
DE3635806A1 (de) | Ultraschallvibrator | |
DE19757139A1 (de) | Antriebsvorrichtung für wenigstens zwei Rotationselemente mit wenigstens einem piezoelektrischen Antriebselement | |
DE3904070C2 (de) | Ultraschallmotor | |
EP3898057B1 (de) | Ultraschallschweissanlage mit abstützelement | |
DE10346450A1 (de) | Elektrisches Stellglied | |
EP3844866B1 (de) | Ultraschallaktor | |
WO2017215704A1 (de) | Ultraschallmotor | |
DE69709739T2 (de) | Piezoelektrischer motor mit unabhängigen statormodulen | |
DE69224341T2 (de) | Ultraschallmotor | |
DE3600008A1 (de) | Ultraschallmotor | |
EP3898011A2 (de) | Ultraschallschweissanlage mit formschlüssiger verbindung | |
DE3851781T2 (de) | Wanderwellenmotor. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |