JP5020962B2 - 円盤状の切削工具及び切削装置 - Google Patents
円盤状の切削工具及び切削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5020962B2 JP5020962B2 JP2008539821A JP2008539821A JP5020962B2 JP 5020962 B2 JP5020962 B2 JP 5020962B2 JP 2008539821 A JP2008539821 A JP 2008539821A JP 2008539821 A JP2008539821 A JP 2008539821A JP 5020962 B2 JP5020962 B2 JP 5020962B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- cutting
- air phase
- cutting tool
- annular
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims description 395
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 99
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 7
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 2
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 2
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001200 Ferrotitanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D61/00—Tools for sawing machines or sawing devices; Clamping devices for these tools
- B23D61/02—Circular saw blades
- B23D61/10—Circular saw blades clamped between hubs; Clamping or aligning devices therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
- B24B1/04—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes subjecting the grinding or polishing tools, the abrading or polishing medium or work to vibration, e.g. grinding with ultrasonic frequency
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D5/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting only by their periphery; Bushings or mountings therefor
- B24D5/12—Cut-off wheels
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
- B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
- B26D1/00—Cutting through work characterised by the nature or movement of the cutting member or particular materials not otherwise provided for; Apparatus or machines therefor; Cutting members therefor
- B26D1/0006—Cutting members therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
- B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
- B26D7/00—Details of apparatus for cutting, cutting-out, stamping-out, punching, perforating, or severing by means other than cutting
- B26D7/08—Means for treating work or cutting member to facilitate cutting
- B26D7/086—Means for treating work or cutting member to facilitate cutting by vibrating, e.g. ultrasonically
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/02—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
- B28D5/022—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
- B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
- B26D1/00—Cutting through work characterised by the nature or movement of the cutting member or particular materials not otherwise provided for; Apparatus or machines therefor; Cutting members therefor
- B26D1/0006—Cutting members therefor
- B26D2001/0053—Cutting members therefor having a special cutting edge section or blade section
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
- B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
- B26D1/00—Cutting through work characterised by the nature or movement of the cutting member or particular materials not otherwise provided for; Apparatus or machines therefor; Cutting members therefor
- B26D1/0006—Cutting members therefor
- B26D2001/006—Cutting members therefor the cutting blade having a special shape, e.g. a special outline, serrations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
- B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
- B26D7/00—Details of apparatus for cutting, cutting-out, stamping-out, punching, perforating, or severing by means other than cutting
- B26D7/26—Means for mounting or adjusting the cutting member; Means for adjusting the stroke of the cutting member
- B26D7/2614—Means for mounting the cutting member
- B26D7/2621—Means for mounting the cutting member for circular cutters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T83/00—Cutting
- Y10T83/869—Means to drive or to guide tool
- Y10T83/8874—Uniplanar compound motion
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T83/00—Cutting
- Y10T83/929—Tool or tool with support
- Y10T83/9372—Rotatable type
- Y10T83/9403—Disc type
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T83/00—Cutting
- Y10T83/929—Tool or tool with support
- Y10T83/9457—Joint or connection
- Y10T83/9464—For rotary tool
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Forests & Forestry (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Turning (AREA)
Description
(1)環状の空気相空間が、ブレードの軸に対して軸対称に互いに非空間部を介してブレードを横断して形成された、複数の弧状の空気相空間から構成されている。更に好ましくは前記の各非空間部の内周側にブレードを横断する別の弧状の空気相空間が形成され、追加の超音波反射面を構成している。
(2)環状の空気相空間が、互いに非空間部を介してブレードを横断して形成された複数の円形もしくは多角形の空気相空間から構成されている。更に好ましくは前記の各非空間部の内周側にブレードを横断する別の円形もしくは多角形の空気相空間が形成され、追加の超音波反射面を構成している。
(3)環状の空気相空間が、ブレードの軸に対して軸対称に互いに非空間部を介してブレードを横断して形成された、各々ブレードの半径方向に対して傾斜する複数のスリット状の空気相空間から構成されている。
(4)環状の空気相空間が、環状の多孔質材料により構成されている。
(5)環状の空気相空間が、ブレードの一方の表面から厚さの1/2を超えて伸びた環状の溝により構成されている。更に好ましくは前記の環状の溝の内周側にさらに、ブレードの他方の表面から厚さの1/2を超えて伸びる、追加の超音波反射面を構成する環状の溝が形成されている。
(6)環状の超音波振動子が互いに間隔を介して配置された複数の超音波振動子片から構成され、隣接する超音波振動子片の間のブレードに空気相空間が形成されている。
11 円孔
12 切削ブレード
14 超音波振動子
15 弧状の長孔
16 超音波反射面
16a 空気相空間との界面
17 超音波反射面16を構成する反射面
18 非空間部
21 電源
22 ロータリートランス
23 電力供給ユニット
24 電力受容ユニット
23a、24a コイル
25a、25b 電気配線
26a、26b 電気配線
30 切削装置
31 モータ
32 回転軸
33 保持具
34、35 フランジ
34a、35a 突起
36 スリーブ
37 ボルト
38 ナット
40 切削工具
42 切削ブレード
45 弧状の長孔
46 超音波反射面
50 切削工具
52 切削ブレード
55 弧状の長孔
56 超音波反射面
57 超音波反射面56を構成する反射面
70 切削装置
73 保持具
74、75 フランジ
74a、75a 突起
74b、75b 突起
76 スリーブ
77 ボルト
80、90、100 切削工具
82、92、102 切削ブレード
85 円形の孔
86、96、96a、106 超音波反射面
87、97、97a、107 超音波反射面を構成する反射面
88、98、108 非空間部
95、95a 六角形の孔
105 スリット状の孔
110 切削工具
112 切削ブレード
112a 切削ブレード122の内周側部分
112b 切削ブレード122の外周側部分
112c 多孔質材料製のリング
115 気泡
116 超音波反射面
117 超音波反射面116を構成する反射面
130、150 切削工具
132、152 切削ブレード
135a、135b、155a、155b 環状の溝
136a、136b、156a、156b 超音波反射面
160 切削工具
162 切削ブレード
165a、165b 環状の切り欠き
166a、166b 超音波反射面
170 切削工具
172 切削ブレード
174 超音波振動子
174a 超音波振動子片
179 スリット状の孔
Claims (20)
- 中央に円孔を備える円盤状の切削ブレード、および該ブレードの少なくとも一方の側の表面に該ブレードと同軸に固定されている、該ブレードの直径よりも小さな外径と、該円孔の直径よりも大きな内径とを有する連続もしくは不連続の環状の超音波振動子からなり、該切削ブレードが、環状の超音波振動子の内周縁よりも内周側で該ブレードの厚み方向に伸びる、連続もしくは不連続の環状の空気相空間との界面からなる超音波反射面を備えている円盤状の切削工具。
- 環状の空気相空間が、ブレードの軸に対して軸対称に互いに非空間部を介してブレードを横断して形成された、複数の弧状の空気相空間から構成されている請求項1に記載の切削工具。
- 各非空間部の内周側にブレードを横断する別の弧状の空気相空間が形成され、追加の超音波反射面を構成している請求項2に記載の切削工具。
- 環状の空気相空間が、互いに非空間部を介してブレードを横断して形成された複数の円形もしくは多角形の空気相空間から構成されている請求項1に記載の切削工具。
- 各非空間部の内周側にブレードを横断する別の円形もしくは多角形の空気相空間が形成され、追加の超音波反射面を構成している請求項4に記載の切削工具。
- 環状の空気相空間が、ブレードの軸に対して軸対称に互いに非空間部を介してブレードを横断して形成された、各々ブレードの半径方向に対して傾斜する複数のスリット状の空気相空間から構成されている請求項1に記載の切削工具。
- 環状の空気相空間が、環状の多孔質材料により構成されている請求項1に記載の切削工具。
- 環状の空気相空間が、ブレードの一方の表面から厚さの1/2を超えて伸びた環状の溝により構成されている請求項1に記載の切削工具。
- 環状の溝の内周側にさらに、ブレードの他方の表面から厚さの1/2を超えて伸びる、追加の超音波反射面を構成する環状の溝が形成されている請求項8に記載の切削工具。
- 環状の超音波振動子が互いに間隔を介して配置された複数の超音波振動子片から構成され、隣接する超音波振動子片の間のブレードに空気相空間が形成されている請求項1に記載の切削工具。
- 中央に円孔を備える円盤状の切削工具及び該円孔の周縁に近接する位置にて切削工具を保持する回転軸を含む切削装置であって、該円盤状の切削工具が、中央に円孔を備える円盤状の切削ブレード、および該ブレードの少なくとも一方の側の表面に該ブレードと同軸に固定されている、該ブレードの直径よりも小さな外径と、該円孔の直径よりも大きな内径とを有する連続もしくは不連続の環状の超音波振動子からなり、該切削ブレードが、環状の超音波振動子の内周縁よりも内周側でかつ回転軸により保持される部位よりも外周側にて該ブレードの厚み方向に伸びる、連続もしくは不連続の環状の空気相空間との界面からなる超音波反射面を備えている切削工具である切削装置。
- 環状の空気相空間が、ブレードの軸に対して軸対称に互いに非空間部を介してブレードを横断して形成された、複数の弧状の空気相空間から構成されている請求項11に記載の切削装置。
- 各非空間部の内周側にブレードを横断する別の弧状の空気相空間が形成され、追加の超音波反射面を構成している請求項12に記載の切削装置。
- 環状の空気相空間が、互いに非空間部を介してブレードを横断して形成された複数の円形もしくは多角形の空気相空間から構成されている請求項11に記載の切削装置。
- 各非空間部の内周側にブレードを横断する別の円形もしくは多角形の空気相空間が形成され、追加の超音波反射面を構成している請求項14に記載の切削装置。
- 環状の空気相空間が、ブレードの軸に対して軸対称に互いに非空間部を介してブレードを横断して形成された、各々ブレードの半径方向に対して傾斜する複数のスリット状の空気相空間から構成されている請求項11に記載の切削装置。
- 環状の空気相空間が、環状の多孔質材料により構成されている請求項11に記載の切削装置。
- 環状の空気相空間が、ブレードの一方の表面から厚さの1/2を超えて伸びる環状の溝により構成されている請求項11に記載の切削装置。
- 環状の溝の内周側にさらに、ブレードの他方の表面から厚さの1/2を超えて伸びる、追加の超音波反射面を構成する環状の溝が形成されている請求項18に記載の切削装置。
- 環状の超音波振動子が互いに間隔を介して配置された複数の超音波振動子片から構成され、隣接する超音波振動子片の間のブレードに空気相空間が形成されている請求項11に記載の切削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008539821A JP5020962B2 (ja) | 2006-10-17 | 2007-10-16 | 円盤状の切削工具及び切削装置 |
Applications Claiming Priority (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006308423 | 2006-10-17 | ||
JP2006308423 | 2006-10-17 | ||
JP2007023521 | 2007-01-04 | ||
JP2007023521 | 2007-01-04 | ||
JP2007103282 | 2007-03-13 | ||
JP2007103282 | 2007-03-13 | ||
JP2008539821A JP5020962B2 (ja) | 2006-10-17 | 2007-10-16 | 円盤状の切削工具及び切削装置 |
PCT/JP2007/070161 WO2008047789A1 (en) | 2006-10-17 | 2007-10-16 | Disklike cutting tool and cutting device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008047789A1 JPWO2008047789A1 (ja) | 2010-02-25 |
JP5020962B2 true JP5020962B2 (ja) | 2012-09-05 |
Family
ID=39314017
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008539822A Active JP5020963B2 (ja) | 2006-10-17 | 2007-10-16 | 円盤状の切削工具及び切削装置 |
JP2008539821A Active JP5020962B2 (ja) | 2006-10-17 | 2007-10-16 | 円盤状の切削工具及び切削装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008539822A Active JP5020963B2 (ja) | 2006-10-17 | 2007-10-16 | 円盤状の切削工具及び切削装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100212470A1 (ja) |
JP (2) | JP5020963B2 (ja) |
CN (1) | CN101594961B (ja) |
TW (2) | TW200900184A (ja) |
WO (2) | WO2008047789A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017507029A (ja) * | 2014-02-13 | 2017-03-16 | ヘルマン ウルトラシャルテクニーク ゲーエムベーハー ウント コー.カーゲーHerrmann Ultraschalltechnik Gmbh & Co.Kg | 厚肉部を有するソノトロード |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4989213B2 (ja) * | 2006-12-25 | 2012-08-01 | 株式会社ディスコ | 超音波振動子を備えた切削工具 |
JP5255882B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2013-08-07 | 株式会社ディスコ | 超音波振動子を備えた切削工具 |
JP2011054632A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削工具 |
DE102014223544A1 (de) * | 2014-11-18 | 2016-05-19 | Sauer Gmbh | Spindelvorrichtung und Werkzeugmaschine mit Spindelvorrichtung |
JP6507925B2 (ja) * | 2015-08-10 | 2019-05-08 | 日本電気硝子株式会社 | ガラスの切断方法 |
CN105150033B (zh) * | 2015-08-12 | 2017-06-16 | 华侨大学 | 一种大尺寸轴向超声辅助端面磨削磨盘 |
JP6814579B2 (ja) * | 2016-09-20 | 2021-01-20 | 株式会社ディスコ | 研削ホイール及び研削装置 |
CN106738380A (zh) * | 2016-12-14 | 2017-05-31 | 宜兴市华井科技有限公司 | 一种氮化硅条切割装置 |
JP6938084B2 (ja) * | 2017-07-26 | 2021-09-22 | 株式会社ディスコ | ブレード保持具 |
CN108318971A (zh) * | 2018-01-12 | 2018-07-24 | 浙江富春江光电科技有限公司 | 一种光波导芯片免研抛方法 |
US20190263014A1 (en) * | 2018-02-27 | 2019-08-29 | Jtekt Corporation | Cutting method and cutting tool |
JP7383333B2 (ja) * | 2019-04-11 | 2023-11-20 | 株式会社ディスコ | 基台付きブレード |
CN111409144B (zh) * | 2020-05-19 | 2021-06-29 | 陈玲佳 | 一种砧板切槽装置 |
CN114274210B (zh) * | 2021-12-29 | 2024-04-05 | 杭州电子科技大学 | 一种吸波蜂窝精加工用超声花边划切盘刀及盘刀组件 |
SE546148C2 (en) * | 2022-04-21 | 2024-06-11 | Husqvarna Ab | Electric power cutter with a vibration function |
TWI819626B (zh) * | 2022-05-25 | 2023-10-21 | 矽品精密工業股份有限公司 | 超音波裝置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05318323A (ja) * | 1992-05-18 | 1993-12-03 | I N R Kenkyusho:Kk | 回転工具 |
JP2004291636A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-21 | Kazumasa Onishi | 円盤状ブレード及び切断装置 |
JP2005014186A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Arutekusu:Kk | 超音波振動切断用ツールおよびその製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02113907A (ja) * | 1988-10-24 | 1990-04-26 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング方法及びその装置 |
US5265508A (en) * | 1990-10-31 | 1993-11-30 | General Tire, Inc. | Ultrasonic cutting system for stock material |
FR2735412B1 (fr) * | 1995-06-19 | 1997-08-22 | Unir Ultra Propre Nutrition In | Dispositif de decoupage par ultrasons |
JP3128508B2 (ja) * | 1996-04-12 | 2001-01-29 | 株式会社アルテクス | 超音波振動カッター |
JP3469488B2 (ja) * | 1999-01-21 | 2003-11-25 | 株式会社アルテクス | 超音波振動切断装置 |
JP3469516B2 (ja) * | 1999-12-09 | 2003-11-25 | 株式会社アルテクス | 超音波振動切断用ツール及びその製造方法 |
US20060032332A1 (en) * | 2003-03-13 | 2006-02-16 | Kazumasa Ohnishi | Cutting tool and cutting machine |
JP2006156481A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-06-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 超音波振動切削装置 |
-
2007
- 2007-10-16 WO PCT/JP2007/070161 patent/WO2008047789A1/ja active Application Filing
- 2007-10-16 CN CN2007800449979A patent/CN101594961B/zh active Active
- 2007-10-16 JP JP2008539822A patent/JP5020963B2/ja active Active
- 2007-10-16 WO PCT/JP2007/070162 patent/WO2008047790A1/ja active Application Filing
- 2007-10-16 US US12/445,988 patent/US20100212470A1/en not_active Abandoned
- 2007-10-16 JP JP2008539821A patent/JP5020962B2/ja active Active
- 2007-10-17 TW TW96138894A patent/TW200900184A/zh unknown
- 2007-10-17 TW TW96138896A patent/TWI393619B/zh active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05318323A (ja) * | 1992-05-18 | 1993-12-03 | I N R Kenkyusho:Kk | 回転工具 |
JP2004291636A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-21 | Kazumasa Onishi | 円盤状ブレード及び切断装置 |
JP2005014186A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Arutekusu:Kk | 超音波振動切断用ツールおよびその製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017507029A (ja) * | 2014-02-13 | 2017-03-16 | ヘルマン ウルトラシャルテクニーク ゲーエムベーハー ウント コー.カーゲーHerrmann Ultraschalltechnik Gmbh & Co.Kg | 厚肉部を有するソノトロード |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200900184A (en) | 2009-01-01 |
WO2008047790A1 (fr) | 2008-04-24 |
JPWO2008047789A1 (ja) | 2010-02-25 |
WO2008047789A1 (en) | 2008-04-24 |
CN101594961A (zh) | 2009-12-02 |
TWI393619B (zh) | 2013-04-21 |
JPWO2008047790A1 (ja) | 2010-02-25 |
JP5020963B2 (ja) | 2012-09-05 |
CN101594961B (zh) | 2011-06-15 |
US20100212470A1 (en) | 2010-08-26 |
TW200909169A (en) | 2009-03-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5020962B2 (ja) | 円盤状の切削工具及び切削装置 | |
WO2009101987A1 (ja) | 切削もしくは研削装置 | |
US20100087125A1 (en) | Polishing tool and polishing device | |
JPWO2006137453A1 (ja) | 超音波振動を利用する研磨装置 | |
JPWO2006126302A1 (ja) | 円盤状の切断ブレードを備えた切断具及び切断装置 | |
WO2014017460A1 (ja) | 工具を備えた超音波振動体の支持構造 | |
JP2007125867A (ja) | 円盤状ブレード及び切断装置 | |
JP5443960B2 (ja) | 研磨具 | |
WO2011065415A1 (ja) | 研磨方法 | |
JP2004291636A (ja) | 円盤状ブレード及び切断装置 | |
JP2015080847A (ja) | 超音波加工装置 | |
JP2019104100A (ja) | フランジを持つ工具とその支持方法とその振動励起方法 | |
JP5335322B2 (ja) | 環状の切削ブレードを備えた回転切削装置 | |
JP2011110693A (ja) | 研磨具 | |
JPWO2008087942A1 (ja) | 切削工具及び切削装置 | |
JP7497239B2 (ja) | 超音波切削装置 | |
JP2008110593A (ja) | 円盤状ブレード及び切断装置 | |
JP2006346843A (ja) | 円盤状ブレード及び切断装置 | |
JP2007276096A (ja) | 円盤状ブレード及び切断装置 | |
JP2011062801A (ja) | 研磨具 | |
WO2021261291A1 (ja) | 超音波加工装置及び超音波切削装置 | |
JP2024096655A (ja) | 超音波振動体の支持方法 | |
JP2022034487A (ja) | 超音波切削装置 | |
JP2005324305A (ja) | 振動テーブル | |
JP2008110464A (ja) | 超音波研磨装置及びこれに用いる砥石 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101004 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120601 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120613 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5020962 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150622 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |